傳感器技術(shù)講解課件四

第5章電阻式傳感器

電阻式傳感器的基本原理是將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成傳感元件電阻值的變化，再經(jīng)過轉(zhuǎn)換電路變成電信號(hào)輸出。第一節(jié)應(yīng)變式傳感器目前自動(dòng)測(cè)力或稱重中應(yīng)用最普遍的是應(yīng)變式傳感器，應(yīng)變式傳感器有下列優(yōu)點(diǎn)：1.精確度，線性度好，靈敏度高2.滯后和蠕變都較小，壽命高3.容易與二次儀表相匹配實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)4.結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單，體積較小應(yīng)用靈活5.工作穩(wěn)定和保養(yǎng)方便應(yīng)變式傳感器除可用于測(cè)量力參數(shù)外，還可用于測(cè)量加速度，振幅等其他物理量。應(yīng)變式傳感器是利用金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)，將被測(cè)量轉(zhuǎn)換為電量輸出的一種傳感器。一、工作原理（一）金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)當(dāng)金屬絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)，其電阻值發(fā)生變化。取一根長(zhǎng)度為L(zhǎng)，截面積為S，電阻率為的金屬絲，未受力時(shí)其電阻R為（2-1）當(dāng)電阻絲受到拉力F作用時(shí),將伸長(zhǎng)ΔL,橫截面積相應(yīng)減小ΔS,電阻率將因晶格發(fā)生變形等因素而改變?chǔ)う?故引起電阻值相對(duì)變化量為式中ΔL/L是長(zhǎng)度相對(duì)變化量,用應(yīng)變?chǔ)疟硎睛/S為圓形電阻絲的截面積相對(duì)變化量,即（2-2）（2-3）（2-5）由材料力學(xué)可知,在彈性范圍內(nèi),金屬絲受拉力時(shí),沿軸向伸長(zhǎng),沿徑向縮短,那么軸向應(yīng)變和徑向應(yīng)變的關(guān)系可表示為式中:μ——電阻絲材料的泊松比,負(fù)號(hào)表示應(yīng)變方向相反。（2-5）將式（2-3）,式（2-5）代入式（2-2）,可得或（2-6）（2-7）

通常把單位應(yīng)變能引起的電阻值變化稱為金屬電阻絲的靈敏度系數(shù)。其物理意義是單位應(yīng)變所引起的電阻相對(duì)變化量,其表達(dá)式為（2-8）（2-9）因此靈敏度系數(shù)受兩個(gè)因素影響:

①受力后材料幾何尺寸的變化,即（1+2μ）;②受力后材料的電阻率發(fā)生的變化,即Δρ/ε。用應(yīng)變片測(cè)量時(shí)，將其貼在被測(cè)對(duì)象表面上。當(dāng)被測(cè)對(duì)象受力變形時(shí)，應(yīng)變片的敏感柵也隨同變形，其電阻值發(fā)生相應(yīng)變化，通過轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化，這是用來直接測(cè)量應(yīng)變。通過彈性敏感元件將位移、力、力矩、加速度、壓力等物理量轉(zhuǎn)換為應(yīng)變，則可用應(yīng)變片測(cè)量上述各量，而做成各種應(yīng)變式傳感器。(二)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)及測(cè)量原理

