GB/T 41072-2021表面化學(xué)分析電子能譜紫外光電子能譜分析指南

ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T41072—2021

表面化學(xué)分析電子能譜

紫外光電子能譜分析指南

Surfacechemicalanalysis—Electronspectroscopies—Guidelinesfor

ultravioletphotoelectronspectroscopyanalysis

2021-12-31發(fā)布2022-04-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T41072—2021

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

符號(hào)和縮略語(yǔ)

4……………1

概述

5………………………2

能級(jí)關(guān)系

5.1……………2

儀器結(jié)構(gòu)

5.2……………2

測(cè)試過(guò)程

5.3……………3

樣品準(zhǔn)備

6…………………5

概述

6.1…………………5

材料類型

6.2……………5

樣品形態(tài)

6.3……………6

樣品安裝

6.4……………6

樣品處理

6.5……………7

儀器校準(zhǔn)

7…………………7

概述

7.1…………………7

儀器檢查

7.2……………7

儀器能量標(biāo)校準(zhǔn)

7.3……………………8

儀器設(shè)定

7.4……………8

樣品荷電評(píng)估

8……………9

采集的譜

8.1C1sXPS…………………9

荷電評(píng)估

8.2……………9

全掃描與窄掃描

9…………………………9

概述

9.1…………………9

數(shù)據(jù)采集

9.2……………9

數(shù)據(jù)分析

9.3……………10

測(cè)試報(bào)告

10………………12

附錄資料性參考物質(zhì)面掃描離子束刻蝕示例

A()Au………………14

附錄資料性不同激發(fā)光源下的光子能量

B()UV……………………15

參考文獻(xiàn)

……………………16

Ⅰ

GB/T41072—2021

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC38)。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件起草單位中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所中山大學(xué)

:、。

本文件主要起草人趙志娟劉芬鄒業(yè)謝方艷陳建章小余

:、、、、、。

Ⅲ

GB/T41072—2021

引言

光電子能譜技術(shù)是研究固體材料表面的最重要和有效分析方法之一配備于射線光電子能譜

。X

儀器上的紫外光電子能譜可用于獲得固體材料價(jià)電子的能量分布信息是研究材料表面逸出功和價(jià)帶

,

結(jié)構(gòu)態(tài)密度的有效方法其能量分辨可以達(dá)到約在固體物理表面科學(xué)與材料科學(xué)等領(lǐng)域

(),100meV,、

有重要應(yīng)用隨著半導(dǎo)體器件光催化材料等研究越來(lái)越廣泛其制備與性能調(diào)控要求對(duì)材料的價(jià)電子

。、,

能帶結(jié)構(gòu)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量

。

Ⅳ

GB/T41072—2021

表面化學(xué)分析電子能譜

紫外光電子能譜分析指南

1范圍

本文件提供了儀器操作者對(duì)固體材料表面進(jìn)行紫外光電子能譜分析的指導(dǎo)包括樣品處理譜儀校

,、

準(zhǔn)和設(shè)定譜圖采集以及最終報(bào)告

、。

本文件適用于配備有真空紫外光源的射線光電子能譜儀的操作者分析典型樣品

X。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本

,;,()

文件

。

表面化學(xué)分析詞匯

GB/T22461—2008

表面化學(xué)分析射線光電子能譜儀能量標(biāo)尺的校準(zhǔn)

GB/T22571—2017X

檢測(cè)和校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能力的通用要求

GB/T27025—2019

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

GB/T22461—2008。

4符號(hào)和縮略語(yǔ)

下列符號(hào)和縮略語(yǔ)適用于本文件

。

角分辨光電子能譜

ARPES:(angleresolvedphotoemissionspectroscopy)

電子親和勢(shì)

EA:(electronaffinity)

E光電子結(jié)合能

b:(bindingenergyofphotoelectron)

E導(dǎo)帶底

CBM: