半導(dǎo)體IC切割SSS培訓(xùn)教材課件

SSS培訓(xùn)教材SSS培訓(xùn)教材1第一章V2Handler的各部分機(jī)械調(diào)節(jié)的方法第一章V2Handler的各部分機(jī)械調(diào)節(jié)的方法2按下E-Stop，轉(zhuǎn)動(dòng)Turret,檢查運(yùn)動(dòng)順序是否正確：外環(huán)下內(nèi)環(huán)下外環(huán)上內(nèi)環(huán)上

確定吸嘴的位置，在RejectBoat,GoodBoat以及Orientater處的位置是否在正中間。OrientatorRejectBoatGoodBoatSawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整按下E-Stop，轉(zhuǎn)動(dòng)Turret,檢查運(yùn)動(dòng)順序是否正確：O38個(gè)吸嘴是否在同一個(gè)高度

方法：在XYTable上面確定一個(gè)固定點(diǎn)，轉(zhuǎn)動(dòng)Turret,看每一個(gè)吸嘴接觸定點(diǎn)的高度是否相同，調(diào)節(jié)上方頂桿和桿套，選取高度平均值，使各吸嘴處于同一高度。檢查吸嘴在XYTable,RejectBoat,GoodBoat以及Orientater處的高度是否滿足要求：在XYTable上面放置一個(gè)Unit,如圖所示吸嘴UnitXYTableSawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整8個(gè)吸嘴是否在同一個(gè)高度在XYTable上面放置一個(gè)Uni4Orientator位置的高度標(biāo)準(zhǔn)：RejectBoat,GoodBoat上面高度標(biāo)準(zhǔn)：SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整Orientator位置的高度標(biāo)準(zhǔn)：RejectBoat,5檢查XYTable在XY軸向的平行度：固定一個(gè)吸嘴，轉(zhuǎn)動(dòng)XYTable在X,Y軸向的馬達(dá)，移動(dòng)XYTable檢查GoodArm在IndexTray和GoodBoat上面的高度，以在IndexTray上的高度為基準(zhǔn)；RejectArm在RejectTray和RejectBoat上面的高度，以RejectTray上面的高度為基準(zhǔn)。Turret速度設(shè)定：舊機(jī)器——50~100，新機(jī)器——100~120SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整檢查XYTable在XY軸向的平行度：檢查GoodAr6GoodBoat——802sensor,RejectBoat——801sensor

調(diào)節(jié)時(shí)Boat必須在Arm的正下方GoodBoatSensorSensorUnitArm2檢查Arm2Gripper和Carrier是否在同一個(gè)平面；跑機(jī)過程中檢查Gripper是否變形；Arm2在XYTable的馬達(dá)位置，Retainer活動(dòng)順暢；Arm2在Flipper,Wash的位置是否正確，調(diào)節(jié)氣閥，使上下運(yùn)動(dòng)力度再合適的范圍之內(nèi)；SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整GoodBoat——802sensor,RejectB7Washing&Drying:Washing沖洗次數(shù)為3~6次，速度為80mm/sDrying烘烤次數(shù)為8~10次，速度為60mm/s,溫度設(shè)定為2~3若在正常設(shè)定下發(fā)現(xiàn)不能清洗干凈不能烘干，則必須檢查如下：清洗不干凈：檢查上下噴嘴是否堵塞；檢查高壓水壓力狀況；Carrier在Start,End的位置是否正確清洗不干凈：檢查上下噴嘴是否堵塞；檢查壓縮空氣的壓力；加熱泵是否工作；Carrier在Start,End的位置是否正確SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整Washing&Drying:清洗不干凈：檢查上下噴嘴是8發(fā)現(xiàn)鏈條活動(dòng)常：檢查前后導(dǎo)矸是否平行；導(dǎo)桿前后距離太近導(dǎo)致鏈條過長刮到Wash底部；連軸器松動(dòng)導(dǎo)致位置變化；Carrier托盤是否松動(dòng)，檢查軸套是否破損，及時(shí)更換；長軸是否變形Flipper檢查檢查Flipper在Work,Home狀態(tài)下是否平衡，調(diào)節(jié)連軸器，使之達(dá)到平衡；Carrier兩頭的夾子是否松動(dòng)，固定架子的桿是否松動(dòng)；檢查Flipper在翻轉(zhuǎn)是是否順暢；檢查定位針是否磨損；調(diào)節(jié)氣閥大小，使之翻轉(zhuǎn)的動(dòng)作平緩SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整發(fā)現(xiàn)鏈條活動(dòng)常：檢查前后導(dǎo)矸是否平行；Flipper檢查檢查9Leadin檢查：檢查Sensor高度，皮帶是否磨損導(dǎo)致Substrate不能到位，檢查軌道寬度Arm1檢查檢查Arm1Left在Leadin位置是否平行，定位針是否破損，保證在吸料時(shí)，Substrate完好；檢查Arm1Left在Chucktable位置，檢查上下平面是否平行，確保放料位置正確；檢查Arm1Right在Chucktable位置，檢查平面度，下降高度不能太低，確保位置正確；方法：手動(dòng)使Carrier在Chucktable位置下降到底，比較Chucktable與Carrier兩個(gè)平面，以Chucktable平面為基準(zhǔn)，同時(shí)移動(dòng)Arm1Right到一個(gè)定位銷與Chucktable平面平行，再檢查另外一個(gè)定位銷是否與Chucktable平面平行，若不平行，松開中間四個(gè)螺絲進(jìn)行調(diào)整。SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整Leadin檢查：Arm1檢查檢查Arm1Left10檢查Arm1Right在Flipper位置:確保位置正確，當(dāng)Arm1Right下降抓Carrier時(shí)，不能太低，剛好能抓到位最好檢查整機(jī)效率Saw機(jī)速度60Wash速度80，次數(shù)3-6Dry速度60，次數(shù)8-10Turret速度80-100在跑機(jī)時(shí)，觀察機(jī)器狀態(tài)，協(xié)調(diào)各參數(shù)，若發(fā)現(xiàn)異常，及時(shí)處理SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Handler機(jī)械位置調(diào)整檢查Arm1Right在Flipper位置:檢查整機(jī)效率11SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Saw機(jī)機(jī)械位置調(diào)整鏡頭（7.4）確定鏡頭聚焦的零點(diǎn)，一般在Rubber孔邊緣面上，低倍鏡頭聚焦范圍在高倍鏡頭聚焦的范圍內(nèi)，達(dá)到High/Low拒交相一致；任何原因拆開鏡頭，安裝時(shí)要按照原次序安裝，有空襲是要涂上密封膠，保證鏡頭十字架與Substrate十字架平行；若發(fā)現(xiàn)鏡頭臟污時(shí)應(yīng)及時(shí)清潔，用凈化紙棉簽與酒精清洗。斷片處理殘片切割采用半自動(dòng)切割方式（3.4），在CH3方向，只能在切兩刀之后再重新對(duì)刀第一刀，第二刀和第三刀的距離不同???SawSortSystemTechnicianTra12SawSortSystemTechnicianTrainingManual

