固態(tài)傳感器磁敏

Chapter8

固態(tài)傳感器8-1磁敏傳感器檢測技術(shù)Chapter8固態(tài)傳感器定義以半導(dǎo)體、電介質(zhì)、鐵電體等為敏感材料，在力、磁、熱、光、射線、氣體、濕度等因素作用下引起材料物理特性變化，通過檢測其物理特性的變化即可反映被測參數(shù)值。物性型傳感器。Chapter8固態(tài)傳感器優(yōu)點(diǎn)

由于傳感器原理是基于物性變化，因而沒有相對運(yùn)動(dòng)部件，不存在磨損問題，可以做到結(jié)構(gòu)簡單，小型輕量；感受外界信息靈活，動(dòng)態(tài)相應(yīng)好，并且輸出為電量；采用半導(dǎo)體為敏感材料，容易實(shí)現(xiàn)傳感器的集成化、一體化、多功能化、圖像化、智能化；功耗低，安全可靠。Chapter8固態(tài)傳感器缺點(diǎn)輸出特性一般為非線性，所以線性范圍較窄，在線性度要求高的場合應(yīng)采用線性化電路；輸出特性易受溫度影響而產(chǎn)生漂移，所以要采取溫度補(bǔ)償措施。過載能力差，性能參數(shù)離散性大。8.1.1霍爾傳感器1霍爾效應(yīng)2霍爾系數(shù)和靈敏度3材料及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)4基本電路形式5電磁特性6誤差分析及其補(bǔ)償方法7霍爾器件的特點(diǎn)8應(yīng)用1.霍爾效應(yīng)科學(xué)家愛德文·霍爾1879年發(fā)現(xiàn)了霍爾效應(yīng)。半導(dǎo)體薄片置于磁場中，當(dāng)它的電流方向與磁場方向不一致時(shí)，半導(dǎo)體薄片上平行于電流和磁場方向的兩個(gè)面之間產(chǎn)生電動(dòng)勢，這種現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)；該電動(dòng)勢稱霍爾電勢，半導(dǎo)體薄片稱霍爾元件。為什么會(huì)產(chǎn)生霍爾電勢呢？圖1霍爾效應(yīng)原理圖1.霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng)是導(dǎo)電材料中的電流與磁場相互作用而產(chǎn)生電動(dòng)勢的物理效應(yīng)。在與磁場垂直的半導(dǎo)體薄片上通以電流I，假設(shè)載流子是電子(N型半導(dǎo)體材料)，它沿與電流I相反的方向運(yùn)動(dòng)。由于洛侖磁力的的作用，電子將向一側(cè)偏轉(zhuǎn)，并使該側(cè)形成電子的積累。而另一側(cè)形成正電荷積累，于是元件的橫向便形成了電場。該電場阻止電子繼續(xù)向側(cè)面偏移，當(dāng)電子所受的電場力與洛侖茲力相等時(shí)，電子的積累達(dá)到平衡。這是在兩個(gè)端面之間建立的電場稱為霍爾電場，相應(yīng)的電勢稱為霍爾電勢。1.霍爾效應(yīng)設(shè)電子以相同的速度v按圖示方向運(yùn)動(dòng)，在磁感應(yīng)強(qiáng)度B的磁場作用下，并設(shè)其正電荷所受洛侖茲力方向?yàn)檎瑒t電子受到的洛侖茲力可用下式表示：霍爾電場作用于電子的力可表示為：當(dāng)達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，fE＋fL=0于是得，(8-1)(8-3)(8-2)1.霍爾效應(yīng)電流強(qiáng)度I=jbd=-nevbdv=-I/nebdd－霍爾元件的厚度。e－電子電量。又因?yàn)閖=-nev

j－電流密度n－單位體積中電子數(shù)，負(fù)號(hào)表示電子運(yùn)動(dòng)方向與電流方向相反。將(8-4)式代人(8-3)式，得UH=-IB／ned

若霍爾元件采用P型半導(dǎo)體材料，則可推導(dǎo)出

UH=IB／pedp－單位體積中空穴數(shù)。(8-5)(8-4)(8-6)2.霍爾系數(shù)和靈敏度設(shè)RH=1/ne則(8-5)式可寫成RH為霍爾系數(shù)，其大小反映霍爾效應(yīng)的強(qiáng)弱。由電阻率＝1/ne，得RH=－材料的電阻率－載流子遷移率，即單位電場作用下載流子運(yùn)動(dòng)速度。一般電子的遷移率大于空穴的遷移率，因此制作霍爾元件時(shí)多采用N型半導(dǎo)體材料。思考：霍爾效應(yīng)和電渦流的異同點(diǎn)？金屬是否適合用來制作霍爾元件？為什么？(8-7)(8-8)霍爾效應(yīng)和電渦流現(xiàn)象異同點(diǎn)1.相同點(diǎn)：存在磁場2.不同點(diǎn)：霍爾系數(shù):K=1/ned式中,n為載流子密度,一般金屬中載流子密度很大,所以金屬材料的霍爾系數(shù)系數(shù)很小,霍爾效應(yīng)不明顯;而半導(dǎo)體中的載流子的密度比金屬要小得多,所以半導(dǎo)體的霍爾系數(shù)系數(shù)比金屬大得多,能產(chǎn)生較大的霍爾效應(yīng),故霍爾元件不用金屬材料而是用半導(dǎo)體!

電渦流霍爾效應(yīng)金屬導(dǎo)體交變磁場(導(dǎo)體運(yùn)動(dòng))感應(yīng)出電流電磁原理通電線圈產(chǎn)生磁場半導(dǎo)體材料(一般是N型)磁場可以恒定或者交變感應(yīng)出電勢物性型傳感器使用磁鐵產(chǎn)生磁場

2.霍爾系數(shù)和靈敏度設(shè)將上式代入（8-7）則

KH－元件的靈敏度，它表示霍爾元件在單位磁感應(yīng)強(qiáng)度和單位控制電流作用下霍爾電勢的大小，其單位是(mV/mA·T)。當(dāng)磁感應(yīng)強(qiáng)度B與霍爾片平面法線成角度θ時(shí)，（8-11）表明，當(dāng)控制電流轉(zhuǎn)向時(shí)，輸出電勢方向也隨之變化，磁場方向改變時(shí)亦是如此。

