太陽(yáng)電池培訓(xùn)講義黎劍騎

后段培訓(xùn)報(bào)告

講師：黎劍騎培訓(xùn)時(shí)間：2012、9第一頁(yè)，共一百頁(yè)。目錄后段工藝培訓(xùn)內(nèi)容學(xué)習(xí)體會(huì)Roth&Rau

PECVDBACCINI絲網(wǎng)印刷Despatch燒結(jié)爐Halm測(cè)試總結(jié)第二頁(yè)，共一百頁(yè)。Roth&RauPECVD

1、板式鍍膜設(shè)備介紹

2、鍍膜原理及作用

3、鍍膜工藝流程與工藝控制分析

4、鍍膜常見(jiàn)問(wèn)題及其解決方法

5、鍍膜現(xiàn)階段改進(jìn)狀況目錄第三頁(yè)，共一百頁(yè)。Roth&Rau鍍膜設(shè)備CentrothermPECVDRoth&RauPECVD第四頁(yè)，共一百頁(yè)。PECVD：

PlasmaEnhancedChemicalVapourDeposition

(等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)

等離子體：氣體在一定條件下受到高能激發(fā)，發(fā)生電離，部分外層電子脫落原子核，形成電子、正離子和中性粒子混合物組成的一種形態(tài)，這種形態(tài)就稱(chēng)為等離子態(tài)即第四態(tài)。等離子體從宏觀來(lái)說(shuō)也是電中性，但是在局部可以為非電中性。鍍膜原理及作用第五頁(yè)，共一百頁(yè)。

---是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在硅片上沉積出所期望的薄膜。所用的活性氣體為SiH4和NH3。這些氣體經(jīng)解離后反應(yīng)，在硅片上長(zhǎng)出氮化硅膜?？梢愿鶕?jù)改變硅烷對(duì)氨的比率，來(lái)得到不同的折射指數(shù)。在沉積工藝中，伴有大量的氫原子和氫離子的產(chǎn)生，使得晶片的氫鈍化性十分良好。PECVD工作原理第六頁(yè)，共一百頁(yè)。第七頁(yè)，共一百頁(yè)。SiNx:H介紹:

正常的SiNx的Si/N之比為0.75，即Si3N4。但是PECVD沉積氮化硅的化學(xué)計(jì)量會(huì)隨工藝不同而變化，Si/N變化的范圍在0.75-2左右。除了Si和N，PECVD的氮化一般還包含一定比例的氫原子，即SixNyHz或SiNx:H.PECVD的作用

-生成Si3N4減反膜和H鈍化第八頁(yè)，共一百頁(yè)。Si3N4膜的認(rèn)識(shí)Si3N4膜的顏色隨著它的厚度的變化而變化，其理想的厚度是73—77nm之間，但實(shí)際控制在85±2nm之間，表面呈現(xiàn)的顏色是深藍(lán)色。Si3N4膜的折射率在1.9—2.1之間為最佳，實(shí)際控制在2.07±2之間，用橢偏移進(jìn)行測(cè)量。第九頁(yè)，共一百頁(yè)。Si3N4膜顏色和厚度對(duì)照表第十頁(yè)，共一百頁(yè)。H鈍化技術(shù)對(duì)于Mc—Si，因存在較高的晶界、點(diǎn)缺陷（空位、填隙原子、金屬雜質(zhì)、氧、氮及他們的復(fù)合物），因此對(duì)材料表面和體內(nèi)缺陷進(jìn)行鈍化就顯得特別重要。鈍化硅體內(nèi)的懸掛鍵等缺陷。在晶體生長(zhǎng)中受應(yīng)力等影響造成缺陷越多的硅材料，氫鈍化的效果越好。氫鈍化可采用離子注入或等離子體處理。在多晶硅太陽(yáng)電池表面采用PECVD法鍍上一層氮化硅減反射膜，由于硅烷分解時(shí)產(chǎn)生氫離子，對(duì)多晶硅可產(chǎn)生氫鈍化的效果。應(yīng)用PECVDSi3N4可使表面復(fù)合速度小于20cm/s。第十一頁(yè)，共一百頁(yè)。第十二頁(yè)，共一百頁(yè)。鍍膜工藝流程手動(dòng)加載工藝試片上片鍍膜下片流程第十三頁(yè)，共一百頁(yè)。鍍膜工藝過(guò)程控制

1、膜厚、折射率為滿(mǎn)足現(xiàn)階段工藝要求，兩者分別控制在：膜厚：85±2

折射率：2.07±2方案號(hào)序號(hào)123451SiH4280250150150308030NH36006806806801504501502SiH4280250150150000NH36006806806801504501503SiH40280200150308030NH310006806806801504501504SiH40280200150000NH31000680680680150450150現(xiàn)階段正在進(jìn)行三成膜實(shí)驗(yàn)，其實(shí)驗(yàn)方案如下:第十四頁(yè)，共一百頁(yè)。

2.微波功率、溫度通過(guò)實(shí)驗(yàn)對(duì)比，目前確定微波功率：3000w；溫度400℃.