ASAV2Saw機(jī)機(jī)械位置調(diào)整保證切割殘片時(shí)，抬刀高度和貼Marking紙的厚度一般為5張，切完時(shí)最下面一層紙應(yīng)不被切透。（4.1.2）Z-AxisAutoDownLength20mmDown0.01mm注意：每一次NCS測高報(bào)警時(shí)，應(yīng)清理Sensor直至測高完成，發(fā)現(xiàn)損壞請(qǐng)及時(shí)更換WorkThickness1.1mmFocusStroke2.5mmFocusSetup0.05mm2.5mm1.1mm做PR時(shí)，θ-Level設(shè)置為45%~50%。十字架邊緣要清晰，斜光一般不要求太強(qiáng)，一臺(tái)機(jī)器的PR應(yīng)該包括幾種不同型號(hào)的Substrate.SawSortSystemTechnicianTra13第二章?lián)Q刀程序第二章?lián)Q刀程序14退出主菜單.進(jìn)入換刀菜單.如圖退出主菜單.進(jìn)入換刀菜單.如圖15按F1進(jìn)入換刀界面按F1進(jìn)入換刀界面16二:用換刀工具把新刀換上.(重要部分,需現(xiàn)場指導(dǎo)和培訓(xùn))換刀工具如下:二:用換刀工具把新刀換上.(重要部分,需現(xiàn)場指導(dǎo)和培訓(xùn))17裝刀順序如圖裝刀順序如圖18換刀要按照以上順序進(jìn)行安裝保證每部分要正確和到位.并保證每部分清潔 清潔未清潔換刀要按照以上順序進(jìn)行安裝保證每部分要正確和到位.并保證每部19三:對(duì)BBD進(jìn)行清潔已達(dá)到指定要求兩種情況:磨輪罩打開和關(guān)閉的狀態(tài).關(guān)閉打開BBD:調(diào)節(jié)方法如下調(diào)節(jié)BBD的螺絲,使BBD的感光量在打開磨輪時(shí)在60%-80%之間關(guān)閉磨輪時(shí)在10%左右如果沒達(dá)到規(guī)定量,請(qǐng)用棉簽清洗傳感器部分三:對(duì)BBD進(jìn)行清潔已達(dá)到指定要求兩種情況:磨輪罩打開和關(guān)20四:對(duì)非接觸測高進(jìn)行清潔已達(dá)到指定要求在關(guān)閉清洗水和吹氣的情況下傳感器的電壓水平需達(dá)到90%-99%之間.如無法達(dá)到時(shí).請(qǐng)用棉簽對(duì)傳感器清洗四:對(duì)非接觸測高進(jìn)行清潔已達(dá)到指定要求在關(guān)閉清洗水和吹氣的21進(jìn)入測高菜單進(jìn)入測高菜單22選擇F3測高模式后進(jìn)入選擇Z1或Z2需測高對(duì)應(yīng)的選項(xiàng)進(jìn)行自動(dòng)測高選擇F3測高模式后進(jìn)入選擇Z1或Z2需測高對(duì)應(yīng)的選項(xiàng)進(jìn)行自23進(jìn)行刀痕校準(zhǔn)校準(zhǔn)前校準(zhǔn)后進(jìn)行刀痕校準(zhǔn)校準(zhǔn)前校準(zhǔn)后24開始自動(dòng)切割由技術(shù)員觀察切割質(zhì)量注意事項(xiàng):1：換刀時(shí),需對(duì)刀架周圍和刀架本身進(jìn)行清潔.以防止sub殘?jiān)ㄔ诘都苌显斐汕衅毕莺偷粽婵請(qǐng)?bào)警。2：清潔刀架兩側(cè)的冷卻水管。以防水管堵塞造成刀片冷卻不夠,使刀片變形導(dǎo)致刀痕變大產(chǎn)生的切偏缺陷.開始自動(dòng)切割由技術(shù)員觀察切割質(zhì)量注意事項(xiàng):25第三章打磨法蘭程序第三章打磨法蘭程序26在生產(chǎn)過程中.出現(xiàn)打刀后法蘭出現(xiàn)以下情況:1:刀片打碎后,有殘留在法蘭上的碎片無法取下(打磨或更換）2:在換刀時(shí)發(fā)現(xiàn)法蘭外蓋難以取下并感到有卡住的情況（更換）3:把新刀放在法蘭內(nèi)環(huán)時(shí)發(fā)現(xiàn)刀活動(dòng)范圍過大,或發(fā)現(xiàn)刀無法輕松的放入內(nèi)環(huán)（更換）4:內(nèi)外環(huán)無法完好閉合.（打磨）請(qǐng)根據(jù)以上情況對(duì)法蘭進(jìn)行打磨或?qū)Ψㄌm進(jìn)行更換在生產(chǎn)過程中.出現(xiàn)打刀后法蘭出現(xiàn)以下情況:27進(jìn)入打磨程序.如圖按F1進(jìn)入菜單進(jìn)入打磨程序.如圖按F1進(jìn)入菜單28把工具按要求裝上.如圖工具如圖:安裝過程需現(xiàn)場培訓(xùn)和指導(dǎo)把工具按要求裝上.如圖工具如圖:安裝過程需現(xiàn)場培訓(xùn)和指導(dǎo)29打磨位置如圖側(cè)面圖正面圖打磨位置如圖側(cè)面圖正面圖30打磨高度和距離打磨高度和距離31進(jìn)入設(shè)定程序.對(duì)各參數(shù)進(jìn)行校對(duì)后開始打磨注意：打磨參數(shù)已經(jīng)設(shè)定，技術(shù)員只需選擇所要打磨的（動(dòng)作軸）后按enter就開始自動(dòng)打磨。在打磨完畢后根據(jù)打磨效果對(duì)（總次數(shù)）進(jìn)行修改以達(dá)到最佳效果進(jìn)入設(shè)定程序.對(duì)各參數(shù)進(jìn)行校對(duì)后開始打磨注意：打磨參數(shù)已經(jīng)32第四章SawPR第四章SawPR33退到主菜單后選擇F2進(jìn)入選擇選擇F2,進(jìn)行TechPR程序第一步退到主菜單后選擇F2進(jìn)入選擇選擇F2,進(jìn)行TechPR程34如圖中所示，用綠色田字對(duì)準(zhǔn)白色十字架后，在下列目錄，選擇F7或F8,進(jìn)行燈光或聚焦設(shè)定，已確保到達(dá)最佳效果完成以上步驟后，按F5進(jìn)行水平校準(zhǔn)，（校對(duì)同一條直線上的兩個(gè)不同的十字架來達(dá)到水平）第二步CH1方向如圖中所示，用綠色田字完成以上步驟后，按F5第二步CH1方向35完成水平校準(zhǔn)后，按”Enter”進(jìn)行電腦自動(dòng)teach如圖框所示，達(dá)到此標(biāo)準(zhǔn)后按Enter進(jìn)入下一步第三步完成水平校準(zhǔn)后，按第三步36確認(rèn)切割道此步驟重點(diǎn)注意如圖：用3根綠線中，選擇中間的實(shí)體綠線來對(duì)應(yīng)白色十字架的中心。（這是刀片切割的位置，請(qǐng)保證要對(duì)應(yīng)到中心位置）后按Enter確認(rèn)第四步確認(rèn)切割道如圖：用3根綠線中，選擇中間的實(shí)體綠線來對(duì)應(yīng)37CH2方向的方法請(qǐng)參考以上四個(gè)步驟進(jìn)行Tech第五步CH2方向的方法請(qǐng)參考第五步38第六步校準(zhǔn)目標(biāo)確認(rèn)切割道第六步校準(zhǔn)目標(biāo)確認(rèn)切割道39完成PR完成PR40第五章HANMI更換程序。第五章HANMI更換程序。41?更換程序進(jìn)入此鍵面進(jìn)行程序選擇選定需要更換的程序后按（deviceChange)進(jìn)行確認(rèn)。產(chǎn)品選擇后成紅色狀態(tài)表示更換成功?更換程序進(jìn)入此鍵面進(jìn)行程序選擇選定需要更換的程序后按（de42?更換產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的模具SawblockDryblockTurntableTablepickerUnitpickerSQUAREPAD?更換產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的模具SawblockDryblockTu43?校準(zhǔn)吸嘴先打開Specialkeyon,按AutoAlign進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)吸嘴觀察吸嘴位置，以確定吸嘴已裝正確觀察此數(shù)據(jù)，確保X:0.001-0.005之間?校準(zhǔn)吸嘴先打開Specialkeyon,按AutoA44?更換Saw程序退到主菜單后選擇F3(程序目錄）選擇需要更換的程序后，按F10確認(rèn)?更換Saw程序退到主菜單后選擇F3(程序目錄）選擇需要45進(jìn)行刀片測高請(qǐng)根據(jù)換刀程序步驟進(jìn)行刀片測高進(jìn)行刀片測高請(qǐng)根據(jù)換刀程序步驟進(jìn)行刀片測高46?最后確認(rèn)以上步驟做完后，請(qǐng)按以下幾點(diǎn)進(jìn)行最后確認(rèn)1：讓操作員把相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品放入機(jī)器。2：由技術(shù)員檢查第一片產(chǎn)品的：刀痕確認(rèn)，Vision，和擺放位置。并讓R/L操作員確認(rèn)產(chǎn)品質(zhì)量?最后確認(rèn)以上步驟做完后，請(qǐng)按以下幾點(diǎn)進(jìn)行最后確認(rèn)47第六章VISION第六章VISION48BGAHanmiSSSvision操作在HanmiSSS機(jī)器系統(tǒng)里,已存儲(chǔ)了原始的vision檢查程序C：\DB\TeachData.。根據(jù)不同的產(chǎn)品所做的程序也同時(shí)存在C:\Vision\DB\TeachData里.每次產(chǎn)品更換，除了更換相應(yīng)的conversionkit外，必須根據(jù)不同的產(chǎn)品調(diào)用相關(guān)的程序。必須用無塵紙認(rèn)真擦拭Dryblock,保證Dryblock的清潔.程序調(diào)用完畢，主程序中以紅色字體顯示當(dāng)前運(yùn)行程序，其已和Vision檢查程序完成自動(dòng)連接。（見圖1）BGAHanmiSSSvision操作在Hanmi49檢查Vision端程序狀態(tài)，若在DatabaseIndex中和主機(jī)相同的程序通道顯示出來，則程序調(diào)用完成（見圖2）。否則，重新在主機(jī)中調(diào)入一次，或關(guān)閉Vision程序，再重新啟動(dòng)

