碳化硅器件研發(fā)項(xiàng)目環(huán)境影響報告表

1西企科環(huán)境技術(shù)評價證書類別：乙級環(huán)評報告－2021評價證書編號：第3604號西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份特大功率電力半導(dǎo)體器件性能產(chǎn)能提升和碳化硅器件研發(fā)工程環(huán)境影響報告表柱〔嚴(yán)送審襪稿〕筍陜西癢企科潛環(huán)境癢技術(shù)鳳有限推公司遲二假設(shè)○徒一六瞎年菜十一豆月館三愿十日這建設(shè)稀工程脊環(huán)境角影響脊報告肚表鼓項(xiàng)溪目血名通稱：止特大剪功率始電力鮮半導(dǎo)籌體器估件性彈能產(chǎn)郵能提鈴升竟筐州嘗激束骨秀蹄肚疾醉蝶刺謝和日碳化衛(wèi)硅器菜件研瞞發(fā)項(xiàng)散目擊建設(shè)謝單位知(糖蓋章建)慮：董西安箱派瑞島功率遙半導(dǎo)辣體變第流技呼術(shù)股豬份有捷限公增司西編制駝日期陽：炮20屑16平年猾11四月后30沒日畝國家鍬環(huán)境曉保護(hù)怪總局頭制1吧?建謀設(shè)項(xiàng)臭目環(huán)劍境影鑄響報雞告表寺?編稈制說顯明網(wǎng)?建言設(shè)項(xiàng)蔥目環(huán)卡境影業(yè)響報脈告表漁?由難具有格從事絞環(huán)境塞影響憤評價伐工作戰(zhàn)資質(zhì)料的單研位編嗽制。牛1允、項(xiàng)五目名秤稱粱——游指項(xiàng)波目立襪項(xiàng)批絨復(fù)時氣的名孔稱，蓬應(yīng)不鳳超過圾30信個字午〔兩娛個英昨文字普段作格一個籮漢字濁〕。拼2肅、建企設(shè)地檢點(diǎn)餐——涉指項(xiàng)屯目所事在地良詳細(xì)府地址提，公交路、蜘鐵路羨應(yīng)填室寫起芹止地柴點(diǎn)。神3盾、行爪業(yè)類棚別貝——遵按國缺標(biāo)填廈寫。白4吹、總會投資旨——盯指項(xiàng)犯目投旦資總糾額。驅(qū)5豆、主慘要環(huán)見境保蜓護(hù)目在標(biāo)程——購指項(xiàng)蟻目區(qū)驕周圍辜一定負(fù)范圍扛內(nèi)集竹中居剝民住包宅區(qū)鎖、學(xué)閑校、牛醫(yī)院闖、保程護(hù)文士物、他風(fēng)景定名勝魯區(qū)、枯水源怪地和時生態(tài)慰敏感校點(diǎn)等腫，應(yīng)太盡可瘡能給隆出保臉護(hù)目減標(biāo)、勤性質(zhì)驚、規(guī)粉模和沈距廠昂界距苦離等重。隔6藏、結(jié)給論與趟建議尊——炒給出撥本項(xiàng)答目清臂潔生迎產(chǎn)、執(zhí)達(dá)標(biāo)給排放悄和總棍量控營制的搞分析讀結(jié)論廈，確流定污棄染防組治措唉施的寫有效然性，噸說明態(tài)本項(xiàng)病目對捉環(huán)境雙造成蛋的影縮響，羅給出吧建設(shè)多工程庭環(huán)境香可行霸性的渴明確礦結(jié)論敏。同蠻時提搬出減訊少環(huán)灑境影延響的趴其他美建議不。眾7嬌、預(yù)雙審意扁見屈——律由行承業(yè)主莖管部勞門填齊寫答服復(fù)意庸見，各無主警管部他門項(xiàng)毒目，鑼可不席填。隨8吉、審佛批意尿見餅——更由負(fù)園責(zé)審足批該越工程諒的環(huán)連境保黃護(hù)行獎?wù)骼裙懿颗荛T批尖復(fù)。1飯工程事名稱森：狐特大貼功率騙電力殖半導(dǎo)蘋體器思件性夜能產(chǎn)囑能提排升和懇碳化梅硅器扮件研育發(fā)項(xiàng)最目收文件許類型扛：奴環(huán)境江影響衫報告惹表深適用阿的評世價范膀圍：朗一般朱工程看環(huán)境僚影響芽報告居表富法定要代表保人：蓬王曉謝平吐〔簽脂章〕粥主持聞編制連機(jī)構(gòu)廉：研陜西搖企科這環(huán)境奧技術(shù)帶有限典公司午〔簽述章〕時西安背派瑞謊功率拾半導(dǎo)猶體變豐流技戒術(shù)股娘份有閱限公辣司田特大握功率歐電力蝶半導(dǎo)床體器寶件性貸能產(chǎn)癥能提騎升和著碳化祝硅器偷件研券發(fā)項(xiàng)筋目但環(huán)境區(qū)影響丙報告趣表編喚制人淡員名湖單表弦編制志主持沾人刮姓名為職〔索執(zhí)〕臘業(yè)資歉格證霉書編閃號踏登記抖〔注樂冊證使〕編懸號角專業(yè)餡類別叢本人室簽名魯韓燁像00呆01腔53底39冤B3條60佩40原28督10逗00堆社會保效勞顫主要兔編制壁人員挎情況倆序號莊姓名聲職〔童執(zhí)〕陷業(yè)資輔格證鋒書編座號跳登記蒙〔注繡冊證餐〕編別號茂編制己內(nèi)容邀本人爐簽名紅1楚韓燁辜00枝01華53曉39怒B3遭60既40驕28岸10杠00儉工程餡根本農(nóng)情況秘、評席價適馬用標(biāo)壤準(zhǔn)、盤工程鞏分析沙、自塞然環(huán)甩境社楊會環(huán)箱境簡道況、加環(huán)境豪影響天分析估2乎李珊杰珊雅00寺01兩53懸40擴(kuò)B3至60掙4法02府70份30港0甲防治菌措施俘及預(yù)束期治葵理效蔽果、匹環(huán)境泰質(zhì)量化狀況勞、結(jié)調(diào)論及璃建議1戚建設(shè)尖工程啊根本劃情況糟工程捉名稱昨特大貌功率波電力逐半導(dǎo)究體器輩件性度能產(chǎn)覺能提犯升和魂碳化虧硅器洲件研略發(fā)項(xiàng)棉目貴建設(shè)筒單位云西安厭派瑞背功率氧半導(dǎo)項(xiàng)體變搏流技及術(shù)股恨份有忌限公雷司堪法人粱代表早陸劍逮秋芹聯(lián)系種人憶耿濤蛛通訊圈地址冤西安挎市高引新區(qū)仰錦業(yè)破二路素13超號創(chuàng)聯(lián)系煌填13飛89啊18鼠79瞎82脊5構(gòu)冬02奮9-奪68給93銷53犧36霧郵政扔編碼揉71盡02就01益建設(shè)繩地點(diǎn)撇西安今市高娘新區(qū)攻錦業(yè)昌二路購13跌號嘩立項(xiàng)邁審批凍部門道西安持高新室區(qū)創(chuàng)關(guān)新發(fā)鹽展局列批準(zhǔn)冰文號換西高種新創(chuàng)肅新發(fā)鋸20鋤16粱(2梁73靈)號諒建設(shè)南性質(zhì)嫌新建扇□改想擴(kuò)建枝□技得改?！厅h行業(yè)狂類別供及代吧碼賠電力橡電子燥元器勢件制豎造允〔嫩C3薄92貌4剝〕醫(yī)占地寬面積數(shù)〔平萌方米菊〕墓40不00蔑綠化富面積唐〔平想方米凳〕投/澤總投依資鑄〔萬姻元〕狀36群74倘2挨其中綁：環(huán)扒保投憂資和〔萬殘元〕期60犯環(huán)保治投資淘占稻比浙總投徐資比俊例友0.傭16個%顏評價閱經(jīng)費(fèi)倉〔萬病元〕泥/盜預(yù)期撥投產(chǎn)枯日期扇20劍1爛8頓年蛇12車月饒工程娛內(nèi)容叼及規(guī)瞇模：發(fā)一、繡工程逐由來蛇西安冰派瑞拼功率炸半導(dǎo)腥體變欺流技凝術(shù)股賴份有潮限公毅司原侍為西級安電悔力電券子技彼術(shù)研維究所董，主貧要從斥事大模功率推電力樓半導(dǎo)皂體器迅件、材各類希新型渴電力玻電子永器件組、各軌種電宰力電促子應(yīng)畏用裝傻置、連檢測陶技術(shù)篩和設(shè)映備、屯可靠偶性技欄術(shù)、閃冷卻凈技術(shù)班等綜席合電寫力電潮子技細(xì)術(shù)的將開發(fā)膊和生駱產(chǎn)的刺基地加，是饒我國柴著名宜的電扛力電礦子研購究開鍋發(fā)中戚心、垃國家可工程購研究熔中心竄、國堪家電季力電程子產(chǎn)況品質(zhì)距量監(jiān)播督檢經(jīng)驗(yàn)中尤心以收及標(biāo)咸準(zhǔn)信域息中武心。撿20留10站年西奪電所經(jīng)將全侵部科待研、鴨生產(chǎn)或整體呈化轉(zhuǎn)體成立烏了西櫻安派音瑞功隸率半牽導(dǎo)體滲變流燙技術(shù)統(tǒng)有限目公司錯，壞20蓋10犧年匪12蔬月通駛過了正?關(guān)蜜于成蕩立西謎安派攜瑞半背導(dǎo)體丙變流賴技術(shù)廈有限角公司挖的批澡復(fù)?槳〔陜墊科改集發(fā)文[2須01糕0]往15芳1劃號〕義，貨20咱15震年現(xiàn)12嶼月取腫得了挎?企詳業(yè)名慕稱核檔準(zhǔn)變宜更通列知書蕉?〔襯〔西飾工商深〕名來稱變線內(nèi)核次字宴[2幫01窗5]蘇第造00嗓28蘆09希號〕涉，公件司名姜稱變豈更為知西安捕派瑞已功率咐半導(dǎo)強(qiáng)體變追流技用術(shù)股滿份有吼限公類司塊。膏公司喬目前歡現(xiàn)有膊生產(chǎn)膀線年杜產(chǎn)普是通晶濱閘管嫌4賊萬只陣，超由大功孩率聚5變英寸資晶閘太管爹0.忠2狠萬只視，特段大功瘡率半晨導(dǎo)體帆6飲英寸泳晶閘選管催0.擺5利萬只丈。根附據(jù)公摔司的甩開展饞方向殼，為寸進(jìn)一窩步提糖高阻族斷電陵壓和玩直流娘導(dǎo)通墨電流烘以及惑實(shí)現(xiàn)迫Si鳥C昌SB許D嫂和導(dǎo)MO縣SF累ET犬的產(chǎn)澡業(yè)化孤，遮研制揪出拒60違0-逝10抗00辛0V偉/3餡0A述以上宏系列種Si嚷C孝SB星D姻二極逮管與朽MO差SF皇ET過器件田。并兇在此躬根底輔上研厘制東SI渾C任基水PI別N腫二極抽管、墳IG護(hù)BT表和晶染閘管種及其喝相關(guān)慌器件沖和技丘術(shù)，猛逐步渣實(shí)現(xiàn)三產(chǎn)業(yè)蜓化。奧通過希本項(xiàng)貧目的昌實(shí)施應(yīng)，建稼立一怪個覆張蓋晶粉閘管遷、生Si梁C堂器件依研制巴生產(chǎn)查基地園，將研派瑞朵公司宏打造啟成為堡具有貼世界蓄一流嘉技術(shù)內(nèi)水平仗的、漫能夠帽提供欺完整否特大而功率佳電力炎半導(dǎo)慨體器而件產(chǎn)蹲品及法其應(yīng)保用解刷決方驗(yàn)案的稱供給牛商。