溫度400℃對(duì)比試驗(yàn)如下：實(shí)驗(yàn)結(jié)果批次號(hào)IscUocFFEtaRSRshIrev2低效備注B0098.440.61978.6616.89%0.0024650.2192350℃B0028.460.6278.7416.99%0.0025340.2333400℃Range0.020.0010.080.10%0690.014150℃B0088.510.62178.0416.920.002534.80.1810350℃B0108.520.62178.1616.980.002573.80.1742400℃Range0.010.010.120.06%038.9820.007250℃第十五頁(yè)，共一百頁(yè)。鍍膜異常與解決方法第十六頁(yè)，共一百頁(yè)。第十七頁(yè)，共一百頁(yè)。鍍膜現(xiàn)階段改進(jìn)狀況SIH4NH3SIH4NH3原掛鉤形狀改善后掛鉤形狀該區(qū)域由于氣體被鉤點(diǎn)擋住，所以?huà)煦^點(diǎn)較大。該區(qū)域由于有傾斜角度，氣體可以通過(guò)，所以?huà)煦^點(diǎn)較小。（只有最邊緣與掛鉤接觸部分有印痕）硅片鍍膜外觀掛勾印改善：第十八頁(yè)，共一百頁(yè)。印痕明顯變小掛鉤印明顯變小掛鉤印明顯變小改善后鍍膜鉤點(diǎn)偏離電池片的有效區(qū)域，且鉤點(diǎn)面積也大為縮小，有效的防止了漏電，同時(shí)也大大改善了電池片絕緣性能。掛鉤點(diǎn)照片對(duì)比：鍍膜后印刷后第十九頁(yè)，共一百頁(yè)。BACCINI絲網(wǎng)印刷

1、絲網(wǎng)印刷設(shè)備介紹

2、絲網(wǎng)印刷原理/目的

3、絲網(wǎng)印刷構(gòu)造分析4、絲網(wǎng)印刷條件和工藝過(guò)程5、絲網(wǎng)印刷不良因素與相應(yīng)對(duì)策目錄第二十頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)印刷機(jī)整體瞰圖PrintDryUnload第二十一頁(yè)，共一百頁(yè)。采用意大利BACCINI第二十二頁(yè)，共一百頁(yè)。印刷軟件參數(shù)控制含義EnableMagazineLoader機(jī)器運(yùn)行時(shí)從承載盒中吸取硅片EnablePrinting選項(xiàng)不勾選時(shí)，印刷過(guò)程被跳過(guò)EnableFlip-Over不勾選時(shí)，翻轉(zhuǎn)器不工作EnableLoadBreakageWafer不勾選時(shí)，翻轉(zhuǎn)器不檢查是否硅片破損EnableOvenHeating允許爐子加熱EnableUnloadOven爐子只出硅片而不進(jìn)硅片EnableBypassOven硅片在行走擘上直接進(jìn)入下一工序Dispenser設(shè)置自動(dòng)添加漿料的頻率EnableWaferAlignment允許在印刷之前通過(guò)攝像來(lái)校準(zhǔn)硅片EnableScreenAlignment對(duì)網(wǎng)板上的基準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)行定位CheckBreakageBefore檢查硅片在印刷前是否破碎PaperChange印刷次數(shù)達(dá)到設(shè)置的數(shù)字時(shí)，機(jī)器停運(yùn)行SingleNest強(qiáng)制機(jī)器只在設(shè)定的那個(gè)臺(tái)面上印刷第二十三頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)印刷操作界面非印刷相關(guān)的硬件參數(shù)印刷參數(shù)常用操作界面主要分Cycle、Print、Operator等界面：第二十四頁(yè)，共一百頁(yè)。25通過(guò)括刀一次移動(dòng)通過(guò)括刀來(lái)回移動(dòng)印刷二次。先括刀往前移動(dòng)，印刷一次。印刷完成后電池到網(wǎng)板的距離印刷位置向上移動(dòng)至停止位置的速度印刷時(shí)括刀的位置印刷和回墨完成后，印刷頭的停止位置印刷時(shí)括刀下降的壓力（100左右）括刀夾持器的水平移動(dòng)能修正網(wǎng)板的位置印刷完成后程序延遲抬高網(wǎng)板和括刀的時(shí)間印刷速度（200左右）刮漿料速度第二十五頁(yè)，共一百頁(yè)。印刷類(lèi)型、偏移Alternatesqueegee單程印刷：刮刀向前運(yùn)動(dòng)印刷一片片子，向后返回印刷下一片

Doublesqueegee兩次印刷：對(duì)每一塊片子向前印刷一次，再向后印刷一次；

SqueegeeandFlood印刷后回料（常用）

Floodandsqueegee回料后印刷；

X,Y,Thetapieceoffsets網(wǎng)板位置在三個(gè)方向上偏移量。PRINTINGTYPE1OFFSETS2第二十六頁(yè)，共一百頁(yè)。

Snap-off網(wǎng)版間距印刷時(shí)電池到網(wǎng)板的距離；Park網(wǎng)版停止位置，印刷完成后電池到網(wǎng)板的距離；Speedupward網(wǎng)板上升速度;網(wǎng)版、刮板

