GB/T 39516-2020微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板(幾何量)

ICS1704030

J42..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T39516—2020

微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板幾何量

()

Micronanostandardsamleseometric

p(g)

2020-11-19發(fā)布2021-06-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T39516—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

型式與基本參數(shù)

4…………………………3

型式

4.1…………………3

基本參數(shù)

4.2……………4

要求

5………………………5

外觀

5.1…………………5

性能參數(shù)要求

5.2………………………5

檢查條件

6…………………7

檢查方法

7…………………7

外觀

7.1…………………7

微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)

7.2………………7

微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)

7.3……………10

納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)

7.4……………………12

納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)

7.5……………………14

標(biāo)志運(yùn)輸及儲(chǔ)存

8、………………………15

標(biāo)志

8.1…………………15

運(yùn)輸

8.2…………………16

儲(chǔ)存

8.3…………………16

產(chǎn)品合格證

8.4…………………………16

圖線間隔示意圖

1…………………………1

圖臺(tái)階高度示意圖

2………………………2

圖薄膜厚度定義示意圖

3…………………2

圖線寬示意圖

4……………2

圖微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板型式示意圖

5…………………3

圖微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板型式示意圖

6………………3

圖納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板型式示意圖

7………………………4

圖納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板型式示意圖

8………………………4

圖線間隔偏差有效測(cè)量區(qū)域選擇示意圖

9………………8

圖線邊緣粗糙度考核位置示意圖

10……………………9

Ⅰ

GB/T39516—2020

圖線邊緣粗糙度示意圖

11………………9

圖均勻性測(cè)量示意圖

12…………………10

圖臺(tái)階高度測(cè)量示意圖

13………………11

圖臺(tái)階區(qū)域均勻性測(cè)量時(shí)測(cè)量線選取示意圖

14………12

圖薄膜厚度偏差考核示意圖

15…………13

圖線寬偏差測(cè)量區(qū)域選擇示意圖

16……………………14

圖線寬均勻性測(cè)量位置選擇示意圖

17…………………15

表微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)要求

1……………5

表微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)要求

2…………5

表納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)要求

3…………………6

表納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板的性能參數(shù)要求

4…………………6

Ⅱ

GB/T39516—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)量具量?jī)x標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC132)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所成都工具研究所有限公司廣西壯族自治

:、、

區(qū)計(jì)量檢測(cè)研究院中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院中國(guó)計(jì)量大學(xué)珠海市怡信測(cè)量

、、、、

科技有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李鎖印付興昌梁法國(guó)韓志國(guó)趙琳馮亞南許曉青張曉東姜志剛許剛

:、、、、、、、、、、

蘇冀雄張恒雷李華趙軍張松濤蔡瀟雨傅云霞

、、、、、、。

Ⅲ

GB/T39516—2020

微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板幾何量

()

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板幾何量的術(shù)語和定義型式與基本參數(shù)要求檢查條件檢查方

()、、、、

法標(biāo)志運(yùn)輸及儲(chǔ)存等

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于線間隔為的微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板臺(tái)階高度為

0.05μm~10μm、0.01μm~100μm

的微納米臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板薄膜厚度為的納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板和線寬為

、2nm~1000nm25nm~

的納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板

1000nm。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

幾何量測(cè)量器具術(shù)語基本術(shù)語

GB/T17163—2008

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.1—20101:

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T17163—2008。

31

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微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板幾何量micronanostandard