JJF 1932-2021橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1932—2021

橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforEllipsometers

2021-12-08發(fā)布2022-06-08實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

JJF1932—2021

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歸口單位全國(guó)光學(xué)計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

:

中國(guó)兵器工業(yè)第二〇五研究所

參加起草單位中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十一研究所

:

上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

陜西省計(jì)量科學(xué)研究院

本規(guī)范委托全國(guó)光學(xué)計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1932—2021

本規(guī)范主要起草人

:

劉文德中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

陳赤中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

王雷中國(guó)兵器工業(yè)第二〇五研究所

()

參加起草人

:

孫權(quán)社中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十一研究所

()

葉軍安上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院

()

李奕陜西省計(jì)量科學(xué)研究院

()

JJF1932—2021

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位

3………………………(1)

概述

4……………………(2)

計(jì)量特性

5………………(3)

波長(zhǎng)示值誤差

5.1………………………(3)

光譜帶寬

5.2……………(3)

入射角示值誤差

5.3……………………(3)

橢偏角測(cè)量重復(fù)性

5.4…………………(3)

波片延遲量示值誤差

5.5………………(3)

橢偏角示值誤差

5.6……………………(3)

校準(zhǔn)條件

6………………(3)

環(huán)境條件

6.1……………(3)

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備

6.2………………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

7…………………(4)

校準(zhǔn)前檢查

7.1…………(4)

波長(zhǎng)示值誤差

7.2………………………(4)

光譜帶寬

7.3……………(4)

橢偏角測(cè)量重復(fù)性

7.4…………………(4)

入射角示值誤差

7.5……………………(4)

波片延遲量示值誤差

7.6………………(5)

橢偏角的示值誤差

7.7…………………(6)

校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)

8…………(6)

復(fù)校時(shí)間間隔

9…………(7)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)格式供參考

A()………………(8)

附錄校準(zhǔn)原始記錄格式供參考

B()………………(10)

附錄不確定度評(píng)定示例

C……………(12)

附錄硅表面氧化硅的橢偏光學(xué)模型

D………………(15)

附錄波片調(diào)節(jié)示例

E…………………(16)

Ⅰ

JJF1932—2021

引言

通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及定義測(cè)量不確定評(píng)定與表示和

JJF1001《》、JJF1059.1《》

國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則共同構(gòu)成支撐本規(guī)范編訂的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

JJF1071《》。

本規(guī)范為首次發(fā)布

。

Ⅱ

JJF1932—2021

橢偏儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于波長(zhǎng)范圍在內(nèi)的橢偏儀的校準(zhǔn)

250nm~2000nm。

2引用文件

本規(guī)范引用了下列文件

:

偏光儀校準(zhǔn)規(guī)范

JJF1497

光學(xué)薄膜折射率和厚度測(cè)試儀檢定規(guī)程

GJB/J5463

用于集成計(jì)量的橢偏儀設(shè)備特性指南

SEMIE141-0705(Guideforspecificationof

ellipsometerequipmentforuseinintegratedmetrology)

橢偏術(shù)手冊(cè)

HandbookofEllipsometry,,HGTompkinsandEAIrene(eds.),

WilliamAndrewPublishing,2005

橢偏術(shù)和偏振光

EllipsometryandPolarizedLight,,RMAAzzamandNMBashara,

North-HollandPhysicsPublishing,1977

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術(shù)語(yǔ)和計(jì)量單位

入射面

3.1planeofincidence

入射光束和反射光束張成的面