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文檔簡介
———HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展本文介紹南昌高校光伏討論院熱絲CVD裝備國產(chǎn)化的改進(jìn)探究。
HWCVDVs.PECVD
HWCVDVs.PECVD
一次8片;
可實(shí)現(xiàn)in、ip、雙面TCO的不破真空連續(xù)鍍膜
自行設(shè)計(jì)、國內(nèi)公司生產(chǎn)
熱絲加工
新熱絲做的本征非晶硅的鈍化效果明顯優(yōu)于對比熱絲。
a-SiOx:H制備過程中的熱絲氧化問題可通過工藝參數(shù)的調(diào)整解決
鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用
僅襯底加熱,220℃較優(yōu)!
襯底溫度100℃、275℃熱處理最優(yōu)!
鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用
黑色:熱處理前紅色:熱處理后
適當(dāng)降低基片溫度,鍍膜后熱處理獲得較好少子壽命值。
IN、IP兩面連續(xù)鍍(片子不接觸大氣)
不破:IN、IP連續(xù)鍍膜
破:IN鍍膜后退出真空腔體外,停留40min。
連續(xù)鍍明顯優(yōu)
小結(jié)
熱絲可以在國內(nèi)解決;
IN、IP連續(xù)鍍膜不破真空的設(shè)計(jì)可行;
鍍膜溫度與后處理加熱的工藝協(xié)同調(diào)控,鈍化效果更優(yōu)。
本文介紹南昌高校光伏討論院熱絲CVD裝備國產(chǎn)化的改進(jìn)探究。
HWCVDVs.PECVD
HWCVDVs.PECVD
一次8片;
可實(shí)現(xiàn)in、ip、雙面TCO的不破真空連續(xù)鍍膜
自行設(shè)計(jì)、國內(nèi)公司生產(chǎn)
熱絲加工
新熱絲做的本征非晶硅的鈍化效果明顯優(yōu)于對比熱絲。
a-SiOx:H制備過程中的熱絲氧化問題可通過工藝參數(shù)的調(diào)整解決
鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用
僅襯底加熱,220℃較優(yōu)!
襯底溫度100℃、275℃熱處理最優(yōu)!
鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用
黑色:熱處理前紅色:熱處理后
適當(dāng)降低基片溫度,鍍膜后熱處理獲得較好少子壽命值。
IN、IP兩面連續(xù)鍍(片子不接觸大氣)
不破:IN、IP連續(xù)鍍膜
破:IN鍍膜后退出真空腔體外,停留40min。
連續(xù)鍍明顯優(yōu)
小結(jié)
熱絲可以在國內(nèi)解決;
IN
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