GB/T 25915.13-2022潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第13部分：達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2591513—2022/ISO14644-132017

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第13部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度

:

要求的表面清潔

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part13Cleaninof

:g

surfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleand

chemicalclassifications

ISO14644-132017IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-07-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2591513—2022/ISO14644-132017

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………2

一般方法

4…………………3

對(duì)象描述

5…………………4

潔凈度要求

6………………5

初始污染水平的測(cè)定

7……………………5

其他要求

8…………………6

清潔方法的選擇

9…………………………6

材料相容性檢查

10…………………………7

清潔驗(yàn)證

11…………………7

測(cè)量方法

12………………11

記錄

13……………………12

附錄資料性清潔要素

A()………………13

附錄資料性清潔方法

B()………………14

附錄資料性材料與清潔劑的相容性

C()………………20

附錄資料性潔凈度測(cè)量

D()……………22

參考文獻(xiàn)

……………………26

GB/T2591513—2022/ISO14644-132017

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》13。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)

———2:;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:;

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性

———15:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度

ISO14644-13:2017《13:

要求的表面清潔

》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)

:

更正了中的步驟號(hào)錯(cuò)誤將應(yīng)從步驟開始檢查清潔方法與材料的相容性步驟最

———4.2,“1(6)。

后步驟應(yīng)進(jìn)行方法驗(yàn)證修改為應(yīng)從步驟開始檢查清潔方法與材料的相容性步驟

(7)”“1(6、

最后步驟應(yīng)進(jìn)行方法驗(yàn)證

7)。(8)?！?/p>

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位深圳市麗風(fēng)凈化工程有限公司吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司中電精泰電子工

:、、

程有限公司蘇州市計(jì)量測(cè)試院江蘇嘉合潔凈科技有限公司中國(guó)電子系統(tǒng)工程第四建設(shè)有限公司天

、、、、

津大學(xué)中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)中國(guó)建

、、、、

筑科學(xué)研究院有限公司筑安檢驗(yàn)檢測(cè)中心有限公司廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會(huì)上海市室內(nèi)環(huán)境凈化

、、、

行業(yè)協(xié)會(huì)中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可中心北京中邦興業(yè)科技有限公司煙臺(tái)寶源凈化有限公司深圳市吉

、、、、

隆潔凈技術(shù)有限公司江漢大學(xué)河南盛川凈化工程有限公司南京工業(yè)大學(xué)廣東量化檢測(cè)技術(shù)有限公

、、、、

司安徽同益凈化科技有限公司深圳市朗奧潔凈科技技術(shù)股份有限公司

、、。

本文件主要起草人史蘇娟張秀春孫玉澄童廣才李金平劉俊杰郝胤博左中杰石小雷

:、、、、、、、、、

馮昕高正胡茂從陳思源周斌黃吉輝韓輝余小彪邵森劉璐暢金學(xué)溫曉輝楊鵬舉史婷

、、、、、、、、、、、、、、

劉震張旋仝娜杰劉永楊云濤

、、、、。

Ⅰ

GB/T2591513—2022/ISO14644-132017

.:

引言

采用系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)目的是指導(dǎo)監(jiān)測(cè)粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測(cè)方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測(cè)

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語(yǔ)

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測(cè)

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染

———14:。

的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備及材料可能

———15:。

在潔凈室產(chǎn)生氣態(tài)化學(xué)污染的測(cè)試確定設(shè)備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

術(shù)語(yǔ)表面泛指兩相間的界面本文中的表面特指固體表面潔凈表面是某種或若干類別污染

“”。?！啊?/p>

粒子污染化學(xué)污染受控的表面潔凈度等級(jí)參見和中的規(guī)定潔凈度

(、)。ISO14644-9ISO14644-10。

潔凈度等級(jí)取決于清潔方法本文是為獲得規(guī)定潔凈度來(lái)選擇清潔方法的指南選擇清潔規(guī)程時(shí)要

()。。

考慮到表面狀況清潔要求污染類型清潔技術(shù)材料相容性評(píng)估方法等等大多數(shù)清潔方法可同

:、、、、、,。

時(shí)清除不止一種類型的污染于是就有必要制定一項(xiàng)選擇既適用于粒子污染也適用于化學(xué)污染的清潔

,

方法的通用標(biāo)準(zhǔn)

。

Ⅱ

GB/T2591513—2022/ISO14644-132017

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第13部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度

:

要求的表面清潔

1范圍

本文件提供了潔凈室表面設(shè)備表面和材料表面達(dá)到所需潔凈度的清潔指導(dǎo)本文件中的表面涉

、。

及所有表面外表面內(nèi)表面

(、)。

本文件提供評(píng)估達(dá)到表面潔凈度的粒子濃度和表面化學(xué)潔凈度的化學(xué)物濃度潔凈度

(SCP)(SCC)

的所需清潔方法以及達(dá)到規(guī)定潔凈度宜考慮的清潔技術(shù)

,。

和給出了清潔技術(shù)的適宜率和相關(guān)檢測(cè)方法

ISO14644.9ISO14644.10。

本文件包含以下一般性指南

:

表面目標(biāo)潔凈度等級(jí)

———;

清潔方法的適用性

———;

表面與清潔技術(shù)的相容性

———;

清潔方法適宜度的評(píng)估

———。

本文件不包含以下事項(xiàng)

:

清潔方法的分類

———;

潔凈室內(nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品

———;

與特定表面相關(guān)的具體清潔方法

———;

各種清潔方法的清潔機(jī)制具體方法和規(guī)程的詳細(xì)說(shuō)明

———