圖2圖1檢查Vision端程序狀態(tài)，圖2圖150第二步一般而言，程序調(diào)用完成，即可開始生產(chǎn)。存在C:\Vision\DB\TeachData里的Teach文件由PM或工程師完成并已優(yōu)化。在跑第一條產(chǎn)品時(shí)，若發(fā)現(xiàn)白點(diǎn)X-Mark未挑干凈,或很多Over-reject,操作員應(yīng)通知當(dāng)班負(fù)責(zé)技術(shù)員調(diào)整Teach光線或重做Teach第二步一般而言，程序調(diào)用完成，即可開始生產(chǎn)。存在C:\Vi51Ballteaching1.選擇檢查球的攝像頭,(見圖3),檢查是否有切過的package放在加熱板上,將檢查攝像頭移到加熱板下可顯示package內(nèi)一次檢查的區(qū)域。圖3Ballteaching1.選擇檢查球的攝像頭,(見圖522.選擇按鈕live,以獲得圖像。（見圖4）圖42.選擇按鈕live,以獲得圖像。（見圖4）533.選擇通道“#1”，在“Light”中可調(diào)節(jié)主光和側(cè)光的設(shè)定值，保持“CH1”設(shè)定為0。（見圖5,圖6.圖7）圖5圖6CH1主光側(cè)光3.選擇通道“#1”，在“Light”中可調(diào)節(jié)主光和側(cè)光的54圖7圖755光線的優(yōu)化對(duì)vision的檢測十分關(guān)鍵，優(yōu)化程度可放大圖象，通過快捷鍵“Ctrl+A”顯示各位置的灰度值來判斷。見下圖推薦值。在主光和側(cè)光的調(diào)節(jié)方面，建議先設(shè)定側(cè)光為0，逐步調(diào)節(jié)主光，使灰度值在以下的推薦范圍內(nèi)。圖8光線的優(yōu)化對(duì)vision的檢測十分關(guān)鍵，優(yōu)化程度可放大圖象56記住此主光設(shè)定值，在設(shè)定側(cè)光時(shí)，可先使主光為0，逐步調(diào)節(jié)側(cè)光，使灰度值在以下推薦范圍內(nèi)此后將兩者組合，得到較佳的光線組合。圖9圖10記住此主光設(shè)定值，在設(shè)定側(cè)光時(shí)，可先使主光為0，逐步調(diào)節(jié)側(cè)574.選擇通道“#2”，在“Light”中可調(diào)節(jié)“CH1”的設(shè)定值，保持主光和側(cè)光的設(shè)定值設(shè)定為0，“CH1”中的設(shè)定值是否恰當(dāng)，可在整片“Strip”內(nèi)尋找有白點(diǎn)的區(qū)域，看在此燈光下，該白點(diǎn)是否清晰可見。見圖12.圖13.圖114.選擇通道“#2”，在“Light”中可調(diào)節(jié)“CH1”58圖12圖1259圖13調(diào)節(jié)此處光的數(shù)值,使該白點(diǎn)是否清晰可見圖13調(diào)節(jié)此處光的數(shù)值,使該白點(diǎn)是否清晰可見605.光線設(shè)定完畢，建議先退回到“SetupDBSheet”保存一次，防止燈光的設(shè)定因之后的“Teach”不成功而作廢。圖14圖145.光線設(shè)定完畢，建議先退回到“SetupDBShe616.回到“Teach”界面將指針指在圖象可視區(qū)域，右擊鼠標(biāo)，顯示：圖156.回到“Teach”界面將指針指在圖象可視區(qū)域，右擊鼠標(biāo)627.選擇ROIDragging，設(shè)定一次檢查區(qū)域。8.畫好一次檢查區(qū)域，左擊鼠標(biāo),確定檢查區(qū)域。注意確定的區(qū)域必須和主機(jī)設(shè)定的值一致，此后在“SetupDBSheet”中顯示的“Shot”值也是一樣的。見圖16圖167.選擇ROIDragging，設(shè)定一次檢查區(qū)域。8.63此處設(shè)定值與下圖一致此處設(shè)定值與下圖一致64與上圖設(shè)定相同與上圖設(shè)定相同659.若ROI設(shè)定有誤，可取消此次設(shè)定。10.確定檢查區(qū)域后，點(diǎn)擊“Teach”按扭。11.“Thresholdsetting”窗口會(huì)自動(dòng)彈出，設(shè)定“X-Marklowvalue”and“X-Markhighvalue”。9.若ROI設(shè)定有誤，可取消此次設(shè)定。10.確定檢查66Vision檢查白點(diǎn)的原理是：在燈光的照射下，黑白灰度等級(jí)由0~255，但統(tǒng)計(jì)計(jì)算無法區(qū)分計(jì)算所有灰度等級(jí)，所以設(shè)定了“Thresholdvalue”,高于“Thresholdvalue”的灰度點(diǎn)，即判定為白象素點(diǎn)，低于“Thresholdvalue”的灰度點(diǎn)，即判定為黑象素點(diǎn)。Vision檢查白點(diǎn)的原理是：在燈光的照射下，黑白灰度等級(jí)67“X-Marklowvalue”是判定劃傷缺陷的閥值，若設(shè)定的過低，package上的一些稍亮的區(qū)域就會(huì)被判為白點(diǎn)，造成Overreject。若設(shè)定的過高，則劃傷形成的稍亮部分無法檢查出來，劃傷缺陷無法檢測。最佳設(shè)定可根據(jù)以下推薦圖象進(jìn)行。<Lowvalue><Highvalue><Goodvalue>“X-Marklowvalue”是判定劃傷缺陷的閥值，若68“X-Markhighvalue”是判定白點(diǎn)缺陷的閥值，拖動(dòng)滑標(biāo)，設(shè)定值以白點(diǎn)剛可以顯示出來為準(zhǔn)。該設(shè)定值和“SetupDBsheet”中“MaximumRejectMarkArea”配合使用，檢出白點(diǎn)。“X-Markhighvalue”是判定白點(diǎn)缺陷的閥值，6912.“Thresholdsetting”設(shè)定完成后，Teaching區(qū)域若顯示綠色，則表示teach成功，保存“SetupDBsheet”,即完成Teach工作。