輝光離子氮化爐

輝光離子氮化爐(glowplasmanitridingfurnace)一、概述離子氮化是在13.3-1333Pa的真空容器中使含氮稀薄氣體在直流電場(chǎng)中電離，正離子轟擊金屬零件表面形成氮化層，正離子轟擊金屬零件表面形成氮化層，以達(dá)到表面硬化的方法。離子氮化對(duì)于球墨鑄鐵，合金鋼，不銹鋼，粉末冶金制品，鈦合金，高速鋼，工具鋼等均有顯著氮化效果。二、設(shè)備的組成離子氮化爐由爐體，輸電裝置，真空獲得系統(tǒng)，供電系統(tǒng)，供氣系統(tǒng)，溫度測(cè)量五部分組成。1、爐體由爐蓋、筒體、爐底盤和底架組成，其中爐蓋、筒體、爐底盤夾層通冷卻水，爐內(nèi)設(shè)有不銹綱，滲鋁板雙層隔熱屏，（ LD-25）型只有不銹綱一層，爐體上設(shè)有雙層鋼化玻璃觀察窗，以供離子氮化過程中觀察爐內(nèi)情況之用。2、爐底設(shè)有堆放陰極一個(gè)，堆放陰極與陰極支承上安放著工作盤，工作盤，工件可直接放在此盤上。3、爐體的真空獲得系統(tǒng)一般由兩臺(tái)旋片式真空泵及串有碟閥的管道系統(tǒng)組成， 碟閥的作用是通過關(guān)閉或旋轉(zhuǎn)不同的角度調(diào)度調(diào)節(jié)抽氣量以維持不同進(jìn)行氣量條件下的爐內(nèi)壓強(qiáng)。真空度的測(cè)量用配套 ZDZ-4型電阻真空計(jì)，從表頭可直接讀出真空值。4、爐體的供氣管進(jìn)口設(shè)在爐殼筒體上，流量計(jì)采用 701HB型氫定標(biāo)，氮定標(biāo)的轉(zhuǎn)子流量計(jì)各 1只，以便通氮?dú)浠旌蠚?，單用氫流量?jì)通氨氣時(shí)，其讀數(shù)按下列式修正：Q=KQ標(biāo)Q標(biāo) 轉(zhuǎn)子流量計(jì)出廠時(shí)的所標(biāo)定的刻度值；K 修正系數(shù)，由緩沖罐壓力確定如下表 ；緩沖罐壓 K力Kg/cm2L1.0 0.50.4 0.45、熱電偶經(jīng)陰極插入爐內(nèi)，進(jìn)行模擬測(cè)量，由控溫儀表記錄溫度。進(jìn)行 P、I、D控溫。三、主要技術(shù)參數(shù)項(xiàng)目單位25A50A100A真空室容積0.716極限真空度Pa6.67壓升率Pa/min0.133所配真空泵臺(tái)2x-82x-152x-152x-152x-152x-30有效工作室尺寸cmΦ65×75Φ85×90Φ110×120最大加熱面積cm21.25×1042.5×1045×104裝爐量t0.81.22最高工作溫度℃650650650外形尺寸mmΦ1240×2000Φ1557×2350Φ1875×2800冷卻水耗量（平均m30.70.80.9值）出水口溫度℃<55<55<55爐體總重t1.62.733.55四、使用條件、室內(nèi)使用，地面平整，通風(fēng)良好，環(huán)境整潔（從而保證向爐殼沖氣后爐內(nèi)清潔）。2、環(huán)境溫度在 +5~40℃，倘若環(huán)境溫度低于 +5℃，需給真空泵周圍加熱。3、環(huán)境相對(duì)濕度不大于 85%。、周圍無明顯震動(dòng)及高頻設(shè)備。、周圍無導(dǎo)電塵埃，無爆炸性氣體，無腐蝕金屬和絕緣的氣體。6、海拔不超過 1000米。、自備進(jìn)水，出水管。、自備供氣氣源及氣管。五、安裝1、熟讀本設(shè)備及真空儀表、控溫儀表、真空泵的安裝使用說明書，熟悉有關(guān)安裝圖紙資料。2、檢查設(shè)備成套情況及附件是否齊全。、爐體安裝后，方能打開防氣閥，吊開鐘罩，清理干凈后，按圖紙裝配陰極輸電裝置和陰極盤支承，然后將鐘罩蓋好，預(yù)備抽真空。、拆去真空泵的皮帶，接線試電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)方向，使之與真空泵護(hù)罩上標(biāo)志的方向相同，然后將真空泵與爐體通過掛管道連接好。5、把真空規(guī)管通過橡膠管插入爐底盤下，并按 ZDZ-4型電阻真空計(jì)使用說明書接好規(guī)管連接線（連接線加長會(huì)影響讀數(shù)的準(zhǔn)確性）。6、按進(jìn)水、出水的標(biāo)志，接好供水、排水的管路，爐體爐蓋和爐底應(yīng)單獨(dú)供水和出水。7、爐體本身是陽極，必須按標(biāo)志可靠接地，單獨(dú)埋設(shè)地線，其接地電阻不得大于 4歐姆，不得以接零代替接地。鐘罩與底盤須用導(dǎo)線相連。8、氨氣進(jìn)嘴設(shè)在爐體上，有堵頭，待測(cè)試過極限真空度和漏氣率后方可取走堵頭安裝進(jìn)氣管路。供氣流程：氨氣瓶— >減壓閥—>熱分解爐—>流量計(jì)—>爐底內(nèi)、爐體安裝應(yīng)用水平儀找平，不得晃動(dòng)及傾斜。六、調(diào)整與測(cè)試1、絕緣電阻的測(cè)量：爐內(nèi)充入大氣，在非真空，空爐條件下用 2500兆歐表測(cè)量絕緣電阻，陰極對(duì)陽極（對(duì)地），陰極對(duì)熱電偶絲均應(yīng)不小于4兆歐，測(cè)量時(shí)必須斷開陰極，陰極及熱電偶與電器柜的連線，否則要損壞元件及儀表。2、抽氣速度的測(cè)試打開 ZDZ-4電阻真空計(jì)的開關(guān)，啟動(dòng)真空泵先進(jìn)行 1~2分鐘后打開碟閥，抽真空達(dá)到 6.67Pa為止。3、要經(jīng)過幾次 反復(fù)抽氣后，測(cè)試壓升率，待爐內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定在 6.67Pa時(shí)關(guān)閉碟閥，60分鐘后測(cè)得壓強(qiáng) Pt，計(jì)算壓升率。-2Pt-5×10△P=

