硅半導(dǎo)體表面雜質(zhì)清洗的化學(xué)知識簡介

第三章硅半導(dǎo)體表面雜質(zhì)清洗的化學(xué)知識簡介海棠2016.3.19《半導(dǎo)體工藝化學(xué)》天津科學(xué)技術(shù)出版社,1983《半導(dǎo)體制造工藝》張淵,機(jī)械工業(yè)出版社對硅片表面清洗的化學(xué)知識做了簡要介紹，請讀者在學(xué)習(xí)和應(yīng)用時，進(jìn)一步查閱相關(guān)書籍，核對相關(guān)數(shù)據(jù)和知識。目錄1純水簡介

1.1純水的概念1.2水電阻率的影響因素2離子交換法制備純水

2.1離子交換樹脂2.2離子交換法的裝置2.3離子交換法的原理

2.4離子交換法的其它知識

2.5電滲析法和反滲透法簡介3硅表面雜質(zhì)類型和清洗步驟

3.1硅表面沾污的雜質(zhì)類型

3.2RCA清洗法4有機(jī)雜質(zhì)的去除

4.1有機(jī)溶劑溶除4.2堿和肥皂去油污

4.3合成洗滌劑去油污5無機(jī)雜質(zhì)的去除5.1無機(jī)酸5.2氧化劑5.3絡(luò)合劑6清洗中的安全問題7銅布線層CMP后的清洗簡介（微所在研項目）8清洗新研究的查閱1純水簡介1.1純水的概念為什么使用超純水？自來水、蒸餾水中含有很多雜質(zhì)。使用這種水去清洗硅片、材料和器皿，會在清洗時把表面沾污。什么是超純水？純水，又叫去離子水。25℃電阻率大于5MΩ·cm（5兆歐·厘米=5x108Ω·cm），超純水，25℃電阻率大于18MΩ·cm1.2水電阻率的影響因素水越純，雜質(zhì)離子濃度越小，電阻率越大，可用電導(dǎo)儀測水的電阻率，

空氣：空氣中的二氧化碳、其它可溶氣體、灰塵等可溶于水中，使電阻率降低，溫度：溫度升高，水中雜質(zhì)溶解度加大，雜質(zhì)離子運(yùn)動速度加快，水的電離度增大，電阻率降低，容器：塑料、有機(jī)玻璃、石英玻璃等在純水中溶解性較小，貯存高純水一般用塑料容器。

一般玻璃、金屬等在純水中具有一定可溶性。放置一段時間后，有微量的玻璃（硅酸鹽）或金屬、金屬化合物溶解，使電阻率降低。2離子交換法制備純水工業(yè)中制備超純水的主要方法有三種：離子交換法，電滲析法，反滲透法。下面主要介紹離子交換法。2.1離子交換樹脂離子交換樹脂是一種含有活性基團(tuán)而能進(jìn)行離子交換的樹脂。不溶于水、化學(xué)穩(wěn)定性高、具有一定機(jī)械強(qiáng)度、呈球狀顆粒的固體。交換陽離子的，稱為陽離子交換樹脂，簡稱陽樹脂。交換陰離子的稱為陰樹脂。一般用強(qiáng)酸型陽離子交換樹脂，聚苯乙烯磺酸型離子交換樹脂R-SO3H

。它具有較大的交換容量，對酸堿溶劑和氧化劑都比較穩(wěn)定，耐磨，耐熱性可達(dá)111℃以上。一般用強(qiáng)堿型陰離子交換樹脂，聚苯乙烯季胺型陰離子交換樹脂M-N+(CH3)3OH。它的交換容量約為聚苯乙烯磺酸型陽離子交換容量的1/2，物理、化學(xué)性能也很穩(wěn)定，如對酸、堿、氧化劑以及有機(jī)溶劑都較穩(wěn)定。熱穩(wěn)定性也較好，Cl型樹脂在150℃以下穩(wěn)定，OH型樹脂須在50℃以下使用，否則容易分解。2.2離子交換法的裝置離子交換法多用：復(fù)床—混合床裝置，復(fù)床是陽、陰離子交換柱串聯(lián)，混合床是將陽、陰離子交換樹脂按1:2比例混和在一個交換柱內(nèi)，（因為所選陽樹脂的交換容量約為陰樹脂的2倍，混合后成中性混合床的陽樹脂要比陰樹脂的比重大些，混合后易分層）2.3離子交換法的原理陽離子交換樹脂R’-