(8-9)(8-10)(8-11)2.霍爾系數(shù)和靈敏度如果電流I用外部所加的電壓E來表示，那么：I=E/RR:霍爾元件的電阻值2.霍爾系數(shù)和靈敏度總結(jié)：RH:霍爾系數(shù)，反應(yīng)霍爾效應(yīng)的強(qiáng)弱，KH：元件的靈敏度，表示單位B和I的作用下，霍爾電勢的大小。RH=1/ne提高靈敏度的方法①金屬的電子濃度很高，所以它的霍爾系數(shù)或靈敏度都很小，因此不適宜制作霍爾元件。②元件的厚度d越小，靈敏度越高，因而制作霍爾片時(shí)可采取減小d的方法來增加靈敏度，但是不能認(rèn)為d越小越好，因?yàn)檫@會(huì)導(dǎo)致元件的輸入和輸出電阻增加，鍺元件更是不希望如此。一般d=0.1~0.2mm,薄膜型霍爾元件只有1μm左右。③適當(dāng)選擇材料的遷移率μ及霍爾片的寬長比(b/L)，可以改變霍爾電勢UH。3.霍爾嚇元件潮的結(jié)詞構(gòu)和傍基本師電路結(jié)構(gòu)霍爾桐片、還引線北和殼免體組挪成?；魻柋芷蔷G矩形巨半導(dǎo)耗體薄件片，云在短約邊的念兩個(gè)注面上題焊出偶兩根稀控制堤電流苦引線蔥，在驗(yàn)長邊調(diào)中點(diǎn)疲以點(diǎn)雖焊形海式焊腰出兩樹根霍飛爾電仔勢輸敵出端醬引線旁。焊點(diǎn)純要求祖接觸冊電阻蕩?。ㄖ礆W塵姆接叛觸）霍爾歲片一乖般用狐非磁請性金脈屬、透陶瓷偏或環(huán)濤氧樹碑脂封酸裝。3.霍爾撐元件叼的結(jié)嫩構(gòu)和蝦基本衛(wèi)電路圖2霍爾睬元件雁示意怨圖圖3霍爾煤元件片型號(hào)層命名花法圖4霍爾級(jí)元件滲的基吉本電回路3.霍爾壇元件仰的結(jié)他構(gòu)和把基本烤電路基本績電路控制鉤電流訂由電旬源E供給飄，R為調(diào)膽整電鄙阻，宏以保藥證元釣件中陸得剛到所托需要迅的控態(tài)制電尋流?；魻栕⑤敵鲅愣私拥湄?fù)載RL，RL可以貧是一拔般電走阻，冒也可拜以是裕放大蘭器輸濃入電她阻或護(hù)表頭震內(nèi)阻技。思考碰題：RL是越借大越絕好，飛還是刷越小灘越好膛？4.主要膏特性和參數(shù)從上四式中雞看出嫁，霍鬧爾電柿壓與院靈敏燥度、毅控制胃電流Ic和磁廳感應(yīng)濟(jì)強(qiáng)度B的乘泥積有港關(guān)。分兩稍種情幸況分燙析：1.磁場咱強(qiáng)度B恒定2.控制認(rèn)電流I恒定(思考煮：如維果電咽流是曲正弦緊信號(hào)鳴呢或否者交基變信她號(hào))磁場酒強(qiáng)度基B恒定，幣Uh輝-I露特性當(dāng)磁場膝強(qiáng)度絹B恒定炒時(shí)，首輸出UH和控遇制電駁流I魚具有冬良好府的線絡(luò)性關(guān)散系。教材P1敘71頁圖8-7.磁場攤強(qiáng)度B恒定KI兩=K排H*咱B，KI稱為僵控制霧電流哀靈敏稈度。KH射稱為施霍爾自元件治的靈導(dǎo)敏度奪。KH大，KI大。思考乎：KH大，陰霍爾杯電勢祖輸出UH也大吧嗎？在磁媽場恒戰(zhàn)定的園情況北下，焰選用藍(lán)靈敏哲度較俗低的龍?jiān)鈺r(shí)，繁如果計(jì)允許燈控制鋸電流葵較大春的話午，也現(xiàn)可能器得到撞足夠扒大的黨霍爾遙電壓阻。比如In萌Sn霍爾灘器件HT訊-2渴,它的桑靈敏痕度比N型Ge的元憂件HZ姐-1小許肌多，恩但控莫制電悼流能肢增加引到30鑄0m教A,可得饞到的萌霍爾酒電壓UH反而賊可能陸比HZ父-1大。由于抽建立菊霍爾彈電勢腦所需靜的時(shí)射間較煎短，花所以繞它的護(hù)頻率服響應(yīng)釘很高胳。當(dāng)灰控制冠電流撞采用悉交流貞時(shí)，些它的規(guī)頻率庸可達(dá)壤幾千騎兆赫肉。注意錢：B恒定票，測量正頻率宿高。I恒定聚，測譽(yù)量頻漁率低客。4.控制舉電流I恒定當(dāng)控量制電犧流I恒定殿時(shí)，暗輸出UH隨著五磁場樸強(qiáng)度頁的增膛加不聾完全綱呈線添性關(guān)勞系，斑而有役非線夕性偏賢離。教材P1騾71頁圖8-冊8.4.控制適電流I恒定在控抽制電鳳流恒辜定的紀(jì)情況鄙下，UH與B的關(guān)哲系只衛(wèi)能在今一定呢范圍荒內(nèi)保制持線芝性,一般飄只在B<甲0.掠5T（相慌當(dāng)于50培00剖Gs以下拉）時(shí)簡可認(rèn)泊為是也線性且關(guān)系倒，尤渠其是HZ肆-4型元感件線稈性較虧好。當(dāng)磁叛場交肯變時(shí)獻(xiàn)，UH也是急交變哪的，趴但頻權(quán)率只恐限幾矮千赫面茲以蓋下。元件悔的輸餡入阻挎抗及柿輸出扣阻抗蹄并不侄是常戰(zhàn)數(shù)，叔隨磁廣場增礙強(qiáng)而朋增大槳，這怕是半戲?qū)w項(xiàng)的磁阻冶效應(yīng)。為了鄭減少在這種硬效應(yīng)躁的影斷響,控制滅電流Ic最好偉用恒間流源由提供4.各種梅效應(yīng)信總結(jié)壓電釣效應(yīng)霍爾磨效應(yīng)磁阻流效應(yīng)壓阻姥效應(yīng)整流廳效應(yīng)磁致疑伸縮殲效應(yīng)壓磁亭效應(yīng)磁滯講效應(yīng)光電奪效應(yīng)誤差源分析逢：(1鐵)幾何貧尺寸屢及電踢極焊質(zhì)點(diǎn)的撐影響在霍追爾電嬌勢的饞表達(dá)繡式中撒，是理將霍由爾片昌的長沿度L看作彎無限伐大來赤考慮詠的?；魻枅銎邊f(xié)有一則定的竹長寬L/哥b，存楊在著象霍爾闖電場嚴(yán)被控雪制電抹流板藍(lán)短路虛的影萬響；之因此龍應(yīng)在仁霍爾錦電勢顛的表膝達(dá)式兄中增汁加一賄項(xiàng)與惕元件盜幾何針尺寸她有關(guān)判的系小數(shù)。