（1）敏感柵感受應(yīng)變，并將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻的變化。敏感柵有絲式、箔式和薄膜式三種。（2）基底絕緣及傳遞應(yīng)變。測(cè)量是應(yīng)變片的基底提高粘結(jié)劑粘在試件上，要求基底準(zhǔn)確地把試件應(yīng)變傳遞給敏感柵。同時(shí)基片絕緣性能要好，否則應(yīng)變片微小電信號(hào)就要漏掉。由紙薄、膠質(zhì)膜等制成。（3）粘結(jié)劑敏感柵與基底、基底與試件、基底與覆蓋層之間的粘結(jié)。（4）覆蓋層保護(hù)作用。防濕、蝕、塵。（5）引線連接電阻絲與測(cè)量電路，輸出電參量。二、應(yīng)變片的類型和材料（一）應(yīng)變片的類型和材料1.金屬絲式應(yīng)變片回線式：橫向效應(yīng)較大短接式：克服橫向效應(yīng)金屬絲式應(yīng)變片材料要求2.金屬箔式應(yīng)變片箔式應(yīng)變片是在絕緣基底上，將厚度為0.003～0.01mm電阻箔材，利用照相制版或光刻技術(shù)，制成各種需要的形狀。優(yōu)點(diǎn)：①可制成多種復(fù)雜形狀尺寸準(zhǔn)確的敏感柵；②與被測(cè)件粘結(jié)面積大；②散熱條件好，允許電流大，提高了輸出靈敏度；④橫向效應(yīng)小；⑥蠕變和機(jī)械滯后小，壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)：電阻值的分散性大3.金屬薄膜應(yīng)變片

采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法在薄的絕緣基片上形成厚度在0.1微米以下的金屬電阻材料薄膜的敏感柵，最后再加上保護(hù)層。優(yōu)點(diǎn)：應(yīng)變靈敏系數(shù)大，允許電流密度大。存在問題：溫度穩(wěn)定性差(二)應(yīng)變片的粘貼

應(yīng)變片是用粘合劑粘貼到被測(cè)件上的。粘合劑形成的膠層必須準(zhǔn)確迅速地將披測(cè)件應(yīng)變傳進(jìn)到敏感柵上。粘合劑的性能及粘貼工藝的質(zhì)量直接影響著應(yīng)變片的工作特性，如零漂、蠕變、滯后、靈敏系數(shù)，線性以及它們受溫度變化影響的程度。對(duì)粘合劑和粘貼工藝有嚴(yán)格要求三、金屬應(yīng)變片的主要特性(一)靈敏系數(shù)靈敏系數(shù)由實(shí)驗(yàn)確定。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，實(shí)際應(yīng)變片的K值比單絲的K值要小，造成此現(xiàn)象原因是橫向效應(yīng)。還有粘結(jié)層傳遞變形失真。(二)橫向效應(yīng)將直的電阻絲繞成敏感柵之后，雖然長(zhǎng)度相同，但應(yīng)變狀態(tài)不同，其靈敏系數(shù)降低了。這種現(xiàn)象稱橫向效應(yīng)。1、定性分析當(dāng)將應(yīng)變片粘貼在被測(cè)試件上時(shí),由于其敏感柵是由n條長(zhǎng)度為l1的直線段和（n-1）個(gè)半徑為r的半圓組成,若該應(yīng)變片承受軸向應(yīng)力而產(chǎn)生縱向拉應(yīng)變?chǔ)舩時(shí),則各直線段的電阻將增加,但在半圓弧段則受到從+εx到-μεx之間變化的應(yīng)變。總的作用結(jié)果：將直的電阻絲繞成敏感柵后,雖然長(zhǎng)度不變,應(yīng)變狀態(tài)相同,但圓弧段橫向收縮引起阻值減小量對(duì)軸向伸引起阻值增加量起著抵消作用。因而同樣應(yīng)變阻值變化減小，K值減小，此現(xiàn)象為橫向效應(yīng)。2.定量分析應(yīng)變片置于二維應(yīng)力場(chǎng)，即有，又有。橫向效應(yīng)在圓弧段產(chǎn)生，消除圓弧段即可消除橫向效應(yīng)。為了減小橫向效應(yīng)產(chǎn)生的測(cè)量誤差，現(xiàn)在一般多采用箔式應(yīng)變片，其圓弧部分尺寸較柵絲尺寸大得多，電阻值較小，因而電阻變化量也就小得多。(三)機(jī)械滯后、零漂和蠕變加載和卸裁特性曲線之間的最大差值稱為應(yīng)變片的滯后值。粘貼在試件上的應(yīng)變片，在溫度保持恒定沒有機(jī)械應(yīng)變的情況下，電阻值隨時(shí)問變化的特性稱為應(yīng)變片的零漂。粘貼在試件上的應(yīng)變片，溫度保持恒定，在承受某一恒定的機(jī)械應(yīng)變，其電電阻值隨時(shí)間變化而變化的特性稱為應(yīng)變片的蠕變。一般來說，蠕變的方向與原應(yīng)變量變化的方向相反。(四)應(yīng)變極限和疲勞壽命應(yīng)選用抗剪強(qiáng)度較高的粘結(jié)劑和基底材料，基底和粘結(jié)劑的厚度不宜太大，并經(jīng)適當(dāng)?shù)墓袒幚怼?duì)于已安裝的應(yīng)變片，在恒定幅值的交變力作用下，可以連續(xù)工作而不產(chǎn)生疲勞損壞的循環(huán)次數(shù)稱為應(yīng)變片的疲勞壽命。（五）最大工作電流和絕緣電阻絕緣電阻是指應(yīng)變片的引線與被測(cè)件之間的電阻值。最大工作電流是指允許通過應(yīng)變片而不影響其工作特性的最大電流。工作電流大，應(yīng)變片輸出信號(hào)大，靈敏度高，但過大的電流會(huì)把應(yīng)變片燒毀。（六）應(yīng)變片的電阻值電阻值大可加大應(yīng)變片承受電壓，因此輸出信號(hào)大，但敏感柵尺寸也增大。(六)動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性電阻應(yīng)交片在測(cè)量頻率較高的動(dòng)態(tài)應(yīng)變時(shí)，應(yīng)考慮其動(dòng)態(tài)特性。動(dòng)態(tài)應(yīng)變是以應(yīng)變波的形式在試件中傳播的，它的傳播速度與聲波相同。電路的昏作用：將電阻屈的變化等量轉(zhuǎn)換雁為電壓劃輸出。通常沉采用絡(luò)直流枯電橋口和交賺流電猜橋。辜一、總直流電腿橋1.直流電叨橋工作原介理四、轉(zhuǎn)驚換電路直流玩電橋遙電路胖如圖躁所示金，它派的四斗個(gè)橋樓臂由飾電阻組成AC端接直并流電壓UBD端輸出邁電壓一般情淺況橋路皆應(yīng)接成燈等臂電責(zé)橋,輸出為幫零。這樣無柜論哪個(gè)朽橋臂上喪受到外丸來信號(hào)揪作用后西，橋路缸都將失僑去平衡棄，就會(huì)且有信號(hào)攪輸出。電橋輸嗎出端接德入輸入次阻抗很陳高的指濱示儀表老或放大訪器時(shí)，可認(rèn)為槽電橋負(fù)吐載為無粥窮大，轉(zhuǎn)電橋輸哄出端相閱當(dāng)于開版路，只啞能輸出鎮(zhèn)電壓信必號(hào)，稱乖為電壓裂輸出。臘此時(shí)，掏橋路的祥電流為僻：AB之間和CD之間棵的電粒位差揭分別稀為：空載其輸出當(dāng)電貿(mào)橋平士衡時(shí),Uo胖=0展,則有R1R4=R2R3或電橋醒平衡姻條件：相鄰宿兩臂電在阻的比棕值應(yīng)相等,或相對(duì)勻兩臂電吧阻的乘認(rèn)積相等閑。電橋接駐入的是怖電阻應(yīng)獻(xiàn)變片時(shí)檢，即為蔥應(yīng)變橋宏。當(dāng)一鋤個(gè)橋臂碑、兩個(gè)骨橋臂乃哥至四個(gè)學(xué)橋臂接估入應(yīng)變貫片時(shí)，再相應(yīng)的叢電橋?yàn)檠畣伪蹣蚴?、半橋納和全臂電橋。2．不薄平衡秋直流繳電橋控的工悠作原相理及眠電壓前靈敏用度當(dāng)電橋劃后面接錯(cuò)放大器纏時(shí)，放荒大器的終輸入阻芒抗很高謀，比電翠橋輸出懇電阻大沿很多，猛可把電除橋輸出氏端看成妨開路。R1為電軋阻應(yīng)碼變片緣瑞，RL→∞。設(shè)橋臂黑比n=艘R2/R1,分母中ΔR1/R1可忽侄略。由電橋河平衡條士件R2/R1=R4/R3。電橋妖電壓揭靈敏擊度定掀義為提高死靈敏踩度的建措施①提高所供電搬電源逼的電推壓U（在功耗急允許的臥范圍內(nèi)桿）②n=憑1R1=R2=R3=R4由dKU/dn=懂0求KU的最大痕值,得n=外1時(shí),KU為最勒大值廚。當(dāng)R1=R2=R3=R4時(shí),電橋忌電壓予靈敏劃度最鐮高,此時(shí)有得出單朱臂電橋芹電橋輸愈出為直流熔電橋礎(chǔ)的優(yōu)蠢點(diǎn)：高穩(wěn)乞定度犁直流葉電源傲易于絨獲得筑，電習(xí)橋調(diào)收節(jié)平綢衡電拉路簡(jiǎn)底單，釣傳感挎器及爺測(cè)量蓄電路網(wǎng)分布袖參數(shù)博影響煩小等仗。（二）瘡電橋的泥非線性黃誤差單臂喊橋?qū)嵳撾H輸牛出為廚：非線性組誤差為對(duì)于對(duì)堆稱電橋鼠，n=棵1（1）采用斷差動(dòng)電身橋減小沿非線性炒誤差試件架上安撐裝兩好個(gè)應(yīng)寇變片瘡，R1受拉，R2受壓擱。接入電料橋相鄰冒橋臂,則電橋輸士出電壓福為對(duì)于巖一般略應(yīng)變得片來撒說,所受應(yīng)彎變?chǔ)磐ǔＴ?×驅(qū)10-3以下,若取KU=2蛇,則ΔR1/R1=KUε=0腥.0目1,代入式氧（3省-38）計(jì)算傻得非淺線性婆誤差偉為0.5粱%;若KU=1舉30本,紛ε=青1×１0-3時(shí),ΔR1/R1=0.唐130港,則得到裕非線性誤差為6%,故當(dāng)搏非線肆性誤炊差不弄能滿泉足測(cè)哪量要蹄求時(shí),必須雕予以忽消除魯。如果ΔR1=Δ塘R2,舌R1=R2,同R3=R4,則得結(jié)論：差動(dòng)然電橋消燦除了非它線性誤輸差，靈知敏度比鵝單臂電廊橋提高浴了一倍永。且具犧有溫度毯補(bǔ)償作堆用。全橋絹差動(dòng)渣電路悅：R1R4受拉嫩應(yīng)變,R2R3兩個(gè)受渴壓應(yīng)變,將兩個(gè)軟應(yīng)變符梢號(hào)相同寒的接入中相對(duì)橋鍬臂上結(jié)論：全橋電弟路電壓厲靈敏度剛為單臂伴橋的4倍，消枕除了非析線性誤憤差，且沈具有溫?fù)矶妊a(bǔ)償屠作用。若ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4,且R1=R2=R3=R4,則(2)采用踏恒流確源電獵橋減熔小非霉線性酷誤差(二)交流偷電橋當(dāng)被測(cè)簡(jiǎn)量為動(dòng)較態(tài)量時(shí)環(huán)，應(yīng)變框電橋出采用觸交流籠電橋急。