抗高過載技術(shù)分析課件

抗高過載技術(shù)抗高過載技術(shù)過載廣義概念，基本含義是過量、過度。技術(shù)領(lǐng)域表征用物理量應(yīng)用范圍電學(xué)電流、電壓、功率等電動(dòng)機(jī)、繼電器、電度表、電網(wǎng)、電子元件等力學(xué)機(jī)械沖擊、恒定加速度、液壓、氣壓、剛體應(yīng)力等傳感器、制動(dòng)器、壓力機(jī)、飛機(jī)、火箭、彈藥等熱學(xué)功率、熱能、溫度等機(jī)電、光電類設(shè)備和儀器、電子元件等通信系統(tǒng)吞吐率、CPU使用率、緩存或隊(duì)列使用率等各類通信設(shè)備、系統(tǒng)醫(yī)學(xué)過載加速度過載狀態(tài)下航空、航天飛行器中的人員及其身體器官不同領(lǐng)域：過載廣義概念，基本含義是過量、過度。技術(shù)領(lǐng)域表征用物理量應(yīng)用與過載相對應(yīng)，高過載(highoverload)的含義可解釋為“十分過量”、“十分過度”，意即過載已經(jīng)達(dá)到相當(dāng)高的程度。高過載相對同一過載強(qiáng)度，在一種場合是高過載，在另一種場合可能就不能稱之為高過載，甚至連過載也算不上。飛行員——幾個(gè)g的加速度環(huán)境就已經(jīng)處于過載狀態(tài)，10g則為高過載

環(huán)境。彈藥系統(tǒng)——過載狀態(tài)下的加速度通常達(dá)千g以上，在高過載狀態(tài)下可達(dá)萬g、數(shù)萬g甚至10萬g以上。與過載相對應(yīng)，高過載(highoverload)的含義可解彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境振動(dòng)環(huán)境主要來源于運(yùn)輸系統(tǒng)發(fā)射前沖擊振動(dòng)環(huán)境分析公路運(yùn)輸各種車輛與路面10g以內(nèi)鐵路運(yùn)輸各種條件與方向10g以內(nèi)空中運(yùn)輸固定翼機(jī)與直升飛機(jī)10g以內(nèi)水上運(yùn)輸船舶10g以內(nèi)航炮射擊時(shí)可達(dá)100g左右彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境振動(dòng)環(huán)境發(fā)射前沖擊振動(dòng)環(huán)境分析公路運(yùn)彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境沖擊環(huán)境公路運(yùn)輸一般小于10g鐵路運(yùn)輸正常運(yùn)行狀態(tài)下小于2g，車輛掛鉤時(shí)高達(dá)30g~50g，剎車和間隙碰撞達(dá)100g以上飛機(jī)運(yùn)輸一般不超過12g水上運(yùn)輸一般在10g以內(nèi)彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境沖擊環(huán)境公路運(yùn)輸一般小于10g鐵路運(yùn)彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境發(fā)射前裝填上膛時(shí)受到的裝填力主要包括直接碰撞力和沖擊慣性力。裝卸沖擊:通常不超過10g直接碰撞力因不正確操作使引信碰撞炮尾或因輸彈而產(chǎn)生。沖擊慣性力是由于送彈運(yùn)動(dòng)的突然停止而產(chǎn)生的前沖力。對于某些武器此慣性力產(chǎn)生的沖擊加速度可達(dá)10000g以上，如25mm高射炮的這種前沖加速度達(dá)(10.3-12.7)x103g。彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境發(fā)射前裝填上膛時(shí)受到的裝填力裝卸沖擊彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境發(fā)射后沖擊環(huán)境分析發(fā)射周期內(nèi)，彈體主要受后坐慣性力和離心力沖擊作用引信種類沖擊加速度（g）引信種類沖擊加速度（g）地面炮榴彈引信1000~20000迫擊炮彈引信300~9000火箭彈引信10~6000特種彈引信500~15000破甲彈引信1000~40000海軍專用炮彈引信900~80000高射炮彈引信3000~45000航空炮彈引信50000~80000航空火箭彈引信20~200穿甲彈引信200~30000彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境發(fā)射后沖擊環(huán)境分析發(fā)射周期內(nèi)，彈體主彈道末期，通常以每秒幾千英尺的高速穿入地面、混凝土、巖石或其它堅(jiān)硬物質(zhì)，其運(yùn)動(dòng)的平均加速度高達(dá)2萬g，最大沖擊加速度甚至達(dá)十萬g乃至數(shù)十萬g。彈藥系統(tǒng)的沖擊、振動(dòng)環(huán)境發(fā)射周期后的沖擊主要表現(xiàn)為在彈道上碰到障礙物時(shí)的沖擊，尤其是侵徹類彈藥，如鉆地彈、爆破彈、各類尖頭彈等。彈道末期，通常以每秒幾千英尺的高速穿入地面、混凝土、巖石或其抗過載哪些部件需要抗過載？抗過載裝藥電子元件機(jī)械機(jī)構(gòu)抗過載哪些部件需要抗過載？抗過載裝藥電子元件機(jī)械機(jī)構(gòu)裝藥應(yīng)力波作用階段整體慣性作用階段發(fā)射初期時(shí)，轉(zhuǎn)速較低，混合燃料離心作用較小混合燃料與殼體壁面的摩擦力較小彈體的縱向過載致使混合燃料與殼體端蓋碰撞，在燃料介質(zhì)內(nèi)部產(chǎn)生應(yīng)力波燃料介質(zhì)內(nèi)部的應(yīng)力波到達(dá)頂部混合燃料成為不可壓縮介質(zhì)(剛體)混合燃料介質(zhì)內(nèi)部不再發(fā)生變形，混合燃料底部的應(yīng)力成為這一階段安全發(fā)射的主要因素裝藥應(yīng)力波作用階段整體慣性作用階段發(fā)射初期時(shí)，轉(zhuǎn)速較低，混合電子元件對于在車載裝備、炮射彈藥、侵徹彈藥等高過載條件下工作的電子系統(tǒng),要求其在經(jīng)受高強(qiáng)度的加速度沖擊之后,仍能正常工作。在這種情況下,耐高過載便成為其中所包含的電子分系統(tǒng)、電子整件、部件及電子元器件的一項(xiàng)必不可少的基本要求。電子元件對于在車載裝備、炮射彈藥、侵徹彈藥等高過載條件下工作試驗(yàn)方法試驗(yàn)方法實(shí)彈射擊馬歇特錘擊落錘沖擊霍普金森桿空氣炮加載試驗(yàn)方法試驗(yàn)方法實(shí)彈射擊馬歇特錘擊落錘沖擊霍普金森桿空氣炮加試驗(yàn)方法實(shí)彈射擊試驗(yàn)方法這種方法是最早使用的一種產(chǎn)生高過載加速度的試驗(yàn)方法，并且其過載過程與實(shí)際過程最為接近。不足：這種方法過程難以控制，火藥燃燒較快，氣體瞬間膨脹產(chǎn)生的高壓力以及溫度對身管內(nèi)部的燒蝕很嚴(yán)重，并且火藥的非平面燃燒會對管體造成橫向振動(dòng)，安全可靠性不高，而且試驗(yàn)成本較高。