MEMS慣性傳感器行業(yè)分析及發(fā)展規(guī)劃報(bào)告

MEMS慣性傳感器行業(yè)分析及發(fā)展規(guī)劃報(bào)告

建立健全電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展協(xié)調(diào)機(jī)制，加強(qiáng)協(xié)同配合和統(tǒng)籌推進(jìn)，積極推動(dòng)解決產(chǎn)業(yè)發(fā)展中重大事項(xiàng)和重點(diǎn)工作。加強(qiáng)央地合作，指導(dǎo)各地統(tǒng)籌規(guī)劃基礎(chǔ)電子元器件重點(diǎn)項(xiàng)目布局，適時(shí)推進(jìn)主體集中和區(qū)域集聚。做好重點(diǎn)領(lǐng)域監(jiān)測分析和跟蹤研究，加強(qiáng)與現(xiàn)行相關(guān)政策銜接，有序推進(jìn)各項(xiàng)行動(dòng)。加強(qiáng)關(guān)鍵核心技術(shù)和基礎(chǔ)共性技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)研制，持續(xù)提升標(biāo)準(zhǔn)的供給質(zhì)量和水平。引導(dǎo)社會(huì)團(tuán)體加快制定發(fā)布具有創(chuàng)新性和國際性的團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)。鼓勵(lì)企事業(yè)單位和專家積極參與國際標(biāo)準(zhǔn)化活動(dòng)，開展國際標(biāo)準(zhǔn)制定。加強(qiáng)公共平臺(tái)建設(shè)（一）建設(shè)分析評價(jià)公共平臺(tái)支持有能力、有資質(zhì)的企事業(yè)單位建設(shè)國家級電子元器件分析評價(jià)公共服務(wù)平臺(tái)，加強(qiáng)質(zhì)量品質(zhì)和技術(shù)等級分類標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)，圍繞電子元器件各領(lǐng)域開展產(chǎn)品檢測分析、評級、可靠性、應(yīng)用驗(yàn)證等服務(wù)，為電子系統(tǒng)整機(jī)設(shè)計(jì)、物料選型提供依據(jù)。（二）建設(shè)科技服務(wù)平臺(tái)支持地方、園區(qū)、企事業(yè)單位建設(shè)一批公共服務(wù)平臺(tái)，開展知識(shí)產(chǎn)權(quán)培訓(xùn)與交易、科技成果評價(jià)、市場戰(zhàn)略研究等服務(wù)。鼓勵(lì)建設(shè)專用電子元器件生產(chǎn)線，為MEMS傳感器、濾波器、光通信模塊驅(qū)動(dòng)芯片等提供流片服務(wù)。建設(shè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)孵化平臺(tái)。支持電子元器件領(lǐng)域眾創(chuàng)、眾包、眾扶、眾籌等創(chuàng)業(yè)支撐平臺(tái)建設(shè)，推動(dòng)建立一批基礎(chǔ)電子元器件產(chǎn)業(yè)生態(tài)孵化器、加速器，鼓勵(lì)為初創(chuàng)企業(yè)提供資金、技術(shù)、市場應(yīng)用及推廣等扶持。MEMS產(chǎn)品在不同下游應(yīng)用領(lǐng)域的市場空間國外市場方面，根據(jù)Yole報(bào)告的統(tǒng)計(jì)，預(yù)計(jì)未來全球高可靠領(lǐng)域MEMS產(chǎn)品的市場空間較大。國內(nèi)市場方面，基于MEMS的慣性測量單元可大幅降低設(shè)備成本，并能在各種惡劣環(huán)境中穩(wěn)定工作滿足可靠性要求，取代原本成本高昂、體積較大的其他慣性器件。MEMS產(chǎn)品用于高可靠領(lǐng)域的核心壁壘為需要根據(jù)產(chǎn)品最終應(yīng)用領(lǐng)域設(shè)計(jì)、生產(chǎn)出對應(yīng)性能的產(chǎn)品；例如平臺(tái)穩(wěn)定需要超低噪聲和高帶寬處理技術(shù)做支撐；復(fù)雜環(huán)境導(dǎo)航需要抗高過載和溫度補(bǔ)償技術(shù)做支撐等。