Down-stop

刮板高度，這是印刷時(shí)刮刀的位置；Park

刮板的停止位置，印刷和回墨完成后，印刷頭的停止位置；Pressure

刮刀壓力；SCREEN3QUEEGEE4第二十七頁(yè)，共一百頁(yè)。Position1

刮刀起始位置；Position2印刷后的返回位置;Position3

印刷后停止位置Position4

印刷后開(kāi)始返回時(shí)位置，機(jī)器印刷時(shí)括刀后退的開(kāi)始位置。印刷位置、回料刀Printingspeed

印刷速度;Floodspeed

回料速度ADVANCEMENT5FLOODSUEEGEE6第二十八頁(yè)，共一百頁(yè)。Snap-off這個(gè)參數(shù)關(guān)系到Z向電機(jī)的運(yùn)動(dòng)，因?yàn)橄蛳率钦?，所以這個(gè)參數(shù)是一個(gè)負(fù)數(shù)。絲網(wǎng)間距的零點(diǎn)由壓力傳感器來(lái)決定，每次照點(diǎn)時(shí)會(huì)進(jìn)行一次零點(diǎn)的尋找。絲網(wǎng)間距的調(diào)節(jié)規(guī)律是設(shè)置值越大，透墨量越高，當(dāng)?shù)竭_(dá)一定高度時(shí)，油墨無(wú)法觸及承印物表面時(shí)就會(huì)造成印刷不全或無(wú)法印刷；設(shè)置值越小，透墨量越低，當(dāng)?shù)偷揭欢ǜ叨葧r(shí)，硅片無(wú)法在設(shè)定的脫離速度和真空的帶動(dòng)下脫離網(wǎng)版而粘黏在網(wǎng)版上就是粘片；網(wǎng)版間距印刷時(shí)電池到網(wǎng)板的距離。第二十九頁(yè)，共一百頁(yè)。Park網(wǎng)版停止位置印刷完成后電池到網(wǎng)板的距離，這個(gè)參數(shù)也是個(gè)負(fù)數(shù)。此值設(shè)定偏低時(shí)會(huì)造成網(wǎng)版在印刷完成后由于位置較低而刮花印刷圖形；這是Z向電機(jī)在印刷完成后從印刷位置向上移動(dòng)至停止位置的速度。此值設(shè)定過(guò)慢時(shí)，會(huì)使硅片來(lái)不及脫離網(wǎng)版而造成粘片；網(wǎng)板上升速度Speedupward第三十頁(yè)，共一百頁(yè)。這是印刷時(shí)刮刀的位置，這個(gè)參數(shù)的零點(diǎn)以網(wǎng)版承載漿料的一面為準(zhǔn)，由于絲網(wǎng)間距和刮板高度為兩個(gè)不同的電機(jī)進(jìn)行控制，所以他們并不與snape-off相關(guān)聯(lián)，如果操作人員改變了snap-off，一定要同步修改這個(gè)參數(shù)，但一般在壓力模式下，此值變更的意義不大；

Down-stop

刮刀高度第三十一頁(yè)，共一百頁(yè)。Pressure印刷時(shí)括刀下降到Down-stop位置，這個(gè)位置的參數(shù)必須設(shè)置得比電池稍低（0.3-0.4mm應(yīng)該足夠了)，這樣實(shí)際的壓力（左邊顯示的數(shù)值）才能達(dá)到設(shè)置值。單位是牛頓，在壓力模式下，印刷壓力越大，瞬時(shí)刮刀下降的位置就會(huì)越低，很可能會(huì)遠(yuǎn)超過(guò)0.3-0.4mm,對(duì)網(wǎng)版和印刷質(zhì)量造成比較大的損害，所以在日常設(shè)定印刷壓力時(shí)需以小為宜。實(shí)際參數(shù)設(shè)定時(shí)，壓力越大，承印量越小，壓力越小，承印量越大，，壓力的變化實(shí)際是刮刀位置的變化。刮刀壓力，Park刮刀的停止位置印刷和回墨完成后，印刷頭的停止位置。第三十二頁(yè)，共一百頁(yè)。

通過(guò)印刷，在半導(dǎo)體上形成上下電極，將半導(dǎo)體中被內(nèi)電場(chǎng)分離的電子、空穴經(jīng)由電極收集輸出到電池體外，形成電流。絲網(wǎng)印刷目的第三十三頁(yè)，共一百頁(yè)。利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透漿料，非圖文部分網(wǎng)孔不透漿料的基本原理進(jìn)行印刷。印刷時(shí)在絲網(wǎng)一端倒入漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時(shí)朝絲網(wǎng)另一端移動(dòng)。漿料在移動(dòng)中被刮板從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。印刷過(guò)程中刮板始終與絲網(wǎng)印版和承印物呈線(xiàn)接觸，接觸線(xiàn)隨刮刀移動(dòng)而移動(dòng)，而絲網(wǎng)其它部分與承印物為脫離狀態(tài)，保證了印刷尺寸精度和避免蹭臟承印物。當(dāng)刮板刮過(guò)整個(gè)印刷區(qū)域后抬起，同時(shí)絲網(wǎng)也脫離基片，并通過(guò)回墨刀將漿料輕刮回初始位置，工作臺(tái)返回到上料位置，至此為完整的一個(gè)印刷行程。絲網(wǎng)印刷原理第三十四頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)印刷功能構(gòu)造從上圖可以看出，一個(gè)完整的印刷過(guò)程需要刮刀、網(wǎng)版、漿料和絲網(wǎng)再配以工作臺(tái)和刮板的運(yùn)動(dòng)來(lái)完成，下面介紹一下網(wǎng)版：第三十五頁(yè)，共一百頁(yè)。網(wǎng)版----種類(lèi)1絲網(wǎng)構(gòu)造絲網(wǎng)的材料主要有:尼龍網(wǎng)

漿料的透過(guò)性好，回彈性好，靜電小，耐磨，印跡較差，耐酸性差。不銹鋼絲網(wǎng)

拉伸高，漿料的透過(guò)性好，印跡精密穩(wěn)定，不足處就是伸張后不易恢復(fù)原狀。鍍鎳滌綸網(wǎng)

在聚酯網(wǎng)的基礎(chǔ)上鍍2-5um的鎳料而成，低伸長(zhǎng)、高張力，耐磨性，靜電性都較好。漏料通暢，印跡厚薄均勻。印刷對(duì)絲網(wǎng)的要求：1.抗張強(qiáng)度大2.斷裂伸長(zhǎng)度小3.回彈性好4.漿料的通過(guò)性好5.耐抗性好第三十六頁(yè)，共一百頁(yè)。網(wǎng)版----參數(shù)2目數(shù)絲網(wǎng)的目數(shù)是指每平方厘米絲網(wǎng)所據(jù)有的目數(shù)。目前我們柵線(xiàn)網(wǎng)目數(shù)325目/cm2

，

按1(cm)=10000(um),網(wǎng)孔的大小在35um右左。絲網(wǎng)的目數(shù)決定了印刷中的過(guò)料量。第三十七頁(yè)，共一百頁(yè)。