SO3H中的氫離子H+與雜質(zhì)陽離子進(jìn)行交換，從陽離子交換柱流出的酸性水進(jìn)入陰離子交換柱，陰離子交換樹脂中的氫氧根離子OH-與雜質(zhì)陰離子進(jìn)行交換，氫氧根離子OH-與氫離子H+結(jié)合成水。使用過的樹脂，可進(jìn)行再生處理。失效的陽樹脂，如Na型陽樹脂，可用一定量5~8%鹽酸進(jìn)行再生處理。失效的陰樹脂，如Cl型陰樹脂，可用一定量4~6％氫氧化鈉溶液進(jìn)行再生處理，2.4離子交換法的其它知識如果是自來水進(jìn)入陰離子交換柱，柱中堿性溶液與自來水中鈣、鎂離子反應(yīng)產(chǎn)生沉淀附在樹脂表面，使交換容量降低：實際離子交換法還有紫外線照射、活性炭過濾等步驟。2.5電滲析法和反滲透法簡介電滲析法是把離子交換樹脂做成膜片狀，再嵌接上交換基團(tuán)，加上外電場。陽膜只允許通過陽離子，陰膜只允許通過陰離子，使無機(jī)雜質(zhì)離子和水分離。反滲透法反滲透與擴(kuò)散相反，假如有兩份含鹽等雜質(zhì)的溶液，用一種半透膜分隔開，較濃的溶液易滲透到較淡的溶液中去，使兩邊溶液濃度接近，反滲透法就是在淡溶液的一邊加壓，使?jié)B透方向反過來，把淡溶液的雜質(zhì)壓到濃溶液那邊去，其脫鹽率一般大于98%，被廣泛用于工業(yè)純水及電子超純水制備。3硅表面雜質(zhì)類型和清洗步驟3.1硅表面沾污的雜質(zhì)類型硅片表面沾污的雜質(zhì)大致可分為4類：(1)顆粒，如光刻膠，(2)有機(jī)物，如油脂、松香、石蠟等，(3)金屬，(4)要去除的氧化層。3.2RCA清洗法清洗分為濕法清洗和干法清洗，濕法清洗有RCA清洗，稀釋RCA清洗，IMEC清洗，單晶圓清洗等。RCA清洗工藝是工業(yè)中標(biāo)準(zhǔn)的濕法清洗工藝。典型的硅片濕法清洗流程，RCA清洗RC行A清洗千流程先去沈除有庭機(jī)雜嘉質(zhì)，劑再用1號堿潤性H2O2和2號酸伴性H2O2進(jìn)一帳步去蠶除有因機(jī)和減無機(jī)瞞雜質(zhì)罩等，每一步都副用氫早氟酸此去Si辣O(jiān)2氧化夾層，丙并用梢高純呼水沖陳洗。最后進(jìn)行聾干燥先去勵除有渠機(jī)雜質(zhì)，因為它們有天疏水養(yǎng)性，燦把硅表銀面與案水隔細(xì)離開距，對清除無機(jī)雜質(zhì)有阻延礙作嗽用。用到細(xì)的試把劑去除揭有機(jī)雜質(zhì)，是SP愿M(Su把lf削ur調(diào)icPe叛ro臨xi恐deMi乎xt刃ur屑e)，是H2O2/H2SO41號標(biāo)準(zhǔn)清洗換液（SC-1），堿性過氧綢化氫艇，AP亡M(分Am怕mo塊ni夾aPe脂ro喘xi獵de候M苦ix禍tu凝re曬)，H2O2/N局H4OH摧/H2O，2號標(biāo)愁準(zhǔn)液杰（SC-2），酸性探過氧鼓化氫皇，HP溝M(帖Hy勸dr陪oc蔽hl沫or燙icPe豬ro粒xi遷de莖m盟ix丈tu陶re)，H2O2/H秒Cl膝/H2O，稀釋精的氫氟薄酸，DH脊P(秒Di虹lu民te達(dá)dHF)，HF辰/H2O，超純緞水，UP輔W(U高lt爹raPu割reWa沉te凈r)，H2O.4有機(jī)廈雜質(zhì)邁的去臥除4.1有機(jī)媽溶劑耍溶除有機(jī)雜質(zhì)編一般欲用有棗機(jī)溶泄劑溶劍解，休再用馬表面厲活性捷劑連伙接有診機(jī)物脊和水柜，最業(yè)后用魔高純裝水沖估洗。有機(jī)并雜質(zhì)，如油脂管、松拒香、伯蠟等，有機(jī)溶劑，如甲苯、丙械酮、吃乙醇等，一條經(jīng)驗規(guī)律：結(jié)恥構(gòu)相似襯者相溶。油脂抖和甲飲苯等章溶劑墓，都含有肺烴基掠（如碌甲基CH3），一般按甲苯怎、丙至酮、芒乙醇勻、水患的次她序清抖洗乙醇既有烴基（如CH3）又喪有羥基（-O苗H），因此鑼乙醇沒既能雪與甲茄苯、丙酮相溶，又能于誓水相溶。所以齊按這陽種次序叔，不僅能把租油脂，還能把甲笨、丙凝酮、公乙醇五等有摩機(jī)溶劑都除去。4.2堿和肥皂占去油言污堿液刃（如氫氧化存鈉）和油脂反應(yīng)線，生麥成脂劑肪酸的賣鈉鹽拼（肥拍皂）肥皂用通坑式R-屋CO歉ON貞a表示，在水中電書離出R-霸CO聯(lián)O-和Na+離子。R-狂CO年O-離子莊一端杰是烴掩基是疏水基，親油另一端夜羥基—OH，是親水穴基，親贊水這種腰有親瞞水基懲和疏終水基野的物邀質(zhì)叫表面畜活性桶劑，把不溶的油堂分子屑和水分勿子連征結(jié)在一駐起，這雖樣油就可賣以被鈴水沖兆走了。4.3合成戚洗滌快劑去揪油污合成洗滌散劑是助有機(jī)么合成腹的表面活性烘劑。如洗衣僅粉分為負(fù)離元子型忍和非級離子滾型。負(fù)離樂子型表墳面活凳性劑，電炮離出沙的負(fù)庭離子荒發(fā)揮作用卸，如十二余烷基謙苯磺酸拿鈉，疏水基，親水基，有較歌多鈉溉離子思，不浪宜用愚來清亞洗硅片隸，非離量子型續(xù)表面石活性雖劑，松原化生合物軟發(fā)揮乎作用挽，如十殿二醇睛聚乙透二醇板醚，疏水閘基是某烴基朋，親愉水基噴是羥基-OH鑰和半雹親水霧基如句醚基歷R-O-R’。這類碎活性央劑分為子去油脂減能力醉強(qiáng)。叢含鈉唱離子盛少，適合半導(dǎo)際體清洗。5無機(jī)支雜質(zhì)腰的去除無機(jī)惑雜質(zhì)提指金屬等，要用無咸機(jī)酸、氧化院劑、絡(luò)合設(shè)劑通過化學(xué)砌反應(yīng)而溶除。5.朱1無機(jī)勺酸(1倘)鹽酸耐HCl鹽酸殼是氯植化氫桶氣體茂溶于水制得籮的液體，無色透明的，有刺激掘性氣味善，一陡般因校含有雜質(zhì)旦（主魂要是Fe3+）而呈蒼淡黃井色。（比贊重也績稱相續(xù)對密晶度，難固體晝和液配體的元比重愛是該塵物質(zhì)悔的密對度，墳與在膽標(biāo)準(zhǔn)劉大氣滲壓，3.練98奮℃時純H2O下的備密度落（99匪9.拴97趁2垂kg隔/緣瑞m3）的濱比值葛。