因此，行業(yè)內(nèi)企業(yè)能否全面掌握以上技術(shù)以滿足客戶不同的要求成為其MEMS產(chǎn)品進(jìn)入此領(lǐng)域的核心壁壘；此外，MEMS產(chǎn)品用于此領(lǐng)域的另一個(gè)核心壁壘主要為是否可在保證MEMS慣性傳感器高性能的同時(shí)，從系統(tǒng)級角度保證產(chǎn)品工程化、可測性及環(huán)境適應(yīng)性。此外，MEMS產(chǎn)品在高端工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用較廣，市場較大。根據(jù)Yole發(fā)布的StatusofMEMSIndustry2022，2021年全球高端工業(yè)領(lǐng)域中MEMS產(chǎn)品的市場規(guī)模為22．34億美元，預(yù)計(jì)到2027年全球高端工業(yè)領(lǐng)域中MEMS產(chǎn)品的市場規(guī)模將達(dá)33．40億美元，2021-2027年復(fù)合增長率為7．00%。國際競爭格局方面，MEMS產(chǎn)品主要用于高端工業(yè)領(lǐng)域的資源勘探、壓力傳感等多個(gè)領(lǐng)域，應(yīng)用場景相對分散，世界知名機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品在高端工業(yè)領(lǐng)域具有相對優(yōu)勢。MEMS產(chǎn)品用于高端工業(yè)領(lǐng)域的核心壁壘在于產(chǎn)品在復(fù)雜、多變的環(huán)境中持續(xù)保持高精度感知和傳遞外部環(huán)境變化，其中，MEMS產(chǎn)品長時(shí)間在高溫及高振動(dòng)的外部環(huán)節(jié)中保持有效工作成為衡量行業(yè)內(nèi)企業(yè)技術(shù)先進(jìn)性的重要依據(jù)，已成為MEMS產(chǎn)品進(jìn)入高端工業(yè)領(lǐng)域的核心壁壘。同時(shí)，MEMS產(chǎn)品在無人系統(tǒng)領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用場景及廣闊的市場空間。根據(jù)Yole發(fā)布的StatusofMEMSIndustry2022和High-EndInertialSensing2022，2021年全球無人系統(tǒng)領(lǐng)域中MEMS產(chǎn)品的市場規(guī)模為40．26億美元，預(yù)計(jì)到2027年全球無人系統(tǒng)領(lǐng)域中MEMS產(chǎn)品的市場規(guī)模將達(dá)64．21億美元，2021-2027年復(fù)合增長率為8．09%。MEMS產(chǎn)品主要用于無人系統(tǒng)領(lǐng)域的無人機(jī)、無人駕駛車輛等領(lǐng)域，其中，無人駕駛市場份額在市場規(guī)模正逐漸占據(jù)愈發(fā)重要的地位，行業(yè)內(nèi)的廠商正積極布局此類市場以獲取更強(qiáng)的市場競爭地位。行業(yè)格局方面，從全球來看，得益于相關(guān)研究起步較早，以及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展成熟，無人系統(tǒng)市場中的MEMS產(chǎn)品市場份額基本被國際知名企業(yè)瓜分。我國以深迪半導(dǎo)體、矽?？萍?、芯動(dòng)聯(lián)科為代表的國內(nèi)廠商相繼推出無人系統(tǒng)領(lǐng)域產(chǎn)品，但在中高端產(chǎn)品線上差距明顯。MEMS產(chǎn)品用于無人系統(tǒng)領(lǐng)域的核心壁壘主要為MEMS傳感器與其他無人系統(tǒng)技術(shù)的有機(jī)融合，即在保證無人系統(tǒng)高性能、低成本的前提下，減少對通信損耗、提高響應(yīng)速度，最終達(dá)到降低成本、提升整體效率的目的。MEMS慣性傳感器細(xì)分行業(yè)發(fā)展情況及市場規(guī)模（一）MEMS陀螺儀的發(fā)展情況1、陀螺儀的發(fā)展歷史最早的陀螺儀基于牛頓經(jīng)典力學(xué)原理，利用高速旋轉(zhuǎn)的陀螺轉(zhuǎn)子來測量計(jì)算運(yùn)動(dòng)載體的旋轉(zhuǎn)角速率。