所以這種方法主要用于測試彈丸著靶時(shí)的裝藥抗過載能力。試驗(yàn)方法實(shí)彈射擊試驗(yàn)方法試驗(yàn)方法落錘沖擊試驗(yàn)方法該方法利用一質(zhì)量塊在一高度自由落體沖擊試件。目前這種方法可以達(dá)到的最大過載加速度為幾萬g。不足：對于質(zhì)量較小的精密電子元器件會造成損壞。試驗(yàn)方法落錘沖擊試驗(yàn)方法試驗(yàn)方法馬歇特錘擊試驗(yàn)方法該方法是傳統(tǒng)的試驗(yàn)方法，其工作原理是用重力對沖擊錘加速，使其打擊砧子，利用擊錘碰擊砧子產(chǎn)生的慣性力使試驗(yàn)件具有過載加速度。該實(shí)驗(yàn)方法操作簡便，易于實(shí)現(xiàn)。缺點(diǎn)：加速度的分布空間較大，同樣的試驗(yàn)測得的過載加速度值差異很大。試驗(yàn)方法馬歇特錘擊試驗(yàn)方法試驗(yàn)方法霍普金森桿試驗(yàn)方法其工作原理是以壓縮氣體作為動(dòng)力源，發(fā)射子彈撞擊霍普金森桿的一端，在桿內(nèi)產(chǎn)生一個(gè)波形近似于方波的壓縮波，通過桿傳到另一端的試件上。該方法可以獲得的過載值大，與馬歇特錘擊相比，作用時(shí)間相當(dāng)，過載值更大。試驗(yàn)方法霍普金森桿試驗(yàn)方法試驗(yàn)方法自由式霍普金森桿可以模擬30000g及更高的過載值，最高過載值可達(dá)250000g，過載加速度脈寬約為數(shù)十微秒。試驗(yàn)方法自由式霍普金森桿可以模擬30000g及更高的過載值試驗(yàn)方法空氣炮加載試驗(yàn)其工作原理是利用高壓氣體為動(dòng)力源，使得試驗(yàn)彈體帶著試件在身管內(nèi)完成加速運(yùn)動(dòng)，達(dá)到過載作用目的。這種方法試驗(yàn)成本較低、易于操作、使用性好，目前使用最為廣泛。空氣炮是通用的高速發(fā)射和高壓加載工具。它可以發(fā)射從百米每秒到萬米每秒速度的不同形狀和材質(zhì)的彈體，彈丸連續(xù)可調(diào)而且重復(fù)性良好，是高速撞擊和超高速撞擊的主要實(shí)驗(yàn)手段。起初得到發(fā)展的是單級壓縮氣炮,它的彈速通常小于1500m/s，主要用來做材料動(dòng)力學(xué)、侵徹和高速撞擊現(xiàn)象的規(guī)律研究實(shí)驗(yàn)。隨著航天技術(shù)和太空動(dòng)能武器的發(fā)展，超高速撞擊實(shí)驗(yàn)的需求隨之變得重要起來，二級空氣炮也就隨之問世，其最大彈速通常為4000-8000m/S。試驗(yàn)方法空氣炮加載試驗(yàn)試驗(yàn)方法來源：炮射導(dǎo)彈高過載環(huán)境模擬試驗(yàn)技術(shù)研究——羅建華試驗(yàn)方法來源：炮射導(dǎo)彈高過載環(huán)境模擬試驗(yàn)技術(shù)研究——羅建華試驗(yàn)方法試驗(yàn)臺為大過載一次性沖擊火藥技術(shù)綜合試驗(yàn)臺，用于檢查被試產(chǎn)品承受軸向啟動(dòng)加速度作用能力，同時(shí)可以檢查產(chǎn)品承受軸向制動(dòng)加速度作用的能力。試驗(yàn)臺是主發(fā)射藥在藥筒中燃燒形成的氣體壓力作用下，對裝有被試產(chǎn)品的容器載體產(chǎn)生瞬間加速，產(chǎn)生的加速度作用在被試產(chǎn)品上，該產(chǎn)品經(jīng)歷過載考核，從而完成試驗(yàn)。