膜厚絲網(wǎng)的需求膜厚是絲網(wǎng)在無(wú)張力狀態(tài)下的測(cè)定值。厚度由構(gòu)成絲網(wǎng)厚度是指絲網(wǎng)與底面之間的距離，一般以u(píng)m計(jì)量。厚度應(yīng)的直徑?jīng)Q定。它決定了過(guò)料量和柵線(xiàn)的高寬。

絲網(wǎng)的開(kāi)口率又稱(chēng)絲網(wǎng)的通孔率、網(wǎng)孔面積百分率，即單位面積的絲網(wǎng)內(nèi)，網(wǎng)孔面積所占的百分率。在絲網(wǎng)的制作過(guò)程中，絲網(wǎng)是一整塊帶孔的編織物，為了達(dá)到漏墨需要，要用專(zhuān)用膠將其限制漏墨的地方堵孔，這樣就形成絲網(wǎng)的開(kāi)口率。

開(kāi)口率第三十八頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)張網(wǎng)角度絲網(wǎng)加網(wǎng)角度又稱(chēng)目---線(xiàn)交角（網(wǎng)屏與絲網(wǎng)加角）。絲網(wǎng)的三種加網(wǎng)角度交角45o

絲網(wǎng)節(jié)結(jié)和網(wǎng)孔干擾最大，印跡忽粗忽細(xì)，線(xiàn)條的在現(xiàn)性差。交角10o

絲網(wǎng)與細(xì)線(xiàn)邊段緊挨段長(zhǎng)，缺料量大，會(huì)形成鋸齒。交角22.5o

印跡受干擾小，印跡再現(xiàn)性好。

第三十九頁(yè)，共一百頁(yè)。線(xiàn)徑開(kāi)口率概念:線(xiàn)的直徑,一般線(xiàn)徑為:20um。開(kāi)口線(xiàn)徑概念：空間面積與全體面積的比率。

開(kāi)口率（%）=（開(kāi)口/（開(kāi)口+線(xiàn)徑））2

×100%

例325目線(xiàn)徑28um開(kāi)口50um(50/(50+28))2×100%=41%第四十頁(yè)，共一百頁(yè)。吐出量（透墨量）概念：絲網(wǎng)單位面積內(nèi)油墨透過(guò)網(wǎng)孔的總量。在實(shí)際的印刷中，通過(guò)絲網(wǎng)的油墨量受絲網(wǎng)的材質(zhì)、性能、規(guī)格、漿料的粘度、刮條的硬度、壓力、速度以及網(wǎng)版與承印物的間隙等左右。透墨量（um）=開(kāi)口率×絲網(wǎng)厚度例325目線(xiàn)徑28um厚度60um0.41×60=24.6um第四十一頁(yè)，共一百頁(yè)。網(wǎng)版----廠家統(tǒng)計(jì)（正銀網(wǎng)版）3昆山良品絲印器材有限公司村上精密制版有限公司上海樂(lè)邦絲印器材有限公司.蘇州特網(wǎng)絲印器材有限公司.目數(shù)張力膜厚325/2328N18μm290/2028N20μm例：良品正銀網(wǎng)版需求參數(shù)第四十二頁(yè)，共一百頁(yè)。漿料----組成與作用4

漿料是由金屬粉、玻璃料和有機(jī)載體組成的半混合型粘稠體，銀粉純度≥99．99％，粒度≤1um，含銀量75％，呈鱗片或球粒狀．銀粉經(jīng)高溫?zé)Y(jié)后，形成三維網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，使銀硅有好的歐姆接觸。

組成第四十三頁(yè)，共一百頁(yè)。作用玻璃料為無(wú)定型硬質(zhì)顆粒，生產(chǎn)中使用原料為PbO、SiO2、TiO2等電子級(jí)原料混勻后，在高溫下進(jìn)行固相反映，形成無(wú)序結(jié)構(gòu)的玻璃質(zhì)勻質(zhì)體，化學(xué)性穩(wěn)定。主要作用是使網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的金屬銀牢固地粘附在硅片上，增強(qiáng)電極牢固度．

松油醇是一種無(wú)色粘稠液體或低溶點(diǎn)透明結(jié)晶．固化點(diǎn)40℃，沸點(diǎn)220.85℃能溶解乙基纖維素．不溶于水，溶于乙醇等有機(jī)劑。

增稠劑成增稠劑的作用是增加槳料的粘度和塑性，在一定的溫度下能成形堅(jiān)膜，300o以上能完全燃燒揮發(fā)掉，且不留灰粉。能使?jié){料保持在均勻的穩(wěn)定懸浮狀態(tài)，防止?jié){料結(jié)塊，保持其流變性。另外，漿料的觸變性主要通過(guò)增稠劑來(lái)實(shí)現(xiàn)。乙基纖維素，主要具有粘合、填充、成膜作用，溶于有機(jī)物，燃燒時(shí)灰份及低，能生成堅(jiān)膜，溶點(diǎn)165-185℃.第四十四頁(yè)，共一百頁(yè)。漿料----特性（技術(shù)指標(biāo)）5黏度觸變性

又稱(chēng)內(nèi)摩擦，一層流體對(duì)另一層流體做相對(duì)移動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的阻力，它是流體內(nèi)部阻礙其流動(dòng)的一種特性單位為泊或厘泊。漿料的粘度在4000-12000厘泊左右。粘度變化與印刷的關(guān)系：漿料在印刷過(guò)程中粘度俞穩(wěn)定俞好，漿料在片子上時(shí)粘度俞大俞好。觸變性指漿料（液體）在應(yīng)力情況下粘度迅速下降，去除外力后粘度恢復(fù)的能力。觸變性在漿料上的表現(xiàn)，漿料在靜置一段時(shí)間后其粘度變大，充分?jǐn)嚢铦{料變稀，粘度變小現(xiàn)象。印刷漿料的觸電變性越小越好。第四十五頁(yè)，共一百頁(yè)。