L/莊b>棗2時(shí)，陽形狀閑系數(shù)括接近載于1。(8萍-1慮5)電極絞焊點(diǎn)棉的影畫響1.控制緊電流要與霍野爾元微件之喬間的徐焊點(diǎn)等要求理想乎元件面接弦觸實(shí)際往上點(diǎn)接往觸2.霍爾虹電極漆的焊顯點(diǎn)要額求霍爾燒電極雕有一蘇定的備寬度夕，它啟對元夸件的針靈敏漸度和易線性殘度有養(yǎng)較大獎(jiǎng)的影版響。當(dāng)l/怨L<黑0.貴1時(shí)，犧電極害寬度顆的影騎響可奧忽略心不計(jì)弓。(2匆)不等綢位電四勢U0及其數(shù)補(bǔ)償當(dāng)霍常爾元來件的后控制對電流肢為額堆定值乘時(shí)，全若元腦件所粘處位掀置的鉛磁感曉應(yīng)強(qiáng)停度為電零，編則它蠶的霍帶爾電艘勢應(yīng)握該為鄭零，秘實(shí)際岸不為羊零，鋸這時(shí)禍測得宗的空崖載霍圖爾電泄勢稱顏為不等飲位電伏勢。(對比恥：零甚點(diǎn)殘倉余電畏壓？飛溫怕漂？馬零漂攝？)(2筒)不等排位電企勢U0及其爸補(bǔ)償產(chǎn)生創(chuàng)原因由于撐制造死工藝促不可半能保亮證將本兩個(gè)樸霍爾旬電極母對稱書地焊望在霍織爾片倍的兩嗎側(cè)，闖致使眼兩電資極點(diǎn)共不能扁完全稼位于攀同一祥等位睜面上;霍爾續(xù)片電駱阻率蜓不均尾勻或萄片厚配薄不腫均勻新或控已制電集流極粘接觸賣不良眨都將介使等圈位面情歪斜織，致留使兩棟霍爾和電極蒜不在屋同一疼等位帽面上枯而產(chǎn)棍生不鉤等位墻電動(dòng)擊勢。(2勾)不等襲位電撥勢U0及其哄補(bǔ)償補(bǔ)償鉗方法工藝材上采藏取措理施降延低U0；采用雪補(bǔ)償露電路托加以側(cè)補(bǔ)償妹。(3琴)寄生角直流臭電勢當(dāng)沒停有外穿加磁敗場，譯霍爾錢元件鋤用交富流控溝制電嗚流時(shí)賀，霍藝爾電橡極的噴輸出常除了禽交流糟不等監(jiān)位電荷勢外翠，還究有一熊個(gè)直沸流電笑勢，渴稱寄生顧直流缸電勢。交流響零點(diǎn)界偏離蚊零V電位衣。大小畏與工常作電愛流有增關(guān)，絡(luò)隨著俘工作縣電流搞的減坡小，望直流擺電勢拆將迅漲速減至小。寄生挎直流穗電勢培是霍西爾元基件零椅位誤把差的拉一部清分。寄生仆直流異電勢債的應(yīng)咳用：魚交浪流采雖樣電鋼路的于設(shè)計(jì)肯。(3習(xí))寄生省直流獅電勢產(chǎn)生膠原因元件咱的兩孩對電魔極不燃是完壘全歐推姆接暗觸而遭形成霞整流才效應(yīng)包，以及康兩個(gè)類霍爾擋電極識(shí)的焊羊點(diǎn)大線小不累等、抖熱容科量不跌同引搞起溫柔差所言產(chǎn)生澆的。補(bǔ)償爐方法元件掩制作鹽和安尖裝時(shí)壞，應(yīng)鋸盡量駛使電油極歐瞇姆接釣觸，矮并做指到散棄熱均沉勻，既有良怕好的偷散熱銀條件啄。對比賀：筆不等柳位電黑勢和牲寄生紙直流躺電勢先的區(qū)乒別不等挺位電崇勢：頑控脈制電赴流I恒定河，B=評(píng)0寄生留直流辱電勢使：閑控制濟(jì)電流I交變廊，B=矮0(4蠻)感應(yīng)屈電勢幸及其售補(bǔ)償霍爾丈元件萌在交胳變磁勻場中難工作鼓時(shí)，桌即使鋒不加痰控制蔽電流懼，由紛于霍別爾電泳勢的女引線庭布局薯不合志理，搖在輸墨出回煌路中奇也會(huì)上產(chǎn)生附加推感應(yīng)爐電勢，其叫大小放不僅籠正比崗于磁霜場的總變化四頻率癢和磁喇感應(yīng)您強(qiáng)度鮮的幅卸值，型并且查與霍而爾電采勢極度引線仍所構(gòu)刺成的配感應(yīng)款面積斑成正腦比。(4拖)感應(yīng)脂電勢謙及其司補(bǔ)償補(bǔ)償椒方法合理皮布線瓣；在磁跨路氣鑄隙中市安置甚另一媽輔助恥霍爾申元件陽。如閱果兩繩個(gè)元壁件的廈特性橫相同,就可迫以起拿到顯鉛著的兔補(bǔ)償寧效果泊。(5憶)溫度匪誤差竭及其鏈補(bǔ)償一般鋤半導(dǎo)畝體材茄料的鍛電阻桌率、紀(jì)遷移碗率和茶載流綠子濃他度等俊都隨油溫度擁而變磨化?；魻栦徳从砂氲緦?dǎo)體戚材料罰制成仍，因嘴此它幼的性嶺能參拿數(shù)如播輸入愁和輸奶出電皺阻、油霍爾骨常數(shù)串等也頌隨溫倦度而貼變化柏，致賢使霍止?fàn)栯姼銊?dòng)勢懂變化賊，產(chǎn)冒生溫支度誤屑差。輸入微輸出塊電阻換隨著當(dāng)溫度忘變化例，引蝦起控誰制電聾流I的變碗化。玩所以脈采用趣恒流唇源是蜂個(gè)有裕效的貫辦法只。但羽是KH也隨慎著溫從度變蹲化，(5觸)溫度砍誤差供及其釋補(bǔ)償減少慌溫度灣誤差愚的措禍?zhǔn)?.采用饒溫度軍系統(tǒng)窄小的秧元件行，如鋸砷化策銦。2.恒溫兩措施械。3.恒流佳源。濾采用追恒流扣源供肢電可俗以減篩小元克件內(nèi)艦阻隨叛溫度鞠變化序而引頓起的色控制盞電流蘆的變丑化。晚霍爾褲元件宅的靈夸敏度獲系數(shù)kH也是闖溫度張的函幕數(shù)，嚷采用郵恒流紹源后漏仍有患溫度觸誤差嬌。不剛能完蟲全解蜜決霍凈爾電典勢的學(xué)穩(wěn)定識(shí)問題拼。4.并聯(lián)愁補(bǔ)償奔電阻r0簡.(5皇)溫度睬誤差秩及其胞補(bǔ)償當(dāng)溫師度T上升啄時(shí)，駛霍爾棚元件滾的內(nèi)蘋阻增算加，觸導(dǎo)致誼流過恒霍爾諷元件哨的電誕流減拼小。藝如果竟用恒否流源形，則澤可以垃抵消朽內(nèi)阻洞變化族引起武的電賀流變浸化。政如果肢采用腎并聯(lián)銅補(bǔ)償泉電路慌的方哀法，破那么糕并聯(lián)r0后，休相當(dāng)盯于等雨效電術(shù)阻減腎小，殖那么較電流獲增加厲，起防到溫腳度補(bǔ)幻玉償?shù)纳饔门巍?5盼)溫度商誤差膀及其按補(bǔ)償5.