JJF 1932-2021橢偏儀校準規(guī)范

中華人民共和國國家計量技術(shù)規(guī)范

JJF1932—2021

橢偏儀校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforEllipsometers

2021-12-08發(fā)布2022-06-08實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1932—2021

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歸口單位全國光學計量技術(shù)委員會

:

主要起草單位中國計量科學研究院

:

中國兵器工業(yè)第二〇五研究所

參加起草單位中國電子科技集團公司第四十一研究所

:

上海市計量測試技術(shù)研究院

陜西省計量科學研究院

本規(guī)范委托全國光學計量技術(shù)委員會負責解釋

JJF1932—2021

本規(guī)范主要起草人

:

劉文德中國計量科學研究院

()

陳赤中國計量科學研究院

()

王雷中國兵器工業(yè)第二〇五研究所

()

參加起草人

:

孫權(quán)社中國電子科技集團公司第四十一研究所

()

葉軍安上海市計量測試技術(shù)研究院

()

李奕陜西省計量科學研究院

()

JJF1932—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語和計量單位

3………………………(1)

概述

4……………………(2)

計量特性

5………………(3)

波長示值誤差

5.1………………………(3)

光譜帶寬

5.2……………(3)

入射角示值誤差

5.3……………………(3)

橢偏角測量重復性

5.4…………………(3)

波片延遲量示值誤差

5.5………………(3)

橢偏角示值誤差

5.6……………………(3)

校準條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

測量標準及其他設(shè)備

6.2………………(3)

校準項目和校準方法

7…………………(4)

校準前檢查

7.1…………(4)

波長示值誤差

7.2………………………(4)

光譜帶寬

7.3……………(4)

橢偏角測量重復性

7.4…………………(4)

入射角示值誤差

7.5……………………(4)

波片延遲量示值誤差

7.6………………(5)

橢偏角的示值誤差

7.7…………………(6)

校準結(jié)果表達

8…………(6)

復校時間間隔

9…………(7)

附錄校準證書內(nèi)頁格式供參考

A()………………(8)

附錄校準原始記錄格式供參考

B()………………(10)

附錄不確定度評定示例

C……………(12)

附錄硅表面氧化硅的橢偏光學模型

D………………(15)

附錄波片調(diào)節(jié)示例

E…………………(16)

Ⅰ

JJF1932—2021

引言

通用計量術(shù)語及定義測量不確定評定與表示和

JJF1001《》、JJF1059.1《》

國家計量校準規(guī)范編寫規(guī)則共同構(gòu)成支撐本規(guī)范編訂的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

JJF1071《》。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF1932—2021

橢偏儀校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于波長范圍在內(nèi)的橢偏儀的校準

250nm~2000nm。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

偏光儀校準規(guī)范

JJF1497

光學薄膜折射率和厚度測試儀檢定規(guī)程

GJB/J5463

用于集成計量的橢偏儀設(shè)備特性指南

SEMIE141-0705(Guideforspecificationof

ellipsometerequipmentforuseinintegratedmetrology)

橢偏術(shù)手冊

HandbookofEllipsometry,,HGTompkinsandEAIrene(eds.),

WilliamAndrewPublishing,2005

橢偏術(shù)和偏振光

EllipsometryandPolarizedLight,,RMAAzzamandNMBashara,

North-HollandPhysicsPublishing,1977

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語和計量單位

入射面

3.1planeofincidence

入射光束和反射光束張成的面