質(zhì)量濕百分我比濃戀度即寨質(zhì)量磁分?jǐn)?shù)葛，用似來表塵述單逆位質(zhì)碑量的丑溶液貿(mào)中含桑有某景物質(zhì)農(nóng)的百私分比鼓。）濃鹽酸疾比重沖為1初.1徹9，尺其重蓬量百刺分比盲濃度壯為36~38％。含氯化帳氫2矛0.半24慶％的鹽酸的沸點為1撿10秋℃。濃鹽幅酸具題有強(qiáng)點酸性抖、強(qiáng)聰腐蝕渴性和族易揮草發(fā)性。HCl的強(qiáng)酸偶性清洗狂中利夏用鹽舊酸的妙強(qiáng)酸茅性來兼溶解暫硅片蛇表面沾污的暗活潑患金屬針、金摸屬氧腔化物愿、氫指氧化息物和頭部分餓鹽類。所生成堂的金片屬氯大化物大部圍分可溶討于水，可用哈大量往的高濱純水吊沖洗冤清除。鹽酸貴不能方直接兩與銅牌、銀閘、金這等不活潑的金甲屬反佛應(yīng)。(2肚)硫酸H2SO4硫酸黨是無環(huán)色無遼嗅的見油狀劇液休汽，濃飄度為鎮(zhèn)95抓~9絡(luò)8％兇的濃喪硫酸埋比重奇為1碌.8替38守，沸司點為宗33抬8℃。濃硫溫酸具細(xì)有強(qiáng)披酸性戰(zhàn)、強(qiáng)欄氧化凝性、粱強(qiáng)腐蝕貧性、吸水脫水暮性、和高沸堤點難鳴揮發(fā)鄭性等。H2SO4的強(qiáng)酸性硫酸的強(qiáng)酸性，能與服活潑鈴金屬昨、金放屬氧幻玉化物秒及氫點氧化工物等鉛作用。如，H2SO4的氧化性由于啞濃硫仙酸具饅有氧北化性連，還津能與陵銅、架汞、比銀等滑不活唐潑金癢屬作酸用。但不鬧能和制鉑、個金作虎用。冷濃硫左酸不伐與鐵迎、鋁以等金帆屬作名用，泊這是雅因為臟在冷比濃硫版酸中膠，鐵槽、鋁就等金頓屬表壯面生疫成一嘉層致濤密的氧化皺物保孫護(hù)膜，阻止反應(yīng)繼續(xù)，這呀種現(xiàn)身象稱貍為“楚鈍化爐”現(xiàn)逝象。所以弟可用壞鐵、活鋁制灶的容汗器盛把放濃控硫酸怖。濃硫新酸作塊為氧井化劑撞，與稠重金描屬、裙銅、際汞、資銀和靠非金六屬硫冬、碳蓮等反投應(yīng)，被還原估為二啄氧化掀硫(SO2），遇到凝較強(qiáng)趙的還鋼原劑伐，可塔進(jìn)一現(xiàn)步被邁還原侍成硫S或硫幼化氫H2S，往往渠三者程同時邁存在帥，反矩應(yīng)式似如下梅：H2SO4的脫水趨性、吸水勢性濃硫酸具有很強(qiáng)婚的脫跨水性，能將有喂機(jī)物屯中的候氫與緣瑞氧以肚水的比例奪去。所以濃硫酸可使有機(jī)同物脫套水而盆碳化攻，如憐果同潔時進(jìn)肌行加息熱，啦析出窮的碳譜還能衡進(jìn)一錢步氧噴化生猶成二遼氧化屠碳。半導(dǎo)休惕器件將生產(chǎn)傻中也太常用朝濃硫溫酸的碳化借作用，除去硅片插表面列上沾翅污的宮油脂鏟、蠟甲、棉宅花纖綁維、忽松香哀及光曲刻膠色等。濃硫酸狼具有休極強(qiáng)繭的吸乳水性班，是跟一種叨常用撤的干燥劑。生產(chǎn)中常減用濃故硫酸丹吸除欲濃鹽天酸中鑒的水卵分制蜂取無懼水氯咐化氫則，用陡來高蘇溫拋序光外振延硅纏片。安全操作在配制熊洗液已或稀丟釋濃尊硫酸至?xí)r，鎖只許香把濃硫酸驚緩慢倒入水中衡，邊倒邊攪拌，因為濃硫游酸比賤重大閣，能衛(wèi)沉在扇水中隊并使始熱量仗較均飽勻地擴(kuò)散嚴(yán)禁將水碗倒入禮濃硫風(fēng)酸中干，否哄則容品易形竊成局月部熱量腿使水暴蓄沸，造唇成燒嬌傷。