武根據(jù)初?中畫華人漂民共受和國室環(huán)境插影響軟評價谷法?聯(lián)、?軋建設(shè)啟工程駱環(huán)境誰保護(hù)眠管理他條例沸?、劉?建拍設(shè)項(xiàng)專目環(huán)宮境影桑響評假設(shè)價分挑類管卡理名按錄?假的有繳關(guān)規(guī)叨定，課以及噴西安趙市環(huán)括境保網(wǎng)護(hù)局暖高新凡分局濟(jì)對工墳程環(huán)答境管團(tuán)理的潔要求添，該亮建設(shè)目工程召應(yīng)進(jìn)亭行環(huán)業(yè)境影技響評祥價，濃編制乒環(huán)境轎影響子報告渴表。涌20興16努年9跨月，伍西安階派瑞掘功率局半導(dǎo)他體變棚流技搞術(shù)股守份有稀限公效司罪正式希委托胸陜西撈企科擱環(huán)境槍技術(shù)鵲有限如公司感承當(dāng)座本項(xiàng)拐目環(huán)楊境影拳響評瀉價工弟作，齊并編蕩制建酒設(shè)項(xiàng)腦目環(huán)我境影輝響報窯告表況。接向受委確托后速，我咳公司脅組織嫩有關(guān)采技術(shù)第人員紹進(jìn)行慘了現(xiàn)船場踏倦勘，醉收集笛了建特設(shè)項(xiàng)足目所烤在區(qū)付域的薦自然譜、社橋會、仆生態(tài)撐環(huán)境惑和人雜文環(huán)萌境資岡料。合在工捆程污躬染因絞素分幟析的皇根底墳上，態(tài)通過劉實(shí)地馬監(jiān)測鞠、類播比調(diào)燭查和銹資料坊收集呢，編充制了駛?惡特大鏡功率扯電力倦半導(dǎo)報體器告件性集能產(chǎn)喬能提我升和保碳化獨(dú)硅器顏件研鉆發(fā)項(xiàng)點(diǎn)目板環(huán)境原影響講報告滴表?噴。損二、狐工程很概況帶1、缸建設(shè)跑地點(diǎn)砌特大蔬功率栗電力顛半導(dǎo)蹦體器稻件性初能產(chǎn)悟能提不升和復(fù)碳化喘硅器催件研私發(fā)項(xiàng)帥目盟建設(shè)偽地點(diǎn)虹位于犁西安艷市高陸新區(qū)珠錦業(yè)納二路覽13甜號西仗安派蔥瑞功麥率半呈導(dǎo)體蔽變流訊技術(shù)稠股份塑有限機(jī)公司淡廠區(qū)笛原廠伴房內(nèi)因。妹工程不北鄰河特斯搏拉汽豪車銷劉售服模務(wù)〔涼西安裳〕公彼司和深西安留沃恩午機(jī)床巖有限中公司頭，南成臨錦末業(yè)二衣路，批西臨商丈八刻三路叉，東制鄰霍嗎尼維辱爾生紀(jì)命安波全集括團(tuán)和智SE準(zhǔn)W-猴傳動盆設(shè)備她西安富公司慚。項(xiàng)冤目地?fù)侠砦桓熘靡姲莞綀D堆1。帳2、回建設(shè)麥內(nèi)容川及規(guī)拔模乎本項(xiàng)寫目對樸現(xiàn)有她1#膝建筑賺晶閘畫管工坑藝廠州房、港4#鳥建筑福化學(xué)翠品庫斜、5梁#建炭筑動利力站刑進(jìn)行元技術(shù)籮升級帽改造犁，不筑涉及窮土建拾工程礙。創(chuàng)1#續(xù)建筑奶晶閘趁管工童藝廠然房給位于罷廠區(qū)元中部堵，緊絲挨西漁廠界宋，北休側(cè)為氏汽車暖庫和計綜合漲辦公恢樓；咳4#仆建筑報化學(xué)耗品庫明位于啟1#男建筑強(qiáng)東側(cè)瘋靠北掃方向糾，東逼側(cè)為郵空地趟；秀5#號建筑脅動力甩站旱位于缸1#病建筑脅東側(cè)戴和聰4#紡建筑窗南側(cè)屋，東制側(cè)為零空地擠。本鼻工程焰四鄰曉關(guān)系恨圖見兔圖1老。瑞工程搜分兩節(jié)個階秒段：禁第一絕階段簽通過棵技術(shù)飲升級唱改造袖使現(xiàn)孤有生饞產(chǎn)線灑工藝諒設(shè)備濁到達(dá)讓特大棟功率觀8英粗寸晶族閘管巾的頂鄙級配雄置，新向下胸兼容蹈現(xiàn)有京產(chǎn)品續(xù)，包盼括普西通晶朱閘管逼〔大您功率死整流號管、噴快速迎軟恢銹復(fù)二斧級管尚、脈慧沖晶刷閘管良、快張速晶勤閘管暑〕、名直流重輸電崖用超賞大功殖率5搶英寸回、6謠英寸辮晶閘搏管，感增加趁新產(chǎn)談品的慧同時來，夠提高聾原有寸產(chǎn)品潛的間性能俯與產(chǎn)啦能偽；第縣二階滔段是噸在詳同時腥在晶真閘管爆生產(chǎn)領(lǐng)線的浪根底窄上，即研發(fā)豪IG戀CT拜(普雜通元頁器件托)和本Si事C器謝件等呀高端升產(chǎn)品爭〔完為成8帽英寸園芯片迷生產(chǎn)誕線的鄉(xiāng)根底蝴上〕疫。弄本項(xiàng)宜目具該體建狠設(shè)內(nèi)僵容及血規(guī)模池見表包1，蕉改造拍區(qū)布悟置圖未見附嶺圖2擴(kuò)。治圖1伴會項(xiàng)叔目四次鄰關(guān)秧系圖錄表1鐘建設(shè)呢內(nèi)容痰及規(guī)圓模建設(shè)位置建設(shè)內(nèi)容建設(shè)規(guī)模1#建筑晶閘管工藝廠房一層純水區(qū)增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行改造工藝凈化面積約為3600m2，動力面積約為280m2廢水區(qū)進(jìn)行局部改造，增加沉淀時間和距離，進(jìn)一步提高對含氟廢水的處理效果二層凈化空調(diào)機(jī)組增加FFU〔風(fēng)機(jī)過濾器裝置〕數(shù)量，將FFU布置占比提高至80%，同時改造回風(fēng)通道、鑄鋁鏤空地板等，新增1臺40000m3/h新風(fēng)機(jī)組〔含變頻控制柜〕熱排風(fēng)機(jī)組增加一臺熱排風(fēng)機(jī)，形成1備1用，并增加相應(yīng)的分支管路工藝真空機(jī)組增加1套工藝真空系統(tǒng)〔1備1用2臺WS501羅茨干泵組，1個真空儲氣罐，管路、閥門等〕有機(jī)排風(fēng)機(jī)組增加1套有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)〔包括管路等〕酸堿排風(fēng)系統(tǒng)工藝線排出酸堿到排酸風(fēng)機(jī)之間，增加一級或幾級小的酸堿中和箱工藝改造區(qū)增添工藝生產(chǎn)設(shè)備，配電、照明等生產(chǎn)輔助動力系統(tǒng)進(jìn)行改造4#建筑化學(xué)品庫氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排〔軟連接改為彈簧硬管連接〕改造面積約為50m25#建筑動力站冷卻循環(huán)水改造增加1臺冷卻塔，新增1套循環(huán)系統(tǒng)〔包括泵組、管道〕改造面積約為70m2液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等〕，備用液氮罐10m3一個，增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力維本項(xiàng)礎(chǔ)目總顛投資掃為3兩67壺42工萬元克，圍用地典性質(zhì)鎖為工拉業(yè)用狡地，采土地狂文件熱見附墓件沉1丟。主研要產(chǎn)賓品方奇案見捕表框2惠，項(xiàng)跑目新死增設(shè)的備見秩表喬3、立4您，項(xiàng)券目主趨要組弦成情胖況見籃表5孫。擔(dān)表悲2絡(luò)產(chǎn)品劑方案序號產(chǎn)品名稱新增年產(chǎn)量〔萬只〕備注1普通元器件2第一階段2直流輸電用超大功率5英寸晶閘管0.33直流輸電用超大功率6英寸晶閘管14直流輸電用特大功率8英寸晶閘管0.35碳化硅器件0.6第二階段伶表謝3描第一金階段眉工藝仇設(shè)備麗清單烈〔新伯增〕序號設(shè)備名用途描述設(shè)備型號數(shù)量〔臺〕1高溫離子注入機(jī)碳化硅或硅片摻雜IH－860DSIC12激光動態(tài)成像機(jī)實(shí)時電子版激光曝光ALDI-SLS138英寸3層擴(kuò)散爐高溫?fù)诫s/548英寸雙面曝光機(jī)規(guī)準(zhǔn)曝光/358英寸單面曝光機(jī)精準(zhǔn)曝光/26套刻測量儀光刻對準(zhǔn)檢查KLA510517PECVD結(jié)終端鈍化/18LPCVD沉積膜THERMCO510419快速退火爐SHS2800離子注入退火SHS2800110涂膠顯影軌道機(jī)勻膠顯影MK-VZ211干法去膠機(jī)去除光刻膠MATTSONASPEN2ICP212箱式高真空退火爐摻雜或金屬層退火/2138英寸腐蝕機(jī)濕法去膠、腐蝕/6148英寸清洗機(jī)硅片清洗/6158英寸甩干機(jī)清洗甩干SEMITOOLD800616電子束鍍膜機(jī)電極制備/317擴(kuò)展電阻測試儀擴(kuò)散結(jié)果檢測/118少子壽命分布測試儀少子壽命分布檢測ELYMAT119臺階測試儀腐蝕輪廓測試DECTEK120IGCT靜態(tài)態(tài)參數(shù)測試臺IGCT動態(tài)參數(shù)測試/121IGCT動態(tài)參數(shù)測試臺IGCT動態(tài)參數(shù)測試/1228英寸靜態(tài)態(tài)參數(shù)測試臺7英寸晶閘管參數(shù)測試/1238英寸動態(tài)參數(shù)測試臺8英寸晶閘管參數(shù)測試/1248英寸浪涌電流測試臺8英寸分立半導(dǎo)體器件/1258英寸冷焊機(jī)8英寸晶閘管封裝/126電子掃描顯微鏡芯片微觀檢查S-4500127全自動硅片清洗機(jī)硅片清洗/528仿真設(shè)備和軟件研發(fā)SIVACO129碳化硅工藝管芯片高溫?fù)诫s/10308英寸高溫片藍(lán)芯片加熱酸洗/100318英寸碳化硅舟芯片高溫?fù)诫s/50328英寸源管高溫預(yù)沉積/20338英寸舟高溫擴(kuò)散/50348英寸工裝、模具等8英寸后道工藝/358英寸冷焊模具和測試卡具等8英寸封裝測試/化表4麗第二閘階段槍工藝在設(shè)備直清單漠〔新材增〕序號設(shè)備名用途描述設(shè)備型號數(shù)量(臺)1濺射臺(AL/TI)/VARIAN329012APCVDWJ999(BPSG)/WJ99913雙面刷洗機(jī)/DNS60A14酸堿清洗臺〔金屬、無金屬〕/國內(nèi)定制26光刻機(jī)/NikonI1015OX刻蝕LAM4520/LAM452016刻蝕LAM4420/LAM442017金屬刻蝕LAMTCP9600SE/LAMTCP9600SE18紫外線固膠PCU200POLO/PCU200POLO19立式淀積爐SVG7000/SVG7000110臥式爐BDF41〔柵氧〕/BDF41111臥式爐BDF41〔場氧〕/BDF41112臥式爐BDF41〔場氧〕/BDF41113臥式爐TMX9K〔回流〕/TMX9K114缺陷掃描電鏡KLA2135/KLA2135115線寬掃描電鏡H8840/H8840116膜厚儀UV1050/UV1050217顆粒儀SFS-6200/SFS-6200118顯微鏡OPSTATIONV/OPSTATIONV219膜厚橢偏儀OP2600/OP2600120B/P含量測量儀ECO1000/ECO1000121CP探針臺&測試儀/EG2001&DTS1000222線寬掃描電鏡KLA8100/KLA8100123CV測試儀/NA124SiC高溫外延生長設(shè)備/VP508GFR125高溫退火/Activator150-50，126碳膜濺射/ULVAC，SME－200127碳膜去除設(shè)備/ULVAC，NE-550128柵氧化高溫氧化爐/129貼膜ADVANTEKTL/ADVANTEKTL130去膜TAKATORIATRM2100/TAKATORIATRM2100131貼膜ADVANTEKTL/ADVANTEKTL132去膜TAKATORIATRM2100/TAKATORIATRM2100133芯片參數(shù)測試系統(tǒng)/KEYSIGHTB1505A/B1506A134超聲波清洗機(jī)//235超聲波自動鍵合機(jī)//136鍵合拉力測試儀//137X-RAY檢測儀//138真空枯燥箱//339激光打標(biāo)機(jī)//140模塊動、靜態(tài)測試系統(tǒng)/定制141熱阻測試儀/定制142浪涌測試儀/定制1側(cè)表5受墻淋工程摔主要卡組成秀情況序號工程組成建設(shè)名稱建設(shè)內(nèi)容與原有工程的依托關(guān)系1主體工程凈化空調(diào)機(jī)組增加FFU〔風(fēng)機(jī)過濾器裝置〕數(shù)量，將FFU布置占比提高至80%，同時改造回風(fēng)通道、鑄鋁鏤空地板等，新增1臺40000m3/h新風(fēng)機(jī)組〔含變頻控制柜〕依托現(xiàn)有廠房及空調(diào)凈化系統(tǒng)熱排風(fēng)機(jī)組增加一臺熱排風(fēng)機(jī)機(jī)組，形成1備1用，增加相應(yīng)的分支管路依托現(xiàn)有廠房與排氣筒工藝真空機(jī)組增加1套工藝真空系統(tǒng)〔1備1用2臺WS501羅茨干泵組，1個真空儲氣罐，管路、閥門等〕依托現(xiàn)有廠房工藝區(qū)改造增添工藝生產(chǎn)設(shè)備，配電、照明等生產(chǎn)輔助動力系統(tǒng)進(jìn)行改造依托現(xiàn)有廠房及生產(chǎn)線,增加生產(chǎn)設(shè)備2輔助工程純水區(qū)改造增10t/h純水處理系統(tǒng)與原系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)并聯(lián)運(yùn)行冷卻循環(huán)水改造增加1臺冷卻塔，新增1套循環(huán)系統(tǒng)〔包括泵組、管道〕依托現(xiàn)有冷凍站3儲運(yùn)工程原料儲存氫氣、氧氣改造現(xiàn)有匯流排〔軟連接改為彈簧硬管連接〕依托現(xiàn)有工程液氮罐區(qū)進(jìn)行改造增裝200m3/h氣化器1套(包括氣化器、管路改造等〕，備用液氮罐10m3一個，增強(qiáng)氮?dú)夤┙o能力依托現(xiàn)有工程產(chǎn)品儲存存放于成品庫房依托現(xiàn)有工程4公用工程工程供水來自市政供水工程排水系統(tǒng)包括生產(chǎn)廢水、生活污水、雨水排水系統(tǒng)。供電為市政供電工程辦公區(qū)采用空調(diào)供暖依托現(xiàn)有工程5環(huán)保工程廢水處理生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)污水處理站處理后排入第二污水處理廠依托原有污水處理站，設(shè)施的處理能力為8.5m3/h生活污水經(jīng)廠區(qū)現(xiàn)有化糞池處理后排入第二污水處理廠處理依托現(xiàn)有化糞池，現(xiàn)有規(guī)格為G3-6SF〔6m3〕的化糞池2座，水力停留時間為12小時，原有工程生活污水排放量約為16.4m3/d，現(xiàn)有工程新增排放量3.2m3/d，可以滿足排放需求廢氣處理酸堿廢氣〔氯化氫、硫酸霧、氟化物、氨氣〕經(jīng)過酸堿中和箱反響后，堿性廢氣被中和去除，酸性廢氣經(jīng)洗滌塔〔氫氧化鈉〕處理達(dá)標(biāo)后通過15m高排氣筒排放依托現(xiàn)有處理裝置及排氣筒〔原有2套設(shè)備，1用1備〕有機(jī)廢氣〔非甲烷總烴〕經(jīng)廢氣處理裝置活性炭吸附塔處理達(dá)標(biāo)后由15m高排氣筒集中排放依托原有處理裝置及排氣筒，本次改造新增一套設(shè)施備用油煙廢氣經(jīng)型號為LJPD-1-30000的油煙凈化設(shè)施處理后達(dá)標(biāo)排放利用現(xiàn)有職工食堂，餐飲規(guī)模滿足本工程新增工作人員噪聲控制選用低噪聲設(shè)備，其次采用消聲、隔聲、減振等措施依托現(xiàn)有廠房、隔聲窗固體廢物處置生活垃圾由區(qū)環(huán)衛(wèi)局統(tǒng)一運(yùn)至城市生活垃圾處理場處理，廢舊塑料和廢包裝材料等，由相關(guān)單位收集回收利用依托現(xiàn)在垃圾存放點(diǎn)危險廢物廢酸排入廢水處理站酸堿中和池中和，產(chǎn)生的沉淀物與廢有機(jī)溶劑委托西安高科環(huán)保技術(shù)集中處置〔委托協(xié)議見附件〕廢有機(jī)溶劑用桶存儲，大約1噸的時候開始清運(yùn)真四、衡原輔特材料賓及能絞源消繞耗球本項(xiàng)感目主術(shù)要原偷材料繁為單咱晶硅楚片、扶鉬園叔片、逝金屬蛾陶瓷罰管等至，其停他輔具助材埋料主廚要為汁氮?dú)獯簟⒘蛑?、籍鹽酸戴、硝餅酸等揚(yáng)。項(xiàng)凳目主靠要原臥輔材岡料及壁能源緊消耗劈情況巖見表滔6佛。在表識6輔戲工程房主要率原輔華材料燕及能魔源消糊耗編號物料名稱規(guī)格〔固、液〕年用量采購來源備注1單晶硅片固態(tài)84000片德國/2鉬園片固態(tài)168000片英國、奧地利等/3金屬陶瓷管固態(tài)84000片德國、瑞士/4金剛砂顆粒狀400公斤西安/5硅橡膠固態(tài)200公斤西安/6光刻膠〔危險化學(xué)品〕膠狀150升北京/7異丙醇〔危險化學(xué)品〕液態(tài)180升天津99.5%8乙醇〔危險化學(xué)品〕液態(tài)150升天津99.7%9環(huán)己烷〔危險化學(xué)品〕液態(tài)0.80t西安99.5%10乙酸丁酯〔危險化學(xué)品〕液態(tài)1.00t西安99.0%11鹽酸〔危險化學(xué)品〕液態(tài)14t西安36-38%12硝酸〔危險化學(xué)品〕液態(tài)14t西安65-68%13硫酸〔危險化學(xué)品〕液態(tài)7t西安95-98%14磷酸〔危險化學(xué)品〕液態(tài)3t西安85%15氫氟酸〔危險化學(xué)品〕液態(tài)2.00t西安40-50%16冰醋酸〔危險化學(xué)品〕液態(tài)2.00t西安99.5%17雙氧水〔危險化學(xué)品〕液態(tài)2.00t西安30%18氨水〔危險化學(xué)品〕液態(tài)1.00t西安25-28%19氟化銨〔危險化學(xué)品〕固態(tài)0.50t西安/20氮?dú)鈿鈶B(tài)7000m3西安99.999%21氫氣〔易燃易爆危險品〕氣態(tài)200m3西安99.999%22氧氣氣態(tài)2000m3西安99.999%23機(jī)油液態(tài)15t西安/24包裝材料---140t西安/25新鮮水液態(tài)1555.4市政管網(wǎng)/26電--176當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)/穩(wěn)五、芳公用硬工程責(zé)〔1龜〕給膚水學(xué)本項(xiàng)擴(kuò)目給蒙水由息市政牛供水盟供給柿。困〔2店〕哪排水斗工程塊采用薯雨污鵲分流旬的形擱式。瓦工程屢產(chǎn)生煉的廢行水經(jīng)礎(chǔ)廠區(qū)猾污水弦處理妻站處代理后腎排入謠該區(qū)馬域市年政污竹水管倉網(wǎng)，察最終條排入漢第二巨污水妙處理燒廠。鍵職工饞食堂跡廢水化經(jīng)隔行油池果處理俯后和恭生活癢污水縫一起拉排入?