采用域熱敏岡電阻Rt（具數(shù)有負(fù)備溫度鄉(xiāng)豐系數(shù)擁），樓電阻球絲（孟具有叔正溫吐度系協(xié)數(shù)）懶進(jìn)行勞溫度具補(bǔ)償富。使用電時(shí)要優(yōu)求這桑些熱削敏元直件盡遙量靠界近霍虎爾元傘件，妥使它鳥們具拖有相抓同的叮溫度坡變化泄。(5續(xù))溫度釘誤差突及其物補(bǔ)償a)輸入廢回路巧中接袖熱敏炸電阻b)輸入寶回路甲并接螞電阻何絲c)輸出甘端串等接熱余敏電建阻d)輸入戀端并波接熱習(xí)敏電尾阻7.應(yīng)用根據(jù)UH和I和B的關(guān)伏系，廁霍爾擁元件腸的用膽途分頭為：1.讀I恒定水，輸白出正貌比與隨磁場手，測銷量恒獎(jiǎng)定或駱者交墳變磁牽場，洪比如誕高斯端計(jì)。2.商B恒定晨，輸線出正伙比與叔控制品電流假，測趕量交喉流或白者直逢流電課壓表到，電控流表殖。3.腰I和B都變汁化，市輸出庭正比她與兩驚者乘韻積，洋比如找乘法坡器和黎功率書計(jì)(U粘*I魯)。7.應(yīng)用因場合霍爾頌式位黃移傳條感器霍爾棗式壓態(tài)力傳客感器加速奶度傳垃感器轉(zhuǎn)速歉傳感敢器電流吐傳感巾器霍爾稠計(jì)數(shù)童器圖霍爾劍式位旦移傳魔感器捉的工恒作原稠理圖(a順)磁場拖強(qiáng)度禾相同伸傳感糊器；(b緣瑞)簡單怖的位綿移傳雀感器閃；(c脈)結(jié)構(gòu)在相同籃的位演移傳敬感器(1伏)微位憐移和抓壓力鑼的測凱量下圖押為霍貿(mào)爾式慶位移嚷傳感錫器的均工作蠟原理桂圖。(1毫)微位謊移和施壓力濁的測魔量圖(a裳)是磁道場強(qiáng)投度相藍(lán)同的蝦兩塊識(shí)永久何磁鐵賊，同商極性厚相對暫地放闖置，亭霍爾韻元件貸處在稅兩塊走磁鐵乞的中郵間。由于騎磁鐵擾中間易的磁司感應(yīng)腐強(qiáng)度B=明0，因請此霍侵爾元超件輸娃出的瓦霍爾版電勢UH也等興于零切，此鄉(xiāng)豐時(shí)位池移Δx=0。若霍帝爾元起件在崇兩磁睡鐵中潑產(chǎn)生基相對歲位移甘，霍散爾元尾件感練受到攔的磁峽感應(yīng)谷強(qiáng)度絮也隨渾之改廢變，蓮這時(shí)UH不為今零，哈其量念值大投小反刊映出寇霍爾楚元件知與磁強(qiáng)鐵之巴間相濾對位芽置的鑼變化內(nèi)量。這種羞結(jié)構(gòu)限的傳很感器灘，其都動(dòng)態(tài)碧范圍巧可達(dá)5m杠m，分朝辨率貧為0.尚00禾1m酬m。(1匙)微位裹移和跟壓力滾的測猾量圖(b案)是一劍種結(jié)召構(gòu)簡項(xiàng)單的椅霍爾嗎位移初傳感鹽器，汪是由諒一塊廈永久縣磁鐵詳組成推磁路譜的傳符感器駕，在隨霍爾歸元件驚處于短初始洲位置Δx桂=0時(shí)，男霍銀爾電失勢UH不等嚴(yán)于零捉。龜圖(c獵)是一劉個(gè)由誰兩個(gè)別結(jié)構(gòu)評(píng)相同野的磁規(guī)路組錦成的習(xí)霍爾塵式位箏移傳世感器揭，為鼻了獲擊得較丘好的礙線性虛分布械，在貢磁極探端面睬裝有獲極靴鍛，霍剪爾元有件調(diào)正整好努初始覆位置都時(shí)，?？梢运臼够艄譅栯娗皠軺H=0。這場種傳蟻感器增靈敏欠度很攤高，區(qū)但它舟所能娃檢測卸的位懷移量焦較小墳，適痛合于芝微位忘移量得及振訴動(dòng)的遷測量查。(2濕)壓力預(yù)的測孩量霍爾斑式壓桌力傳亭感器喝結(jié)構(gòu)穩(wěn)示意美圖1-彈簧揚(yáng)管2-磁鐵3-霍爾搭片(3殿)加速叮度的株測量加速扮度傳致感器擾結(jié)構(gòu)左原理晴圖(5訪)轉(zhuǎn)速緊傳感壩器圖示魂各種災(zāi)方法沾設(shè)置驅(qū)磁體抄，將炮它們慚和霍繭爾開右關(guān)電撞路組掏合起替來可伸以構(gòu)主成各刃種旋輪轉(zhuǎn)傳皮感器愧?；舻虪栯姴迓吠ㄆ侩姾筻l(xiāng)豐，磁吵體每療經(jīng)過起霍爾男電路或一次今，便避輸出憑一個(gè)談電壓嗎脈沖幫。(5健)轉(zhuǎn)速付傳感眉器當(dāng)齒京輪位盈于圖蠻中(a魂)所示能位置何時(shí)，租穿過笑霍爾暮元件便的磁遍力線導(dǎo)分散辨，磁喚場相羞對較住弱；寒而當(dāng)半齒輪觸位于售圖中(b葬)所示悅位置挨時(shí)，給穿過蘋霍爾蝴元件貫的磁存力線潮集中弱，磁世場相橡對較敞強(qiáng)。哪齒輪或轉(zhuǎn)動(dòng)垂時(shí)，搭使得彩穿過伯霍爾山元件仇的磁疼力線旨密度覽發(fā)生鎖變化師，因容而引爐起霍泉爾電降壓的茅變化緩，霍胸爾元堆件將指輸出秩一個(gè)展毫伏(m渠V)級(jí)的脖準(zhǔn)正熟弦波刊電壓類。此慣信號(hào)芝還需統(tǒng)由電溫子電吹路轉(zhuǎn)取換成船標(biāo)準(zhǔn)名的脈荒沖電要壓?；魻枠蜉喫贉蟼鞲芯o器具百有以奔下優(yōu)氣點(diǎn)：勁其一炮是輸刊出信農(nóng)號(hào)電截壓幅來值不摩受轉(zhuǎn)蔑速的戒影響名。；側(cè)其二搞是頻泳率響第應(yīng)高情。其罷響應(yīng)匙頻率亡高達(dá)20洽kH獨(dú)z，相注當(dāng)于細(xì)車速餡為10再00斯km艘/h時(shí)所砌檢測攔的信瓶號(hào)頻偶率；繁其三秋是抗溉電磁節(jié)波干濤擾能篩力強(qiáng)系。因檔此，貨霍爾姓傳感場器不達(dá)僅廣師泛應(yīng)顧用于AB草S輪速得檢測能，也敲廣泛則應(yīng)用遣于其肥控制葡系統(tǒng)叼的轉(zhuǎn)夢速檢捉測。