不可用菊厚壁掛的玻默璃缸螞作為息配洗偵液或您稀釋餅濃硫懸酸的湯容器屈，以決免容督器炸裂籠。(3鮮)硝酸HN求O3純硝淘酸是僻一種柜無色透明、有刺腔激性宗氣味的液休，硝酸易揮綿發(fā)、見光受熱糟易分駛解。市售濃硝酸晉比重綿是1.4賓1，濃摧度為6懇9.撫2%榨，沸蘇點為津12原1.鹽8℃。硝酸具有強(qiáng)酸名性。硝酸喜具有衫強(qiáng)氧化性，濃、稀硝讓酸能與“舌金屬拒活動縫順序成表”示中氫以棄后的銅佛、汞窄、銀櫻等金旬屬作用，但硝酸猶不能疏氧化紗金、殖鉑等蠢金屬，大多速數(shù)非金匪屬也倒都能量被硝捧酸氧拉化為脾相對悅應(yīng)的膊酸，例如餡，硫凳、磷定與硝漂酸共沙沸，苦硫和茶磷分須別被氧化成硫脊酸和凍磷酸。根據(jù)奸反應(yīng)魄條件（酸的脊?jié)舛妊颉⑦€駛原劑麗的性兔質(zhì)、溫度滋）的占不同昌，硝嘉酸被孩還原穴成不昨同的揮產(chǎn)物援：氮的吵氧化數(shù)，還原劑愈弱天，硝絕酸愈擴(kuò)濃，則被還原孤的程駱度愈弱，反之掠亦然。有些金屬組如鐵考、鋁和、鉻猴、鎳胞、鈣誤等易溶于稀恰硝酸顧，卻懼不溶回于冷藝的濃紐奉硝酸江。這由于膀在室溫帆時，發(fā)生鈍化作用。利用河鈍化笛作用，如在光刻林鋁電棒極后擇去膠瞧時，洽可將坑片子愚浸泡惰在濃硝酸中，去除光刻陸膠膜而不倘破壞厲鋁層，避免鈍化作用迫，須用低濃辟度硝映酸或加息熱。5.陽2氧化削劑常用的氧晴化劑移有硫磨酸、硝飄酸、重鉻豆酸鉀（K2Cr2O7）、鉻酐（Cr惕O2）、雙氧孔水（H2O2）等。、(1匙)重鉻酸鉀重鉻絞酸鉀更洗液是飽幼和的采重鉻酸鄰鉀溶督液與腳過量統(tǒng)的濃硫酸混合。有橙紅獻(xiàn)色的三微氧化艇鉻（Cr呢O3）晶體析出零。三氧竟化鉻侵又稱架鉻酐，是懶最強(qiáng)輪的氧昨化劑葛之一申，劇毒濫。與某些優(yōu)有機(jī)疾物，往如酒精接觸號能立即著布火。含有三氧舉化鉻唐的洗攝液具尸有很型強(qiáng)的桂氧化崖性和們腐蝕株性，能氧化辭和溶解多種坡金屬懂、氧化狡物、無機(jī)說化合條物，而且熱的洗腥液還能氧化有砍機(jī)油汗類雜質(zhì)，生遲成可溶喇性的醇，酸稻，以予住清除。例如贏，常用重鉻嘉酸鉀探洗液些清洗訪玻璃堵、石勾英器嚼皿和金夢屬用具屋。清李洗時辰，器堤皿中武灌滿霸洗液誰，或鵲將器句皿浸績泡在伍洗液閑內(nèi)，陶時間耽一般繼不少幟于8黃小時妹。最后用大循量的蔽純水子將鉀豈離子清除干凈。在反哨應(yīng)中，礙重鉻嗎酸根離子互得到電子倚而還慌原成+3價的鉻離子，為漫綠色功，所以當(dāng)重鉻總酸鉀戰(zhàn)洗液鏟由橙床紅色庭變?yōu)槿谰G色壁，表御明已粘失去宅氧化撐能力，重鉻憑酸鉀甜洗液麗的配限制：將50～6乒0克士重鉻蕉酸鉀先溶于湯10棋0毫怕升熱梳水中錫，制佩成飽狹和溶亮液，承然后好將1紅00古0毫升濃硫向酸慢腹慢注嚇入，太并不棵斷攪朝拌。適混合經(jīng)時會碗放出拜大量尸的熱卻，切毒不可稱將水窗注入籃濃硫酸徒。(2坡)過氧好化氫H2O2過氧微化氫姓俗名叫雙葵氧水布，分級子結(jié)渾構(gòu)式故為H-O-O-H。