由于供飾橋電源道為交流糾電源,引線框分布籍電容釘使得挨二橋侵臂應(yīng)拒變片失呈現(xiàn)缸復(fù)阻竄抗特迅性,相當(dāng)于毛二只應(yīng)盤變片各項(xiàng)并聯(lián)了拐一個(gè)電敏容,則每一苦橋臂上召?gòu)?fù)阻抗遇分別為要滿足踐電橋平片衡條件,即U0=0,則有Z1Z4=宿Z2Z3將Z1、Z4、Z2、Z3值代擋入得整理左上式收得交流電讓橋的平恐衡條件凈為結(jié)論：恨交流斗電橋富除了突要滿驕足電岸阻平濤衡條穩(wěn)件外,還必須賀滿足電侵容平衡煉條件。砌為此在據(jù)橋路上龍除設(shè)有紫電阻平魯衡調(diào)節(jié)錫外還設(shè)頑有電容聞平衡調(diào)賀節(jié)。當(dāng)被測(cè)惑應(yīng)力變鄙化引起Z1=栽Z0+Δ絞Z,朵Z2=Z0ΔZ變化時(shí),則電胞橋輸腐出為丘：交流萬電橋攤平衡企調(diào)節(jié)五、溫成度誤差榆及其補(bǔ)幼償(一)溫度漫誤差愚：由于測(cè)涉量現(xiàn)場(chǎng)儀環(huán)境溫生度的改亂變而給負(fù)測(cè)量帶扣來的附儀加誤差,稱為應(yīng)逝變片的錄溫度誤奇差。①環(huán)境艘溫度誘變化熔時(shí)，斥敏感仗?hào)烹姈|阻隨奧溫度僵的變縱化引肌起的燃誤差緊。敏感優(yōu)柵的贈(zèng)電阻晉絲阻弊值隨暗溫度濃變化吃的關(guān)纖系可敢用下覺式表溝示式中:αt——金屬絲進(jìn)的電阻務(wù)溫度系欄數(shù);Δt—溫度額變化進(jìn)值,Δt＝t－t0。當(dāng)溫度哭變化Δt時(shí)②環(huán)境溫?fù)隙茸兓瘻y(cè)時(shí)，試幸件材料口的線膨瓣脹引起殖的誤差——應(yīng)變素片靈腫敏系面數(shù)——試件永膨脹旋系數(shù)——應(yīng)變鵲片敏阿感柵謙材料本的膨睬脹系摘數(shù)因此，袋由于溫縱度變化旨形成總傲的電阻烘相對(duì)變貸化為(二)溫度補(bǔ)濟(jì)償通常補(bǔ)異償溫度榴誤差的櫻方法有唱的自償設(shè)法和線磨路補(bǔ)償游法1．自補(bǔ)稀償法(1貫)單絲執(zhí)自補(bǔ)畝償法極：用甲熱處琴理的英方法孔調(diào)整計(jì)柵絲瓦的溫齊度系好數(shù)要實(shí)現(xiàn)副溫度自僵補(bǔ)償,必須有探電阻倚絲材擔(dān)料與昌被測(cè)叨材料需配合向恰當(dāng)塔，基尊本滿逗足上歲式。(2貞)組合提式補(bǔ)壘償償果法應(yīng)變辦片敏縫感柵殖絲由班兩種消不同溫度卸系數(shù)敢的金蘭屬絲完串接負(fù)組成很。組合崇式補(bǔ)岔償應(yīng)品變片緒的另衫一種似形式：二俗種串飽接的嗎電阻鴉絲具沈有相括同符餅號(hào)的絡(luò)溫度浙系數(shù)殺，滿冰足以山下條繩件由此惑可求幻玉得2.線路補(bǔ)估償法①常用炮的最殼好的屈補(bǔ)償除方法遺是電緣瑞橋補(bǔ)擱償法似。補(bǔ)償原茫理：橋猜路相臨成兩臂增框加相同笛電阻，座對(duì)電橋慚輸出無抹影響。電橋牢輸出芹電壓Uo與橋臂育參數(shù)的爪關(guān)系為Uo=A（R1R4－RBR3)式中:A—棟—由橋予臂電伸阻和灶電源脂電壓監(jiān)決定韻的常服數(shù)。糕R1—工作應(yīng)驗(yàn)變片；RB—補(bǔ)償應(yīng)順變片溫度券補(bǔ)償旗條件悲：①R3=R4。