霍爾計(jì)數(shù)裝置的工作示意圖及電路圖(6)霍爾陳計(jì)數(shù)見裝置勒(6)霍爾敏計(jì)數(shù)挽裝置上霍爾川開關(guān)死傳感雹器SL既35壟01具有閑較高蠢靈敏他度的哪集成踏霍爾敢元件典，能門感受櫻到很哈小的繳磁場夫變化耐，沒因而?？蓪糜窈谏饘倨诹慵栠M(jìn)行怒計(jì)數(shù)處檢測濃。上圖滑是對幼鋼球混進(jìn)行蔬計(jì)數(shù)笨的工儲(chǔ)作示始意圖簡和電閣路圖宰。當(dāng)鋼優(yōu)球通相過霍榨爾開界關(guān)傳饑感器吊時(shí)，萌傳感匹器可孔輸出若峰值20鬼m傘V的脈圖沖電麥壓，航該電習(xí)壓經(jīng)婆運(yùn)算腿放大膝器(μ子A7坐41院)放大罵后，差驅(qū)辰動(dòng)半聾導(dǎo)體干三極商管V(零2N葉58魚12棍)工作暮，V輸出究端便薄可接院計(jì)數(shù)巡壽器進(jìn)黎行計(jì)狗數(shù)，許并由臭顯示攤器顯禮示檢鞠測數(shù)奔值。8.先2磁敏鬧二極改管和窮磁敏銳三極慕管8.輛2.注1磁敏賤二極皂管8.積2.抗2磁敏拒三極弦管8.謝2.祝3磁敏奇管的燥應(yīng)用1.磁敏兵二極固管的踏結(jié)構(gòu)拼原理在高敏純度腸鍺半牙導(dǎo)體廉的兩引端用墊合金陽法制巴成高傭摻雜獅的P型和N型兩績個(gè)區(qū)肥域;在本愛征區(qū)鉤（i）區(qū)單一個(gè)椒側(cè)面避上，獨(dú)設(shè)置侍高復(fù)達(dá)合r區(qū);與r區(qū)相瘡對的疲另一獄側(cè)面映，保翅持為著光滑岔無復(fù)菠合表藏面。+（b）磁敏二極管的結(jié)構(gòu)和電路符號(hào)(a)結(jié)構(gòu)(b)電路符號(hào)H+H-N+區(qū)p+區(qū)i區(qū)r區(qū)電流（a）1.磁敏掛二極研管的鴨結(jié)構(gòu)櫻原理PNPNPNH=0H+H-→→→←←←電流電流電流（a）（b）（c）iii電子空穴復(fù)合區(qū)磁敏之二極夏管的喉工作蛾原理燙示意申圖1.磁敏資二極榴管的捷結(jié)構(gòu)閥原理圖(a彈)中，憂當(dāng)沒冊有外槍界磁孝場作鎮(zhèn)用時(shí)垮，由槐于外岔加正標(biāo)偏壓勵(lì)，大背部分鈔空穴甘通過I區(qū)進(jìn)聚入N區(qū)，友大部霞分電開子通到過I區(qū)進(jìn)扎入P區(qū)，槍從而疤產(chǎn)生察電流爪。只壓有很攔少電橡子空減穴在I區(qū)復(fù)亮合掉技。圖(b隔)中，頌當(dāng)受由外界允磁場H＋作用預(yù)時(shí)，光電子坊和空耗穴受盾洛侖并茲力樓作用議向r區(qū)偏廢移，帖由于間在r區(qū)電診子和弓空穴倆的復(fù)嶺合速狼度很懇快，煮因此閑進(jìn)入r區(qū)的晌電子攪和空宣穴很曬快就剃復(fù)合立掉。病在H＋的情臂況下瓦，載做流子這的復(fù)咐合率可顯然籍比沒斷有磁艙場作胡用時(shí)頸要大攪得多窯，因己而I區(qū)的本載流浪子密礎(chǔ)度減但小，光電流側(cè)減小屢，即剪電阻旦增加殲。那孕么在PI結(jié)、NI結(jié)上羅的電永壓相氣應(yīng)減愚少，候結(jié)電胳壓的朗減少闊又進(jìn)代而使來載流源子注木入量萌減少網(wǎng)，以豪致I區(qū)電添阻進(jìn)企一步廁增加另，直童到某誘一穩(wěn)族定狀輝態(tài)。1.磁敏熔二極酷管的煤結(jié)構(gòu)吳原理圖(c誦)中，支當(dāng)受渠外界旗磁場H－作用爆時(shí)，殃電子覆和空謎穴向r區(qū)的泳對面謎偏移索，即續(xù)載流曲子在I區(qū)停聽留的鼓時(shí)間息增長盤，復(fù)弦合減蓬少，腰同時(shí)巨載流城子繼匪續(xù)注旅入I區(qū)，支因此I區(qū)的獻(xiàn)載流合子密煮度增殿加，以電流苦增大暗，電量阻減踩小。但結(jié)果遼正向券偏壓機(jī)分配蛋在I區(qū)的混壓降鍋減少胡，而匙加在PI結(jié)、NI結(jié)上殺的電遙壓相禍應(yīng)增遲加，枝進(jìn)而崖促使事更多另的載漲流子凱注入I區(qū)，喘一起步使I區(qū)電蹄阻減惑小，疫直到摩某一市穩(wěn)定匠狀態(tài)黨。1.磁敏濃二極遍管的橡結(jié)構(gòu)義原理如果怕繼續(xù)威增加首磁場雷時(shí)，話就不假能忽逆略在r區(qū)對馬面的偵復(fù)合災(zāi)及其推對電萍流的脹影響民。由于督載流障子運(yùn)惠動(dòng)行閣程的漿偏移沾程度涼與洛喝侖蓬茲力當(dāng)?shù)拇笾バ∮芯勱P(guān)，父并且練洛侖裕茲力濱又與還電場朋及磁機(jī)場的背乘機(jī)智成正乒比，主因此舊外加數(shù)電場梯越高愚，這課些現(xiàn)武象越證明顯引。1.磁敏牌二極啞管的漂結(jié)構(gòu)英原理隨著恒磁場椅大小亦和方即向的喜變化室，可捏產(chǎn)生婆正負(fù)獲輸出捷電壓餅的變庭化、益特別箭是在源較弱買的磁辮場作數(shù)用下枝，可插獲得補(bǔ)較大現(xiàn)輸出非電壓毀。若r區(qū)和狡其他翅部分鑒復(fù)合示能力皂之差緞越大炒，那爐么磁嶄敏二條極管隙的靈現(xiàn)敏度沿就越懇高。磁敏困二極泛管反蝴向偏極置時(shí)夫，僅村流過鞋很微核小的贈(zèng)電流歡，幾帽乎與墨磁場叼無關(guān)某。因坑而二愁極管醋兩端廁電壓揀不會(huì)挎因受庫到磁走場作嶼用而療有任司何改遙變。2.磁敏璃二極忽管的襲主要蘭特征（1）伏扭安特忌性（2）磁幫電特稈性（3）溫胃度特夜向（4）頻股率特傍性（5）磁礦靈敏叼度（1）伏骨安特睛性在給稈定磁芹場情口況下販，磁凡敏二應(yīng)極管屋兩端擱正向河偏壓杠和通去過它會(huì)的電昌流的訪關(guān)系際曲線兄。-0.2213579U/VI/mA00.2T0.15T0.1T0.05T-0.05T（a）531I/mA46810U/V-0.3-0.2-0.100.10.20.30.4（b）531I/mA481216U/V-0.100.10.40.30.2-0.3（c）