粘彈性流動(dòng)性漿料的流動(dòng)性是粘度的倒數(shù)，粘度大則流動(dòng)性小，反之則大。

流動(dòng)性俞大，則印跡不明晰；流動(dòng)性小，印刷易斷線(xiàn)。

粘彈性是指漿料受刮板壓力后被前剪徹?cái)嗔眩W(wǎng)版彈起，漿料迅速回彈的性能，漿料和承印物粘接，和絲網(wǎng)脫離，出現(xiàn)迅速脫離的現(xiàn)象。

粘彈性和漿料的粘度有很大的關(guān)系，粘度大粘彈性大，絲網(wǎng)分離時(shí)拉絲象現(xiàn)嚴(yán)重。網(wǎng)孔殘內(nèi)殘留量多，易用堵孔。第四十六頁(yè)，共一百頁(yè)。

概念：是指漿料受外力作用變形后，能完全或部分保持其變形的性質(zhì)。漿料是處于半流體和固體之的濃稠懸浮膠體，所以既有流動(dòng)性，又有可塑性。漿料的固體含量高可塑性高，反之則低?？伤苄阅鼙ＷC印跡的精度?？伤苄约夹g(shù)指標(biāo)背銀技術(shù)指標(biāo)技術(shù)指標(biāo)粘度（pa.s）45-75

項(xiàng)目

指標(biāo)固含量（%）63-67

固含量

75-85精細(xì)度（um）≤15

粘度

10-60方阻（m∩/□）<1.2

細(xì)度

<15烘干厚度16-25

翹曲度

<1.5燒結(jié)后厚度

例：正電極漿料第四十七頁(yè)，共一百頁(yè)。漿料----廠家6正電極漿料背銀漿料廠家

型號(hào)

北京合眾創(chuàng)能光電技術(shù)有限公司ROV20120716-2杭州正銀電子材料有限公司RS8805歐耐爾（江蘇）新型材料有限公司BS4261/BA128A寧波廣博納米新型材料有限公司SR426E蘇州柏特瑞新型材料有限公司AGB-920A上海玻納電子BN301西安創(chuàng)聯(lián)光電新材料有限公司CLB-233美國(guó)太陽(yáng)化學(xué)（SunChemical）

武漢優(yōu)樂(lè)

赫利氏SOL210S/230S上海皓日太陽(yáng)能科技有限公司RC410-2西安銀泰新能源材料科技有限公司YT-61ABASFGV37362121-A衡量正電極拉力測(cè)試合格（4N），目前入圍有：

1、上海皓日2、

賀禮仕第四十八頁(yè)，共一百頁(yè)。背電場(chǎng)漿料背電場(chǎng)漿料廠家

型號(hào)

美國(guó)太陽(yáng)化學(xué)（SunChemical）437W1/437K東洋鋁漿HD171無(wú)錫光禾光電科技有限公司GHAL821A2/GHAL6系列

碩禾電子材料股份有限公司138系列廣州儒新科技開(kāi)發(fā)有限公司RX8212E7/RX8252X廣州儒新科技開(kāi)發(fā)有限公司6080-28K5A對(duì)于背電場(chǎng)的選擇，主要考慮其對(duì)開(kāi)壓的提高以及弓區(qū)度的大小，目前碩和138漿料優(yōu)勢(shì)最為顯著。第四十九頁(yè)，共一百頁(yè)。正電極正銀漿料廠家

型號(hào)

上海皓日LX118-S351蘇州晶銀新材料股份有限公司FC088A上?？镉铍娮蛹夹g(shù)有限公司TC-298S則武N(xiāo)P-4694A晶銀FC088A杜邦PV17APV17ALG-FG590

赫利氏9411、9235上海皓日太陽(yáng)能科技有限公司LX118-S350三星PA-SF8510A正銀漿料的使用考慮其印刷質(zhì)量、成本、效率等因素，目前主要以推進(jìn)過(guò)產(chǎn)化漿料為主（上海皓日漿料、晶銀）；現(xiàn)最優(yōu)選擇還是賀禮仕9411。第五十頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)印刷條件漿料通過(guò)絲網(wǎng)轉(zhuǎn)移到片子上的過(guò)程可以用上圖說(shuō)明：A為添充絲網(wǎng)的每一個(gè)通孔，B為在刮版的直下方，通孔中的漿料受較大的壓力，C為隨著下一個(gè)瞬間離版操作，構(gòu)成通孔的絲網(wǎng)線(xiàn)上升，D為漿料隨網(wǎng)版的剪切應(yīng)力及片子的粘附力分離，E為漿料因其粘彈性由絲狀復(fù)原.第五十一頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)印刷工藝流程圖第五十二頁(yè)，共一百頁(yè)。AR-coatingRearsidecontactpastewet印背電極：銀鋁漿ScreenprintingRearsidecontactpastedry烘干背電極HighspeedconveyordryerAluminumpastewet印背場(chǎng)：鋁漿ScreenprintingAluminumpastedry烘干背場(chǎng)Highspeedconveyordryer印正電極：銀漿Screenprinting烘干正電極Fastfiringfurnacewithintegrateddryer絲網(wǎng)印刷工藝過(guò)程詳解第五十三頁(yè)，共一百頁(yè)。背電極為最終電池片提供物理上的正電極。漿料：Ag/Al漿在電池片的正極面（p區(qū)）用銀漿料印刷兩條電極導(dǎo)線(xiàn)（寬約3～4mm）作為電池片的電極。（1）與硅片表面和背場(chǎng)鋁形成良好的歐姆接觸,形成較低的接觸電阻；（2）有良好的歐姆接觸特性和焊接性能，附著性好，對(duì)外輸出電流。所謂歐姆接觸，是指金屬與半導(dǎo)體的接觸，