純的過澆氧化著氫是淡藍(lán)栽色粘稠液體震，液體密度在2引5℃時為1.44更25克／厘米霧，沸點愈為15族1.4℃，魯凝固增點為-0.89℃，固體緣瑞的密茶度（-4℃）趟為1梁.6漢43克／雨厘米晝。純的點固體否過氧盾化氫朱被用躬作火粥箭燃另料的拼氧化餐劑。它是斯一種很文好的后洛劑，能與水按任意比例混合掀。過氧鍵-O-O-很不穩(wěn)跳定，句過氧博化氫邁在普蛋通條說件下勞將慢炕慢地搜分解言為水和氧氣。分解筒速度躲與外條界溫稅度、電光照譜、溶液的傘pH葡值、有無胖重金分屬離辮子存近在等旬有關(guān)調(diào)。過氧秋化氫才在酸范性、己中性抬介質(zhì)排中比圓較穩(wěn)娘定，麗在堿那性介貍質(zhì)中丙不穩(wěn)塑定。覽90站％的創(chuàng)過氧鮮化氫凱在p派H=4左述右為回最穩(wěn)婚定。一般南把它監(jiān)存放怨在不掩透明疫的塑誦料瓶殖中，圈并放遭置在悄陰涼框處。過氧渠化氫墊溶液最好使用墳時臨誘時配悲制。枝為了漢阻止它分解滋常加鴉有微矮量的斥穩(wěn)定蒼劑如錫酸壯鈉Na2Sn也O3過氧朗化氫倍有微弱訴的酸幣性，河在水溶液中分譜兩步電離：總，在半導(dǎo)悼體器團(tuán)件生好產(chǎn)中，主要薦利用臂過氧迫化氫的強(qiáng)黑氧化躍性，越它在酸性途和堿兇性溶除液中具有稿氧化艱性，在泰酸性溶液中氧化性體更強(qiáng)，它與碘枝離子卻，亞駛鐵離配子的反應(yīng)劫式，5.3絡(luò)合劑在清目除硅麥片表甲面的雜質(zhì)時，經(jīng)常丘采用仰生成絡(luò)合被物的方點法，特挺別對碌于用“三大強(qiáng)酸擔(dān)”也吳難以那清除看的重膏金屬煤雜質(zhì)掛，如啞金、呆銀、裂銅、遼鉑等。根據(jù)配位舅理論，經(jīng)常沾污營的Fe、Ni、Cu、Ag、Au等過渡金屬，易形成穩(wěn)定孔的絡(luò)離子的中心離子，可用氧化徒還原鴿反應(yīng)勵與絡(luò)擁合反才應(yīng)來綱清除援它們。常用的絡(luò)討合劑，如恢鹽酸食、氫氟酸、氟喬化氨舊、氨日水等顧，就醒是利垮用這鼠些化優(yōu)合物超中的鹵始素離姐子F-、Cl-以及中性分子NH3作為配位體，與溜中心離子慶形成著可溶禽性的呆絡(luò)合象物，慕然后姥再用高純水沖洗杰清除，(1討)酸性和堿性過氧鏡化氫洗液以過氧偉化氫擁為基李礎(chǔ)的孝洗液碌已廣剩泛用嫌于硅美片清扮洗，有堿性和酸性兩種。堿性眾過氧駕化氫清洗堪液堿性勵過氧喘化氫清洗溫液（通常糕簡稱為1號洗液禿）是慢由純攜水、堵過氧騙化氫拴（3森0%凍）、永濃氮水（27%）肉按一斑定比撞例混長合而掛成的。氨水氨水拋是氨料的水膚溶液，2弄0℃時一體積的水叼能吸日收7肅00各體積膨的氨。是無色笛透明鉛有刺激賓性臭味范的液強(qiáng)體。擾市售蛋濃氨滑水的若含氨煎量為埋25列~2初8%晃，比完重約子為0蜓.9。氨水是一欠種弱堿差，其中存在著下筒列平絨衡：氨水能提材供氨分子和氫氧底根離湖子。堿性過氧宵化氫盤洗液的作紗用：(1圾)利用氨水借的堿奶性，躬除去鴿能溶喉于堿勇的雜媽質(zhì)。(2屬)利用H2O2在氨水貿(mào)堿性繩介質(zhì)會中的澇強(qiáng)氧階化性俊，并風(fēng)利用奮氨絡(luò)輩合劑貴的作藥用，氏與許勝多金飽屬離子溝如Cu2+、Ag+、Zn2+、Co2+、Ni2+、Cd2+、Hg2+等形成穩(wěn)定的可破溶于植水的絡(luò)合唯物。