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≤0.133Pa/mint式中：（t）—分鐘（min）

（Pt）—TOYY附：

Pa與TOYY的換算：

1TOYY=133.322Pa4、啟動(dòng)真空泵抽氣至極限真空度，

向爐內(nèi)供氣，調(diào)整氣氛流量和碟閥使?fàn)t內(nèi)壓強(qiáng)穩(wěn)定在所需要的范圍。5、按使用說明書的說明進(jìn)行操作，對(duì)工作盤進(jìn)行起輝。6、關(guān)閉碟閥，停閥。經(jīng)過清理，可以在500℃左右保溫1小時(shí)，使工作盤工作穩(wěn)定。停止供電，停止供氣，降溫到200℃以下后停止冷卻水，以待裝爐正式生產(chǎn)使用。七、使用注意事項(xiàng)、工作中嚴(yán)禁觸摸陰極，以免觸電。、開爐過程中，如發(fā)現(xiàn)連續(xù)在固定點(diǎn)出現(xiàn)弧光時(shí)，需停爐檢查零件質(zhì)量或是否有其它原因，切勿勉強(qiáng)工作。、緩沖罐內(nèi)壓力<1Kg/cm2。八、維護(hù)、保護(hù)與檢修1、真空室必須保持清潔、干燥，不使用時(shí)應(yīng)保持真空狀態(tài)，冬季停爐或長期不使