②R1與RB為特亡性一則致的繞應(yīng)變秧片。R1為工作閘應(yīng)變匙片，RB為補(bǔ)償鈴應(yīng)變片片它們押處于籠同一礙溫度狡場(chǎng)，譽(yù)且僅割工作誘應(yīng)變逐片R1承受應(yīng)怒變。補(bǔ)償左過程假：當(dāng)溫彼度升洪高或厭降低Δt緣瑞=t－t0時(shí),工作鞭應(yīng)變犧片由R1變?yōu)镽1+Δ拳R1t，補(bǔ)償應(yīng)跪變片由RB變?yōu)镽B+Δ暴RBt。且ΔR1t=ΔRBt。此時(shí)電鍵橋輸出套為Uo=A［（R1+ΔR1t）R4－(RB+Δ屠RBt)R3］=0若此定時(shí)被反測(cè)試酷件有略應(yīng)變?chǔ)诺淖饔?則工作懂應(yīng)變片放電阻R1又有新井的增量ΔR1=R1Kε,而補(bǔ)償黑片因不盛承受應(yīng)電變,故不債產(chǎn)生擋新的車增量,此時(shí)電刑橋輸出燈電壓為Uo=果AR1R4Kε摧Uo與ε成單值卻函數(shù)殿關(guān)系屈。②差動(dòng)電橡橋補(bǔ)償滅法測(cè)量毯梁的復(fù)彎曲刪應(yīng)變并時(shí)，誦將兩得個(gè)應(yīng)善變片處分貼屠于上扯下兩面裂對(duì)稱羽位置閉，銜特鍛性相豪同，所以肅二電享阻變加化值遠(yuǎn)相同漿而符怎號(hào)相反。但雕按句圖接入央電橋，池因而電并橋輸出搏電壓比視單片時(shí)彎增加1倍。當(dāng)梁宗上下衛(wèi)面溫地度一某致時(shí)雞，桿可框起溫滑度補(bǔ)踢償作踐用。③熱敏治電阻例補(bǔ)償烈法熱敏黃電阻Rt與應(yīng)弟交片潤(rùn)處在先相同燃的溫蛋度下爹，當(dāng)瞧應(yīng)變伸片的挖靈敏壟度隨追溫度券升高炕而下濟(jì)降時(shí)盾，熱修敏電嘴阻的乎阻值仇下降殺，使拘電橋塵的輸塞入電芝壓隨溫度升吵高而增塌加，從哨而提高由電橋的引輸出電號(hào)壓。選騎則分流繩電阻的值劑可以牲使應(yīng)診變片去靈敏室度下季降對(duì)電橋輸課出的影毫響得到步很好的誤補(bǔ)償。六、肆應(yīng)變敬式傳額感器頑舉例（一）應(yīng)昆變式力彈傳感器1.柱（筒某）式力滾傳感器扎圖軍所示批為柱舒式、澤筒式峽力傳偏感器,貼片在娛圓柱面瓜上的位攜置及在究橋路中保的連接鉤如圖室（c）、（d）所示。熔縱向皮和橫向細(xì)各貼四陶片應(yīng)變宮片，縱扣向?qū)ΨQ妄的R1和R3串接,R2和R4串接,橫向隸的R5和R7串接,R6和R8串接,并置于罰橋路對(duì)黎臂上以削減小偏忽心載荷絲式及彎矩激的影響,橫向貼那片作溫危度補(bǔ)償擺用。橋路健輸出初電壓2.薄壁惠圓環(huán)況式力凍傳感投器所示怕為環(huán)樹式力烤傳感若器結(jié)鐮構(gòu)圖括及應(yīng)緣瑞力分鋤布圖艇。A處應(yīng)力妨為負(fù)，B處為否正。對(duì)R/指h>視5的小衡曲率麗圓環(huán),A、B兩點(diǎn)競(jìng)處的朱應(yīng)變莫為h—察—圓環(huán)厚酬度;惜b—驢—圓環(huán)航寬度;運(yùn)E——材料蛇彈性曲模量稠。若A處內(nèi)款外環(huán)罩對(duì)稱納貼兩武片應(yīng)睛變片莫，B處受拉迷或壓應(yīng)速力將應(yīng)宅變片接濤于電橋備電路。輸出糞電壓潑為3．梁式堆力傳感鼻器4．輪孕輻式吩力傳背感器（二）杜應(yīng)岡變式壓涌力傳感復(fù)器1.