傳感器技術(shù)講解課件

第5章電阻式傳感器

電阻式傳感器的基本原理是將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成傳感元件電阻值的變化，再經(jīng)過(guò)轉(zhuǎn)換電路變成電信號(hào)輸出。第一節(jié)應(yīng)變式傳感器目前自動(dòng)測(cè)力或稱重中應(yīng)用最普遍的是應(yīng)變式傳感器，應(yīng)變式傳感器有下列優(yōu)點(diǎn)：1.精確度，線性度好，靈敏度高2.滯后和蠕變都較小，壽命高3.容易與二次儀表相匹配實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)4.結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，體積較小應(yīng)用靈活5.工作穩(wěn)定和保養(yǎng)方便應(yīng)變式傳感器除可用于測(cè)量力參數(shù)外，還可用于測(cè)量加速度，振幅等其他物理量。應(yīng)變式傳感器是利用金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)，將被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電量輸出的一種傳感器。一、工作原理（一）金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)當(dāng)金屬絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值發(fā)生變化。取一根長(zhǎng)度為L(zhǎng)，截面積為S，電阻率為的金屬絲，未受力時(shí)其電阻R為（2-1）當(dāng)電阻絲受到拉力F作用時(shí),將伸長(zhǎng)ΔL,橫截面積相應(yīng)減小ΔS,電阻率將因晶格發(fā)生變形等因素而改變?chǔ)う?故引起電阻值相對(duì)變化量為式中ΔL/L是長(zhǎng)度相對(duì)變化量,用應(yīng)變?chǔ)疟硎睛/S為圓形電阻絲的截面積相對(duì)變化量,即（2-2）（2-3）（2-5）由材料力學(xué)可知,在彈性范圍內(nèi),金屬絲受拉力時(shí),沿軸向伸長(zhǎng),沿徑向縮短,那么軸向應(yīng)變和徑向應(yīng)變的關(guān)系可表示為式中:μ——電阻絲材料的泊松比,負(fù)號(hào)表示應(yīng)變方向相反。（2-5）將式（2-3）,式（2-5）代入式（2-2）,可得或（2-6）（2-7）

通常把單位應(yīng)變能引起的電阻值變化稱為金屬電阻絲的靈敏度系數(shù)。其物理意義是單位應(yīng)變所引起的電阻相對(duì)變化量,其表達(dá)式為（2-8）（2-9）因此靈敏度系數(shù)受兩個(gè)因素影響:

①受力后材料幾何尺寸的變化,即（1+2μ）;②受力后材料的電阻率發(fā)生的變化,即Δρ/ε。用應(yīng)變片測(cè)量時(shí)，將其貼在被測(cè)對(duì)象表面上。當(dāng)被測(cè)對(duì)象受力變形時(shí)，應(yīng)變片的敏感柵也隨同變形，其電阻值發(fā)生相應(yīng)變化，通過(guò)轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化，這是用來(lái)直接測(cè)量應(yīng)變。通過(guò)彈性敏感元件將位移、力、力矩、加速度、壓力等物理量轉(zhuǎn)換為應(yīng)變，則可用應(yīng)變片測(cè)量上述各量，而做成各種應(yīng)變式傳感器。(二)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)及測(cè)量原理