；S尤池處畜理，怎最終越排入骨第二桐污水裙處理焦廠時。雙〔3冷〕竄供省電親本項(xiàng)池目年鈔用電沾量約井為1往76趙萬k萄wh晉，由撤市政脾電網(wǎng)月供給京。勇〔4名〕供廚暖趁工程國辦公拾區(qū)采庭用中莊央空擴(kuò)調(diào)供獨(dú)暖。掃六、承總平豎面布賭置息現(xiàn)有渾工程窩占地爺75草93桂7完m搶2益，型整個火廠區(qū)譽(yù)主要喉分為奉辦公承區(qū)、葡生產(chǎn)惕區(qū)、被儲存輸區(qū)和敬公用忌工程談。本較次工旅程只慕是進(jìn)席行技不術(shù)改預(yù)造，答不新遙建廠標(biāo)房。梢辦公霸區(qū)位息于廠狹區(qū)北衰端，齡主生忠產(chǎn)車細(xì)間位盞于廠傳區(qū)中界部布鄉(xiāng)置，序從西毛到東倚分別續(xù)為晶請閘管妻工藝侍廠房含、化廁學(xué)品告庫、瓶動力會站，百污水危處理圈站位炮于晶鍵閘管回工藝按廠房梳的北祥端悠。仔具體音廠房統(tǒng)總平籃面布搜置見回附圖叉3凡。燃本項(xiàng)韻目對光現(xiàn)有疤1#枯建筑輸晶閘醫(yī)管工霜藝廠脹房、園4#誠建筑阿化學(xué)爹品庫破、5蝶#建慢筑動諷力站判進(jìn)行稻技術(shù)夸升級雹改造酷，涉晝及改船造面限積約拌40惜00繪m培2簽，境其中仍1#訴建筑慣晶閘害管工她藝廠桑房預(yù)涉及謊改造坊工藝供凈化葡面積駁約為有36蛋00兇m丑2幅，動漸力面燈積約拴為肺28致0m助2飛；資4#印建筑循化學(xué)陣品庫撫涉及仔改造鉛面積替約為救50質(zhì)m爭2非；掠5#京建筑堂動力地站座涉及誼改造盈面積征約為傻70結(jié)m粉2冠。促七、壘組織眨定員娃與生趣產(chǎn)制役度宅工程喚原有熔員工潤38蓮1人障，雹本次蜂新增勢生產(chǎn)盛人員保50誰人，般企業(yè)翻實(shí)行地單班扔工作吳制，商年工咳作日豎22傭0天兩，日靜工時忽8小框時，中全年俱生產(chǎn)減17方60并h。韻八、恒工程握產(chǎn)業(yè)政政策戀符合程性分沾析息根據(jù)追?產(chǎn)小業(yè)結(jié)時構(gòu)調(diào)紗整指勞導(dǎo)目炮錄〔戰(zhàn)20社11編年本悔〕?鼓〔2分01妙3年胡修管正南〕，鏟本項(xiàng)楚目為名第一幕類，跌鼓勵以類-黑二十魄八條醋-信此息產(chǎn)摘業(yè)-酒21河-新水型電藏子元鉛器件于制造占，符瓣合國窄家產(chǎn)采業(yè)政掀策。磚九、云與相下關(guān)規(guī)旨劃、輸政策稠的符岔合性抵分析薯1、切建設(shè)幟工程蔽與西競安市損總體口規(guī)劃蟻的相麗容性嚼?西羊安市暴20喊08策-2橋02樂0年箏城市岔總體渠規(guī)劃通?中笑指出偶，為安合理返分布聚生產(chǎn)望力和直形成老城鎮(zhèn)酒體系或，有君利于弟資源炮開發(fā)慘、生堅產(chǎn)發(fā)殲展和胖生態(tài)疾平衡艘，促片進(jìn)城愉鎮(zhèn)建續(xù)設(shè)和件控制膊城市故人口釣的增嘉長，秩城市膚的布津局原財那么是蜜優(yōu)化閘布局混結(jié)構(gòu)正，完堂善城匆市功鹽能；脈保護(hù)蕩古城狂風(fēng)貌浙，實(shí)桿施新喇舊分管治；脊降低拍中心略密度妹，發(fā)慰展外餓圍新甘城；壇顯山早露水詳增綠捷，塑錄造城沃市個憤性，刷城市許布局峰形態(tài)摟為九鍵宮格灰局，報棋盤蠟路網(wǎng)緣，軸樹線突誰出，遠(yuǎn)一城尖多心距。壯主城州區(qū)將但形成括虛實(shí)框相當(dāng)赤的小宏九宮裂格局半，中孝心為伏唐長詳安城周，發(fā)全展成抵商貿(mào)斃旅游類效勞佳區(qū)；妖東部梨依托折現(xiàn)狀脂開展相成國墻防軍娛工產(chǎn)往業(yè)區(qū)當(dāng)；東膜南部尼結(jié)合程曲江粉新城樸和杜為陵保柳護(hù)區(qū)欣，發(fā)皆展成子旅游戒生態(tài)敞度假逐區(qū)；陡南部唐為文御教科幻研區(qū)推；西怠南部餅拓展稈成高肆新技稼術(shù)產(chǎn)免業(yè)區(qū)武；西構(gòu)部發(fā)陽展成行居住姥和無浩污染系產(chǎn)業(yè)酒的綜佩合新鵝區(qū)；裕西北艱部為蠅漢城棄遺址裕保護(hù)膨區(qū)；謹(jǐn)北部洲形成多經(jīng)濟(jì)勇技術(shù)踐產(chǎn)業(yè)掠區(qū)；旅東北嘉結(jié)合受浐灞闖河道尼整治江，建招設(shè)成謊高尚霉住宅搜、旅宣游生康態(tài)區(qū)鼻。蟲本項(xiàng)撓目位著于西忙安市荒高新旬區(qū)，這工程位所在簡地土摔地規(guī)部劃性發(fā)質(zhì)為壩工業(yè)青用地歪，其蒜建設(shè)雙符合齡西安鑰市總杠體規(guī)稅劃的覽要求席。范2.級工程仍建設(shè)吩與市西安駁市國妄民經(jīng)匙濟(jì)和遲社會閃開展都第十瞞三個妹五年浮規(guī)劃怖綱要禽〔草梅案〕識的相伙容性癢?西煌安市符國民質(zhì)經(jīng)濟(jì)倆和社軍會發(fā)令展第膨十三愛個五覺年規(guī)艘劃綱梳要〔蘆草案棚〕?風(fēng)中要辭求：福培育靠壯大凍戰(zhàn)略姐性新憐興產(chǎn)耐業(yè)廣。宋新一疏代信輛息技即術(shù)。辟以三捕星項(xiàng)屯目為邁引領(lǐng)雹，構(gòu)擠建存芒儲芯斜片設(shè)妥計、撕制造螞、封丸裝、肆測試丸完整瓜產(chǎn)業(yè)虛鏈，尚培育物壯大逃電子菜級多悶晶硅債、大奧直徑漏單晶志爐和過硅片怒制造顫等配相套產(chǎn)行業(yè)，賓建設(shè)蒜世界胞一流仍高端寫芯片丙產(chǎn)業(yè)取基地新，在茄下一觀代新弊型存世儲器被產(chǎn)業(yè)常中保屬持世羊界領(lǐng)河先。避依托注中興蜻、華齊為、醋酷派晨等重運(yùn)點(diǎn)企雨業(yè)，廣帶動資整合詠智能日終端歡整機(jī)煩及零倉部件敞、芯端片、煩系統(tǒng)抱和應(yīng)盡用軟估件研瓣發(fā)設(shè)追計制徐造企洞業(yè)，拍打造扶千億滾規(guī)模途智能胸終端樹產(chǎn)業(yè)遲集群兵。稀本項(xiàng)唇目主炕要為曬半導(dǎo)謹(jǐn)體分悼立器煤件制漫造扮，勸其建哲設(shè)符鳳合哲西安株市國球民經(jīng)麗濟(jì)和事社會業(yè)開展害第十糠三個戴五年唯規(guī)劃吩綱要縫〔草由案〕作的要訊求碌。見3.殲項(xiàng)蜓目建喪設(shè)與餓西安耀市環(huán)路境保子護(hù)擔(dān)“神十三館五邊〞哲規(guī)劃戰(zhàn)的符約合性必分析漠本項(xiàng)害目與很?西咳安市味環(huán)境忠保護(hù)劈“最十三捧五浮〞帽規(guī)劃指?符筍合性獅分析即，見狐表如7催。也表銀7悄成蜂姐工程挨與西名安市壘環(huán)境徹保護(hù)在“須十三芽五追〞軍規(guī)劃棚的符跳合性規(guī)劃內(nèi)容本工程與規(guī)劃的關(guān)系符合性分析水二氧化硫、氮氧化物、化學(xué)需氧量、氨氮、揮發(fā)性有機(jī)物排放量較“十二五〞末分別下降〔由國家和省級下達(dá)后確定〕。本工程總量控制指標(biāo)為COD及氨氮，符合要求。符合空氣加強(qiáng)能源根底設(shè)施建設(shè)，提升我市清潔燃料保障能力。本工程食堂全部使用電。符合噪聲繼續(xù)加強(qiáng)對交通運(yùn)輸噪聲、建筑施工噪聲、社會生活噪聲、工業(yè)企業(yè)噪聲等的管理和控制，使城市聲環(huán)境質(zhì)量整體得到改善。評價對建筑施工噪聲的污染防治提出要求，減小施工擾民現(xiàn)象的發(fā)生；對工程建成后對設(shè)備局部進(jìn)行減震降噪和隔聲處理，并將噪聲源空壓機(jī)安置于室內(nèi)，房間安裝雙層隔聲門窗，運(yùn)行時關(guān)閉門窗等實(shí)現(xiàn)環(huán)境噪聲到達(dá)GB12348-2021?工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)?2類區(qū)域標(biāo)準(zhǔn)。符合固體廢物做好城市污水處理、生活垃圾無害化處理、污泥綜合處置等環(huán)境根底設(shè)施建設(shè)的實(shí)施和日常管理工作，促使工程盡快發(fā)揮環(huán)境效益。本工程生活垃圾集中收集，統(tǒng)一清運(yùn)至生活垃圾填埋場填埋，生活垃圾處理率到達(dá)100%；廢有機(jī)溶劑等危險廢物交由資質(zhì)單位處置。符合磁4扇、與頸西安閑高新遲區(qū)總宏體規(guī)廣劃相放符性共?西陜安高逢新區(qū)碗開展約總體批規(guī)劃掛〔2故01叨1年棒-2慈03妨0年盈〕?栽中指紫出：檔西安叛高新木區(qū)將乳開展監(jiān)形成物“一適心、兄二軸杰、三粉帶、紋五區(qū)燙〞的喂結(jié)構(gòu)花模式把，形肚成居引住、曠商務(wù)行、產(chǎn)簡業(yè)三醒大功念能主屢體和榮13賺個功挎能組餐團(tuán)，牲面積飽將擴(kuò)宵展至墨20換0平歉方公紹里。叼本項(xiàng)染目位鞋于憲西安助高新購技術(shù)悄產(chǎn)業(yè)懸開發(fā)董區(qū)讓，項(xiàng)括目所羅在地擱用地軌規(guī)劃鉤性質(zhì)件為工滴業(yè)用缺地〔抹土地決文件喂見附抽件〕姓，其舉建設(shè)遍符合圓西安霸市高純新區(qū)擁總體紐規(guī)劃身的要療求，留土地菊利用挎規(guī)劃拜圖見經(jīng)附圖計4地。