（見圖25）若Teach失敗，必須根據(jù)“Ballresult”的提示信息修改相關(guān)的設(shè)定值。12.“Thresholdsetting”設(shè)定完成后，T70常用的快捷鍵：“Ctrl+A”：顯示各點(diǎn)色素值,輔助光線設(shè)定“Ctrl+D”打開DBsheet“Ctrl+E”執(zhí)行Testrun“Ctrl+T”執(zhí)行Teach“Ctrl+I”顯示I/O控制界面“Ctrl+Alt+V”顯示主機(jī)和visionPC之間的局域網(wǎng)通訊連接信息。“Ctrl+Alt+Shift+T”：顯示“Thresholdvalue”設(shè)定滑標(biāo),用于設(shè)定辨別package邊界分辨值?！癈trl+Alt+Shift+R”：Ini設(shè)定值寫入運(yùn)行程序。常用的快捷鍵：“Ctrl+Alt+Shift+T”：顯71SetupDBsheet內(nèi)關(guān)鍵參數(shù)的含義及設(shè)定:SetupDBsheet內(nèi)關(guān)鍵參數(shù)的含義及設(shè)定:72IPINRemove:Package一角的方向標(biāo)志,亮度大,可能被誤認(rèn)為白點(diǎn)或Extraball。因此程序中定義了一個(gè)矩形區(qū)域，將這個(gè)區(qū)域屏蔽，即視而不見。矩形區(qū)域大小由此參數(shù)決定。PkgEdgethreshold:package放在加熱板上，切割道露出的區(qū)域和package產(chǎn)生的黑白對(duì)比是辨認(rèn)package邊界的依據(jù)。黑白對(duì)比的原理和X-mark辨認(rèn)原理一樣。IPINRemove:Package一角的方向標(biāo)志,73所以，由于加熱板太臟，package邊緣黑白對(duì)比度小，難于辨認(rèn)出package邊緣，會(huì)造成PKGAbsence的over-reject.或引發(fā)Missingball的over-reject。因?yàn)?，系統(tǒng)程序中球的陣列是根據(jù)package邊界計(jì)算得到，在辨認(rèn)package邊界后，計(jì)算得出理論上球的相對(duì)位置，若邊界確認(rèn)有誤，則球的陣列就會(huì)出錯(cuò)（見圖33）。這是必須保持加熱板清潔的又一原因。圖33所以，由于加熱板太臟，package邊緣黑白對(duì)比度小，難于74PkgEdgethreshold的設(shè)定原則：在Teach過程中，燈光設(shè)定完成后。通過快捷鍵“Ctrl+Alt+Shift+T”，顯示出“Thresholdvalue”設(shè)定滑標(biāo)（見圖34）,通過調(diào)整滑標(biāo)，使package邊界清晰可見（見圖35）。記下該值，進(jìn)入到SetupDBsheet里修改PkgEdgethreshold為該值即可?？筛鶕?jù)最終Teach的結(jié)果適當(dāng)調(diào)整。在Teach過程中的lowlimitandhighlimit的設(shè)置顯示窗口。即使teach成功,只表示程序已記錄相關(guān)的package信息，不可能100%合適。所以,在觀察白點(diǎn)的誤判機(jī)率時(shí)，可在較小的上下范圍內(nèi)調(diào)整，而不必重新調(diào)整光線或重做teach。如發(fā)現(xiàn)一些白點(diǎn)漏檢,可能是白點(diǎn)區(qū)域交暗，應(yīng)將閥值減小一點(diǎn)。反之，如有太多的over-reject,可將閥值增大一點(diǎn)。當(dāng)然，over-reject發(fā)生的原因還有package上有殘留水滓，建議適當(dāng)加長加熱時(shí)間和空氣清潔次數(shù)。還有Package的表面臟污，加強(qiáng)Saw機(jī)內(nèi)的清洗。Illumination:顯示的是在做Teach過程中設(shè)置的光線值。PkgEdgethreshold的設(shè)定原則：在Tea75MaximumRejectMarkArea:定義的是白點(diǎn)檢查區(qū)域內(nèi)的白點(diǎn)象素閥值。圖38中藍(lán)色區(qū)域?yàn)閄-mark的檢查區(qū)域，統(tǒng)計(jì)該區(qū)域內(nèi)所有判定為白色的象素。比如設(shè)定值為3000，正常情況下，Goodunit在該區(qū)域內(nèi)所有判定為白色的象素的總和小于3000，當(dāng)有Ｘ-Mark時(shí)，判定為白色的象素的總和大于閥值3000，就可以被Vision檢查出來，若實(shí)際上因?yàn)楣饩€不好或白點(diǎn)太暗，有Ｘ-Mark時(shí)該區(qū)域內(nèi)判定為白色的象素的總和仍然小于3000，比如為2900,Vision系統(tǒng)還是無法將其檢查出來。在這種情況下，修改該設(shè)定值為2800,即可判別出來。當(dāng)然，在Ini文件中改變藍(lán)色區(qū)域的大小，使統(tǒng)計(jì)區(qū)域改變也可達(dá)到相同的效果。見下圖MaximumRejectMarkArea:定義的是76半導(dǎo)體IC切割SSS培訓(xùn)教材ppt課件77X-mark白點(diǎn)Over-reject的情況：若發(fā)現(xiàn)很多好的Package被Over-reject，放大圖像，看是否有水的殘漬。因?yàn)槠湓跓艄庀嘛@白色，使得藍(lán)色區(qū)域內(nèi)的白色像素點(diǎn)總和已高于X-mark的閥值，造成Over-reject。此情況下，增大閥值，可解決。但是，同時(shí)又有可能將一些色澤較暗的白點(diǎn)漏檢。所以，調(diào)整加熱時(shí)間和清潔噴嘴的吹氣次數(shù)，保持噴嘴和加熱板真空孔的通暢，盡可能干燥package是最根本的辦法。X-mark白點(diǎn)Over-reject的情況：若發(fā)現(xiàn)很多78第七章常見問題,電路圖和機(jī)械原理第七章常見問題,電路圖和機(jī)械原理79