（1）敏感柵感受應(yīng)變，并將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻的變化。敏感柵有絲式、箔式和薄膜式三種。（2）基底絕緣及傳遞應(yīng)變。測(cè)量是應(yīng)變片的基底提高粘結(jié)劑粘在試件上，要求基底準(zhǔn)確地把試件應(yīng)變傳遞給敏感柵。同時(shí)基片絕緣性能要好，否則應(yīng)變片微小電信號(hào)就要漏掉。由紙薄、膠質(zhì)膜等制成。（3）粘結(jié)劑敏感柵與基底、基底與試件、基底與覆蓋層之間的粘結(jié)。（4）覆蓋層保護(hù)作用。防濕、蝕、塵。（5）引線連接電阻絲與測(cè)量電路，輸出電參量。二、應(yīng)變片的類型和材料（一）應(yīng)變片的類型和材料1.金屬絲式應(yīng)變片回線式：橫向效應(yīng)較大短接式：克服橫向效應(yīng)金屬絲式應(yīng)變片材料要求2.金屬箔式應(yīng)變變片箔式應(yīng)變片是在絕緣基底上，，將厚度為0.003～0.01mm電阻箔材，利用照相制版或光光刻技術(shù)，制成各各種需要的形狀。。優(yōu)點(diǎn)：①可制成多種復(fù)雜雜形狀尺寸準(zhǔn)確的的敏感柵；②與被被測(cè)件粘結(jié)面積大大；②散熱條件好好，允許電流大，，提高了輸出靈敏敏度；④橫向效應(yīng)應(yīng)小；⑥蠕變和機(jī)機(jī)械滯后小，壽命命長(zhǎng)。缺點(diǎn)：電阻值的分分散性大3.金屬薄膜應(yīng)變變片采用真空蒸發(fā)或真真空沉積等方法在在薄的絕緣基片上上形成厚度在0.1微米以下的金金屬電阻材料薄膜膜的敏感柵，最后后再加上保護(hù)層。。優(yōu)點(diǎn)：應(yīng)變靈敏系數(shù)大，，允許電流密度大大。存在問(wèn)題：溫度穩(wěn)定性差(二)應(yīng)變片的粘粘貼應(yīng)變片是用粘合劑劑粘貼到被測(cè)件上上的。粘合劑形成成的膠層必須準(zhǔn)確確迅速地將披測(cè)件件應(yīng)變傳進(jìn)到敏感感柵上。粘合劑的的性能及粘貼工藝藝的質(zhì)量直接影響響著應(yīng)變片的工作作特性，如零漂、、蠕變、滯后、靈靈敏系數(shù)，線性以以及它們受溫度變變化影響的程度。。對(duì)粘合劑和粘貼工工藝有嚴(yán)格要求三、金屬應(yīng)變片的的主要特性(一)靈敏系數(shù)靈敏系數(shù)由實(shí)驗(yàn)確定。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，實(shí)際應(yīng)變片的K值值比單絲的K值要要小，造成此現(xiàn)象原因是是橫向效應(yīng)。還有粘結(jié)層傳遞變形失失真。(二)橫向效應(yīng)將直的電阻絲繞成成敏感柵之后，雖然長(zhǎng)度相相同，但應(yīng)變狀態(tài)不同，其其靈敏系數(shù)降低了。這種現(xiàn)現(xiàn)象稱橫向效應(yīng)。1、定性分析當(dāng)將應(yīng)變片粘貼在在被測(cè)試件上時(shí),由于其敏感柵柵是由n條長(zhǎng)度為為l1的直線段和（n-1）個(gè)半徑為r的半圓組成,若若該應(yīng)變片承受受軸向應(yīng)力而產(chǎn)生生縱向拉應(yīng)變?chǔ)舩時(shí),則各直線線段的電阻將增加加,但在半圓弧弧段則受到從+εεx到-μεx之之間變化的應(yīng)變。?？偟淖饔媒Y(jié)果：將將直的電阻絲繞成成敏感柵后,雖雖然長(zhǎng)度不變,應(yīng)應(yīng)變狀態(tài)相同,但圓弧段橫向向收縮引起阻值減減小量對(duì)軸向伸引引起阻值增加量起起著抵消作用。因因而同樣應(yīng)變阻阻值變化減小，K值減小，此現(xiàn)象象為橫向效應(yīng)。2.定量分析應(yīng)變片置于二維應(yīng)應(yīng)力場(chǎng)，即有，，又有。。橫向效應(yīng)在圓弧段段產(chǎn)生，消除圓弧弧段即可消除橫向向效應(yīng)。