如描，用1號堿性過氧川化氫筆洗液周除去浮硅片跨上光雕刻膠盜等有咱機(jī)物北，效青果良累好，憐且不橫會析棵出游硬離碳喚而再動次沾譯污硅叮片。食還能荒除去久拋光珍后殘扮存的扔蠟、俘松香度等有型機(jī)雜越質(zhì)。酸性期過氧供化氫筋洗液酸性診過氧稠化氫騙洗液，通稱2號洗液谷，它累是由許純水、過氧效化氫制（3芒0%張）、氧濃鹽酸（37%）組拳成的，酸性臨過氧簽化氫猾洗液膜的作壟用：(1坑)利用鹽酸往與活決潑金禍屬、金屬啟氧化島物、萍?xì)溲鯇?dǎo)化物診、碳著酸鹽娛、硫化物斑等作怕用，固變?yōu)椴步饘倨迓然畚?，號從而探使這鞏些雜區(qū)質(zhì)溶于水。(2錦)過氧尤化氫在酸浸性介置質(zhì)中繭的氧化性大大增強(qiáng)，并闊利用怨鹽酸神絡(luò)合壩劑的師作用娘，清缺除金區(qū)屬雜錢質(zhì)。評特別是能饒有效婚去除重金目屬金嶄和鉑。由于1號、2號洗豎液易惰揮發(fā)征、易睜分解毅，使姐用時須現(xiàn)用用現(xiàn)厚配，加熱墳溫度獎不宜肢過高業(yè)，只與需7套5~鞋80非℃。澡加熱挪時間福也不反能過這長，著一般飲只需謝10偏~2抄0分其鐘，偉否則巨會因渠過氧聚化氫躬分解，剩下倘的氨心水腐騾蝕硅樣片。實踐維證明1號、2號洗液樹具有克如下亦的優(yōu)以點：(1盛)操作方便描，使公用安雖全。(2筐)這兩種鈔洗液能去除僚無機(jī)滑雜質(zhì)，殘外留的光東刻膠嚼、蠟訊、松印香、纖飽維、細(xì)博菌等吵有機(jī)磚物；較活潑決金屬，較難溶因解的完金、余鉑等若重金錘屬。(3瘡)這兩種者洗液均易揮您發(fā)和釋分解同，不會發(fā)生與清洗刊無關(guān)防的化外學(xué)反羅應(yīng)，不會像其它反應(yīng)灰試劑那樣工生成SO2、NO2、Cl2等有毒害氣體掠。(4趣)可防止特鈉離詳子沾歉污，楊提高她器件杰的穩(wěn)倦定性奪和可甚靠性夠，這譽(yù)對于汁MO轉(zhuǎn)S型袍硅器邀件尤其重要。(2瀉)王水繩王驕水是濃硝棚酸和泛濃鹽療酸按慈1:肉3的苦體積閣比混塔合配腫成。王水誓中含舍有硝酸羞、鹽酸天，還綿有初剛生態(tài)腰Cl腰和氯化逆亞硝酰NO科CI期。氯化亞硝酰是一種驅(qū)沸點垮較低制的液朝體，的受熱客即分扎解為喘一氧舅化氮慢和原奶子氯。原子氯立即與金龜屬作昂用生然成氯換化物。王水朵能溶解濃較活全潑金賓屬和氧化特物、還能溶座解不活潑托的金、少鉑等蓬幾乎餐所有鐘的金梁屬。硝酸做氧化圓劑，貌鹽酸做絡(luò)合漸劑。王水與金拼反應(yīng)，把金氧斥化成三氯毛化金，氯標(biāo)原子賺做配位班體，生成絡(luò)合飛物四絞氯絡(luò)慰金（II敢I）酸赴（簡歸稱為央氯金綿酸）而溶解喪于水中，從而天達(dá)到脈除去亂重金要屬金的目的?？?，同理，王水與鉑反應(yīng)濤，生挨成六氯絡(luò)采鉑（IV）酸震（簡預(yù)稱為抖氯鉑臂酸）?？偅?3厭)氫氟餅酸氫氟濃酸是寒氟化惕氫的唐水溶線液，是無色透明嶼的液借體，找蒸氣緩有刺棉激臭味，濃的氛親氟酸程含氟畝化氫櫻48辭％。址含氟探化氫彈35悠％的芬氫氟森酸的您比重翠是1駱.1毀4，暑沸點遠(yuǎn)是1多12亦℃。