陵與本致工程嫂有關(guān)四的原哄有污哲染情鐮況及災(zāi)主要懷環(huán)境伐問題腥：卵一、矛現(xiàn)有彎工程毯概況曠及污道染物說產(chǎn)排聯(lián)情況雖本項(xiàng)嫁目為窄技改求工程慘，同現(xiàn)林有項(xiàng)套目〔犧特高貫壓大映功率朱6英佳寸晶藥閘管茶生產(chǎn)捕工程凍〕抗占地詠面積神為7密59飄37尼m麥2間，串總投謙資3剛30巧00擦萬元素，演以1沖#建狗筑晶恨閘管見工藝方廠房才作為勿主要桌生產(chǎn)竟加工播廠房傅，共英有一枯條生搞產(chǎn)線懶，主摩要生駕產(chǎn)普池通晶煩閘管非、超吸大功王率5奮英寸馬晶閘騾管以笨及特勵大功蜓率6渠英寸丙晶閘舉管，妹年越生產(chǎn)饅能力勺分別旺為4錄萬只錫、0逮.2穩(wěn)萬只鹽以及脈0.頑5萬冬只。薄廠區(qū)斗處于蜻錦業(yè)親二路欠以北逗，丈殼八二賊路以潑西，茄丈八督三路江以東液，北箱臨繞遭城高毯速公貌路，候周圍寫道路阿暢通兇，地確理位脹置優(yōu)往越，質(zhì)交通互便利嬌。酒該部敞分允堆習(xí)麥儀澡禁美舟建緣僑樣壩丟綱股并取肢得陜籃西省測環(huán)保退廳出瞧具的告環(huán)境總影響握報告字表的霉批復(fù)榜〔陜按環(huán)批掘復(fù)[省20項(xiàng)06緊]2農(nóng)37愛號〕鐘以及衣工程都竣工厭環(huán)境滴保護(hù)草驗(yàn)收典的批蔑復(fù)〔歇陜環(huán)漿批復(fù)舊[2麗01獸5]陳36饞4號打〕?？?0蹲14吹年藏5職月，創(chuàng)西安奸市環(huán)棒境保志護(hù)科弊學(xué)研奉究院鋸出具號了?社特高賤壓大蕩功率禽6英蝶寸晶柳閘管奪產(chǎn)業(yè)蕩化項(xiàng)微目環(huán)薯境影椒響報派告表娘變更孟說明臉?架，變性更內(nèi)歇容為蘇：假設(shè)原喜工藝越廢氣鍛中的烏酸性己廢氣校和堿撒性廢表氣分犬別經(jīng)開過酸墻、堿求性排解氣筒夏排放尿，變帖更為餓工藝煙廢氣借中的派酸堿乒廢氣游經(jīng)過肝酸堿酸排氣改筒排干放。講訪概坊現(xiàn)有串工程捉的癢主要托污染畝物產(chǎn)扣生及朗排放椒情況遠(yuǎn)分析謠如下醉：童1、兩廢氣確原有捐工程宴在生痕產(chǎn)過敘程中征產(chǎn)生退的工閱藝廢截氣主貞要包夜括：澆外表裝清洗潤過程口中產(chǎn)尚生的那少量施氯化認(rèn)氫、鄭氟化纏物、銀硫酸蛙霧以抵及氨棉氣，淚先錫經(jīng)零酸堿北中和錯箱反垂應(yīng)，舉然后都排入逼酸堿弱廢氣龍洗滌翁塔酷〔氫還氧化趙鈉〕采處理驚達(dá)標(biāo)泥后通水過加15狐m央高排鉤氣筒備排放備；表刃面處匙理過差程和兩外表弦清洗咸過程烤中使懷用的涉有機(jī)漸溶劑循少量豪揮發(fā)夜產(chǎn)生拆的有慶機(jī)廢胞氣蠟非甲撇烷總當(dāng)烴盲，經(jīng)液廢氣找活性卻炭吸獲附塔癥處理茄后，各由通揮風(fēng)系積統(tǒng)經(jīng)毒過那么15虛m喝的排是氣筒歡集中扁排放氏；食順堂產(chǎn)救生的傅廢氣哄主要側(cè)為油西煙，面通過無油煙王凈化央器凈桃化后哪排放彩。驅(qū)20合16早年9劍月，帳西安鄰高新看區(qū)中領(lǐng)凱環(huán)筋境檢智測有塔限公無司對搖工程蘭廢氣嶺進(jìn)行勵了監(jiān)蛋測〔細(xì)高環(huán)欺監(jiān)字筆〔氣擊〕2絕01賠6-晌HJ羽-3別25舒〕，圓酸堿艙排氣攤筒氨圈氣排妻放濃童度為滿4.是65沙mg辣/m筍3欲，排肯放速遺率為耳0.戚07搏9k善g/姐h，盲氟化驢物排孤放濃勸度為漁4.春60廳mg妙/m只3朝，排南放速歸率為老0.膨09倡0k懷g/摸h，饒氯化容氫排斃放濃帶度為告1.學(xué)73殖mg層/m俊3碰，排喉放速弊率為嶼0.賣03體0k捧g/垃h、蘇硫酸政霧排意放濃界度為委1.憑31嫩m療g/朱m鼠3東，排李放速動率為逐0.年02您2k飯g/仆h；奶有機(jī)脈排氣寄筒非胸甲烷密總烴拖排放惱濃度臺為3剩.2懂5m桃g/醫(yī)m祥3剃，排驢放速時率為捎0.裁01勺7k芝g/姻h。斯氟化穴物、紅氯化稠氫、企硫酸司霧以愉及非俱甲烷絹總烴搜監(jiān)測劍結(jié)果腫均符勺合G殖B1鐮62頑97喉-1址99福6?圓大氣穩(wěn)污染帆物綜公合排哈放標(biāo)牛準(zhǔn)?認(rèn)新污汗染源右大氣著污染腸物排鍬放限芽值中窄最高勻允許滾排放侵濃度抽限值細(xì)及最潛高允劫許排吐放速幣率二靠級標(biāo)衛(wèi)準(zhǔn)限功值；迎氨氣斜監(jiān)測符結(jié)果肺均符澡合G遍B1救45兩54裂-1賊99預(yù)3?鉆惡臭閣污染現(xiàn)物排成放標(biāo)析準(zhǔn)?繳排放窄標(biāo)準(zhǔn)癥值。炭20喊14態(tài)年1趨0月希陜西駱省環(huán)陪境監(jiān)慨測中伴心站無組織催專業(yè)壤技術(shù)牽人員竟對該責(zé)工程周進(jìn)行億竣工倉驗(yàn)收片監(jiān)測藍(lán)〔陜短環(huán)驗(yàn)杏〔表巖〕字光[2仆01千5]茄第0彈06征G號韻〕，辮工程校食堂思凈化父后的決排氣錘量為怕16揪01爛2m同3漂/h睜，油津煙濃疏度為御0.務(wù)69屑mg尖/m滴3呀，處揮理效烤率為囑54械.1努%。襪油煙球最大嬸排放恢濃度喊符合累?飲秤食業(yè)客油煙喂排放雹標(biāo)準(zhǔn)躍〔試印行〕夾?〔罪GB釘18高48棟3-檢20霸01險〕的圣要求滿，但化油煙灘凈化莫設(shè)施鋪?zhàn)畹腿匀コ捫黍卟环岷?鵲飲食證業(yè)油逝煙排并放標(biāo)允準(zhǔn)〔灰試行勿〕?芬〔G卻B1團(tuán)84矩83街-2珍00像1〕船中7捧5%貴的要州求。抄2、伶廢水質(zhì)現(xiàn)有愿工程監(jiān)運(yùn)行紗期產(chǎn)章生的票廢水哥包括騙生產(chǎn)住廢水域和生鍋活污長水兩之局部春，單經(jīng)獨(dú)處扇理后擋集中披排放膊，年滋排放致量為愈93澡60汗t據(jù)。其約中，粗生產(chǎn)蟲廢水臉主要忍是元醒器件援外表膊處理蝶的清汽潔水協(xié)、廢曲氣處效理的潛酸堿腳水和萍純水矮制備笛酸堿期水，報主要禍污染糟因子咸為潮pH粥、化賤學(xué)需毅氧量涼、氟跑化物庭、氨諸氮和勻石油渠類。增工程瞇將產(chǎn)孟生的序生產(chǎn)痕廢水雕收集棟后經(jīng)互酸堿最調(diào)解大中和塑處理炕，絮獄凝沉魄淀后評經(jīng)過鹽石英高砂、孕生物姥炭過瓦濾處膀理后準(zhǔn)排入璃城市后污水降管網(wǎng)威。食弟堂餐艱飲污鑄水先鴿經(jīng)隔箭油處并理，派再與涌辦公匪區(qū)生位活污譯水一抬起經(jīng)蠢化糞肝池處短理后遷排入狗城市源污水爹管網(wǎng)夜，主雞要污搜染因劑子為擠pH差、懸罵浮物嫂、化校學(xué)需卷氧量哀、氨遵氮和盤動植氧物油毫。串20徹16忙年9池月，譽(yù)西安差高新跑區(qū)中奧凱環(huán)襲境檢萄測有也限公伐司對致工程單廢水倘進(jìn)行苗了監(jiān)朱測〔蛾高環(huán)微監(jiān)字水〔水那〕2派01檢6-蹦HJ摧-3碑21躍〕，莖廠區(qū)胃總排谷口水瞎質(zhì)青pH鑰為較7.弱05姑，污鐘染物扁CO葬D獎濃度細(xì)為鬼14妖.4瓜mg封/L奏，氟頃化物賀濃度酸為蜂8.棍22蜘mg毛/L外，氨撥氮1裳.3萍5m娘g/湊L掩。什CO桿D、拍氟化上物和棚氨氮枯滿足較DB騾61囑/2恒24撫-2漂01喘1?僚黃河而流域施〔陜枯西段脅〕污祥水綜旅合排說放標(biāo)情準(zhǔn)?泰二級踐排放條標(biāo)準(zhǔn)粗，p揪H由滿足惱GB腦89熟78副-1哈99蓮6?拴污水素綜合云排放繩標(biāo)準(zhǔn)咱?二討級標(biāo)且準(zhǔn)要意求，附再經(jīng)炭污水預(yù)管網(wǎng)丑送至朗西安智市第充二污碰水處險理廠悔處理版。霧3、驕噪聲造現(xiàn)有誤工程伴源主莖要為以空氣顏壓縮貝機(jī)、獄風(fēng)機(jī)雙和水哥泵等往機(jī)械背設(shè)備仇。通怠過對跟設(shè)備爪局部牢進(jìn)行膝減震愈降噪熊和隔緣聲處梳理，品并將陽噪聲資源空喊壓機(jī)塘安置泛于室裝內(nèi)，賞房間長安裝扒雙層棉隔聲您門窗臘，運(yùn)絲行時齊關(guān)閉警門窗霧等。套本次聾環(huán)評沙監(jiān)測禾結(jié)果橋說明邀：鞠采取才以上骨隔音吵降噪錘措施餓后，蛛經(jīng)過犯車間粗墻壁愛隔聲鑄和距娛離衰獲減，濱北、渣東假設(shè)廠界痰噪聲燃能滿錄足熊GB渾12項(xiàng)34籮8-迷20診08啦?工雙業(yè)企慎業(yè)廠狗界環(huán)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規(guī)剛劃區(qū)剪的交仇通、很水、刮電、犧氣等仗根底煮設(shè)施翁和配沃套設(shè)域施的驢建設(shè)制也已丑全面漫落實(shí)轉(zhuǎn)，一賣個環(huán)萌境優(yōu)袋美、歷交通媽便利驢、基僻礎(chǔ)設(shè)費(fèi)施完沈備、灶配套累設(shè)施粥齊全冠的高立新新慶區(qū)〔低三期午規(guī)劃議區(qū)〕照已經(jīng)顯初具管規(guī)模陪。透工程掉影響鼠范圍場內(nèi)目蓬前尚銜未發(fā)己現(xiàn)需煎特殊顏保護(hù)朗的文學(xué)物古漢跡、甘風(fēng)景欲名勝蒼等環(huán)犬境敏晨感點(diǎn)塌。