標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 37007-2018 電子級(jí)三甲基鎵》是中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)之一，旨在為半導(dǎo)體工業(yè)中使用的高純度三甲基鎵提供質(zhì)量控制和技術(shù)要求。該標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了電子級(jí)三甲基鎵的技術(shù)指標(biāo)、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和貯存等方面的要求。

在技術(shù)指標(biāo)方面，標(biāo)準(zhǔn)明確了產(chǎn)品應(yīng)達(dá)到的純度級(jí)別和其他關(guān)鍵物理化學(xué)性質(zhì)的具體數(shù)值范圍或限值，包括但不限于金屬雜質(zhì)含量、非金屬雜質(zhì)含量等，以確保其適用于高質(zhì)量半導(dǎo)體材料的制造過(guò)程。此外，還對(duì)不同級(jí)別的三甲基鎵（如6N、7N等級(jí)別）進(jìn)行了區(qū)分，并給出了各自對(duì)應(yīng)的規(guī)格參數(shù)。

對(duì)于試驗(yàn)方法，本標(biāo)準(zhǔn)列舉了一系列科學(xué)準(zhǔn)確的方法來(lái)檢測(cè)三甲基鎵的各項(xiàng)性能指標(biāo)，比如使用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測(cè)定金屬元素含量、氣相色譜法分析有機(jī)物組成等。這些方法的選擇基于它們能夠有效且可靠地反映樣品真實(shí)情況的原則。

關(guān)于檢驗(yàn)規(guī)則，《GB/T 37007-2018》定義了批次的概念，并指出了如何從一個(gè)生產(chǎn)批中抽取代表性樣本進(jìn)行測(cè)試。同時(shí)，也規(guī)定了當(dāng)檢驗(yàn)結(jié)果不符合規(guī)定時(shí)應(yīng)采取的措施，如重新取樣復(fù)檢或者直接判定不合格等。

最后，在包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸及貯存環(huán)節(jié)，《GB/T 37008-2018》提供了具體指導(dǎo)，強(qiáng)調(diào)了安全性和環(huán)境保護(hù)的重要性。例如，要求使用適合長(zhǎng)途運(yùn)輸且能防止泄漏的專業(yè)容器；所有包裝上都必須清晰標(biāo)注產(chǎn)品名稱、制造商信息、危險(xiǎn)警告標(biāo)識(shí)等內(nèi)容；運(yùn)輸過(guò)程中要避免劇烈震動(dòng)和高溫環(huán)境；儲(chǔ)存時(shí)則需置于干燥通風(fēng)處遠(yuǎn)離火源。通過(guò)遵循這些建議，可以最大限度地保證電子級(jí)三甲基鎵在整個(gè)供應(yīng)鏈中的品質(zhì)穩(wěn)定與安全。


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....

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  • 2018-12-28 頒布
  • 2019-04-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T37007—2018

電子級(jí)三甲基鎵

Electronicgradetrimethylgallium

2018-12-28發(fā)布2019-04-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

中華人民共和國(guó)

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

電子級(jí)三甲基鎵

GB/T37007—2018

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20191

*

書號(hào)

:155066·1-61408

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T37007—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位江蘇南大光電材料股份有限公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳化冰孫明璐王香曹可慰

:、、、。

Ⅰ

GB/T37007—2018

電子級(jí)三甲基鎵

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三甲基鎵的技術(shù)要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則包裝標(biāo)志運(yùn)輸貯存和安全

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于鎵鎂合金法三氯化鎵法格式試劑法三種化學(xué)合成法制備并經(jīng)精制純化的三甲基

、、

鎵該產(chǎn)品主要用于生長(zhǎng)化合物半導(dǎo)體薄膜材料等

。。

分子式

:C3H9Ga

相對(duì)分子質(zhì)量按年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算

:114.83(2013)

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

電子級(jí)水

GB/T11446.1

危險(xiǎn)貨物運(yùn)輸包裝通用技術(shù)條件

GB12463

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

常用化學(xué)危險(xiǎn)品貯存通則

GB15603

潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB50073

3技術(shù)要求

三甲基鎵的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

三甲基鎵純度質(zhì)量分?jǐn)?shù)-2

(C3H9Ga)()/10≥99.99995

銀含量

(Ag)/(μg/g)<0.2

金屬鋁含量

(Al)/(μg/g)<0.1

元素

砷含量

()/(/)

及Asμgg<0.5

硼含量

其他(B)/(μg/g)<0.2

鋇含量

元素

(Ba)/(μg/g)<0.1

含量鈹含量

(Be)/(μg/g)<

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