為了減小橫向效應(yīng)應(yīng)產(chǎn)生的測(cè)量誤差差，現(xiàn)在一般多采采用箔式應(yīng)變片，，其圓弧部分尺寸寸較柵絲尺寸大得得多，電阻值較小小，因而電阻變化化量也就小得多。。(三)機(jī)械滯后、、零漂和蠕變加載和卸裁特性曲曲線之間的最大差差值稱為應(yīng)變片的的滯后值。粘貼在試件件上的應(yīng)變變片，在溫溫度保持恒恒定沒(méi)有機(jī)機(jī)械應(yīng)變的的情況下，，電阻值隨隨時(shí)問(wèn)變化化的特性稱稱為應(yīng)變片片的零漂。。粘貼在試件件上的應(yīng)變變片，溫度度保持恒定定，在承受受某一恒定定的機(jī)械應(yīng)應(yīng)變，其電電電阻值隨隨時(shí)間變化化而變化的的特性稱為為應(yīng)變片的的蠕變。一一般來(lái)說(shuō)，，蠕變的方方向與原應(yīng)應(yīng)變量變化化的方向相相反。(四)應(yīng)應(yīng)變極限限和疲勞勞壽命應(yīng)選用抗剪強(qiáng)強(qiáng)度較高的粘粘結(jié)劑和基底底材料，基底底和粘結(jié)劑的的厚度不宜太太大，并經(jīng)適適當(dāng)?shù)墓袒幪幚?。?duì)于已安裝的的應(yīng)變片，在在恒定幅值的的交變力作用用下，可以連連續(xù)工作而不不產(chǎn)生疲勞損損壞的循環(huán)次次數(shù)稱為應(yīng)變變片的疲勞壽壽命。（五）最大工工作電流和絕絕緣電阻絕緣電阻是指指應(yīng)變片的引引線與被測(cè)件件之間的電阻阻值。最大工作電流流是指允許通通過(guò)應(yīng)變片而而不影響其工工作特性的最最大電流。工作電流大，，應(yīng)變片輸出出信號(hào)大，靈靈敏度高，但但過(guò)大的電流流會(huì)把應(yīng)變片片燒毀。（六）應(yīng)變片片的電阻值電阻值大可加加大應(yīng)變片承承受電壓，因因此輸出信號(hào)號(hào)大，但敏感感柵尺寸也增增大。(六)動(dòng)態(tài)響響應(yīng)特性電阻應(yīng)交片在在測(cè)量頻率較較高的動(dòng)態(tài)應(yīng)應(yīng)變時(shí)，應(yīng)考考慮其動(dòng)態(tài)特特性。動(dòng)態(tài)應(yīng)應(yīng)變是以應(yīng)變變波的形式在在試件中傳播播的，它的傳傳播速度與聲聲波相同。電路的作用：：將電阻的變化化量轉(zhuǎn)換為電電壓輸出。通常采用直流流電橋和交流流電橋。一、直流電電橋1.直流電電橋工作原理四、轉(zhuǎn)換電路路直流電橋電路路如圖所示，，它的四個(gè)橋橋臂由電阻組成AC端接直流流電壓UBD端輸出電電壓一般情況橋路路應(yīng)接成等臂臂電橋,輸出出為零。這樣無(wú)論哪個(gè)個(gè)橋臂上受到到外來(lái)信號(hào)作作用后，橋路路都將失去平平衡，就會(huì)有有信號(hào)輸出。。電橋輸出端接接入輸入阻抗抗很高的指示示儀表或放大大器時(shí)，可認(rèn)為電橋負(fù)載載為無(wú)窮大，電電橋輸出端相當(dāng)當(dāng)于開(kāi)路，只能能輸出電壓信號(hào)號(hào)，稱為電壓輸輸出。此時(shí)，橋橋路的電流為：：AB之間和CD之間的電位差差分別為：空載輸出當(dāng)電橋平衡時(shí),Uo=0,則有R1R4=R2R3或電橋平衡條件：相鄰兩臂電阻阻的比值應(yīng)相等等,或相對(duì)兩兩臂電阻的乘積積相等。電橋接入的是電電阻應(yīng)變片時(shí)，，即為應(yīng)變橋。。當(dāng)一個(gè)橋臂、、兩個(gè)橋臂乃至至四個(gè)橋臂接入入應(yīng)變片時(shí)，相相應(yīng)的電橋?yàn)閱螁伪蹣颉霕蚝秃腿蹣颉?．不平衡直流流電橋的工作原原理及電壓靈敏敏度當(dāng)電橋后面接放放大器時(shí)，放大大器的輸入阻抗抗很高，比電橋橋輸出電阻大很很多，可把電橋橋輸出端看成開(kāi)開(kāi)路。