標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 31987-2015《電子工業(yè)用氣體 鍺烷》是一項國家標(biāo)準(zhǔn)，專門針對電子工業(yè)中使用的鍺烷氣體制定了詳細(xì)的技術(shù)要求與試驗方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于鍺烷純度不低于99.9%的產(chǎn)品，主要用于半導(dǎo)體材料的制備及其它相關(guān)領(lǐng)域。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容首先界定了術(shù)語和定義，明確了鍺烷作為研究對象的基本性質(zhì)及其在電子工業(yè)中的應(yīng)用背景。接著，在技術(shù)要求部分，除了規(guī)定了最低純度要求外，還對可能存在的雜質(zhì)成分如氧氣、氮?dú)狻⒓淄榈仍O(shè)定了最大允許含量限制，確保產(chǎn)品質(zhì)量滿足使用需求。此外，對于水分這一關(guān)鍵指標(biāo)也有明確的控制標(biāo)準(zhǔn)。

為了驗證產(chǎn)品是否符合上述各項技術(shù)要求，GB/T 31987-2015提供了相應(yīng)的分析檢測方法，包括但不限于氣相色譜法測定組分含量、露點儀測量水含量等。這些測試手段不僅能夠準(zhǔn)確反映樣品的真實狀態(tài)，也為生產(chǎn)企業(yè)和用戶之間建立了一個公平合理的質(zhì)量評估體系。

最后，包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸及貯存等方面的要求也被納入考慮范圍之內(nèi)，旨在保障鍺烷從生產(chǎn)到最終使用的整個過程中都能保持其應(yīng)有的品質(zhì)特性，避免因不當(dāng)處理而造成損失或安全隱患。


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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-09-11 頒布
  • 2016-05-01 實施
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T31987—2015

電子工業(yè)用氣體鍺烷

Gasforelectronicindustry—Germane

2015-09-11發(fā)布2016-05-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T31987—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司佛山市華特氣體有限公司中昊光明化工研究

:、、

設(shè)計院有限公司國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心福建西南化工研究設(shè)計院有限公司

、()、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人方華裴友宏郭秀麗林宇巍陳熔周鵬云

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T31987—2015

電子工業(yè)用氣體鍺烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鍺烷的技術(shù)要求試驗方法標(biāo)志包裝貯運(yùn)和安全

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于氯化鍺還原電解氧化鍺的硫酸溶液鍺鎂合金與鹽酸反應(yīng)等方法得到的鍺烷產(chǎn)品

、、。

它用于化學(xué)試劑制取高純度鍺化學(xué)氣相淀積擴(kuò)散非晶硅外延離子注入等領(lǐng)域

、、、、、、。

分子式

:GeH4。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計算

:76.662(2011)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學(xué)品安全管理條例版

(2011)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版

(2009)

3技術(shù)要求

鍺烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項目指標(biāo)

鍺烷純度體積分?jǐn)?shù)-2

(GeH4)()/10≥99.999

氫含量體積分?jǐn)?shù)-6

(H2)()/10<50

氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6

(O2)+(Ar)()/10≤2

氮含量體積分?jǐn)?shù)-6

(N2)()/10≤

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