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文檔簡介
回顧1.請寫出光刻的8個基本步驟2.請列出軟烘的至少2個作用3.已知接觸孔版圖圖形為一些小方塊，如果使用正膠，掩膜版應(yīng)該是暗版還是亮版？4.已知某臺分步重復(fù)光刻機的紫外光源波長為248nm、光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑為0.7、工藝因子為0.7，試計算該設(shè)備光刻的分辨率和焦深。
第一章半導(dǎo)體工藝簡介第二章襯底第三章擴散第四章離子注入第五章氧化第六章光刻第七章真空技術(shù)和等離子體第八章刻蝕第九章薄膜技術(shù)第十章工藝集成
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