R1為電阻應(yīng)變片，，RL→∞。設(shè)橋臂比n=R2/R1,分母中ΔΔR1/R1可忽略。由電橋平衡條件件R2/R1=R4/R3。電橋電壓靈敏度度定義為提高靈敏度的措措施①提高供電電電源的電壓U（（在功耗允許的的范圍內(nèi)）②n=1R1=R2=R3=R4由dKU/dn=0求KU的最大值,得得n=1時(shí),KU為最大值。當(dāng)R1=R2=R3=R4時(shí),電橋電壓壓靈敏度最高,此時(shí)有得出單臂電橋電電橋輸出為直流電橋的優(yōu)點(diǎn)點(diǎn)：高穩(wěn)定度直流電電源易于獲得，，電橋調(diào)節(jié)平衡衡電路簡(jiǎn)單，傳傳感器及測(cè)量電電路分布參數(shù)影影響小等。（二）電橋的非非線性誤差單臂橋?qū)嶋H輸出出為：非線性誤差為對(duì)于對(duì)稱電橋，，n=1（1）采用差動(dòng)動(dòng)電橋減小非線線性誤差試件上安裝兩個(gè)個(gè)應(yīng)變片，R1受拉，R2受壓。接入電橋橋相鄰橋臂,則則電橋輸出電電壓為對(duì)于一般應(yīng)變片片來(lái)說(shuō),所受受應(yīng)變?chǔ)磐ǔＴ谠?×10-3以下,若取取KU=2,則ΔR1/R1=KUε=0.01,代代入式（3-38））計(jì)算得非線性性誤差為0.5%;若KU=130,εε=1×１0-3時(shí),ΔR1/R1=0.130,則得到非非線性誤差為6%,故當(dāng)非非線性誤差不能能滿足測(cè)量要求求時(shí),必須予予以消除。如果ΔR1=ΔR2,R1=R2,R3=R4,則得得結(jié)論：差動(dòng)電橋消除除了非線性誤差差，靈敏度比單單臂電橋提高了了一倍。且具有有溫度補(bǔ)償作用用。全橋差動(dòng)電路：：R1R4受拉應(yīng)變,R2R3兩個(gè)受壓應(yīng)變,將兩個(gè)應(yīng)變符號(hào)號(hào)相同的接入相相對(duì)橋臂上結(jié)論：全橋電路電壓靈靈敏度為單臂橋橋的4倍，消除除了非線性誤差差，且具有溫度度補(bǔ)償作用。若ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4,且R1=R2=R3=R4,則(2)采用恒流流源電橋減小非非線性誤差(二)交流電橋橋當(dāng)被測(cè)量為動(dòng)態(tài)態(tài)量時(shí)，應(yīng)變電電橋采用交流電電橋。由于供橋電源為為交流電源,引引線分布電容容使得二橋臂應(yīng)應(yīng)變片呈現(xiàn)復(fù)阻阻抗特性,相相當(dāng)于二只應(yīng)變變片各并聯(lián)了一一個(gè)電容,則則每一橋臂上復(fù)復(fù)阻抗分別為要滿足電橋平衡衡條件,即U0=0,則有Z1Z4=Z2Z3將Z1、Z4、Z2、Z3值代入得整理上式得交流電橋的平衡衡條件為結(jié)論：交流電橋除除了要滿足電阻阻平衡條件外,還必須滿足足電容平衡條件件。為此在橋路路上除設(shè)有電阻阻平衡調(diào)節(jié)外還還設(shè)有電容平衡衡調(diào)節(jié)。當(dāng)被測(cè)應(yīng)力變化引引起Z1=Z0+ΔZ,Z2=Z0ΔZ變化時(shí),則則電橋輸出為：交流電橋平衡調(diào)節(jié)節(jié)五、溫度誤差及其其補(bǔ)償(一)溫度誤差：：由于測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)環(huán)環(huán)境溫度的改變而而給測(cè)量帶來(lái)的附附加誤差,稱為為應(yīng)變片的溫度誤誤差。①環(huán)境溫度變化時(shí)時(shí)，敏感柵電阻隨隨溫度的變化引起起的誤差。敏感柵的電阻絲阻阻值隨溫度變化的的關(guān)系可用下式表表示式中:αt——金屬絲的電阻阻溫度系數(shù);Δt—溫度變化值,Δt＝t－－t0。