經(jīng)歷一百多年的漫長發(fā)展，人們又研制出了多種基于不同測量原理具有不同測量精度的陀螺儀。按不同測量原理和發(fā)明先后，慣性技術(shù)發(fā)展通常分為四代，MEMS陀螺儀是第三代陀螺儀的代表。第一代，基于牛頓經(jīng)典力學(xué)原理。典型代表為靜電陀螺以及動(dòng)力調(diào)諧陀螺，其特點(diǎn)是種類多、精度高、體積質(zhì)量大、系統(tǒng)組成結(jié)構(gòu)復(fù)雜、性能受機(jī)械結(jié)構(gòu)復(fù)雜性和極限精度制約、產(chǎn)品制造維護(hù)成本昂貴。第二代，基于薩格奈克效應(yīng)。典型代表是激光陀螺和光纖陀螺，其特點(diǎn)是反應(yīng)時(shí)間短、動(dòng)態(tài)范圍大、可靠性高、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、易維護(hù)、壽命長。光學(xué)陀螺技術(shù)較為成熟，精度高，隨著產(chǎn)品迭代，光學(xué)陀螺及其系統(tǒng)應(yīng)用從戰(zhàn)術(shù)級應(yīng)用逐步拓展到導(dǎo)航級應(yīng)用，在陸、海、空、天等多個(gè)領(lǐng)域中得到批量應(yīng)用，但由于其成本高、體積大，應(yīng)用領(lǐng)域受到一定限制。第三代，基于哥氏振動(dòng)效應(yīng)和微納加工技術(shù)。典型代表是半球諧振陀螺和MEMS陀螺。半球諧振陀螺是哥式振動(dòng)陀螺儀中的一種高精度陀螺儀，正逐步在空間、航空、航海等領(lǐng)域開展應(yīng)用，但受限于結(jié)構(gòu)及制造技術(shù)，市場上可規(guī)?；a(chǎn)的企業(yè)較少。MEMS陀螺儀具有體積小、重量輕、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、價(jià)格低、易于大批量生產(chǎn)等特點(diǎn)，率先在汽車和消費(fèi)電子領(lǐng)域得到了大量應(yīng)用。隨著性能的進(jìn)一步提高，MEMS陀螺儀應(yīng)用也被拓展到了工業(yè)、航空航天等領(lǐng)域，使得慣性系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域大為擴(kuò)展。第四代，基于現(xiàn)代量子力學(xué)技術(shù)。典型代表為核磁共振陀螺、原子干涉陀螺。其目標(biāo)是實(shí)現(xiàn)高精度、高可靠、小型化和更廣泛應(yīng)用領(lǐng)域的導(dǎo)航系統(tǒng)，目前仍處于早期研究階段。MEMS陀螺儀具有小型化、高集成、低成本的優(yōu)勢，解決了第一、二代陀螺儀體積質(zhì)量大、成本高的不足，并隨著精度和穩(wěn)定性的持續(xù)提升，在陀螺儀市場中占據(jù)了重要的位置。2、不同類型陀螺儀的應(yīng)用情況及發(fā)展趨勢目前，市場上大量使用的陀螺儀主要包括激光陀螺儀、光纖陀螺儀和MEMS陀螺儀，陀螺儀技術(shù)發(fā)展處于相對成熟的狀態(tài)，應(yīng)用領(lǐng)域相對廣泛。激光陀螺儀和光纖陀螺儀分別屬于第一代光學(xué)陀螺儀和第二代光學(xué)陀螺儀，其中激光陀螺儀利用光程差的原理來測量角速度，兩束光波沿著同一個(gè)圓周路徑反向而行，當(dāng)光源與圓周均發(fā)生旋轉(zhuǎn)時(shí)，兩束光的行進(jìn)路程不同，產(chǎn)生了相位差，通過測量該相位差可以測出激光陀螺的角速度。光纖陀螺儀使用與激光陀螺儀相同的基本原理，但由于光纖可以進(jìn)行繞制，因此光纖陀螺儀中激光回路的長度比激光陀螺儀增加，使得檢測靈敏度和分辨率也提高，從而有效地克服了激光陀螺儀的閉鎖問題。隨著微機(jī)械電子系統(tǒng)（MEMS）等學(xué)科的興起，基于哥氏振動(dòng)效應(yīng)和微納加工技術(shù)的MEMS陀螺儀開始出現(xiàn)，MEMS陀螺儀具備小型化、高集成、低成本的特點(diǎn)，因此，雖然其精度較激光陀螺儀與光纖陀螺儀低，但仍具有廣闊的應(yīng)用場景。