Hanmi機(jī)器常見的問題—3PointAlignmentUnit在Tray上面擺放不好（針對(duì)做“三點(diǎn)”調(diào)試后仍不能解決擺放問題的情況），判斷方法：檢查吸嘴是否干凈，用酒精及無塵紙清潔；VisionsetupMarkLive檢查光線是否合適：正常：最佳光線應(yīng)該是使吸嘴看起來呈現(xiàn)出白色正方塊，這一點(diǎn)對(duì)“三點(diǎn)”調(diào)試非常重要；檢查X1,X2上的吸嘴是否完好無損，如有損壞，應(yīng)立即更換。請(qǐng)使用相同類型的吸嘴；

Hanmi機(jī)器常見的問題—3PointAlign80如果上面三個(gè)步驟仍然不能解決問題，請(qǐng)檢查吸嘴相對(duì)于Tray盤的高度是否合適。簡易測高方法——手動(dòng)測試Z1-1打在Tray上面的高度：Motorsetup3pointsetupZ1value分別手動(dòng)測量a,b,c,d點(diǎn)的高度，記錄Z1高度，得到四個(gè)數(shù)據(jù)，選取其中最小的數(shù)值然后減去0.1-0.5之間的數(shù)值，即為Z1-1在GoodTray上面的高度值。若四個(gè)數(shù)據(jù)比較接近，則減去0.1-0.2之間的數(shù)值。然后依次按照上面的方法測試:

Z2-1

--〉GoodTray

Z1-1

--〉ReworkTray

Z2-1

--〉ReworkTrayabdc

Hanmi機(jī)器常見的問題—3PointAlignmentMotorsetup

Z1-1的Vacuumofffromdown(offset)position1.0?ZPickervacuumoffconfirmtime(DevicesetupDeviceParameter)對(duì)于6X6以下的產(chǎn)品，此值設(shè)置為小于15，對(duì)于3X3的產(chǎn)品設(shè)置為0對(duì)于較大的產(chǎn)品，一般設(shè)置為30如果上面三個(gè)步驟仍然不能解決問題，請(qǐng)檢查吸嘴相對(duì)于Tray盤81控制信號(hào)流程馬達(dá)控制板位置感應(yīng)器汽缸電磁閥信號(hào)接口輸入板信號(hào)接口輸出板Plc邏輯控制儲(chǔ)存器Cpu控制中心馬達(dá)解碼器步進(jìn)馬達(dá)伺服馬達(dá)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器HomesensorLimitsensorHomesensorLimitsensor控制信號(hào)流程馬達(dá)控制板位置感應(yīng)器汽缸電磁閥信號(hào)接口輸入板信號(hào)82Wash/dry傳動(dòng)裝置滑動(dòng)套筒4滑動(dòng)套筒3滑動(dòng)套筒2滑動(dòng)套筒1導(dǎo)桿2導(dǎo)桿1傳動(dòng)鏈條傳動(dòng)齒輪2傳動(dòng)齒輪1支撐軸承4支撐軸承3支撐軸承2支撐軸承1聯(lián)軸器馬達(dá)變速器Wash/dry馬達(dá)傳動(dòng)桿2傳動(dòng)桿1聯(lián)動(dòng)滑塊Wash/dry傳動(dòng)裝置滑動(dòng)套筒4滑動(dòng)套筒3滑動(dòng)套筒2滑動(dòng)83Wash/dry控制圖加熱泵控制信號(hào)水泵控制信號(hào)風(fēng)刀x4清洗噴嘴x4吹風(fēng)泵高壓清洗水動(dòng)力水電流斷路保護(hù)器延時(shí)繼電器直流繼電器1電磁閥壓縮空氣交流繼電器1加熱棒高壓水泵總電源交流繼電器2直流繼電器2壓縮空氣控制盒Wash/dry控制圖加熱泵控制信號(hào)水泵控制信號(hào)風(fēng)刀x4清84V2真空流程圖RejectarmheadGoodarmhead吸嘴x8真空閥x8壓縮空氣電磁閥Arm1rightheadArm1lefthead真空儲(chǔ)氣罐出風(fēng)口進(jìn)風(fēng)口V2真空泵真空泵控制信號(hào)交流繼電器總電源進(jìn)風(fēng)口出風(fēng)口壓縮空氣交流繼電器V2吹風(fēng)泵吹風(fēng)泵控制信號(hào)管道Wash/dry風(fēng)刀管道控制信號(hào)機(jī)械控制信號(hào)氣缸R(shí)ejectunit信號(hào)電磁閥V2真空流程圖RejectarmheadGoodar85SAW真空流程圖真空泵馬達(dá)聯(lián)軸器真空泵儲(chǔ)氣罐電磁閥角度馬達(dá)基座電源冷卻水進(jìn)水口流量計(jì)

電磁閥流量感應(yīng)器220v電壓儲(chǔ)水箱冷卻水排水口真空感應(yīng)器真空指示表24v電源WorkvacuumsensorJigvacuumsensor真空發(fā)生器壓縮空氣工作臺(tái)底座工作臺(tái)橡膠墊來料工件SAW真空流程圖真空泵馬達(dá)聯(lián)軸器真空泵儲(chǔ)氣罐電磁閥角度馬86球壓傷故障分析檢查rejectboat;rejectarm;rejecttray的位置Rejecttray中有球壓傷的現(xiàn)象檢查Goodtray中是否有球壓傷的現(xiàn)象檢查X-Ytablecarrier上的units是否有壓傷的情況檢查吸嘴x8的高度是否一致，相對(duì)于table;orientator;goodboat的位置和高度檢查flipper翻轉(zhuǎn)前是否有壓傷的情況檢查flipper的水平；flippertable上的異物;clamperpin的磨損;