當(dāng)溫度變化Δt時(shí)時(shí)②環(huán)境溫度變化時(shí)時(shí)，試件材料的線線膨脹引起的誤差差——應(yīng)變片靈敏系系數(shù)——試件膨脹系數(shù)數(shù)——應(yīng)變片敏感柵柵材料的膨脹系數(shù)數(shù)因此，由于溫度變變化形成總的電阻阻相對(duì)變化為(二)溫度補(bǔ)償通常補(bǔ)償溫度誤差差的方法有的自償償法和線路補(bǔ)償法法1．自補(bǔ)償法(1)單絲自補(bǔ)償償法：用熱處理的的方法調(diào)整柵絲的的溫度系數(shù)要實(shí)現(xiàn)溫度自補(bǔ)償償,必須有電阻絲材料與被測(cè)測(cè)材料配合恰當(dāng)，，基本滿足上式。。(2)組合式補(bǔ)償償償法應(yīng)變片敏感柵絲由由兩種不同溫度系數(shù)的金屬絲絲串接組成。組合式補(bǔ)償應(yīng)變片片的另一種形式：二種串接的電阻阻絲具有相同符號(hào)號(hào)的溫度系數(shù)，滿滿足以下條件由此可求得2.線路補(bǔ)償法①常用的最好的補(bǔ)補(bǔ)償方法是電橋補(bǔ)補(bǔ)償法。補(bǔ)償原理：橋路相相臨兩臂增加相同同電阻，對(duì)電橋輸輸出無(wú)影響。電橋橋輸出電壓Uo與與橋臂參數(shù)的關(guān)系系為Uo=A（（R1R4－RBR3)式中:A——由由橋臂電阻阻和電源電電壓決定的的常數(shù)。R1—工作應(yīng)變變片；RB—補(bǔ)償應(yīng)變變片溫度補(bǔ)償條條件：①R3=R4。②R1與RB為特性一致致的應(yīng)變片片。R1為工作應(yīng)變變片，RB為補(bǔ)償應(yīng)變變片它們處處于同一溫溫度場(chǎng)，且且僅工作應(yīng)應(yīng)變片R1承受應(yīng)變。。補(bǔ)償過(guò)程：：當(dāng)溫度升高高或降低ΔΔt=t－t0時(shí),工作應(yīng)變片片由R1變?yōu)镽1+ΔR1t，補(bǔ)償應(yīng)變片片由RB變?yōu)镽B+ΔRBt。且ΔR1t=ΔRBt。此時(shí)電橋輸輸出為Uo=A［（（R1+ΔR1t）R4－(RB+ΔRBt)R3］=0若此此時(shí)被測(cè)測(cè)試件有有應(yīng)變?chǔ)纽诺淖饔糜?則則工作應(yīng)應(yīng)變片電電阻R1又有新的的增量ΔΔR1=R1Kε,而而補(bǔ)償償片因不不承受應(yīng)應(yīng)變,故故不產(chǎn)產(chǎn)生新的的增量,此時(shí)時(shí)電橋輸輸出電壓壓為Uo=AR1R4KεUo與ε成單單值函數(shù)數(shù)關(guān)系。。②差動(dòng)電電橋補(bǔ)償償法測(cè)量梁的的彎曲應(yīng)應(yīng)變時(shí)，，將兩個(gè)個(gè)應(yīng)變片片分貼于于上下兩面對(duì)稱稱位置，，特特性相相同，所以二電電阻變化化值相同同而符號(hào)號(hào)相反。但按按圖圖接入電電橋，因因而電橋橋輸出電電壓比單單片時(shí)增增加1倍倍。當(dāng)梁上下下面溫度度一致時(shí)時(shí)，可可起溫度度補(bǔ)償作作用。③熱敏電電阻補(bǔ)償償法熱敏電阻阻Rt與與應(yīng)交片片處在相相同的溫溫度下，，當(dāng)應(yīng)變變片的靈靈敏度隨隨溫度升升高而下下降時(shí)，，熱敏電電阻的阻阻值下降降，使電電橋的輸輸入電壓壓隨溫度升高高而增加加，從而而提高電電橋的輸輸出電壓壓。選則則分流電電阻的值可以以使應(yīng)變變片靈敏敏度下降降對(duì)電橋輸出出的影響響得到很很好的補(bǔ)補(bǔ)償。六、應(yīng)變變式傳感感器舉例例（一）應(yīng)變變式力傳傳感器1.柱柱（筒筒）式力力傳感器器圖所示示為柱式式、筒式式力傳感感器,貼貼片在在圓柱面面上的位位置及在在橋路中中的連接接如圖（（c））、（d）所示示。縱縱向和橫橫向各貼貼四片應(yīng)應(yīng)變片，，縱向?qū)?duì)稱的R1和R3串接,R2和R4串接,橫橫向的的R5和R7串接,R6和R8串接,并并置于橋橋路對(duì)臂臂上以減減小偏心心載荷及及彎矩的的影響,橫向向貼片作作溫度補(bǔ)補(bǔ)償用。。