現(xiàn)代材料分析方法第十二章電子顯微鏡課件

第十二章掃描電子顯微鏡2/6/20231第十二章掃描電子顯微鏡優(yōu)點(diǎn)電子束與固體樣品相互作用掃描電鏡結(jié)構(gòu)原理主要性能指標(biāo)二次電子圖象襯度原理及其應(yīng)用背散射電子圖象襯度原理及其應(yīng)用其它信號圖象掃描電鏡操作樣品制備

應(yīng)用舉例2/6/20232掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)①分辨率比較高，二次電子象②放大倍數(shù)連續(xù)可調(diào)，幾十倍到二十萬倍③景深大，立體感強(qiáng)④試樣制備簡單⑤一機(jī)多用2/6/202332/6/20235OpticalMicroscopeVSSEM2/6/202362/6/20237第一節(jié)電子束與固體樣品相互作用如圖，當(dāng)高能電子束轟擊樣品表面時，由于入射電子束與樣品間的相互作用，99％以上的入射電子能量將轉(zhuǎn)變成熱能，其余約1％的入射電子能量，將從樣品中激發(fā)出各種有用的信息，它們包括：背散射電子試樣吸收電子透射電子X射線陰極發(fā)光入射電子二次電子Auger電子圖12-1電子束與固體樣品作用是產(chǎn)生的信號2/6/20239一、背散射電子是指被固體樣品原子反彈回來的一部分入射電子，它來自樣品表層0.1~1m深度范圍，其能量近似于入射電子能量，背散射電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)的增加而增加，如圖。利用背散射電子作為成象信號不僅能分析形貌特征，也可用來顯示原子序數(shù)襯度，定性地進(jìn)行成份分析。2/6/202310二、二次電子二次電子是被入射電子轟擊出來的核外電子，它來自于樣品表面100?左右(50~500?)區(qū)域，能量為0～50eV，二次電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)的變化不明顯，主要決定于表面形貌，因此能非常有效地顯示樣品的表面形貌。2/6/202311三、吸收電子殘存在樣品中的入射電子。若在樣品和地之間接入一個高靈敏度的電流表，就可以測得樣品對地的信號，這個信號是由吸收電子提供的。（形貌、成分分析）2/6/202313四、透射電子當(dāng)樣品足夠薄時(0.1m)，透過樣品的入射電子即為透射電子，其能量近似于入射電子的能量。2/6/202314五、特征X射線樣品中原子受入射電子激發(fā)后，在能級躍遷過程中直接釋放的具有特征能量和波長的一種電磁波輻射，其發(fā)射深度為0.5~5m范圍。2/6/202315七、陰極熒光入射電子束轟擊發(fā)光材料表面時，從樣品中激發(fā)出來的可見光或紅外光。2/6/202317八、感應(yīng)電動勢入射電子束照射半導(dǎo)體器件的PN結(jié)時，將產(chǎn)生由于電子束照射而引起的電動勢.。2/6/202318上述信息，可以采用不同的檢測儀器，將其轉(zhuǎn)變?yōu)榉糯蟮碾娦盘?，并在顯象管熒光屏上或X－Y記錄儀上顯示出來，這就是掃描電鏡的功能。在掃描電鏡中，由電子激發(fā)產(chǎn)生的主要信號的信息深度：俄歇電子1nm(0.5-2nm)二次電子5-50nm背散射電子50-500nmX射線0.1-1μm2/6/202319掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)(鏡筒)、偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、信號檢測放大系統(tǒng)、圖像顯示和記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等部分組成一、結(jié)構(gòu)組成2/6/2023212/6/202322一、電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。作用：獲得掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號的激發(fā)源。2/6/202323電子槍2/6/2023253．偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)作用：使電子束產(chǎn)生橫向偏轉(zhuǎn)，包括用于形成光柵狀掃描的掃描系統(tǒng)，以及使樣品上的電子束間斷性消隱或截斷的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)。

偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)可以采用橫向靜電場，也可采用橫向磁場。2/6/202326右圖給出了電子束在樣品表面進(jìn)行掃描的兩種方式。進(jìn)行形貌分析時都采用光柵掃描方式(圖a)，當(dāng)電子束進(jìn)入上偏轉(zhuǎn)線圈時，方向發(fā)生轉(zhuǎn)折，隨后又由下偏轉(zhuǎn)線圈使它的方向發(fā)生第二次轉(zhuǎn)折。發(fā)生二次偏轉(zhuǎn)的電子束通過末級透鏡射到試樣表面。2/6/202327二、信號收集及顯示系統(tǒng)檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號。普遍使用的是電子檢測器，它由閃爍體，光導(dǎo)管和光電倍增器所組成2/6/2023292/6/202330三.掃描電鏡的工作原理SEM是利用聚焦電子束在樣品上掃描時激發(fā)的某種物理信號來調(diào)制一個同步掃描的顯象管在相應(yīng)位置的亮度而成象的顯微鏡。2/6/2023312/6/202332第三節(jié)主要性能指標(biāo)分辨本領(lǐng)與景深放大倍數(shù)及有效放大倍數(shù)2/6/202333一、分辨本領(lǐng)與景深掃描電鏡的分辨本領(lǐng)有兩重含義：對于微區(qū)成份分析而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對于成象而言，它是指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離。兩者主要取決于入射電子束的直徑，但并不等于直徑，因?yàn)槿肷潆娮邮c試樣相互作用會使入射電子束在試樣內(nèi)的有效激發(fā)范圍大大超過入射束的直徑，如圖。入射電子激發(fā)試樣內(nèi)各種信號的發(fā)射范圍不同，因此各種信號成象的分辨本領(lǐng)不同（如下表）。2/6/2023342/6/202335表各種信號成象的分辨本領(lǐng)信號分辨率(nm)發(fā)射深度(nm)二次電子5~105~50背散射電子50~200100~1000吸收電子100~1000透射電子0.5~10感應(yīng)電動勢300~1000陰極熒光300~1000X射線100~1000500~5000俄歇電子5~100.5~22/6/202336掃描電鏡的景深是指在樣品深度方向可能觀察的程度。在電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡中，掃描電鏡的景深最大，對金屬材料的斷口分析具有特殊的優(yōu)勢。2/6/202337二、放大倍數(shù)及有效放大倍數(shù)掃描電鏡的放大倍數(shù)M取決于顯象管熒光屏尺寸S2和入射束在試樣表面掃描距離S1之比，即：M＝S2／S1由于熒光屏尺寸S2是固定的，因此其放大倍數(shù)的變化是通過改變電子束在試樣表面掃描距離S1來實(shí)現(xiàn)的。一般放大倍數(shù)在20～20萬倍之間，且連續(xù)可調(diào)。將樣品細(xì)節(jié)放大到人眼剛能看清楚（約0.2mm）的放大倍數(shù)稱為有效放大倍數(shù)M有效：M有效＝人眼分辨本領(lǐng)／儀器分辨本領(lǐng)2/6/202338第四節(jié)表面形貌襯度原理及其應(yīng)用像襯原理二次電子成象原理二次電子形貌襯度的應(yīng)用2/6/202339一、像襯原理?像的襯度就是像的各部分(即各像元)強(qiáng)度相對于其平均強(qiáng)度的變化。?SEM可以通過樣品上方的電子檢測器檢測到具有不同能量的信號電子有背散射電子、二次電子、吸收電子、俄歇電子等。?掃描電鏡像的襯度來源有三個方面：a)由試樣本身性質(zhì)（表面凸凹不平、成分差別、位向差異表面電位分布）；b)信號本身性質(zhì)（二次電子、背散射電子、吸收電子）；c)對信號的人工處理。2/6/202340二、二次電子成象原理二次電子圖象反映試樣表面狀態(tài)，二次電子產(chǎn)額強(qiáng)烈地依賴于入射束與試樣表面法線之間的夾角:二次電子產(chǎn)額1/cos即角大的地方出來的二次電子多，呈亮象；角小的地方出來的電子少，呈暗象，如圖。2/6/2023412/6/202342二次電子像襯度的特點(diǎn)：（1）分辨率高（2）景深大，立體感強(qiáng)（3）主要反應(yīng)形貌襯度2/6/202343三、二次電子形貌襯度的應(yīng)用斷口分析沿晶斷口韌窩斷口解理斷口纖維增強(qiáng)復(fù)合材料斷口表面形貌分析材料變形與斷裂動態(tài)過程的原位觀察2/6/2023442/6/2023452/6/202346水泥漿體斷口2/6/2023472/6/2023482/6/202349第五節(jié)背散射電子圖象襯度原理背散射電子形貌襯度特點(diǎn)背散射電子原子序數(shù)襯度原理背散射電子檢測器工作原理2/6/202350一、背散射電子形貌襯度特點(diǎn)背散射電子能量較高，多數(shù)與入射電子能量相近。在掃描電鏡中通常共用一個檢測器檢測二次電子和背散射電子，通過改變檢測器加電情況，可實(shí)現(xiàn)背散射電子選擇檢測，由于背散射電子基本上不受收集柵電壓影響而直線進(jìn)入探測器，所以有明顯的陰影效應(yīng)，呈象時顯示很強(qiáng)的襯度，但會失去圖象的許多細(xì)節(jié)。如圖。2/6/2023512/6/202352二、背散射電子原子序數(shù)襯度原理背散射電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)增大而增多，如圖。在進(jìn)行圖象分析時，樣品中重元素區(qū)域背散射電子數(shù)量較多，呈亮區(qū)，而輕元素區(qū)域則為暗區(qū)。背散射系數(shù)與原子序數(shù)的關(guān)系2/6/202353三、背散射電子檢測器工作原理背散射電子檢測器的工作原理如圖。A和B表示一對半導(dǎo)體硅檢測器，將二者收集到的信號進(jìn)行處理：二者相加，得到成份象；二者相減，得到形貌象。2/6/2023542/6/202355背散射電子像的襯度特點(diǎn)：（1）分辯率低（2）背散射電子檢測效率低，襯度?。?）主要反應(yīng)成分襯度2/6/202356第六節(jié)吸收電子襯度掃描電鏡中各種電流的關(guān)系可以寫成

其中II是入射電子電流強(qiáng)度，IS是二次電子的電流強(qiáng)度，IB是背散射電子的電流強(qiáng)度，IA是吸收電流強(qiáng)度，IT是透射電子的強(qiáng)度。掃描電鏡的試樣一般是塊狀試樣，即試樣較厚，這時透射電子的電流強(qiáng)度可忽略不計，IT=0。在一定的實(shí)驗(yàn)條件下，入射電子的電流強(qiáng)度II是一定的，所以有所以吸收電流IA的大小，決定于Is和IB。Is，IB大時，IA就小，反之，IA就大，也就是說，吸收電子像是與二次電子像和背散射電子像的