而其接觸面的電阻遠(yuǎn)小于半導(dǎo)體本身的電

阻，使得組件操作時(shí)，大部分的電壓降在

活動(dòng)區(qū)（Activeregion)而不在接觸面。背電極第五十四頁(yè)，共一百頁(yè)。背電場(chǎng)對(duì)鋁漿的技術(shù)要求形成鋁背p－p+結(jié)，提高開(kāi)路電壓；形成硅鋁合金對(duì)硅片進(jìn)行有效地吸雜，提高效率；能與硅形成牢固的歐姆接觸；有優(yōu)良的導(dǎo)電性；化學(xué)穩(wěn)定性好；有適宜大規(guī)模生產(chǎn)的工藝性；價(jià)格較低。鋁的特性熔點(diǎn)：660.37℃，具有良好的導(dǎo)熱性、導(dǎo)電性和延展性。在空氣中其表面會(huì)形成一層致密的氧化膜，使之不能與氧、水繼續(xù)作用。鋁板對(duì)光的反射性能也很好，第五十五頁(yè)，共一百頁(yè)。EF費(fèi)米能級(jí)N+PP+Ec導(dǎo)帶Ev價(jià)帶背電場(chǎng)太陽(yáng)能電池能帶圖第五十六頁(yè)，共一百頁(yè)。○鋁背場(chǎng)的作用●1.背鋁作為背電場(chǎng)能夠阻擋電子的移動(dòng)，減小了表面的復(fù)合率，有利于載流子的吸收；●2.減少光穿透硅片,增強(qiáng)對(duì)長(zhǎng)波的吸收；●3.Al吸雜，形成重?fù)诫s，提高少子壽命；●4.鋁的導(dǎo)電性能良好，金屬電阻小，而且鋁的熔點(diǎn)相對(duì)其他的合適金屬來(lái)說(shuō)熔點(diǎn)低，有利于燒結(jié)?！?.在燒結(jié)時(shí)p-type的鋁摻雜滲入形成使原本摻雜硼的p-typeSi形成一層數(shù)微米厚的p+-typeSi作為背場(chǎng)，以降低背表面復(fù)合速度來(lái)提高電池的開(kāi)路電壓Voc?！?.因?yàn)楣杵障禂?shù)差，當(dāng)厚度變薄時(shí)襯底對(duì)入射光的吸收減少，此時(shí)背場(chǎng)的存在對(duì)可以抵達(dá)硅片深度較深的長(zhǎng)波長(zhǎng)光吸收有幫助，所以短路電流密度Jsc的影響就更明顯。●7.p和p+的能階差也可以提升Voc，p+可以形成低電阻的歐姆接觸所以填充因子FF也可改善。第五十七頁(yè)，共一百頁(yè)。正電極電極材料的選擇能與硅形成牢固的接觸；這種接觸應(yīng)是歐姆接觸，接觸電阻??；有優(yōu)良的導(dǎo)電性；純度適當(dāng)；化學(xué)穩(wěn)定性好；銀的特性熔點(diǎn)：961.78℃，電阻率：1.586×10^-8Ω·m（20℃）銀的特征氧化數(shù)為+1，其活動(dòng)性比銅差，常溫下，甚至加熱時(shí)也不與水和空氣中的氧作用。有很好的柔韌性和延展性，是導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性最好的金屬。第五十八頁(yè)，共一百頁(yè)。在電池片的正面（N型層）同時(shí)用銀漿料印刷一排間隔均勻的柵線(xiàn)和兩條電極。搜集光生電流，提供電池片物理上的負(fù)電極。漿料:Ag漿。設(shè)計(jì)理念：提高電流的收集效率、低金屬柵線(xiàn)電阻、低接觸電阻、低遮光面積。柵線(xiàn)高寬要求：盡可能大的高寬比意義：減少由于柵線(xiàn)遮光造成的電池功率失，同時(shí)較大柵線(xiàn)橫截面可以降低柵線(xiàn)的體電阻從而降低由柵線(xiàn)電阻引起的功率損失。柵線(xiàn)第五十九頁(yè)，共一百頁(yè)。60故障現(xiàn)象造成原因解決方法備注粘板絲網(wǎng)間距太小加大絲網(wǎng)間距調(diào)大snap-off絕對(duì)值印刷刮條不平檢查刮條的平整度可放在玻璃門(mén)上檢查平整度硅片有厚薄不均檢查來(lái)料

網(wǎng)板張力太小更換網(wǎng)板更換網(wǎng)板前后測(cè)量網(wǎng)板張力絲網(wǎng)刮不干凈增大刮條下降深度（調(diào)大Down-stop絕對(duì)值）和印刷壓力（Pressure）不建議增大印刷壓力硅片吸附不住印刷襯紙?zhí)K更換干凈的襯紙單一臺(tái)面出現(xiàn)粘板時(shí)該可能性較大臺(tái)面太臟用干凈的酒精無(wú)塵布擦拭臺(tái)面真空吸力太小調(diào)大真空吸力漿料粘稠度太大攪拌時(shí)間太長(zhǎng)減少攪拌時(shí)間網(wǎng)板內(nèi)漿料不要加的太多，及時(shí)擦干凈刮漿板漿料在網(wǎng)板內(nèi)停留時(shí)間過(guò)長(zhǎng)經(jīng)常用刮漿板刮漿料加完漿料未及時(shí)蓋上蓋子，導(dǎo)致有機(jī)溶劑揮發(fā)加完漿料后及時(shí)蓋上蓋子漏漿輕微漏漿用干凈的無(wú)塵布擦拭網(wǎng)板