檢查物料在chucktable上的定位是否正確檢查arm1righthead相對(duì)于chucktable的位置，arm1righthead相對(duì)于flipper的位置檢查arm1lefthead相對(duì)于chucktable的位置檢查arm1lefthead相對(duì)于leadin的位置檢查物料相對(duì)于leadin的位置無有有有有無無無馬達(dá)位置參數(shù)旋轉(zhuǎn)的角度上下的高度前后的位置左右的位置活動(dòng)范圍的線平行裝配的角度機(jī)械位置參數(shù)面平行位置參數(shù)前后的位置部件傳動(dòng)時(shí)相互之間的配合球壓傷故障分析檢查rejectboat;rejecta87散units的故障分析檢查wash/dry之前units在carrier的定位是否良好檢查flipper翻轉(zhuǎn)前units在carrier的定位是否良好換向器處報(bào)警頻繁X-ytable中的units是否散掉Rejecttray中的units散掉Goodtray中的units散掉Units散掉的故障檢查nozzle;rejectboat;rejectarm;rejecttray的相互配合位置檢查nozzle;goodtray;goodarm;goodboat的相互配合位置檢查nozzle;x-ytable;orientator的相互配合位置檢查wash/dry的傳動(dòng)是否平穩(wěn)，加熱棒的溫度設(shè)定是否太高，Arm2righthead的相對(duì)位置，retainer與carrier分開時(shí)的相對(duì)位置檢查flipperclamp,flipper,flippertable的動(dòng)作是否正常，翻轉(zhuǎn)中carrier,units,retainer之間是否有松動(dòng)的情況檢查units被吸起后在arm1righthead的位置是否正常檢查arm1righthead相對(duì)于flipper的位置是否正常檢查substrater在chucktable的位置是否正常檢查arm1righthead相對(duì)于chucktable的位置是否正常檢查arm1lefthead相對(duì)于chucktable的位置是否正常檢查arm1lefthead相對(duì)于leadin的位置是否正常檢查substrater相對(duì)于leadin的位置是否正常無有否是是否是是否否是是散units的故障分析檢查wash/dry之前units88V2機(jī)械傳動(dòng)流程UnitinturretnozzleUnitsretainerinx-ytableUnitsinx-ytableUnitsinarm2rightheadUnitsinarm2leftheadUnitsinwash/dryblockUnitsinflippertableccwUnitsinflippertablecwUnitsinarm1rightheadUnitsinchucktableSubstrateinchucktableSubstrateinarm1leftheadSubstrateinlead-inpositionSubstrateinmagazineUnitinorientatorUnitinrejectboatUnitinrejectarmUnitinrejecttrayUnitingoodboatUnitingoodarmUnitingoodtrayTrayinmachineUnitinvisioncheckV2機(jī)械傳動(dòng)流程Unitinturretnozzle89V2vision接線圖CAMERAPLCHUBVISIONPCUIPC網(wǎng)線網(wǎng)線通訊線通訊線視頻信號(hào)24v電源線觸發(fā)信號(hào)V2vision接線圖CAMERAPLCHUBVIS90Hanmi位置故障判斷MarkingCamera顯示units位置是否正常，Packagepicker1,2；turntable1,2；Z-picker的真空表顯示是否正常IntelCamera顯示substrate的位置是否正常，Substrate在chucktable的位置是否正常。BallCamera顯示units位置是否正常,Unitpicker的真空表顯示是否正常檢查substrate進(jìn)料時(shí)的高低位置檢查substrate在lead-in的前后位置檢查substrate在lead-in的左右位置檢查strippicker和它的定位針是否損壞檢查substrate在lead-in的活動(dòng)范圍檢查strippicker和saw的A點(diǎn)位置檢查unitpicker與dryblock的配合位置檢查unitpicker與Saw的B電位置檢查DryBlock的定位和真空密封情況檢查unitpicker的橡膠墊是否損壞檢查packagepicker與turntable1，2的位置檢查packagepicker的橡膠墊是否損壞檢查turntable與底座的真空密封情況檢查Z-picker的臟堵,橡膠嘴的清潔和破損情況檢查Z-picker的三點(diǎn)校準(zhǔn)檢查Z-picker與turntable;good/rejectfeeder高度是否正常Hanmi位置故障判斷MarkingCamera顯示un91常見問題匯總常見問題匯總92刀切偏影響的方面有哪些法蘭冷卻水殘?jiān)黀R真空鏡頭刀架程序還能想到哪些？刀切偏影響的方面有哪些法蘭93能影響PR的幾個(gè)要素是什么鏡頭位置燈光框格大小……還能想到哪些？能影響PR的幾個(gè)要素是什么鏡頭94那些相關(guān)的部件能影響真空水泵水管電磁閥來料……還能想到哪些？那些相關(guān)的部件能影響真空水泵95切割水或水壓和那些部件有關(guān)

漏水

泵管子電磁閥調(diào)節(jié)閥水簾殘?jiān)氯€能想到哪些？切割水或水壓和那些部件有關(guān)

漏水

泵96程序你都知道哪些？列出你所知道的參數(shù)：

程序你都知道哪些？列出你所知道的參數(shù)：97以下問題你知道嗎?以下問題你知道嗎?98SAW機(jī)的真空產(chǎn)生原理及正常值的確立標(biāo)準(zhǔn)安全門的問題VISION的作用和使用規(guī)定.整個(gè)機(jī)器的電壓標(biāo)準(zhǔn)值和相應(yīng)的安全措施.DRY/BLOCK傳動(dòng)的工作原理.關(guān)于機(jī)器信號(hào)線和電源線的連接標(biāo)準(zhǔn)及整理.工具的保管和使用問題機(jī)器后面的換向器的功能使用和SKIP的可能性切割水,壓縮空氣的總閥開關(guān)的位置和標(biāo)準(zhǔn)數(shù)值.測高原理SAW機(jī)的真空產(chǎn)生原理及正常值的確立標(biāo)準(zhǔn)99壓縮泵,真空泵的結(jié)構(gòu)原理和控制原理V2做程序VISION做程序如何準(zhǔn)確判斷馬達(dá)的好壞機(jī)器上的顯示表(感應(yīng)器的調(diào)整)V2SAW機(jī)的信號(hào)流程V2SAW機(jī)側(cè)面的電路板控制哪些東西?HANMI機(jī)器的水壓不足該怎么查找?HANMI怎樣重新做VISION繼電器的控制原理?壓縮泵,真空泵的結(jié)構(gòu)原理和控制原理100真空泵的工作原理?TURRET的調(diào)節(jié)原理?(怎樣確定機(jī)械的零點(diǎn)位置和馬達(dá)的零點(diǎn)位置)VISION的TECH,怎樣重新做一個(gè)程序?SAW的PR(怎樣做好SAW機(jī)的PR)UNITS的壓傷問題怎么解決?從哪些方面來檢查?加熱棒和清洗馬達(dá)的控制原理?I/O通訊接口馬達(dá)的異常走動(dòng)馬達(dá)不工作V2做程序真空泵的工作原理?101V2/HANMIVISION有哪些重要的參數(shù)需要更改的?HANMI和VISION連接不上的原因?HANMI的PICKER吸不起UNITS的調(diào)整方法和順序(確定位置的標(biāo)準(zhǔn))HANMI馬達(dá)復(fù)位不正常SAW機(jī)和HANDLE的連接(DAD641