權(quán)環(huán)境什質(zhì)量蹦狀況哲建設(shè)忙工程竄所在嫩地區(qū)嬸域環(huán)猶境質(zhì)蹤量現(xiàn)共狀及處主要?dú)W環(huán)境尺問題供(環(huán)浸境空催氣、最地表申水、貪地下裝水、己聲環(huán)父境等犧)術(shù)1、談環(huán)境輩空氣典質(zhì)量頭現(xiàn)狀株20井16脂年9樸月1敞4日粉~9間月2犯3日指，西觀安普些惠環(huán)駝境檢般測技菜術(shù)有竟限公謊司對痰工程射現(xiàn)有毫工程狗所在夜地進(jìn)內(nèi)行環(huán)見境監(jiān)坊測鍵。監(jiān)夜測項(xiàng)璃目為丟PM疲10感、S奉O傳2塊、N接O逃2仁，監(jiān)復(fù)測時今間為羊連續(xù)包監(jiān)測薦七天引，監(jiān)喜測結(jié)雷果見揀說明8毫、治9惰，監(jiān)終測點(diǎn)撐位見抽監(jiān)測不報告罩〔普駱惠檢們〔綜勸〕字?jǐn)U〔2多01鏡6〕淡第3癢36喬號〕抄。追表掀8掌叮1小小時輸均值浪統(tǒng)計跨結(jié)果監(jiān)測工程評價工程SO2NO2濃度范圍〔μg/m3〕21~3726~51超標(biāo)率〔％〕00最大超標(biāo)倍數(shù)00GB3095-2021?環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)?二級標(biāo)準(zhǔn)〔μg/m3〕500200引表容9廊24曾小時句均值映統(tǒng)計槍結(jié)果監(jiān)測工程評價工程SO2NO2PM10濃度范圍〔μg/m3〕25~2836~3994~108超標(biāo)率〔％〕000最大超標(biāo)倍數(shù)000GB3095-2021?環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)?二級標(biāo)準(zhǔn)〔μg/m3〕15080150家由監(jiān)意測統(tǒng)未計結(jié)感果可答以看博出，做監(jiān)測躲期間贊工程村所在庫區(qū)域報環(huán)境奏空氣唯中S委O我2墨、N沒O守2文小時稿值、筐24筍小時楚均值盜，P疫M(jìn)繭10己24套小時密均值哨符合伴GB督30室95詳-2民01鋪2?暫環(huán)境允空氣筒質(zhì)量陸標(biāo)準(zhǔn)粘?中肉二級驕標(biāo)準(zhǔn)垂?；?0跡16蛙年9凳月2敗1日告~9殺月2蟲3日橫，西遷安普餃惠環(huán)日境檢幣測技光術(shù)有輕限公司司對準(zhǔn)工程沒現(xiàn)有摟工程灘所在窮地進(jìn)姑行環(huán)姻境監(jiān)驚測。勵監(jiān)測娃工程蕉為氯來化氫累、硫那么酸霧售、氨喊氣、輸氟化瞇物、捷非甲詞烷總匙烴，葬監(jiān)測和時間擦為連瓶續(xù)監(jiān)討測三患天，粘監(jiān)測晝結(jié)果道見表裁10般，監(jiān)嗚測點(diǎn)葡位見或監(jiān)測縮報告須〔普頂惠檢塵〔綜閑〕字傲〔2盾01停6〕康第3殲36筑號〕別。能表及10古忙1扭小時距均值茶統(tǒng)計型結(jié)果監(jiān)測工程評價工程氯化氫硫酸霧氨氣氟化物非甲烷總烴濃度范圍〔μg/m3〕ND(0.003)0.01~0.0170.052~0.079ND(6×10-2)0.288~0.409超標(biāo)率〔％〕00000最大超標(biāo)倍數(shù)00000TJ36-79?工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)?〔μg/m3〕0.050.300.200.02/慰由監(jiān)笨測統(tǒng)撓計結(jié)臘果可皆以看標(biāo)出，什監(jiān)測某期間末工程巧所在草區(qū)域攜環(huán)境裝空氣水中氯槽化氫證、硫宇酸霧梢、氨可氣、統(tǒng)氟化媽物和珠非甲閑烷總渡烴1容小時恒均值糞均符烈合T至J3電6-壇79獸?工筑業(yè)企冶業(yè)設(shè)燈計衛(wèi)遺生標(biāo)烈準(zhǔn)?孝。忘2、斤聲環(huán)陜境質(zhì)范量現(xiàn)誰狀鵲20刃16克年9造月1盾4日枯，西遣安普菜惠環(huán)蛛境檢匯測技銳術(shù)有圾限公取司在評工程飲地東榮、南幻、西攤、北坑廠界精及南蹦側(cè)逸奉翠園海住宅民小區(qū)徹內(nèi)，滿各布匠設(shè)1側(cè)個監(jiān)拒測點(diǎn)舒位，碎共布貞設(shè)5賞個監(jiān)骨測點(diǎn)將位〔派白天歪企業(yè)河正常涼進(jìn)行滑生產(chǎn)葉的情琴況下斬監(jiān)測漸〕，怎監(jiān)測殿工程澇為等瓶效連蘇續(xù)A測聲級較，晝匪、夜享各監(jiān)愉測一本次，側(cè)監(jiān)測險1天萄，監(jiān)也測結(jié)吐果見完表蝶1標(biāo)1吸。監(jiān)嫂測點(diǎn)即位見匹監(jiān)測糕報告慢〔普劍惠檢瞧〔綜悟〕字承〔2筍01斯6〕幻第0掘47壽號〕帽。搜表中1們1徑工程唐環(huán)境寄噪聲狹監(jiān)測搖結(jié)果拐統(tǒng)計摟表單雪位：財dB父(A桐)監(jiān)測點(diǎn)位2類標(biāo)準(zhǔn)晝間夜間晝間夜間1#〔工程所在地東廠界〕51.443.260502#〔工程所在地南廠界〕60.349.83#〔工程所在地西廠界〕62.548.74#〔工程所在地北廠界〕54.945.2逸翠園小區(qū)53.242.66050搶監(jiān)測倉結(jié)果餃說明澡：監(jiān)焦測期暗間項(xiàng)悅目東朋、北娘廠界溉晝間綿、夜晃間噪禿聲滿悼足G福B1污23莫48玻-2慨00照8?斗聲環(huán)頌境質(zhì)瓶量標(biāo)財準(zhǔn)?羅中2蓮類標(biāo)枯準(zhǔn)，侮西、霞南廠易界由道于緊忠挨丈蛙八三慣路和漂錦業(yè)愿二路貨，晝限間因脊車輛嬸較多坊有所希超標(biāo)偷，夜裕間噪痕聲滿愿足G款B1廣23姐48咬-2熱00棍8?誕聲環(huán)有境質(zhì)沉量標(biāo)偉準(zhǔn)?遵中2腰類標(biāo)沿準(zhǔn)；藥逸翠漿園小錯區(qū)晝浴間、享夜間球噪聲倆滿足姿GB開30綿96茄-2諒00乒8?坑聲環(huán)何境質(zhì)乞量標(biāo)碼準(zhǔn)?棵中2秧類標(biāo)當(dāng)準(zhǔn)。倆3、孝地下震水環(huán)辦境質(zhì)茄量現(xiàn)濃狀蔥20憲16亭年9注月1慮4日望西安舍普惠騎環(huán)境獲檢測割技術(shù)黨有限掉公司蹲對地柴下水防進(jìn)行竿了監(jiān)忙測〔尸普惠宅檢〔疏綜〕婦字〔愿20歐15拒〕第白04陣7號品〕，勇監(jiān)測汗結(jié)果盈見下膜表。本表1設(shè)2鏡地下勒水監(jiān)詠測結(jié)咳果工程點(diǎn)位2021年9月5日單位標(biāo)準(zhǔn)值工程地上游〔袁旗寨新村〕工程地附近〔傅村〕工程地下游〔逸翠園小區(qū)〕K+0.7740.7520.768mg/L/Na+7.127.157.08mg/L/Ca2+59.358.759.1mg/L/Mg2+10.69.789.94mg/L/Cl-6.566.246.51mg/L/SO42-15.115.115.3mg/L/pH7.587.627.59/6.5~8.5氨氮0.1360.1480.162mg/L≤0.2硝酸鹽2.261.751.78mg/L≤20亞硝酸鹽ND〔0.001〕ND〔0.001〕ND〔0.001〕mg/L≤0.02揮發(fā)性酚類ND〔0.002〕ND〔0.002〕ND〔0.002〕mg/L≤0.002氰化物ND〔0.002〕ND〔0.002〕ND〔0.002〕mg/L≤0.05砷ND〔1.0〕ND〔1.0〕ND〔1.0〕/L≤0.05汞ND〔1.0〕ND〔1.0〕ND〔1.0〕/L≤0.001鉻(六價)ND(0.004)ND(0.004)ND(0.004)mg/L≤0.05總硬度98112108mg/L≤550鉛ND(2.5)ND(2.5)ND(2.5)/L≤0.05氟化物0.5430.8770.818mg/L≤1.0鎘ND(0.5)ND(0.5)ND(0.5)μg/L≤0.01鐵ND〔0.1〕ND〔0.1〕ND〔0.1〕mg/L≤0.3錳ND〔0.1〕ND〔0.1〕ND〔0.1〕mg/L≤0.1溶解性總固體372413398mg/L/高錳酸鹽指數(shù)3.63.23.8mg/L≤3.0總大腸菌群未檢出2未檢出個/L≤3.0細(xì)菌總數(shù)345277個/100mL≤100備注本次監(jiān)測數(shù)據(jù)僅對本次采樣點(diǎn)位所采集樣品有效。環(huán)由上遷表知孟，顫監(jiān)測氣期間俗工程罰地上符游、至下游賠、項(xiàng)梅目排所在眠地的獸地下壯水屈監(jiān)測默數(shù)據(jù)付均滿煌足洋囑厚而化巨瓦拉匠倚題紐多檔效冶斤。鳥4、具廢水礦20載16索年8斃月3吳0日稅，西也安高慧新區(qū)陰中凱環(huán)環(huán)境握檢測溝技術(shù)葡有限葬公司剛在項(xiàng)略目現(xiàn)家有工論程所猾在地廟污水投排放陸口對岡廢水其進(jìn)行疑了監(jiān)冷測，非監(jiān)測絕工程啞為p珍H、唉氟化嗎物、磨化學(xué)債需氧內(nèi)量、蹲氨氮猴，煙各監(jiān)溪測一篩次，脈監(jiān)測思結(jié)果溪見表什1恨3碰。監(jiān)料測點(diǎn)折位見鼠監(jiān)測輩報告猾〔美高環(huán)現(xiàn)監(jiān)字油(水昨)2往01耗6怖—圍HJ當(dāng)—航32迷1屈〕。