標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 40344.1-2021 真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法 第1部分:總體要求》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),旨在為真空泵性能測(cè)試提供一套統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)方法。該標(biāo)準(zhǔn)主要涵蓋了對(duì)真空泵進(jìn)行性能測(cè)量時(shí)所需遵循的基本原則、術(shù)語定義以及具體的操作指南等內(nèi)容。

在基本原則方面,本標(biāo)準(zhǔn)強(qiáng)調(diào)了測(cè)試過程中應(yīng)確保環(huán)境條件符合規(guī)定要求,如溫度、濕度等,并且對(duì)于不同類型的真空泵(如旋片式、渦旋式等),其性能測(cè)試的具體方法和參數(shù)設(shè)定可能有所差異。此外,還明確了測(cè)試設(shè)備的選擇與校準(zhǔn)要求,以保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

術(shù)語定義部分詳細(xì)解釋了與真空泵性能相關(guān)的專業(yè)詞匯,比如抽速、極限壓力等關(guān)鍵概念,這有助于相關(guān)人員更好地理解和執(zhí)行后續(xù)章節(jié)中的技術(shù)內(nèi)容。

操作指南則具體描述了如何根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)來進(jìn)行各項(xiàng)性能指標(biāo)的測(cè)量,包括但不限于啟動(dòng)前準(zhǔn)備、運(yùn)行過程監(jiān)控及數(shù)據(jù)記錄等步驟。這部分內(nèi)容還特別指明了某些特定條件下需要采取的安全措施,確保實(shí)驗(yàn)人員的人身安全不受威脅。


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....

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  • 2021-08-20 頒布
  • 2022-03-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS23160

J78.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法

第1部分總體要求

:

Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pump

erformance—Part1Generaldescrition

p:p

(ISO21360-1:2020,IDT)

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號(hào)

4………………………3

測(cè)試方法

5…………………4

流量法測(cè)量體積流率抽速

5.1()………………………4

概述

5.1.1……………4

流量法的測(cè)試罩

5.1.2………………4

測(cè)試裝置

5.1.3………………………5

體積流率的測(cè)定

5.1.4………………6

測(cè)量步驟

5.1.5………………………7

測(cè)量不確定度

5.1.6…………………7

測(cè)量評(píng)估

5.1.7………………………7

小孔法測(cè)量體積流率抽速

5.2()………………………7

概述

5.2.1……………7

小孔法的測(cè)試罩

5.2.2………………8

測(cè)量裝置

5.2.3………………………8

體積流率的測(cè)定

5.2.4………………9

小孔法測(cè)量步驟

5.2.5………………9

壓力測(cè)量?jī)x表的調(diào)整

5.2.6…………10

體積流率的測(cè)量

5.2.7………………10

測(cè)量不確定度

5.2.8…………………10

測(cè)量評(píng)估

5.2.9………………………10

抽氣法測(cè)量體積流率抽速

5.3()………………………11

概述

5.3.1……………11

抽氣法的測(cè)試罩

5.3.2………………12

速動(dòng)閥

5.3.3…………………………12

測(cè)量裝置

5.3.4………………………12

體積流率的確定

5.3.5………………12

測(cè)量步驟

5.3.6………………………14

適用范圍

5.3.7………………………14

測(cè)量評(píng)估

5.3.8………………………14

測(cè)量不確定度

5.3.9…………………14

基礎(chǔ)壓力測(cè)量

5.4………………………14

運(yùn)行條件

5.4.1………………………14

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

基礎(chǔ)壓力-4下的測(cè)試步驟

5.4.2>10Pa…………15

基礎(chǔ)壓力-4下的測(cè)試步驟

5.4.3<10Pa…………15

測(cè)量評(píng)估

5.4.4………………………15

壓縮比和臨界前級(jí)壓力測(cè)量

5.5………………………15

測(cè)量裝置

5.5.1………………………15

壓縮比和臨界前級(jí)壓力的測(cè)定

5.5.2………………16

測(cè)量步驟

5.5.3………………………16

測(cè)量不確定度

5.5.4…………………17

測(cè)量評(píng)估

5.5.5………………………17

測(cè)量極高壓縮比時(shí)的特殊建議

5.5.6………………17

附錄資料性附錄一些重要?dú)怏w的平均自由程

A()……………………18

附錄資料性附錄測(cè)量不確定度

B()……………………19

參考文獻(xiàn)

