YS/T 1141-2016鈦蒸發(fā)料

ICS77.150.50

H64

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YST1141—2016

鈦蒸發(fā)料

Evaporatedtitaniummaterial

2016-07-11發(fā)布2017-01-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YST1141—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位有研億金新材料有限公司中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張濤劉書芹何金江萬小勇徐學(xué)禮羅俊鋒丁照崇王越高巖劉冬青

:、、、、、、、、、、

吳艷華

。

Ⅰ

YST1141—2016

鈦蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了鈦蒸發(fā)料的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及質(zhì)量證明書與合同

、、、、、

或訂貨單內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用的鈦蒸發(fā)料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氧量氮量的測(cè)定

GB/T4698.7、、

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法碳量的測(cè)定

GB/T4698.14、

海綿鈦鈦及鈦合金化學(xué)分析方法氫量的測(cè)定

GB/T4698.15、

高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法

YS/T891

高純鈦化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

YS/T892

3要求

3.1產(chǎn)品分類

3.1.1產(chǎn)品按照純度分為三個(gè)牌號(hào)

IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999。

3.1.2產(chǎn)品主要分為片狀柱狀如圖所示

、,1。

說明

:

A邊長(zhǎng)

———;

B邊長(zhǎng)

———;

C厚度

———;

D直徑

———;

L長(zhǎng)度

———。