磁敏二極管伏安特性曲線(a)鍺磁敏二極管(b)、(c)硅磁敏二極管-0.1T-0.15T-0.2T000二極什管伏申安特站性（1）伏鄰安特滅性在給抗定磁傳場的貌情況旺下，諒鍺磁板敏二機(jī)極管水兩端價(jià)正向劫偏壓炭和通夸過它前的電倉流關(guān)薦系曲福線如屋圖a所示花。硅磁呈敏二扁極管譽(yù)的伏匆安特雙性有聰兩種厘：一種踐是在季較大策偏壓冒范圍羨內(nèi)，玩電流栽變化柳比較欺平坦隱，隨黑外加毒偏壓臨的增蔥加電皆流逐墊漸增垮加，給而后堡伏安腔特性革曲線荒上升威很快錦，表突現(xiàn)出閘其動(dòng)子態(tài)電抱阻比億較小另一掠種是陪具有粘負(fù)阻階現(xiàn)象僵，即魄電流羞急增民的同食時(shí)偏南壓突輝然跌惹落。產(chǎn)生碑負(fù)阻棄現(xiàn)象款的原葬因是籠高阻珠硅的籃熱平僅衡載竭流子銷較少腿，諸臺(tái)如的丟載流勢子未嚷填滿停復(fù)合撓中心果之前版，不匙會(huì)產(chǎn)錘生較清大的抓電流暮。當(dāng)嗽填滿錯(cuò)復(fù)合該中心臉之后超，電資流才門開始谷急增沫，同旨時(shí)本粒征區(qū)網(wǎng)的壓短降減不小，爬表現(xiàn)睛為負(fù)監(jiān)阻特哲性。（2）磁昂電特里性在給盒定條害件下堆，磁酷敏二名極管覆的輸灑出電躺壓變隱化量槽與外助加磁織場間裁的變敢化關(guān)山系。圖籍磁敏遞二極通管的緊磁電牢特性側(cè)曲線（a）單緣瑞個(gè)使麻用時(shí)漸（b）互頁補(bǔ)使絮用時(shí)B/0.1T1.02.03.0-1.0-2.00.40.81.21.62.0-0.4-0.8-1.2-1.6-2.0B/0.1T2.0-1.0-2.00.40.81.21.62.0-0.4-0.8-1.2-1.6-2.01.0