由于不同技術(shù)路線的陀螺儀可實(shí)現(xiàn)類似的功能，因此MEMS陀螺儀和兩光陀螺在部分無人系統(tǒng)、高端工業(yè)、高可靠等應(yīng)用領(lǐng)域有所重合。隨著高性能MEMS陀螺儀的精度不斷提升，并依托成本的優(yōu)勢，可逐步應(yīng)用于中低精度兩光陀螺的應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí)，由于高性能MEMS陀螺儀具有小體積、高集成、抗高過載的優(yōu)勢，可以解決光纖陀螺和激光陀螺由于體積較大、抗沖擊能力弱的問題，滿足高可靠、無人系統(tǒng)等領(lǐng)域智能化升級的要求，進(jìn)一步拓展高性能MEMS陀螺儀的增量市場。根據(jù)Yole發(fā)布的High-EndInertialSensing2022，高性能MEMS陀螺儀在工業(yè)級應(yīng)用領(lǐng)域使用較為廣泛，占據(jù)了該應(yīng)用領(lǐng)域86%的市場份額，具體應(yīng)用場景包括資源勘探、測量測繪、光電吊艙等；在戰(zhàn)術(shù)級和導(dǎo)航級應(yīng)用領(lǐng)域，兩光陀螺應(yīng)用比較廣泛，分別占據(jù)了該應(yīng)用領(lǐng)域78%和92%的市場份額，具體應(yīng)用場景包括無人系統(tǒng)、衛(wèi)星姿態(tài)控制系統(tǒng)、動(dòng)中通等；在戰(zhàn)略級應(yīng)用領(lǐng)域，激光陀螺儀的適用性較強(qiáng)，占據(jù)了該應(yīng)用領(lǐng)域72%的市場份額，具體應(yīng)用場景為航天航海等領(lǐng)域。（二）MEMS加速度計(jì)MEMS加速度計(jì)是一種能夠測量物體線加速度的器件，通常由質(zhì)量塊、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調(diào)電路等部分組成。加速度計(jì)的理論基礎(chǔ)是牛頓第二定律，傳感器在加速過程中，可通過對質(zhì)量塊所受慣性力的測量計(jì)算出加速度值。如果初速度已知，就可以通過加速度對時(shí)間積分得到線速度，再次通過線速度對時(shí)間積分可計(jì)算出直線位移。按工作原理劃分，MEMS加速度計(jì)可以分為以下類型：電容式、壓電式、熱感式、諧振式等。其中，電容式MEMS加速度計(jì)是目前應(yīng)用最多的類型。電容式MEMS加速度計(jì)具有檢測精度高、受溫度影響小、功耗低、寬動(dòng)態(tài)范圍、以及可以測量靜態(tài)加速度等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛應(yīng)用于消費(fèi)電子、汽車、工業(yè)、高可靠等各個(gè)領(lǐng)域。（三）MEMS慣性系統(tǒng)從技術(shù)層次來看，慣性技術(shù)領(lǐng)域可以分為慣性器件與慣性系統(tǒng)兩個(gè)層級，慣性器件主要包括測量角速率的陀螺儀和測量線加速度的加速度計(jì)；慣性系統(tǒng)是以慣性器件為核心，利用集成技術(shù)實(shí)現(xiàn)的慣性測量、慣性導(dǎo)航以及慣性穩(wěn)控系統(tǒng)，其中慣性導(dǎo)航應(yīng)用領(lǐng)域最為廣泛。目前，MEMS慣性系統(tǒng)已由發(fā)展初期的消費(fèi)、汽車領(lǐng)域擴(kuò)展到工業(yè)、航空航天等高端應(yīng)用領(lǐng)域。慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的核心器件是陀螺儀和加速度計(jì)。通常情況下，每套慣性系統(tǒng)包含三軸陀螺儀和三軸加速度計(jì)，分別測量三個(gè)自由度的角速率和線加速度；通過對角速率和線加速度按時(shí)間積分以及疊加運(yùn)算，可以動(dòng)態(tài)確定自身位置變化，從而確定自身移動(dòng)軌跡以實(shí)現(xiàn)導(dǎo)航功能。慣性導(dǎo)航不借助外源信息，也不向外發(fā)送任何信號(hào)，因而不用借助其他設(shè)備，可免受外界干擾影響。