工作過程：試驗(yàn)方法試驗(yàn)臺為大過載一次性沖擊火藥技術(shù)綜合試驗(yàn)臺，用于檢查試驗(yàn)方法傳統(tǒng)加速度測壓銅柱測量法此方法適用于炮射末制導(dǎo)導(dǎo)彈的器件、部件等的沖擊試驗(yàn)加速度2500g以上，作用時(shí)間在2~6ms，相關(guān)產(chǎn)品的環(huán)境適應(yīng)性和工藝試驗(yàn)。銅柱測量法是利用金屬受力產(chǎn)生塑性形變的特性，通過測量測壓銅柱的變形量，確定其受到的作用力，從而得出加速度的一種物理測量方法。來源：炮射導(dǎo)彈高過載環(huán)境模擬試驗(yàn)技術(shù)研究——羅建華試驗(yàn)方法傳統(tǒng)加速度測壓銅柱測量法此方法適用于炮射末制導(dǎo)導(dǎo)彈的2023/8/27試驗(yàn)時(shí),將測量裝置與試件鋼性連接到試驗(yàn)艙的運(yùn)動(dòng)體上,當(dāng)氣體或火藥作用產(chǎn)生瞬間強(qiáng)沖擊，慣性體由于慣性不會立即隨導(dǎo)向安裝裝置向前移動(dòng)，而是相對導(dǎo)向安裝裝置在慣性體運(yùn)動(dòng)腔內(nèi)反向移動(dòng)，壓縮測壓銅柱，使測壓銅柱產(chǎn)生塑性變形。測量裝置與試件鋼性連接，可以認(rèn)為測得測量裝置所受的加速度即為試件得加速度。工作原理：試驗(yàn)方法2023/8/2試驗(yàn)時(shí),將測量裝置與試件鋼性連接到試驗(yàn)艙的運(yùn)仿真方法AnsysLs-dyna仿真方法AnsysLs-dyna抗高過載方法裝藥炸藥配方裝藥結(jié)構(gòu)裝藥工藝抗高過載抗高過載方法裝藥炸藥配方裝藥結(jié)構(gòu)裝藥工藝抗高過載抗高過載方法炸藥配方采用澆注PBX炸藥來替代早期廣范使用的TNT或H6、Tritonal炸藥提高爆炸威力提高彈藥裝藥的安全性和環(huán)境適應(yīng)性澆注PBX炸藥類似彈塑性體，它可以吸收過載應(yīng)力，抗過載能力較高，優(yōu)于其它品種的混合炸藥優(yōu)點(diǎn)抗高過載方法炸藥配方采用澆注PBX炸藥來替代早期廣范使用抗高過載方法裝藥結(jié)構(gòu)炸藥裝藥設(shè)計(jì)為一體（不是分段或分塊），封閉在幾乎不變形的彈體內(nèi)腔中，可有效克服彈體侵徹時(shí)因軸向或橫向過載發(fā)生較大形變或位移，減緩了裝藥內(nèi)部因噴射、相互沖擊、摩擦生熱、絕熱剪切等引起的“熱點(diǎn)”效應(yīng)在藥室前端預(yù)置惰性緩沖組件在彈殼內(nèi)表面涂覆復(fù)合高分子惰性涂層，使裝藥與殼體隔離，避免因裝藥與殼體彈壁的摩擦生熱引起“熱點(diǎn)”效應(yīng)；大幅度減少裝藥中孔洞、裂紋、間隙等疵病的產(chǎn)生，減弱內(nèi)孔的塌陷，以及孔洞周圍塑性變形的粘性生熱尾部設(shè)計(jì)有軸向惰性緩沖物，改善傳爆管的受力環(huán)境，減小裝藥尾部因絕熱剪切引起的“熱點(diǎn)”效應(yīng)抗高過載方法裝藥結(jié)構(gòu)炸藥裝藥設(shè)計(jì)為一體（不是分段或分塊），封抗高過載方法裝藥工藝真空澆注－控溫固化工藝方法該工藝方法是將藥料置于抽空減壓條件下的設(shè)備中，將藥料澆入彈殼，經(jīng)自然流平，然后關(guān)閉真空，將澆注好的物料在控溫條件下固化。