標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 978-2014 單晶爐碳/碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒》是中國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)之一，該標(biāo)準(zhǔn)主要針對(duì)用于單晶硅生長(zhǎng)設(shè)備中的碳/碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒提出了具體的技術(shù)要求和試驗(yàn)方法。碳/碳復(fù)合材料因其優(yōu)異的耐高溫性能、良好的熱穩(wěn)定性和較低的熱膨脹系數(shù)，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域尤其是單晶硅拉制過程中被廣泛采用作為關(guān)鍵部件之一。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，首先定義了術(shù)語(yǔ)與定義部分，明確了“碳/碳復(fù)合材料”、“導(dǎo)流筒”的概念及其應(yīng)用背景。接著，在技術(shù)要求章節(jié)中詳細(xì)規(guī)定了導(dǎo)流筒的尺寸公差、外觀質(zhì)量、密度、彎曲強(qiáng)度等物理機(jī)械性能指標(biāo)；同時(shí)，還對(duì)材料的灰分含量、電阻率以及抗氧化性等方面設(shè)定了相應(yīng)的限制條件。此外，標(biāo)準(zhǔn)也列出了導(dǎo)流筒在使用前應(yīng)滿足的安全性能要求，比如最高使用溫度下不應(yīng)產(chǎn)生有害氣體或物質(zhì)。

對(duì)于如何驗(yàn)證這些技術(shù)參數(shù)是否符合規(guī)定，標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)提供了詳細(xì)的檢驗(yàn)規(guī)則及抽樣方案，并且介紹了幾種常見的測(cè)試方法，包括但不限于密度測(cè)定法、彎曲強(qiáng)度測(cè)試、電阻率測(cè)量等。值得注意的是，在進(jìn)行各項(xiàng)檢測(cè)時(shí)需嚴(yán)格按照指定的操作步驟執(zhí)行以確保結(jié)果準(zhǔn)確性。


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  • 2014-10-14 頒布
  • 2015-04-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS29045

H83.

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T978—2014

單晶爐碳/碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒

Carbon/carboncompositesguideshieldofsinglecrystalfurnace

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T978—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位湖南金博復(fù)合材料科技有限公司西安隆基硅材料股份有限公司

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人廖寄喬李軍譚周建邰衛(wèi)平李定武王躍軍龔玉良周銳陳英李丙菊

:、、、、、、、、、、

石磊

。

Ⅰ

YS/T978—2014

單晶爐碳/碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了直拉單晶爐用碳碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸

/、、、、、、

儲(chǔ)存質(zhì)量證明書和訂貨單或合同內(nèi)容

、()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉單晶爐用碳碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒

/。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的線性和角度尺寸的公差

GB/T1804

計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃

GB/T2828.11:(AQL)

閃光法測(cè)量熱擴(kuò)散系數(shù)或?qū)嵯禂?shù)

GB/T22588

炭素材料體積密度測(cè)定方法

GB/T24528

感耦等離子體原子發(fā)射光譜方法通則

JY/T015

三向纖維增強(qiáng)復(fù)合材料彎曲性能試驗(yàn)方法

QJ2099

碳碳復(fù)合材料灰分含量測(cè)試方法

QJ2509/

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

31

.

導(dǎo)流筒guideshield

位于單晶爐內(nèi)坩堝的上方起著引導(dǎo)氣體流動(dòng)屏蔽熱量形成單晶生長(zhǎng)溫度梯度具有導(dǎo)流保溫作

,、、,

用的錐筒形物體

。

4要求

41產(chǎn)品分類

.

411碳碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒按其錐體小端內(nèi)徑分成不同的規(guī)格其常見的規(guī)格代號(hào)有

../,235(20in/

等圖為導(dǎo)流筒示意圖規(guī)格代號(hào)中后面括號(hào)內(nèi)的表示該

6.5in)、265(22in/8in),1。235“20in/6.5in”

導(dǎo)流筒用于熱場(chǎng)的單晶爐中拉的單晶棒較為合適

20in6.5in。

412根據(jù)碳碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒中灰分含量碳碳復(fù)合材料導(dǎo)流筒按純度等級(jí)分為一級(jí)和二級(jí)

..

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