3kΩREE=9VTd=20℃(a)(b)ΔU/VΔU/VΔU（2）磁逃電特糟性測試啊電路扔按圖義示連再接，蹦在弱移磁場(B潤=0膜.1箱T以下)時(shí)輸市出電逆壓變嘆化量鎮(zhèn)與磁關(guān)感應(yīng)渴強(qiáng)度胸成線召性關(guān)糕系，飾隨磁溪場的悶增加代曲線董趨向探飽和氧。正向穿磁靈剃敏度收大于銅反向工磁靈桶敏度媽。ΔU/VT/℃020400.20.40.60.81.0E=6VB=0.1T8060-20I/mA-5-4-3-2-1I

磁敏二極管溫度特性曲線(單個(gè)使用時(shí))ΔU（3）溫士度特傭性溫度碧特性寄是指擱在標(biāo)麥準(zhǔn)測錘試條喘件下考，輸祥出電哄壓變攤化量U或無借磁場坡作用陶時(shí)兩竿端電緊壓U0隨溫區(qū)度變胃化的演規(guī)律榮。（3）溫臣度特駁性磁敏勉二極巡壽管受附溫度百的影至響較塔大。間反映蒼溫度穴特性課好壞鑒，可壞用溫休度系差數(shù)表赴示。硅磁懼敏二腎極管辮在標(biāo)木準(zhǔn)測涼試條他件下耳，U0的溫青度系偵數(shù)小舊于±20勾mV／℃慈，U的溫佛度系到數(shù)小拐于0.斧6%浪/℃。而鍺辣磁敏腥二極意管U0的溫濕度系摔數(shù)小撕于-6能0m含V／℃刃，U的溫慣度系疤數(shù)小賤于1.槳5%梯/℃。規(guī)定峰硅管為的使?jié)h用溫拋度為-4濫0～＋85菠℃，而定鍺管兔則現(xiàn)寺定為-4姨0～＋65越℃。（4）頻禾率特香性dB0.1-12-9-6-301010.01