除獨(dú)立使用外，慣性導(dǎo)航還可以與衛(wèi)星導(dǎo)航結(jié)合使用，形成組合導(dǎo)航系統(tǒng)，具備以下主要優(yōu)勢：一方面，在開放的外界環(huán)境中使用衛(wèi)星定位導(dǎo)航確定絕對位置，可利用慣性導(dǎo)航提高位置更新速率；另一方面，在高架橋、山間隧道等衛(wèi)星信號(hào)較弱甚至消失的場合，設(shè)備可自動(dòng)切換至慣性導(dǎo)航來提供定位信息以繼續(xù)導(dǎo)航。慣性測量系統(tǒng)是利用陀螺儀、加速度計(jì)等慣性敏感元件和電子計(jì)算機(jī)測量載體相對于地面運(yùn)動(dòng)的角速率和加速度，以確定載體的位置和地球重力場參數(shù)的組合系統(tǒng)。目前已被應(yīng)用于石油測斜、城市測繪、地質(zhì)監(jiān)測、尋北儀表等領(lǐng)域。例如，陀螺尋北儀通常采用陀螺儀和加速度計(jì)的組合方案，利用陀螺儀測量地球旋轉(zhuǎn)角速率的水平分量以獲得載體的北向信息，利用加速度計(jì)測量陀螺的姿態(tài)角，對陀螺信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償。慣性穩(wěn)控是通過連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)姿態(tài)與位置變化，利用伺服機(jī)構(gòu)動(dòng)態(tài)調(diào)整系統(tǒng)姿態(tài)，使被穩(wěn)定對象與設(shè)定目標(biāo)保持相對穩(wěn)定的裝置。慣性穩(wěn)控利用陀螺儀敏感框架的角速率信號(hào)，利用控制算法進(jìn)行伺服結(jié)構(gòu)的控制，保持在外部干擾情況下平臺(tái)的穩(wěn)定，提高平臺(tái)設(shè)備工作的性能。慣性穩(wěn)控因其隔離載體干擾的能力，在各類運(yùn)動(dòng)平臺(tái)得到了廣泛的應(yīng)用。常見的慣性穩(wěn)控包括動(dòng)中通天線，光電吊艙，攝像平臺(tái)等。隨著MEMS陀螺儀性能的不斷提高，MEMS陀螺儀在慣性穩(wěn)控系統(tǒng)中得到了越來越多的應(yīng)用。MEMS慣性傳感器市場根據(jù)Yole發(fā)布的StatusofMEMSIndustry2022，2021年世界MEMS慣性傳感器市場規(guī)模約35．09億美元，其中，2021年MEMS陀螺儀和MEMS加速度計(jì)市場規(guī)模達(dá)到15．93億美元，占全球MEMS行業(yè)總市場規(guī)模的45．40%。深化國際交流合作落實(shí)一帶一路倡議，拓展電子元器件產(chǎn)業(yè)國際交流合作渠道，加強(qiáng)與相關(guān)國際組織、標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)構(gòu)等交流溝通，推動(dòng)與國際先進(jìn)技術(shù)及產(chǎn)業(yè)鏈對接。推動(dòng)電子元器件產(chǎn)業(yè)國內(nèi)國際相互促進(jìn)，鼓勵(lì)全球領(lǐng)先企業(yè)來華設(shè)立生產(chǎn)基地和研發(fā)機(jī)構(gòu)，支持骨干企業(yè)開拓海外市場，與境外機(jī)構(gòu)開展多種形式的技術(shù)、人才、資本等合作，構(gòu)建開放發(fā)展、合作共贏的產(chǎn)業(yè)格局。提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力攻克關(guān)鍵核心技術(shù)。實(shí)施重點(diǎn)產(chǎn)品高端提升行動(dòng)，面向電路類元器件等重點(diǎn)產(chǎn)品，突破制約行業(yè)發(fā)展的專利、技術(shù)壁壘，補(bǔ)足電子元器件發(fā)展短板，保障產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全穩(wěn)定。高性能MEMS慣性傳感器行業(yè)狀況高性能MEMS慣性傳感器行業(yè)不同于其他MEMS慣性傳感器主要應(yīng)用于消費(fèi)電子領(lǐng)域，高性能MEMS慣性傳感器主要適用于高端工業(yè)、無人系統(tǒng)、高可靠等應(yīng)用領(lǐng)域。目前高性能慣性傳感器主要通過三種技術(shù)實(shí)現(xiàn)，分別是激光慣性技術(shù)、光纖慣性技術(shù)和MEMS慣性技術(shù)。