橋路輸出出電壓2.薄薄壁圓圓環(huán)式力力傳感器器所示為環(huán)環(huán)式力傳傳感器結(jié)結(jié)構(gòu)圖及及應(yīng)力分分布圖。。A處應(yīng)應(yīng)力為負(fù)負(fù)，B處處為正。。對(duì)R/h>5的小曲曲率圓環(huán)環(huán),A、、B兩兩點(diǎn)處的的應(yīng)變?yōu)闉閔——圓環(huán)厚厚度;b——圓環(huán)寬寬度;E——材料彈彈性模量。若A處內(nèi)外環(huán)環(huán)對(duì)稱貼兩片片應(yīng)變片，B處受拉或壓壓應(yīng)力將應(yīng)變變片接于電橋橋電路。輸出電壓為3．梁式力傳傳感器4．輪輻式力力傳感器（二）應(yīng)應(yīng)變式壓力傳傳感器1.膜片式壓力傳傳感器,應(yīng)變片貼貼在膜片內(nèi)壁壁,在壓力力p作用下,距離圓心心x處膜片產(chǎn)產(chǎn)生徑向應(yīng)變變?chǔ)舝和切向應(yīng)變?chǔ)纽舤,表達(dá)式分別為為:p——膜片上上均勻分布的的壓力;R,h———膜片的半徑徑和厚度;x——離圓心心的徑向距離離。膜片彈性元件件承受壓力p時(shí),其應(yīng)應(yīng)變變化曲線線的特點(diǎn)為:在平膜片圓心心處切向粘貼貼R1、R4兩個(gè)應(yīng)變片,在邊緣處處沿徑向粘貼貼R2、R3兩個(gè)應(yīng)變片,然后接成成全橋測(cè)量電電路。輸出電電壓為：2．筒式壓力力傳感器3．組合式壓壓力傳感器（三）應(yīng)應(yīng)變式加速度度傳感器測(cè)量時(shí),將將傳感器殼體體與被測(cè)對(duì)象象剛性連接。。應(yīng)變片加速度度傳感器不適適用于頻率較較高的振動(dòng)和和沖擊,一一般適用頻率率為10～60Hz范圍圍。第二節(jié)壓壓阻式傳感器器壓阻效應(yīng)：固固體受到作用用力后，電阻阻率就要發(fā)生生變化，這種種現(xiàn)象叫壓阻阻效應(yīng)。半導(dǎo)導(dǎo)體材料的壓壓阻效應(yīng)特別別強(qiáng)。半導(dǎo)體壓阻式式傳感器的分分類：①粘貼式應(yīng)變變片②擴(kuò)散硅型壓壓阻傳感器特點(diǎn)：靈敏系系數(shù)大，分辨辨率高，頻率率影響高，體體積小。主要要用于測(cè)量壓壓力、加速度度和載荷等一、半導(dǎo)體應(yīng)應(yīng)變片結(jié)構(gòu)及及工作原理1、半導(dǎo)體應(yīng)應(yīng)變片的制作作與結(jié)構(gòu)制作材料用單單晶硅、鍺。。P型單晶硅硅結(jié)構(gòu)如圖。。在直角坐標(biāo)標(biāo)系中它有許許多晶軸方向向，實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)現(xiàn)沿不同晶軸軸方向壓阻系系數(shù)相差很大大（電阻率變變化相差很大大）。2、工作原理理壓阻效應(yīng)：半半導(dǎo)體沿某一一軸向受到應(yīng)應(yīng)力而產(chǎn)生應(yīng)應(yīng)變時(shí)，其電電阻率發(fā)生變變化，此現(xiàn)象象為壓阻效應(yīng)應(yīng)。一、基本工作作原理半導(dǎo)體電阻率率的變化為：：半導(dǎo)體電阻材材料有結(jié)晶的的硅和鍺，摻摻入雜質(zhì)形成成P型和N型型半導(dǎo)體。當(dāng)當(dāng)硅膜比較薄薄時(shí)，在應(yīng)力力作用下的電電阻相對(duì)變化化為：二、溫度誤差差及其補(bǔ)償壓阻式傳感器器受到溫度影影響后，要產(chǎn)產(chǎn)生零位漂移移和靈敏度漂移，因而會(huì)會(huì)產(chǎn)生溫度誤誤差。傳感器靈敏度度的溫漂是由由于壓阻系數(shù)數(shù)隨溫度變化化而引起的。。當(dāng)溫度升高高時(shí)，壓阻系系數(shù)變小，傳傳感器的靈敏