HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展_第1頁
HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展_第2頁
HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展_第3頁
HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展_第4頁
HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展_第5頁
已閱讀5頁，還剩6頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

———HIT太陽電池生產(chǎn)技術(shù)研發(fā)進(jìn)展本文介紹南昌高校光伏討論院熱絲CVD裝備國產(chǎn)化的改進(jìn)探究。

HWCVDVs.PECVD

HWCVDVs.PECVD

一次8片；

可實(shí)現(xiàn)in、ip、雙面TCO的不破真空連續(xù)鍍膜

自行設(shè)計(jì)、國內(nèi)公司生產(chǎn)

熱絲加工

新熱絲做的本征非晶硅的鈍化效果明顯優(yōu)于對比熱絲。

a-SiOx:H制備過程中的熱絲氧化問題可通過工藝參數(shù)的調(diào)整解決

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

僅襯底加熱，220℃較優(yōu)！

襯底溫度100℃、275℃熱處理最優(yōu)！

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

黑色：熱處理前紅色：熱處理后

適當(dāng)降低基片溫度，鍍膜后熱處理獲得較好少子壽命值。

IN、IP兩面連續(xù)鍍（片子不接觸大氣）

不破：IN、IP連續(xù)鍍膜

破：IN鍍膜后退出真空腔體外，停留40min。

連續(xù)鍍明顯優(yōu)

小結(jié)

熱絲可以在國內(nèi)解決；

IN、IP連續(xù)鍍膜不破真空的設(shè)計(jì)可行；

鍍膜溫度與后處理加熱的工藝協(xié)同調(diào)控，鈍化效果更優(yōu)。

本文介紹南昌高校光伏討論院熱絲CVD裝備國產(chǎn)化的改進(jìn)探究。

HWCVDVs.PECVD

HWCVDVs.PECVD

一次8片；

可實(shí)現(xiàn)in、ip、雙面TCO的不破真空連續(xù)鍍膜

自行設(shè)計(jì)、國內(nèi)公司生產(chǎn)

熱絲加工

新熱絲做的本征非晶硅的鈍化效果明顯優(yōu)于對比熱絲。

a-SiOx:H制備過程中的熱絲氧化問題可通過工藝參數(shù)的調(diào)整解決

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

僅襯底加熱，220℃較優(yōu)！

襯底溫度100℃、275℃熱處理最優(yōu)！

鍍膜+熱處理溫度協(xié)同作用

黑色：熱處理前紅色：熱處理后

適當(dāng)降低基片溫度，鍍膜后熱處理獲得較好少子壽命值。

IN、IP兩面連續(xù)鍍（片子不接觸大氣）

不破：IN、IP連續(xù)鍍膜

破：IN鍍膜后退出真空腔體外，停留40min。

連續(xù)鍍明顯優(yōu)

小結(jié)

熱絲可以在國內(nèi)解決；

IN

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論