鍺磁敏二極管頻率特性f/kHz（4）頻軋率特隸性硅磁象敏二股極管姐的響怨應(yīng)時(shí)宇間，病幾乎線等于非注入徒載流做子漂涌移過日程中掩被復(fù)邪合并急達(dá)到欲動(dòng)態(tài)匠平衡辜的時(shí)除間。瞧所以捧，頻閥率響某應(yīng)時(shí)糠間與父載流隊(duì)子的泡有效腦壽命企相當(dāng)物。硅管制的響廚應(yīng)時(shí)姻間小敗于1μs，即閑響應(yīng)盡頻率紙高達(dá)1M躲Hz。鍺磁肺敏二伐極管泛的響拾應(yīng)頻卡率小落于10誘kH紋z。（5）磁毛靈敏散度磁敏白二極蔑管的久磁靈騾敏度體有如厲下幾住種定蹲義方傲法。電壓晉相對冷磁靈器敏度愚（hu），(a怪)在恒嶺流條史件下乞，偏媽壓隨汁磁場插而變軋化的梳電壓惕相對稈磁靈用敏度梢（hu）為課，即爐：u0—磁場典強(qiáng)度修為零華時(shí)，醉磁敏或二極究管兩方端的肚電壓丸；uB—磁場杏強(qiáng)度像為B時(shí)，汽磁敏準(zhǔn)二極瞧管兩鴿端的癢電壓疊。電流抵相對正磁靈拌敏度內(nèi)（hi），(b路)在恒來壓條例件下墳，偏英流隨派磁場掘變化杜的電做流相羞對磁涂靈敏筒度（hi），藍(lán)即：I0—給定談偏壓屆下，父磁場祝強(qiáng)度璃為零第時(shí)通族過磁套敏二條極管奏的電霸流；IB—給定永偏壓蠅下，貌磁場壇強(qiáng)度育為B時(shí)通鹿過磁瓣敏二墨極管萬的電希流；電壓權(quán)相對亦磁靈汗敏度胞和電風(fēng)流相巴對磁藍(lán)靈敏朱度(c滴)在給苦定電災(zāi)壓源E和負(fù)犧載電乘阻R的條腸件下拉，電剖壓相純對磁知靈敏春度和域電流排相對杏磁靈慰敏度采定義途如下計(jì)：U0、I0—磁場標(biāo)強(qiáng)度都為零園時(shí)，楊磁敏揪二極吳管兩卷端的遇電壓虹和電京流；UB、IB—磁場悄強(qiáng)度劣為B時(shí)，隱磁敏莊二極辱管兩載端的毒電壓錫和電扁流；（5）磁銜靈敏扔度—hRu和hRi測定hRu和hRi的電剩路入須圖所片示，飼該方翠法稱報(bào)為標(biāo)這準(zhǔn)測非試方寧法。應(yīng)特縮慧別注釘意，科如果姓使用孟磁敏豆二極翅管時(shí)屯的情長況和秤元件德出廠警的測鼻試條液件不哨一致深時(shí)，演應(yīng)重影新測辜試其米靈敏尖度。標(biāo)準(zhǔn)衛(wèi)測試肺法電涼路原奧理圖3.溫度燦補(bǔ)償磁敏括二極躲管的晌溫度渾特性飲較差討，因兆此在渡使用間時(shí)，悔一般賞需對怨它進(jìn)愁行補(bǔ)韻償，糠補(bǔ)償致的方企法較直多，鈴常采立用互聾補(bǔ)電求路。1.互補(bǔ)貍式電真路(圖鋼a)2.差分愉式電渾路3.全橋稱式電騙路(圖庫b)3.溫度緊補(bǔ)償互補(bǔ)蔽電路單：選垮用一盜組兩津只（張或選格用兩軌組）癥特性淋相同需或相慕近的予磁敏旦二極桐管，婆按相迅反磁錢極性咳組合動(dòng)，即咱管子文的磁語敏感產(chǎn)面相字對放叮置,構(gòu)成耳互補(bǔ)常電路糖?；パa(bǔ)舊電路鳥原理己：當(dāng)貓磁場B=如0時(shí)，淋輸出鐘電壓棚取決凱于兩活管（靈或兩句組互疊補(bǔ)管閉）等瞞效電們阻分?jǐn)缐罕妊陉P(guān)系但，當(dāng)落環(huán)境價(jià)溫度濁發(fā)生欲變化毒時(shí)，緣瑞兩只礦管子把等效跳電阻材都要河改變彼，因畝其特抬性完丟全一源致或伯相近銳，則俘分壓醬比關(guān)蓄系不辱變或玩變化澇很小階，因敵此輸要出電暖壓隨靈溫度嶼變化嘴很小銹，達(dá)謊到溫技度補(bǔ)話償?shù)慕砟康暮??；パa(bǔ)錯(cuò)電路君：呢除了灑溫度霉補(bǔ)償攤，還鉛可以志提高偉磁靈戚敏度肯。原因穗：P鳥18非1最產(chǎn)下方3.溫度摟補(bǔ)償差分壯式電倍路(地類似鋪半橋瘋電路膛):奸提縱高磁召靈敏胳度全橋秒式電彩路：塘磁高靈敏辣度更悔高。注意脂：向這兩震種方爐法對紅于管脈子的輛選擇跌要求份較高膽，實(shí)呆際使培用困吹難。3.提高興磁敏齡二極苗管電遵路的丟磁靈遲敏度陣方法除了緒上面隨三種棗電路瓜外，必下面鮮兩種尺方法續(xù)也可起以提竹高磁芒靈敏薪度：1.選擇悶靈敏器度高澆的管施子。2.提高肯磁敏浩二極量管的樂偏壓節(jié)。但殼管子灰電流究大，錄容易霉發(fā)熱悼。8.壟2.策2磁敏偏三極括管1.磁敏恰三極懸管的屬結(jié)構(gòu)庫原理NP灰N型磁掀敏三宣極管降是在壯弱P型近拴本征彩半導(dǎo)牙體上呀，用設(shè)合金角法或追擴(kuò)散昨法形勁成三田個(gè)結(jié)——即發(fā)律射結(jié)舞、基澡極結(jié)幣、集愉電結(jié)休所形爬成的垮半導(dǎo)輪體元舌件。1.磁敏挨三極彩管的略結(jié)構(gòu)溪原理在長商基區(qū)羽的側(cè)脈面制羽成一早個(gè)復(fù)河合速駐率很序高的壩高復(fù)境合區(qū)r。長鞋基區(qū)興分為棕輸運(yùn)敵基區(qū)亞和復(fù)啄合基女區(qū)兩斗部。圖NPN型磁敏三極管的結(jié)構(gòu)和符號(hào)a)結(jié)構(gòu)b)符號(hào)rN+N+ceH-H+P+bceba）b）i1.磁敏檢三極待管的純結(jié)構(gòu)雪原理N+N+N+cccyyyeeerrrxxxP+P+P+bbbN+N+N+（a）（b）（c）圖磁敏三極管工作原理示意圖(a)H=0;(b)H=H+;(c)H=H-1-運(yùn)輸基區(qū)；2-復(fù)合基區(qū)121.磁敏石三極蒼管的騙結(jié)構(gòu)含原理當(dāng)不喊受磁屈場作顏用如固圖(a旦)時(shí)，梅由于衰磁敏幼三極望管的親基區(qū)臘寬度列大于隙載流革子有辰效擴(kuò)誓散長慌度，除因而污注入嗚的載照流子尊除少善部分刪輸入脈到集格電極c外，伐大部埋分通近過e—拿i—考b而形蹦成基診極電穩(wěn)流。合顯而晚易見沃，基療極電第流大直于集定電極繳電流乞。所淘以，持電流并放大家系數(shù)脹。當(dāng)受預(yù)到臥磁場泉作用罪如圖(b憐)時(shí)，果由于尋洛侖助茲力男作用飯，載慣流子頂向發(fā)己射結(jié)快一側(cè)瘦偏轉(zhuǎn)臣，從載而使療集電陡極電弄流明遭顯下沿降。當(dāng)受嚷磁場瞞使用紅如圖(c促)時(shí)，睛載流手子在荒洛侖螺茲力冒作用鵲下，譯向集籮電結(jié)偏一側(cè)御偏轉(zhuǎn)舌，使蜜集電相極電阻流增麥大。2.磁敏桶三極惠管的佩主要遍特征（1）伏忘安特坊性（2）磁氏電特坦性（3）溫對度特旨向（4）頻遵率特種性（5）磁用靈敏知度（6）工來作電漸壓（1）伏綠安特元性磁敏荷三極知管的偵基極輩電流Ib和電藍(lán)流放耍大系詠數(shù)均慌有磁羽靈敏交度，軌并且慢磁敏炕三極鐮管電流正放大拌倍數(shù)堆小于1。Ib=3mAB-=－0.1T/b=5mAIb=4mAIb=3mAIb=2mAIb=1mAIb=0mAIC1.00.80.60.40.20246810VCE/V/mAVCE/VIb=3mAB=0Ib=3mAB+=0.1T2468101.00.80.60.40.20IC/mA圖磁敏三極管伏安特性曲線B=0（2）磁摸電特南性磁電質(zhì)特性蘋是磁捷敏三藍(lán)極管丹最重耀要的養(yǎng)工作談特性垃。在弱險(xiǎn)磁場笑作用抱時(shí)，壯曲線濕近似森于一袍條直鍬線。B/0.1TΔIc/mA0.50.40.30.20.115234-1-2-3圖3BCM磁敏三極管電磁特性（3）溫添度特柱性圖3BCM磁敏三極管的溫度特性(a)基極電源恒壓(b)基極恒流(a)-20020401.20.80.4

1.660B=0B=－0.1TB=0.1TT/℃基極電源恒壓Vb=5.7VIC/mA基極恒流Ib=2mAB=01.20.80.4-20020401.680B=－0.1TB=0.1TT/℃(b)IC/mA（3）溫以度特爛性磁敏刮三極陶管對剛溫度簽很敏姨感。3A傍CM、3B燃CM磁敏贈(zèng)三極語管的碑溫度汗系數(shù)狀為0.蓬8%段/℃；3C括CM磁敏蚊三極老管的誘溫度穴系數(shù)洽為-0竭.6洲%/撥℃。溫度罷系數(shù)種有兩粱種：一種逮是靜艙態(tài)集息電極惠電流Ic效o的溫括度系留數(shù)；一種六是磁趨靈敏判度死的色溫度晝系數(shù)松。（3）溫厚度特柱性在使熊用溫搭度t1～t2范圍勸，Ico隨溫偉度的同改變燙量與頸常溫趕（比匯如25議℃）時(shí)渴的Ico之比知為相吊對變閱化量誼。平壤均每繪度的夾相對尺變化隆量為Ico的溫歪度系擊數(shù)CT劈燕Ico，即遍：（3）溫素度特收性在使傾用溫賴度