激光慣性技術(shù)和光纖慣性技術(shù)主要基于薩格奈克效應(yīng)發(fā)揮作用，分別于20世紀(jì)90年代和21世紀(jì)初進(jìn)入技術(shù)成熟期，技術(shù)特點(diǎn)是精度較高但體積和重量較大，生產(chǎn)成本高；MEMS慣性技術(shù)基于哥氏振動(dòng)效應(yīng)發(fā)揮作用，目前技術(shù)正逐漸進(jìn)入成熟期，國際MEMS慣性技術(shù)代表性企業(yè)為Honeywell、ADI等，國內(nèi)MEMS慣性技術(shù)代表性企業(yè)為芯動(dòng)聯(lián)科等，均掌握先進(jìn)的MEMS慣性傳感器技術(shù)體系，產(chǎn)品性能均為國際先進(jìn)。目前，高性能MEMS陀螺儀的精度水平可以達(dá)到中低精度的激光陀螺儀和光纖陀螺儀，隨著MEMS慣性技術(shù)的愈發(fā)成熟，MEMS慣性傳感器在保持原有低成本、小體積、可批量生產(chǎn)的特點(diǎn)下，精度水平不斷提高，目前可在諸多戰(zhàn)術(shù)級應(yīng)用場景替代激光陀螺和光纖陀螺，并逐漸滲透導(dǎo)航級應(yīng)用場景。高性能MEMS加速度計(jì)接近石英加速計(jì)水平，可達(dá)到導(dǎo)航級水平。MEMS慣性技術(shù)作為慣性傳感器領(lǐng)域的主流技術(shù)之一，將在自動(dòng)駕駛和高端工業(yè)等領(lǐng)域覆蓋更多新的應(yīng)用場景，市場空間較為廣闊。（一）高性能MEMS慣性傳感器行業(yè)狀況、市場競爭情況根據(jù)Yole統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)，2021年，全世界高性能MEMS慣性傳感器市場規(guī)模約71，000萬美元（含MEMS慣性傳感器系統(tǒng)），約452，270萬元人民幣，世界MEMS慣性產(chǎn)品銷售額集中在Honeywell、ADI、NorthropGrumman/Litef等行業(yè)巨頭手中，市場份額前三的企業(yè)合計(jì)占有50%以上的份額。（二）高性能MEMS慣性傳感器行業(yè)技術(shù)水平情況MEMS陀螺儀的性能及技術(shù)水平是高性能MEMS慣性傳感器行業(yè)技術(shù)水平的集中體現(xiàn)，技術(shù)水平先進(jìn)的國內(nèi)外企業(yè)在MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、MEMS工藝、ASIC設(shè)計(jì)方面均具備較強(qiáng)實(shí)力。目前，行業(yè)內(nèi)企業(yè)為實(shí)現(xiàn)MEMS陀螺儀的高靈敏度、強(qiáng)抗干擾和高精度，MEMS芯片設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)從傳統(tǒng)雙質(zhì)量塊方案向四質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)、多環(huán)結(jié)構(gòu)等新型對稱結(jié)構(gòu)發(fā)展。MEMS工藝方面，加工工藝由傳統(tǒng)的硅-玻璃工藝過渡到全硅工藝，此外，為降低材料不匹配引起的測量偏差，行業(yè)內(nèi)企業(yè)采用晶圓級高真空技術(shù)、薄膜吸氣技術(shù)等，實(shí)現(xiàn)高Q值，實(shí)現(xiàn)機(jī)械增益的大幅提升。電路設(shè)計(jì)方面多采用數(shù)?；旌螦SIC電路以滿足體積小、功耗低的要求。綜合以上技術(shù)，行業(yè)內(nèi)企業(yè)逐步實(shí)現(xiàn)正交誤差補(bǔ)償，模態(tài)匹配，標(biāo)度因數(shù)自補(bǔ)償，標(biāo)度因數(shù)自校準(zhǔn)，耦合消除等目標(biāo)。行業(yè)內(nèi)技術(shù)水平先進(jìn)的國際巨頭傳感器企業(yè)在加速度計(jì)MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、MEMS工藝、電路設(shè)計(jì)方面均具