……………………21

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

前言

真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法計(jì)劃發(fā)布以下部分

GB/T40344《》:

第部分總體要求

———1:;

第部分容積真空泵

———2:;

第部分機(jī)械增壓泵的特定參數(shù)

———3:;

第部分渦輪分子泵

———4:;

……

本部分為的第部分

GB/T403441。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法第部分

ISO21360-1:2020《1:

總體要求

》。

與本部分中規(guī)范性引用的國(guó)際文件有一致性對(duì)應(yīng)關(guān)系的我國(guó)文件如下

:

真空技術(shù)術(shù)語

———GB/T3163—2007(ISO3529:1981,MOD)。

本部分做了下列編輯性修改

:

第章增加了表的編號(hào)和標(biāo)題

———4。

本部分由中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)提出

。

本部分由全國(guó)真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC18)。

本部分起草單位浙江真空設(shè)備集團(tuán)有限公司淄博真空設(shè)備廠有限公司臺(tái)州市星光真空設(shè)備制

:、、

造有限公司湖南維格磁流體股份有限公司威海智德真空科技有限公司淄博市機(jī)電泵類產(chǎn)品質(zhì)量檢

、、、

驗(yàn)研究院北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司臺(tái)州環(huán)球真空設(shè)備制造有限公司惠州飛凱新材料有

、、、

限公司山東伯仲真空設(shè)備股份有限公司沈陽真空技術(shù)研究所有限公司

、、。

本部分主要起草人鐘云會(huì)羅根松楊華飛高遜懿許濤徐法儉黃志婷周法順陳海垚

:、、、、、、、、、

言繼春王功發(fā)林樂忠張勝姜云鋒侯榮華王紅雪趙偉勝趙計(jì)春錢天景陳修明雷春棟

、、、、、、、、、、、、

王玲玲

。

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

引言

本部分是測(cè)量真空泵性能數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)本部分規(guī)定的方法符合現(xiàn)有的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中

。

的相關(guān)規(guī)定制定本部分的目的旨在提供一份測(cè)量真空泵性能數(shù)據(jù)的文件并簡(jiǎn)化今后對(duì)特定真空泵

。,,

標(biāo)準(zhǔn)的制定

。

特定的真空泵標(biāo)準(zhǔn)要包含從本部分中選取適當(dāng)?shù)臏y(cè)量方法并根據(jù)特定真空泵的特性來測(cè)定性能

,

數(shù)據(jù)極限值特定運(yùn)行條件當(dāng)特定標(biāo)準(zhǔn)與本部分存在差異時(shí)以特定標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)

、、。,。

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法

第1部分總體要求

:

1范圍

的本部分規(guī)定了三種體積流率測(cè)量方法并分別規(guī)定了測(cè)量真空泵基礎(chǔ)壓力壓縮比

GB/T40344,、

和臨界前級(jí)壓力的方法

。

測(cè)量體積流率的第一種方法流量法是一種基礎(chǔ)方法向真空泵內(nèi)注入穩(wěn)定流量的氣體同時(shí)測(cè)量

():,

泵的入口壓力在實(shí)際測(cè)量中氣體流量的測(cè)量可能是復(fù)雜或不精確的為此規(guī)定了另兩種方法以

。,。,,

避免直接測(cè)量流量

。

測(cè)量體積流率的第二種方法小孔法適用于入口壓力非常低高真空或者超高真空流量非常小

()()、

的情況該方法是基于測(cè)量測(cè)試罩雙測(cè)試室中的壓力比該測(cè)試罩由一個(gè)帶圓孔的薄壁分隔成兩個(gè)

。。

腔室

測(cè)量體積流率的第三種方法抽氣法是基于大型容器抽空的方法非常適用于自動(dòng)化測(cè)量通過

(),。

抽氣間隔前后的兩個(gè)壓力值和測(cè)試罩的體積來計(jì)算體積流率測(cè)量結(jié)果及最后得出的體積流率受不同

。

條件影響如漏率和放氣率抽氣間隔過程中由于接近于等熵膨脹引起的氣體冷卻低壓分子流態(tài)下引

,、、

起測(cè)試罩與真空泵之間連接管路的流阻增加

。

測(cè)量方法的選擇取決于特定種類真空泵的屬性例如只有需要配備前級(jí)泵的真空泵才需要測(cè)量

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