第3章真空裝置的實際問題_第1頁
第3章真空裝置的實際問題_第2頁
第3章真空裝置的實際問題_第3頁
第3章真空裝置的實際問題_第4頁
第3章真空裝置的實際問題_第5頁
已閱讀5頁，還剩17頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

第三章

真空裝置的實際問題1p,

VS真空泵管道真空容器p-壓強；V-真空容器的容積；S-抽速排氣的基礎(chǔ)知識在時間間隔t內(nèi)，真空容器中排出的氣體流量Vp與真空泵抽走的氣體流量Spt相等，

2排氣的基礎(chǔ)知識穩(wěn)態(tài)時，進入真空容器內(nèi)部的氣體流量為Q3材料的放氣減小Q值的途徑一：選材4材料的放氣減小Q值的途徑二：預(yù)處理5材料的放氣減小Q值的途徑三：烘烤6排氣時間的估算

7排氣泵系統(tǒng)離子泵排氣系統(tǒng)：無油清潔，排氣周期較長，主要用于高質(zhì)量膜層的生產(chǎn)和研究。離子泵：8排氣泵系統(tǒng)離子泵系統(tǒng)的排氣曲線離子泵：9排氣泵系統(tǒng)擴散泵排氣系統(tǒng)：清潔程度差，但排氣周期短，主要用于生產(chǎn)。擴散泵：10排氣泵系統(tǒng)擴散泵系統(tǒng)的排氣曲線擴散泵：11排氣泵系統(tǒng)低溫冷凝泵-分子泵：低溫冷凝泵-分子泵排氣系統(tǒng)：既能獲得清潔真空，排氣周期也短；即可用于研究又可用于生產(chǎn)。12檢漏容易漏氣的地方：可動部分玻璃和陶瓷部分紋管法蘭和墊圈焊接部分

難以檢漏的地方：焊接氣眼材料內(nèi)的砂眼復(fù)雜部件的內(nèi)部13檢漏檢漏方法之：加壓法14檢漏檢漏方法之：真空法-真空計傳感抽真空后容器內(nèi)部氣壓上升曲線15檢漏檢漏方法之：真空法-質(zhì)譜儀傳感罩子法檢漏氦檢漏儀16檢漏17大氣濕度與溫度對裝置的影響通入氣體中水的分壓與抽氣100min和1000min后的壓強關(guān)系：在通常水的分壓1~30Torr下，影響不大。濕度18大氣濕度與溫度對裝置的影響溫度溫度從14C到25C，壓強增大約2倍；溫度從5C到40C，壓強變化一個數(shù)量級19化學(xué)活性氣體的排氣活性氣體粉末20化學(xué)活性氣體的

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論