但表1慮3與工程撫廢水熄監(jiān)測釣結(jié)果碰表垃單位攏：m服g/愿L舟〔除始pH墓〕工程日期工程日期pH氟化物化學(xué)需氧量氨氮7.058.2214.41.35抬監(jiān)測其結(jié)果蔥說明確，回工程胸排水紫CO商D、井氟化叼物和腳氨氮豎滿足賄滿足洗DB禽61譽(yù)/2掏24晃-2紗01耕1?肯黃河澤流域墻〔陜裝西段兔〕污狂水綜免合排悟放標(biāo)毅準(zhǔn)?鳴二級靠排放耍標(biāo)準(zhǔn)剪，林pH午津滿足扁GB炸89勵78快-1側(cè)99菌6?慌污水估綜合褲排放糾標(biāo)準(zhǔn)贏?二累級標(biāo)辮準(zhǔn)要召求。腳主要敏環(huán)境毒保護(hù)茂目標(biāo)曲(列滿知名脊單及恨保護(hù)點(diǎn)級別哨)：犁本項(xiàng)涼目位謝于座西安燃高新稍區(qū)錦畫業(yè)二孤路1頃3號已。喪表1暗4望主要免環(huán)境脫保護(hù)盾目標(biāo)保護(hù)對象相對方位距廠界最近距離(m)保護(hù)內(nèi)容保護(hù)目標(biāo)逸翠園小區(qū)南側(cè)60空氣環(huán)境和聲環(huán)境到達(dá)GB3095-2021?環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)?中二級標(biāo)準(zhǔn)、GB12348-2021?聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)?中2類標(biāo)準(zhǔn)。西安好運(yùn)來賓館西側(cè)60逸翠-尚府北區(qū)東側(cè)160工程廠區(qū)所在地60m160m逸翠-尚府北區(qū)改造廠房好運(yùn)來好遠(yuǎn)；中航工業(yè)科斯特汽車維修中心電科39所沃恩SEW霍尼維爾逸翠園小區(qū)60m工程廠區(qū)所在地60m160m逸翠-尚府北區(qū)改造廠房好運(yùn)來好遠(yuǎn)；中航工業(yè)科斯特汽車維修中心電科39所沃恩SEW霍尼維爾逸翠園小區(qū)60m分圖蚊2扣工程站四鄰礙關(guān)系勞圖促評價戚適用厲標(biāo)準(zhǔn)獲環(huán)由境情質(zhì)令量堤標(biāo)躺準(zhǔn)歇1、兵大氣摩環(huán)境纏SO燙2鉆、N警O愁2湖小時淋值、死24犬小時首均值愉，P沾M護(hù)10矮24認(rèn)小時陶均值擾執(zhí)行笛GB破30雨95塔－2懂01掃2?斃環(huán)境量空氣耐質(zhì)量模標(biāo)準(zhǔn)絨?二維級標(biāo)喝準(zhǔn)收，盟氯化猴氫、秘硫酸夾霧、慧氨氣急、氟烘化物糕執(zhí)行底TJ斃36商-7唯9?淹工業(yè)微企業(yè)句設(shè)計適衛(wèi)生隨標(biāo)準(zhǔn)逼?；寒2、幫聲環(huán)近境執(zhí)鋪行G針B3燕09斷6－倘20災(zāi)08局?聲太環(huán)境窩質(zhì)量芬標(biāo)準(zhǔn)她?2遵類標(biāo)塑準(zhǔn)；第3、央地下蛛水執(zhí)允行G輕B/繁T1喂48莫48史-9箏3?艦地下擱水環(huán)談境質(zhì)岡量標(biāo)視準(zhǔn)?備Ⅲ類我標(biāo)準(zhǔn)傻。奧污呆染盼物善排仇放迅標(biāo)它準(zhǔn)查1、骨生產(chǎn)續(xù)廢氣卸執(zhí)行驢?大收氣污拒染物孔綜合垂排放論標(biāo)準(zhǔn)墊?〔失GB企16傘29描7－肉19附96儉〕中挖的二蛋級標(biāo)澤準(zhǔn)及挽?惡迅臭污芹染物慨排放慨標(biāo)準(zhǔn)損?〔海GB堤14趨5勇54倡-9犬3〕拜表2舟中的汽相關(guān)縫要求祖；各2、漏職工拐餐廳耀油煙賊排放敢執(zhí)行旱GB賊18梁48悶3-房20數(shù)01勿?飲原食業(yè)跟油煙曠排放芽標(biāo)準(zhǔn)沾〔試副行〕墳?里中型稻規(guī)模訂標(biāo)準(zhǔn)攔；熟3、穗廢水街排放蜂執(zhí)行惑?黃對河流與域〔咸陜西罩段〕丈污水困綜合晚排放革標(biāo)準(zhǔn)貌?〔剖DB嘗61塵/2搏24撫-2賺01騾1〕條二級故標(biāo)準(zhǔn)央及?亂污水骨綜合雀排放叨標(biāo)準(zhǔn)式?〔略GB牽89叔78類-1依99撓6〕患二級閘標(biāo)準(zhǔn)購。籮4、狠廠界功噪聲膜執(zhí)行殼?工拐業(yè)企猜業(yè)廠府界環(huán)文境噪英聲排張放標(biāo)傳準(zhǔn)?肯〔G伶B1晉23假設(shè)48惹－2臥00耳8〕前中2償類標(biāo)騙準(zhǔn)。腫5、鈴固體沿廢物誦執(zhí)行雀?一儀般工昆業(yè)廢宇棄物轟貯存紋、處械置場喘污染臉控制堆標(biāo)準(zhǔn)紀(jì)?〔乎GB雞18殘59皂9-的20襲01樣〕及叮其涌修改痛單咸的有閃關(guān)規(guī)街定。砌6、旋危險血廢物逮貯存求污染建物控逐制執(zhí)今行?軍危險囑廢物云貯存游污染腿控制嘴標(biāo)準(zhǔn)給?〔顫GB員18動57貿(mào)9-讀20孟01漠〕及蠅其榮修改愿單腥的相潤應(yīng)規(guī)殘定。凡總隆量應(yīng)控串制眨指如標(biāo)庭按照帳?全坡國主最要污聯(lián)染物督排放杏總量辟控制憐方案奏?，州本工沉程偽執(zhí)行浪污染求物排愚放總臥量控誠制因薦子為差CO碑D防、氨命氮愛，其虜排放書總量哲控制沉指標(biāo)書采用估本項(xiàng)妨目完傘成后塌治理祖后的侄實(shí)際停排放李量。剃表廈1籌5確總量爺控制快指標(biāo)類別污染物名稱本工程t/a控制指標(biāo)污水COD0.0520.182氨氮0.0050.018另建設(shè)黨工程懶工程寒分析電工藝司流程筐簡述菠〔圖寬示〕厭：氨水、氫氟酸、鹽酸和純水本錢項(xiàng)券目對現(xiàn)現(xiàn)有西1#醉建筑剩晶閘告管工油藝廠踢房、卡4#側(cè)建筑凳化學(xué)尸品庫賭、5罷#建縫筑動喝力站塔進(jìn)行顏技術(shù)精升級停改造可，僅界購置之設(shè)備蚊進(jìn)行尚安裝滅，施胃工期豎影響爆較小閃；項(xiàng)賣目運(yùn)院營期澆各產(chǎn)宴品的旺工藝換流程堵相似機(jī)，主尿要包怠括硅汪片腐晨蝕、計光刻喬、去謠膠、督擴(kuò)散擦、刻泰蝕等命工藝敏，具骨體工呼藝流墓程及訂產(chǎn)污跑環(huán)節(jié)謎見圖腿3稅。氨水、氫氟酸、鹽酸和純水硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水偏1.貪產(chǎn)品也工藝妨流程閥圖硝酸、氫氟酸、冰乙酸和純水含氟廢水、酸性廢氣、廢酸含氟廢水、酸性廢氣、氨氣、廢酸清洗硅片腐蝕含氟廢水、酸性廢氣、廢酸含氟廢水、酸性廢氣、氨氣、廢酸清洗硅片腐蝕光刻膠、環(huán)氧乙烷、乙酸潔凈車間光刻膠、環(huán)氧乙烷、乙酸潔凈車間廢水有機(jī)廢氣、廢酸擴(kuò)散一光刻一廢水有機(jī)廢氣、廢酸擴(kuò)散一光刻一氫氟酸、氟化銨去膠腐蝕氫氟酸、氟化銨去膠腐蝕含氟廢水、酸性廢氣氨氣廢水、硫酸霧廢酸含氟廢水、酸性廢氣氨氣廢水、硫酸霧廢酸廢水、廢氣廢水、廢氣光刻二擴(kuò)散二廢水、廢氣廢水、廢氣光刻二擴(kuò)散二廢水、廢氣廢水、廢氣擴(kuò)散三刻蝕廢水、廢氣廢水、廢氣擴(kuò)散三刻蝕含氟廢氣蒸發(fā)光刻三含氟廢氣蒸發(fā)光刻三廢水、有機(jī)廢氣合金外表廢水、有機(jī)廢氣合金外表造型潔凈車間廢水、廢氣腐蝕潔凈車間廢水、廢氣腐蝕保護(hù)保護(hù)芯片測試芯片測試封裝封裝廢包裝材料包裝出廠元件測試廢包裝材料包裝出廠元件測試直圖倦3泰工程留運(yùn)營挨期生貞產(chǎn)工呈藝流哀程及碧產(chǎn)污禾環(huán)節(jié)嘉圖亮工程勤生產(chǎn)惜工藝課流程嗓簡介帖：受該項(xiàng)鞭目生制產(chǎn)工爽藝布鬼局主括要分搜為8對局部羞：硅碑片清登洗腐捷蝕區(qū)典、擴(kuò)氏散區(qū)梯、光上刻區(qū)冷、蒸涉發(fā)合烘金區(qū)崗、表辱面造界型及皺保護(hù)裕區(qū)、抵芯片保測試杏區(qū)、虛封裝修區(qū)、痰包裝哀出廠躁區(qū)。目其中斧擴(kuò)散蕉、光胳刻、階蒸發(fā)腐合金卡、表票面造豎型及鬧保護(hù)佛等主抖要工幻序均長處于五潔凈潛廠房缺中。元〔1滔〕硅遮片腐論蝕：海主要刷是使欠用硝扮酸、剩氫氟逼酸、逗冰乙投酸和笛純水首等對庸硅片嫁進(jìn)行叉清洗僻和腐材蝕等剝外表遺處理辯；現(xiàn)〔2該〕清邀洗：蕩清洗特主要叢使用涼氨水畏、氫徐氟酸壤、鹽殖酸和疑純水斧等進(jìn)串行表煙面清吸潔處郊理；哈〔3巴〕擴(kuò)名散：從主要?dú)w是進(jìn)飼行高娃溫?fù)窖s制鵲造P畝N結(jié)翁，三膛次擴(kuò)尊散摻奉雜各殖不相霞同；廟〔4迫〕光卡刻：兔主要供是制疫造圖駛形，諷來形根成特光殊的馳電結(jié)槍構(gòu)功寸能，左三次斑光刻好制造菊的圖播形也渠不同仔。光灑刻主趣要使籃用光脊刻膠移、環(huán)框氧乙施烷、券乙酸踏等；雁〔5寧〕光似刻后假設(shè)腐蝕辭：采愚用氫即氟酸垂、氟筐化銨輪和純晌水等慌；光南刻腐烏蝕后浩去膠乘采用桂硫酸局和純恥水等歌；借〔6鏟〕蒸誘發(fā)：申在硅凱片表挺面上饒鍍一稱層金晝屬膜曉，合繪金后抱具有扶良好工的歐額姆接琴觸。糧蒸發(fā)慕前清潮潔采躍用氫滅氟酸拍；央〔7熟〕表撓面造咐型：掏將硅堡片表拒面制硬造出言需要愛的形茫狀，電通過躲腐蝕笨保護(hù)誰形成英具有輸嚴(yán)格裕的電平壓特速性芯薯片。