膜片式戶壓力傳哪感器,應(yīng)變片次貼在膜叨片內(nèi)壁,在壓答力p作用下,距離圓狐心x處膜負(fù)片產(chǎn)僑生徑耀向應(yīng)蓬變?chǔ)舝和切殺向應(yīng)違變?chǔ)舤,表達(dá)越式分象別為:p——膜片絹上均灶勻分真布的鋸壓力;郊R,共h擔(dān)——膜片的俯半徑和形厚度;閣x——離圓心掌的徑向舊距離。膜片彈罩性元件怒承受壓閣力p時(shí),其應(yīng)蜜變變摟化曲底線的潑特點(diǎn)部為:在平膜激片圓心徹處切向裕粘貼R1、R4兩個(gè)應(yīng)坑變片,在邊型緣處絮沿徑頸向粘臘貼R2、R3兩個(gè)取應(yīng)變基片,然后接侵成全橋櫻測(cè)量電灰路。輸津出電壓攔為：2．筒貓式壓分力傳琴感器3．組合靈式壓力壤傳感器（三）表應(yīng)剖變式加確速度傳揚(yáng)感器測(cè)量姥時(shí),將傳感相器殼體驗(yàn)與被測(cè)豪對(duì)象剛蹄性連接宜。應(yīng)變片所加速度份傳感器贈(zèng)不適用船于頻率付較高的暢振動(dòng)和補(bǔ)沖擊,一般適查用頻率劇為10～60Hz范圍。第二節(jié)慮壓框阻式傳登感器壓阻效誕應(yīng)：固輸體受到條作用力亂后，電棚阻率就樣要發(fā)生暗變化，敏這種現(xiàn)魔象叫壓路阻效應(yīng)丸。半導(dǎo)仇體材料身的壓阻說效應(yīng)特飼別強(qiáng)。半導(dǎo)描體壓及阻式啦傳感在器的避分類弦：①粘貼式厘應(yīng)變片②擴(kuò)散平硅型輸壓阻盒傳感科器特點(diǎn)：亂靈敏系鋼數(shù)大，燃分辨率奧高，頻鏈率影響抽高，體挽積小。爹主要用字于測(cè)量崇壓力、通加速度否和載荷肯等一、收半導(dǎo)就體應(yīng)牢變片告結(jié)構(gòu)未及工泄作原榴理及1、半導(dǎo)體眾應(yīng)變片溪的制作妙與結(jié)構(gòu)制作瓜材料諷用單富晶硅拴、鍺雅。P型單滅晶硅士結(jié)構(gòu)堅(jiān)如圖聞。在址直角消坐標(biāo)瘋系中奇它有案許多未晶軸懷方向估，實(shí)龍驗(yàn)發(fā)飛現(xiàn)沿挺不同郵晶軸增方向老壓阻澆系數(shù)留相差塊很大幼（電朵阻率左變化它相差鞠很大碑）。2、工手作原殿理壓阻效輕應(yīng)：半賞導(dǎo)體沿順某一軸降向受到爸應(yīng)力而蚊產(chǎn)生應(yīng)數(shù)變時(shí)，駝其電阻璃率發(fā)生全變化，妨此現(xiàn)象澆為壓阻省效應(yīng)。一、污基本間工作楚原理半導(dǎo)體堅(jiān)電阻率調(diào)的變化湖為：半導(dǎo)飯?bào)w電褲阻材究料有蘋結(jié)晶倚的硅姑和鍺參，摻撿入雜折質(zhì)形塔成P型和N型半稅導(dǎo)體步。當(dāng)體硅膜硬比較長(zhǎng)薄時(shí)昆，在屈應(yīng)力艷作用陳下的太電阻掃相對(duì)院變化聾為：二、溫膨度誤差董及其補(bǔ)嘆償壓阻梢式傳抽感器濾受到尺溫度腸影響卡后，冶要產(chǎn)傅生零茫位漂污移和群靈敏數(shù)度漂移賄，因早而會(huì)邪產(chǎn)生甜溫度倉(cāng)誤差陷。傳感器罰靈敏度講的溫漂卵是由于仁壓阻系弄數(shù)隨溫義度變化劇而引起使的。當(dāng)趟溫度升菜高時(shí)，拋壓阻系廳數(shù)變小理，傳感幕器的靈殖敏度要娃降低，則反之靈鑄敏度升常高。零位溫是漂一般戲可用串昏、并聯(lián)席電阻的樸方法進(jìn)繳行補(bǔ)償飄。三、壓痰阻式傳歡感器舉圖例(一)半導(dǎo)責(zé)體應(yīng)贊變式投傳感茄器常用拌硅、濁鍺等愿材料遲作成櫻單根銹狀的闊敏感賓柵，預(yù)