它有劇毒，與皮膚旗接觸時會執(zhí)發(fā)生彼嚴(yán)重策的準(zhǔn)狂以治溉愈的雹燒傷。氫氟任酸具慎有較弱擺的酸性、易揮謙發(fā)性、強(qiáng)腐蝕餡性。氫氟然酸的酸性很弱，在水詠中只交能部揚(yáng)分電離應(yīng)，氫氟赴酸雖蟻然也韻能洛端解許暈多金物屬，趣但不交能溶漲解金引、鉑稈、銅掛、鉛艙等金脖屬。氟離子械與氫晶氟酸盲形成敘氫鍵刪而生邊成二靜氟氫液離子：所以糟許多鳴全屬何氟化獅物可陰形成西穩(wěn)定囑的二咽氟氫單鹽，目如二魯氟氫控鈉、攔二氟氫銨等。氫氛酸一左個重儀要特茅性是般能溶解二氧泳化硅Si秘O2，可用來腐蝕暫玻璃套、石森英和倚硅片表面馳的二氧偉化硅套層。反應(yīng)磁過程蓬：先由氫氟業(yè)酸與二氧侄化硅談作用稻生成旋易揮獄發(fā)的針?biāo)姆炕鑱y氣體雅，然群后四多氟化嘉硅再循進(jìn)一促步與驢氫氟布酸反道應(yīng)，生成盞絡(luò)合朽物六氟琴絡(luò)硅酸H2[S足iF6]。可墻用純水俯沖洗竭，由朽此達(dá)傷到去除Si深O2目的。6清洗中的安全問題(1初)沸點、閃解電低沸點捷較低銅，閃狡點很夜低，弟易燃，停易爆微。如丙酮擋、甲種苯、僻乙醇激、乙派醚等期溶劑。（閃或點：收易燃輕液體橋的蒸勞氣和和空氣腥混合密后，側(cè)與火后焰接序觸時望發(fā)生暢閃光鐘的最叫低溫鋸度稱劃為閃牲點）使用鉛時遠(yuǎn)扭離火病源，例：當(dāng)空斷氣中作含有體積比為度1.府7％~48%的乙肥醚蒸捕氣時附，遇遠(yuǎn)明火甘或火俘花便陰立即暑猛烈駝爆炸，水浴寶加熱，保存時瓶口北密封縫，放蕩在陰目涼處。(2聽)有毒大部夫分有效機(jī)溶字劑及殖其蒸仔氣都伐有毒囑，毒豬性大訪小不做同。如甲苯句、苯辣、四泛氯化冊碳、赴丙酮儀等有閣機(jī)溶爐劑。甲苯愛、苯篩對血義液有繭毒害壤，苯、甲苯孕、四氯化碳雷等有凱麻醉示作用，丙酮停蒸氣塵能刺評激呼清吸道錢。毒性枕較小淘的溶川劑，淚長時衫間接慎觸也有緊害。有機(jī)道溶劑站選用要求痕：(1)閃點項較高，(2)爆炸培極限吵范圍德小，(3)毒性田小。在通墳風(fēng)櫥頓中操雀作，防止伍中毒。(3透)腐蝕嚇性和寄性如鹽酸叮、硫摩酸、愚硝酸烘、王叉水、特重鉻范酸洗由液、蝕氫氟沙酸等。它們?yōu)R在應(yīng)皮膚愛上能倍引起介嚴(yán)重螺的燒薪傷，這在些酸液、其炕蒸氣屠、其反應(yīng)隔產(chǎn)物爺如HC呼l、SO2、NO2、Cl2、HF等氣梁體對耕眼鼻舒喉有減強(qiáng)烈世刺激語作用握和毒奮性。氫氟適酸燒療傷的傲傷口膀難以東痊愈，氫氟繳酸對質(zhì)骨骼小造血籠、神清經(jīng)系樓統(tǒng)、擾牙、頭皮膚磚等都坊有毒蜘害。在通風(fēng)獲櫥中掌操作，戴橡秒皮手和套，在塑芽料或恥鉑制宣的容活器中進(jìn)行，不能在玻璃晴容器覽中。鹽酸放、硫怒酸、硝乞酸等濺在皮膚蛾上，蹈應(yīng)立平即用嶺大量機(jī)自來場水沖懲洗，籮再用渡5％扯的碳毫酸氫馳鈉溶諸液洗畝。氫氟酸析燒傷郊，立妄即用偵大量步水沖繞洗，嚴(yán)再用抗5％劉碳酸鏡氫鈉聯(lián)溶液托洗，講最后仗用二例份甘仗油和酷一份氧化鎂制成凱糊狀勵