把造型化過程席主要壘使用痰金剛均砂、蘋丙酮塘和純章水等似；合〔8釣〕最沸后進(jìn)督行芯預(yù)片的檔測試奶、封薪裝和碧包裝晨，即東為成怠品。制根據(jù)抄工藝誘流程旬要求芳，項(xiàng)究目每威道工哪序表何面處忽理所悄使用封的化薯學(xué)品滅全部兩為單雀獨(dú)密夫封槽抓存儲圖，定暮期補(bǔ)柳充。昌清洗綠采用候浸洗壯方式腫，對給于每尊種化扔學(xué)試餃劑槽錄均按銷試劑酬性質(zhì)咱，單評獨(dú)設(shè)辦置抽榨風(fēng)罩督；并間按照且揮發(fā)帥氣體稻的酸離、堿招以及乘有機(jī)腹等性混質(zhì)分愧別進(jìn)穴行處促理。壯同時囑要求斥工程肌所有擾使用賓的金迎剛砂面和研斤磨粉獄全部侍循環(huán)惱使用挑，生漠產(chǎn)使悠用各岔種酸取、堿符及有摔機(jī)溶刺劑也媽全部階密閉沖循環(huán)柱使用叨，定懇期更刃換，氣更換兄下來投的廢滿液全膏部單季獨(dú)收貿(mào)集，性廢酸至直接?xùn)|進(jìn)入盡酸堿防中和戒池中券和，絲產(chǎn)生甘的沉樹淀物恒與廢自有機(jī)腦溶劑悄均圖密閉梳陰涼民存放旁，委搜托相昨關(guān)單夕位回翅收處務(wù)置。狀2.島碳線化硅賓〔S渾iC沃〕功妖率器獵件缺碳化象硅功糟率器墾件主厲要以寸研發(fā)伍為主鄰，理刮論模桐擬為亂輔的車研究吃方法降和技獅術(shù)路投線。脾主要走研究登方案打和技鏟術(shù)路仰線如泉圖間4統(tǒng)、圖翼5移所示昂。獵高溫脈離子褲注入乓和高粘溫退繼火：瓣離子勒注入本的方晃法就冷是在羽真空品中、堂低溫慈下，隸把雜禁質(zhì)離翠子加鑰速，念獲得戀很大娃動能擱的雜證質(zhì)離之子即酷可以崇直接如進(jìn)入千半導(dǎo)群體材隔料中泄；同逃時也邪會在置半導(dǎo)均體中同產(chǎn)生狐一些范晶格抱缺陷仰，因恭此在君離子懶注入贈后需童用低被溫進(jìn)斜行退秧火或景激光稼退火免來消呼除這描些缺且陷。周鈍化滋層的董形成撕：就混是在運(yùn)半導(dǎo)掩體器篩件表滲面覆么蓋保性護(hù)介裂質(zhì)膜戶，以承防止霉外表名污染漏。身研發(fā)草實(shí)驗(yàn)塘室以劉研發(fā)切為主級，主揀要污滑染物呀為員耳工的陳生活悔污水冰，其頂他均鴿不產(chǎn)炸污。攔圖狐4黨肥4H減-S黃iC哪S逢BD鏈器件跡研究活方案扶和技械術(shù)路脾線凝圖遠(yuǎn)5削坊4H齊-S痛iC輸M序OS險FE池T器絲件的翁研究叔方案裕和技折術(shù)路渠線趣主要蘇污染踩工序載：嗚施工弊期芳本項(xiàng)痛目使安用原蹈有廠損房進(jìn)胖行技擺術(shù)升首級改模造，籮僅購骨置設(shè)慌備安仔裝，船施工鑒期影張響較撈小。北1.直廢水支主要福來源思于施舉工人燒員生香活沫污指水，物主要組污染華因子崖是C迎OD價、B株OD枕5啦、S或S、怖氨氮腸。正2.到廢氣鏟汽車勢運(yùn)輸尾揚(yáng)塵霉及尾具氣。雁3.抖噪慈聲雹設(shè)備煤安裝象噪聲獸。澆4.斃固蒼體廢惰棄煙物匯施工瀉人員伐生活峽垃圾琴和廢欺棄設(shè)絕備包疑裝物邪。構(gòu)營運(yùn)甲期斬1.遞廢水身〔1鑒〕生弓產(chǎn)廢泄水：肺主要巴由以級下三脖局部努組成拘。辭a.傅元器鉛件等蔽外表此清洗點(diǎn)過程辱產(chǎn)生完的少逼量印廢堪水撐，主縮要污建染物流為p謊H、撿CO豎D、堂氟化詢物和顆氨氮六等；谷b.亭純水字站產(chǎn)遍生的敬濃水墊，主塵要污夏染指沫標(biāo)為飼SS軌；背c.摔廢氣慢處理撫產(chǎn)生怠的酸鄭堿水懸，主榜要污孟染物軟為p渴H、基CO植D、奔氟化塌物和勉氨氮袍等。駕〔2順〕生艱活污謊水：耽職工跳生活紗產(chǎn)生終的污置水，詞主要廳污染椅因子企為C挖OD你、S主S、近氨氮榜等。珍2.凍廢氣鍛〔1鍛〕生紛產(chǎn)廢澆氣：羽工程所生產(chǎn)隔過程覆中產(chǎn)終生的毅廢氣狐主要但有三葉類，茶分別接如下呀。薯a.槽表構(gòu)面清退洗過仁程中鄭產(chǎn)生毯的少炭量氯攏化氫術(shù)、氟畫化物均和硫萬酸霧定；王b.等表克面清抖洗過胃程中案產(chǎn)生棒的氨以氣；普c.海表泰面處惹理過蘇程中促產(chǎn)生帶的有日機(jī)廢非氣非戲甲烷計總烴土。競〔2羽〕職魄工食圖堂產(chǎn)熄生的運(yùn)油煙選廢氣義。遍3.均噪繼聲間工程停的主夾要噪仿聲源土是夜風(fēng)機(jī)遼、空梢調(diào)機(jī)丘組、憶冷卻恰循環(huán)黨泵和逼真空王泵等咱設(shè)備脂。掀4.繳位固體創(chuàng)廢縱棄少物譜工程袍運(yùn)行最后，凳固體筐廢棄不物主搶要有玉：〔詠1〕慧廢舊勤塑料踢和廢膽包裝英材料殺等；羞〔2閱〕廢踐腐蝕兇液、缸去膠倒液等做各類囑廢有趴機(jī)溶假劑和菌廢酸濫；〔請3〕門污水碌處理捉站的扯生物椒炭；棗〔爺4區(qū)〕證廢機(jī)民油；領(lǐng)〔5捏〕撈生活蹤垃圾扣。

半工程胃主要格污染輛物產(chǎn)愛生及捆預(yù)計河排放齒情況方內(nèi)容均類型班排放聰源肝〔編填號〕泳污染和物螞名稱欲濃度盆及產(chǎn)宣生量枕〔單炊位〕殃排放魄濃度姜及排且放量蓬〔單煩位〕蠻廢水渴污染慌物蜂職工愚生活墊污水蔬和車食間生愛產(chǎn)廢昆水掩CO董D區(qū)19嗽.2踐0憑mg悲/m材3冊0.肝07泰0期t/牢a貴14稠.4鬼mg劃/m盒3蹤0.拋05叔2t學(xué)/a曲氨氮晃2.渾37鍬mg抽/m歐3漫烈0.備00均9漢t/鎖a雙1.卵35娛mg梳/m姑3智攪0.頌0駐05然t/綿a銷氟化蔑物歐1懇3.賤7濟(jì)mg遲/m蹲3佳妖卻0.既05泊0萬t/潑a取6.惠85美m(xù)g涉/m姑3貧愚憶0.掙0良25待t/跟a橫SS剃12哥.5辯0怖m(xù)g宇/m漸3睛0.幅04忙5龍t/假設(shè)a踏5撞mg憂/m歪3賄0.似01倒8令t/晶a裹石油姑類投0.健16品mg嬸/m征3剃興0.均00嚴(yán)1單t/蠅a榴0.慈14膏mg咱/m粒3請保0.鎖0診01贈t/迎a燭動植綢物油棚0.豈53盲mg閥/m例3愧求安0.艇0均02我t/黎a雷0.旁21街mg換/m纏3禮墳中0.悟0架01消t/捐a蛙大躺氣途污壽染映物少工藝重廢氣巾氨氣椅93呀.0振mg勇/m紙3腐40估92蓮kg疼/a煌4.脾65米mg凡/m鍬3王20曲4.挽6慘kg隙/a短氟化預(yù)物煤92貍mg鐵/m芽3井肯4乘04此8石kg擺/a蒸4.浙6界mg妻/m射3京攀2團(tuán)02當(dāng).4販kg歷/a夠氯化揚(yáng)氫棍34階.6暢mg柴/m濤3開筆1氣52葡2.得4撲kg扔/a技1.銜73鞋mg剛/m癥3賣濟(jì)7黎6.頂12糾kg劍/a歇硫酸工霧語26右.2奇mg猜/m播3五該11胃52駱.8筍kg疑/a岸1.撒31千mg駛/m郵3特57蹦.6忙4吳kg翁/a尾非甲狀烷總鋼烴譽(yù)65您.0攜mg奮/m敬3餐54扭3.純4譜kg肢/a葬3.反2價5m憶g/吹m蘋3壯27負(fù).1欄7霸kg訓(xùn)/a災(zāi)食堂范廢氣舌油煙枕1.擋71怨mg戶/m紅3完2.雀23室kg羞/a著0.臉68珠mg謎/m斜3敏0.虹56們kg傭/a疊固述體目廢翻物歲車間努廢舊梅塑料預(yù)和廢利包裝石材料火7.閥5村t/幸a先7.燒5耽車間斗廢有占機(jī)溶織劑扇3.狐0朗t/澇a副3.由0階t寬/a稱車間迷廢酸禾1.規(guī)5致t層/a澇0.滅15瞞t/弦a中廢水脂處理狐站鳴廢生迷物炭望1.寫3臺t巡/a吐1.統(tǒng)3善t見/a擁車間陵廢機(jī)鑰油直0.怪0播1里t/牛a兆0.書0怠1糠t/飄a貓辦公巾樓貫和食蔑堂夢生活脂垃圾揮5.仆97管t且/a米5.陸97掃t馬/a退噪娃聲視該項(xiàng)據(jù)目的某主要貪噪聲免源是健風(fēng)機(jī)車、空廚調(diào)機(jī)丸組、基冷卻凳循環(huán)秒泵和蔥真空酬泵等維設(shè)備賽，噪境聲級浩均在仁85棄dB扮〔A炭〕以頁下，淚噪聲阿級不講高。肢工程奸原輔論材料面、產(chǎn)貴品運(yùn)疼輸過持程中揀將產(chǎn)寬生搬口運(yùn)、產(chǎn)車輛丹噪聲旅，噪必聲值贊在7命0～丹80零dB兇(A欄)。鈴其哨他短無疼主要喬生態(tài)羅影響仿〔不藏夠時民可加寬附頁突〕瞞建設(shè)阻工程板用地定40雀00惹m羨2崗，其尼中生桿產(chǎn)車?yán)黹g已缺建成打，僅拼需購蝴置設(shè)酸備后釀安裝琴，兆依托沫已有荒綠化硬面積梅20趟00恰0m最2里，來本次死改造臂不會扔產(chǎn)生梢新的伙生態(tài)素影響廊。喬環(huán)境義影響烈分析序施工姥期環(huán)杯境影息響分墊析俘本項(xiàng)溝目使堵用原麗有廠拴房進(jìn)放行技牌術(shù)升啦級改麥造，謀僅購召置設(shè)潤備安世裝，徒施工括期影遠(yuǎn)響較噸小。弓1.姥廢水殖主要食來源沃于施寒工人差員生偶活鞭污義水，巴生活灶用水饅量按耕每人鏈每天守35壁L計舞，污好水排需放系銜數(shù)0今.8趟，施洪工人贊員按跑每日呢用工鬧20敏人計抽算，世那么生慧活污袍水量徐最高包約0顛.5陸6m稻3執(zhí)/d父，主國要污母染因?qū)Ｗ邮桥eCO赴D、才BO慚D弱5病、S運(yùn)S、濕氨氮葵，排巾入廠溫區(qū)糞兔池處氧理，執(zhí)不會他對周輕圍環(huán)泳境產(chǎn)籌生不罩利影溉響。勉2.歲廢氣洋汽車舟運(yùn)輸皮揚(yáng)塵籃及尾收氣。謙通過春對廠享區(qū)道衡路灑烈水等撇措施廳，蔬揚(yáng)塵紛對周辰圍環(huán)秒境空急氣的崇影響雙可以全接受塔。毀3.斧噪萍聲崗設(shè)備撈安裝梯噪聲覽。設(shè)批備的夾安裝宿均在踢廠房洋內(nèi)，晶在廠剪房的臨隔音獄效果音下，