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V2;EAD6340

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HANMI)做三點(diǎn)校準(zhǔn)時(shí),MARKING鏡頭的燈光特別亮,吸嘴不去檢查的故障?怎樣重新做一個(gè)HANDLE的程序?測高不能通過的原因有哪些?如何區(qū)別馬達(dá)和驅(qū)動(dòng)器的損壞故障?如何調(diào)整PR水平校準(zhǔn)時(shí)兩點(diǎn)的移動(dòng)距離?V2/HANMIVISION有哪些重要的參數(shù)需要更改的?102UNITS烘不干怎樣解決TURRET的高度如何調(diào)節(jié)?REJECTBOOT的位置如何調(diào)節(jié)?SAW機(jī)的真空不夠,如何解決?接線端子如何接線?測高測過后,在做刀痕校準(zhǔn)時(shí)卻切不出刀痕的原因?CHUCKTABLE吸不住料的原因和解決辦法?JIG的校準(zhǔn)機(jī)器各個(gè)部件的位置調(diào)整的基準(zhǔn)和順序?SAW機(jī)有時(shí)會(huì)報(bào)XY角度錯(cuò)誤,怎么解決?V2VISION電腦的連接線有哪些?怎樣連接的?ALARM:VISIONINSPECTIONSNAPFAILED/TIMEOUTDURINGCOMMUNICATIONBETWEENPLCANDVISIONPC怎么解決?UNITS烘不干怎樣解決103ALARM:FLIPTABLENOTATCW(WORK)POS(1)/FLIPTABLECCWSENSORNOTON(OXD0310)/FLIPTABLECW/CCWSENSORINVERED(OXD0311OXD0310)/SENSORERROR怎么解決?WASH洗完后,ARM2抓不起CARRIER是什么原因造成的.ALARM:ARM1RIGHTHEADZ-AXISPOSITIONLIMITHITS(OXD0604)的原因是什么,該怎么解決?復(fù)位之后,GOODBOOT不能到位CARRIER上殘留有許多的UNITS的原因換向器總是報(bào)警是什么原因?進(jìn)料不順暢的原因有哪些?SAW機(jī)復(fù)位完成后與之前的位置有很大的角度偏差水泵的水打開和關(guān)閉的時(shí)序,正常時(shí)的狀態(tài)是?HANMI的VISION光線是怎樣調(diào)整的?ALARM:FLIPTABLENOTATCW(WO104檢修的步驟和方法確定標(biāo)準(zhǔn)------

尋找問題-------

順藤摸瓜(線索)-------

判斷排除--------

解決問題.問題處理的原則:記錄故障的初始狀態(tài)和處理過程避免故障的進(jìn)一步擴(kuò)大培訓(xùn)的目的:縮短維修時(shí)間,節(jié)省備件成本.位置標(biāo)準(zhǔn)的確立:馬達(dá)的位置是建立在機(jī)械位置之上的.思維方式:根據(jù)工作的實(shí)際需要來確定機(jī)器需要滿足的功能檢修的步驟和方法確定標(biāo)準(zhǔn)------尋找問題------105EAD6340

廢料收集時(shí)的注意事項(xiàng)廢料箱不可有廢料堆積裝廢料的抽屜下面不可有廢料堆積，出水口必須保持通暢。檢查積水槽，廢料排出箱有沒有漏水，有異常情況須記錄并反映給技術(shù)員處理。EAD6340

廢料收集時(shí)的注意事項(xiàng)廢料箱不可有廢料堆積106換刀后須確定的事項(xiàng)刀痕寬度和位置必須正確。切割工作臺(tái)及周圍不可堆積廢料。前后水濂兩旁兩旁廢料排泄通道不可堵塞，折縫中不可殘留過多廢料。機(jī)器后面的廢料收集箱的頂部不可被廢料堵塞。鏡頭的照明光圈和透鏡外表面保持清潔換刀后須確定的事項(xiàng)刀痕寬度和位置必須正確。107DAD641

廢料收集時(shí)的注意事項(xiàng)廢料箱不可有廢料堆積。裝廢料的抽屜下面不可有廢料堆積，出水口必須保持通暢。左右水濂兩旁廢料排泄通道不可堵塞。檢查積水槽，廢料排出箱有沒有漏水，有異常情況須記錄并反映給其他技術(shù)員處理DAD641

廢料收集時(shí)的注意事項(xiàng)廢料箱不可有廢料堆積。108非接觸性測高時(shí)必須保證感應(yīng)器的固定架周圍不可堆積廢料。感應(yīng)器的感應(yīng)面必須清潔。切割時(shí)感應(yīng)面必須有水再清洗。調(diào)整該光纖放大器的動(dòng)作應(yīng)放在最后一步。當(dāng)操作員不能做到上面要求的幾點(diǎn)時(shí)請(qǐng)先PASS該報(bào)警，然后通知技術(shù)員進(jìn)行測高工作。（Disco刀片，測高間隔：100m，刀具補(bǔ)償：0.01mm/20m）非接觸性測高時(shí)必須保證感應(yīng)器的固定架周圍不可堆積廢料。109交接班時(shí)的注意事項(xiàng)清理廢料的技術(shù)員必須在上班的第一時(shí)間清理廢料。（先EAD6340后DAD641）交接班機(jī)器出現(xiàn)故障時(shí)，技術(shù)員可以處理的，由上一個(gè)班的技術(shù)員留下來處理。技術(shù)員不會(huì)處理的，有上一個(gè)班的技術(shù)員聯(lián)系領(lǐng)班叫PM技術(shù)員來處理。交接班技術(shù)員必須第一時(shí)間了解機(jī)器的運(yùn)行狀況，保證產(chǎn)品質(zhì)量不出現(xiàn)問題。對(duì)遇到的異?，F(xiàn)象（產(chǎn)品質(zhì)量缺陷，頻繁的同一報(bào)警，故障停機(jī)，暫時(shí)未處理故障，異常響聲，味道，漏水等）請(qǐng)依狀態(tài)的輕重緩急區(qū)別對(duì)待，對(duì)不能處理的問題請(qǐng)及時(shí)聯(lián)