網(wǎng)板破更換網(wǎng)板絲網(wǎng)印刷不良與相應(yīng)對(duì)策第六十頁(yè)，共一百頁(yè)。61故障現(xiàn)象造成原因解決方法備注印刷偏移襯紙臟導(dǎo)致相機(jī)自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)識(shí)別錯(cuò)誤更換襯紙

設(shè)備故障電機(jī)復(fù)位

更換新的網(wǎng)板后沒(méi)有校準(zhǔn)相機(jī)重新校準(zhǔn)相機(jī)

X/Y/Z軸或角度發(fā)生偏移調(diào)整X/Y/Z軸使得網(wǎng)板印刷圖形與硅片四邊完全對(duì)稱(chēng)

漏漿網(wǎng)板微破且不影響圖形用薄膠帶粘住漏漿部位

印刷偏移見(jiàn)上面（印刷偏移解決方法）

WorkingBeam上定位卡口處有漿料用干凈的酒精布擦拭干凈

網(wǎng)板破壞嚴(yán)重?zé)o法用膠帶粘住更換網(wǎng)板

第六十一頁(yè)，共一百頁(yè)。62故障現(xiàn)象造成原因解決方法備注隱裂臺(tái)面上有碎屑清理碎屑或重新更換襯紙

換紙后有不平重新更換襯紙

網(wǎng)板上沾有碎屑用干凈的無(wú)塵布擦拭網(wǎng)板

壓力偏大降低壓力

實(shí)際壓力比設(shè)定壓力大出很多刮刀高度上升

虛印印刷參數(shù)不適宜抬高絲網(wǎng)間距，適當(dāng)加大壓力觀察刮條刮拭的網(wǎng)板是否干凈，加漿料時(shí)采取少加多次的方式進(jìn)行加漿料刮條不平更換刮條網(wǎng)板使用時(shí)間太長(zhǎng)更換網(wǎng)板印刷不良網(wǎng)板及刮條高度太高降低網(wǎng)板及刮條高度或降低電機(jī)高度

刮條不平更換刮條

第六十二頁(yè)，共一百頁(yè)。63故障現(xiàn)象造成原因解決方法備注Ag漿偏重

減小snap-off；減小down-stop；增大pressure；減小speed

改變snap-off的效果最明顯，但需注意snap-off值改變過(guò)大會(huì)出現(xiàn)印刷不良Ag漿偏輕

增大snap-off；增大down-stop；減小pressure；增大speed

柵線(xiàn)變細(xì)網(wǎng)板高度太高降低snap-off，適當(dāng)減小壓力

柵線(xiàn)變粗網(wǎng)板過(guò)度使用更換新的網(wǎng)板用干凈的酒精布擦拭后再用網(wǎng)板高度太低升高snap-off，適當(dāng)增加壓力

斷柵網(wǎng)孔堵塞用干凈的無(wú)塵布將網(wǎng)板擦拭干凈

工作臺(tái)內(nèi)溫度低關(guān)閉窗或通知外圍對(duì)室內(nèi)溫度進(jìn)行調(diào)整

新網(wǎng)板網(wǎng)孔沒(méi)張開(kāi)用酒精布擦拭

第六十三頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)現(xiàn)階段改進(jìn)項(xiàng)目降低絲網(wǎng)印刷碎片率項(xiàng)目取得顯著成果：目標(biāo)值：0.30%第六十四頁(yè)，共一百頁(yè)。絲網(wǎng)印刷注意事項(xiàng)1、保持印刷平臺(tái)的清潔,隨時(shí)清除平臺(tái)上的任何碎片和異物,防止產(chǎn)生碎片或損壞網(wǎng)版。

2、及時(shí)清理行走臂和烘箱里的碎片,防止堵塞電機(jī)或產(chǎn)生新的碎片。

3、印刷臺(tái)上的貼紙要平整、干凈，否則易引起碎片或報(bào)警。

4、根據(jù)具體情況,及時(shí)調(diào)整印刷參數(shù)。

5、出現(xiàn)報(bào)警時(shí)應(yīng)首先查看報(bào)警信息顯示,然后采取相應(yīng)措施。

6、機(jī)器自動(dòng)運(yùn)行時(shí)不要打開(kāi)或調(diào)用需手動(dòng)狀態(tài)下運(yùn)行的軟件功能（如攝像校正，輸入輸出顯示控制等），否則會(huì)造成死機(jī)。

7、設(shè)備運(yùn)行中禁止修改系統(tǒng)時(shí)間，否則會(huì)造成死機(jī)。第六十五頁(yè)，共一百頁(yè)。Despatch燒結(jié)爐

1、燒結(jié)的目的與原理

2、燒結(jié)工藝溫度設(shè)定

3、燒結(jié)工藝形成過(guò)程4、燒結(jié)曲線(xiàn)分析5、燒結(jié)注意事項(xiàng)和解決方法目錄第六十六頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)爐Despatch燒結(jié)爐第六十七頁(yè)，共一百頁(yè)。Dspatch燒結(jié)爐結(jié)構(gòu)圖第六十八頁(yè)，共一百頁(yè)。Dspatch燒結(jié)爐流程圖第六十九頁(yè)，共一百頁(yè)。Dspatch燒結(jié)爐控制界面第七十頁(yè)，共一百頁(yè)。01目的原理燒結(jié)目的：就是把印刷到硅片上的電極在高溫下燒結(jié)成電池片,最終使電極和硅片本身形成歐姆接觸,從而提高電池片的Isc和FF2個(gè)關(guān)鍵因素參數(shù),是電極的接觸具有電阻特性,達(dá)到生產(chǎn)高轉(zhuǎn)效率電池片的目的.燒結(jié)原理：所謂的燒結(jié)過(guò)程是要使電極和硅片本身形成歐姆接觸，其原理為當(dāng)電極里金屬材料和半導(dǎo)體單晶硅加熱到共晶溫度時(shí),單晶硅原子以一定比例融入到熔融的合金電極材料中.單晶硅原子融入到電極金屬中的整個(gè)過(guò)程是相當(dāng)快的，一般只需要幾秒鐘的時(shí)間。融入單晶硅原子數(shù)目取決于合金溫度和電極材料的體積，燒結(jié)合金溫度越高，電極金屬材料體積越大，則融入的硅原子數(shù)目就越多，這時(shí)的合金狀態(tài)被稱(chēng)為晶體電極金屬的合金系統(tǒng).如果此時(shí)的溫度降低,系統(tǒng)開(kāi)始冷卻形成再結(jié)晶層,這時(shí)原先溶入到電極金屬材料中的硅原子重新以固態(tài)形式結(jié)晶出來(lái),也就是在金屬和晶體接觸界面上生長(zhǎng)出一層外延層.如果外延層內(nèi)含有足夠的量的與原先晶體材料導(dǎo)電類(lèi)型相同的雜質(zhì)成分，就獲得了用合金法工藝形成的歐姆接觸；如果在結(jié)晶層含有足夠量的與原先晶體材料導(dǎo)電類(lèi)型異型的雜質(zhì)成分就獲得了用合金工藝形成的P-N結(jié)。燒結(jié)目的與原理第七十一頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)爐工藝溫度參數(shù)溫區(qū)溫度范圍備注1-3溫區(qū)300,330,3604-6溫區(qū)460,550,6207區(qū)溫度680±108區(qū)溫度830±109區(qū)溫度SE工藝935±5普通工藝940±5目前現(xiàn)行工藝溫度范圍(SE):燒結(jié)工藝溫度設(shè)定1工藝控制目標(biāo)帶速烘干一區(qū)烘干二區(qū)烘干三區(qū)燒結(jié)一區(qū)燒結(jié)二區(qū)240300℃330℃360℃460℃550℃燒結(jié)三區(qū)燒結(jié)四區(qū)燒結(jié)五區(qū)燒結(jié)六區(qū)620℃680℃815℃930℃第七十二頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)工藝形成過(guò)程

1.開(kāi)始燒結(jié)（有機(jī)溶劑揮發(fā)）2.加熱到450度，開(kāi)始融化第七十三頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)工藝形成過(guò)程3.熔融的玻璃開(kāi)始蝕刻SiN層4.加熱到670到700度，蝕穿SiN層開(kāi)始熔融si的表層第七十四頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)工藝形成過(guò)程冷卻后，熔融玻璃中過(guò)量的Ag顆粒埋在Si的表面，形成電流傳導(dǎo)路經(jīng)第七十五頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)后電池片成品第七十六頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)曲線(xiàn)分析AlloyingabovetheAl-SieutecticContactFormationSolventEvaporationCoolingpart鋁硅合金化冷卻區(qū)溶劑蒸發(fā)形成良好歐姆接觸第七十七頁(yè)，共一百頁(yè)。燒結(jié)爐常見(jiàn)問(wèn)題及其解決辦法1弓片a、燒結(jié)爐冷卻區(qū)冷卻效果不好—查看風(fēng)扇狀況、進(jìn)出水、溫度壓力等2電性能參數(shù)異常b、燒結(jié)溫度過(guò)高—調(diào)整燒結(jié)爐4、5、6、7區(qū)溫度a、漏電大：燒結(jié)爐溫度過(guò)高，PN結(jié)燒穿b、Isc、FF低：燒結(jié)溫度過(guò)低，沒(méi)有形成很好的歐姆接觸c、串聯(lián)電阻高：燒結(jié)溫度過(guò)低，銀電極柵線(xiàn)與硅片結(jié)合不牢；

串聯(lián)電阻低：燒結(jié)溫度過(guò)高，雖然牢固度增加，但可能會(huì)將正面P-N結(jié)壞，使得太陽(yáng)電池的并聯(lián)電阻變小，電性能變壞，甚至可能

將正面P-N結(jié)燒穿，使太陽(yáng)電池失效。第七十八頁(yè)，共一百頁(yè)。3常見(jiàn)設(shè)備報(bào)警第七十九頁(yè)，共一百頁(yè)。第八十頁(yè)，共一百頁(yè)。第八十一頁(yè)，共一百頁(yè)。第八十二頁(yè)，共一百頁(yè)。Halm測(cè)試

1、測(cè)試設(shè)備介紹

2、測(cè)試原理、目的

3、測(cè)試參數(shù)更改與注意事項(xiàng)

4、測(cè)試IV曲線(xiàn)分析

5、測(cè)試異常及其解決方法目錄第八十三頁(yè)，共一百頁(yè)。Halm測(cè)試設(shè)備介紹

測(cè)量設(shè)備?配置有測(cè)量組件的19英寸機(jī)?操作控制第八十四頁(yè)，共一百頁(yè)。該測(cè)試模式可用于一張電池片的多次測(cè)量。開(kāi)始測(cè)試,測(cè)試完畢后自動(dòng)停止。選中此鍵,設(shè)置測(cè)試次數(shù)。每次測(cè)試數(shù)據(jù)測(cè)試平均值可對(duì)每列參數(shù)進(jìn)行增加、減少、刪除、順序更改操作。Halm測(cè)試主控界面

第八十五頁(yè)，共一百頁(yè)。Halm測(cè)試目的、原理目的

對(duì)電池的電性能進(jìn)行分選條件

單位面積的入射光功率.實(shí)際測(cè)量時(shí),取標(biāo)準(zhǔn)光強(qiáng):AM1.5條件,即25oC下,=100mW/cm2.設(shè)備

halm測(cè)試分檔系統(tǒng)第八十六頁(yè)，共一百頁(yè)。等效電路圖模擬等效電路圖進(jìn)行IV