在澆注過程中，抽真空可使藥料內(nèi)部的氣體和易揮發(fā)物移至表面而逸出，提高裝藥的密實(shí)性，從而使裝藥質(zhì)量的一致性好抗高過載方法裝藥工藝真空澆注－控溫固化工藝方法該工藝方法是將抗高過載方法機(jī)械結(jié)構(gòu)選用高強(qiáng)度材料加大結(jié)構(gòu)承受力部位尺寸改善結(jié)構(gòu)件受力方向,使結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高的部位能承受高沖擊載荷加沖擊減振裝置,降低作用在結(jié)構(gòu)上的載荷從提高結(jié)構(gòu)自身強(qiáng)度的角度考慮的,只能用于新設(shè)計(jì)的部件后兩種途徑是從結(jié)構(gòu)外部降低作用在結(jié)構(gòu)受力面上的壓力考慮的,可用于改善成品部件的抗高過載性能抗高過載方法機(jī)械結(jié)構(gòu)選用高強(qiáng)度材料從提高結(jié)構(gòu)自身強(qiáng)度的角度考采用高強(qiáng)度材料、精密加工制作零件，通過改善各部件的連接關(guān)系，對結(jié)構(gòu)進(jìn)行封裝固化等措施來提高結(jié)構(gòu)本身的抗高過載能力改善結(jié)構(gòu)的受力環(huán)境，即增加隔振緩沖裝置，利用減振元件的儲存和耗散能量機(jī)制，減小傳遞到零件上的沖擊峰值，降低高過載環(huán)境對結(jié)構(gòu)體的影響抗高過載方法電子元件采用高強(qiáng)度材料、精密加工制作零件，通過改善各部件的連接關(guān)系，抗高過載MEMS慣性器件混合集成電路抗高過載技術(shù)的研究抗高過載MEMS慣性器件抗高過載技術(shù)的研究抗高過載MEMS慣性器件抗高過載技術(shù)的研究硅MEMS加速度傳感器高過載MEMS加速度傳感器可應(yīng)用于商業(yè)、軍事和空間技術(shù)等諸多領(lǐng)域，尤其是在軍事領(lǐng)域具有非常重要的應(yīng)用價(jià)值，如控制侵徹彈藥引信在預(yù)定層數(shù)起爆、監(jiān)測核爆破的沖擊過程、武器研制過程中的高過載測試等，其中最典型的應(yīng)用則是硬目標(biāo)的侵徹或貫穿裝甲。抗高過載MEMS慣性器件抗高過載技術(shù)的研究硅MEMS加速度傳抗高過載技術(shù)的研究國外發(fā)展?fàn)顩r:目前，國外已成功地研制出了許多性能優(yōu)良的高過載慣性器件，例如高過載加速度計(jì)和高過載陀螺。但由于高過載的MEMS慣性器件一般都應(yīng)用于軍事方面，因此其公開的資料比較少，可供參考的數(shù)據(jù)也比較少。

抗高過載技術(shù)的研究國外發(fā)展?fàn)顩r:目前，國外已成功地研制出了許抗高過載技術(shù)的研究1985年，德雷伯實(shí)驗(yàn)室(CSDL)在美國軍方合同的資助下，開始研制可滿足于軍用慣性系統(tǒng)所要求的低成本微型慣性器件，在1996年研制出量程為10萬g的加速度計(jì)。1989年，美國模擬器件(AD)公司開始研究叉指式電容微加速度計(jì)，在1993年開始投產(chǎn)，現(xiàn)已形成ADXL產(chǎn)品系列。在模擬炮彈發(fā)射環(huán)境的沖擊臺和空氣炮上進(jìn)行過載沖擊試驗(yàn)，該產(chǎn)品可以承受超過6萬g的沖擊?？垢哌^載技術(shù)的研究1985年，德雷伯實(shí)驗(yàn)室(CSDL)在美抗高過載技術(shù)的研究20世紀(jì)90年代，美國Endevco公司生產(chǎn)了用于武器系統(tǒng)的引信和高沖擊測試等方面的7270系列加速度傳感器，其敏感元件結(jié)構(gòu)和封裝結(jié)構(gòu)如圖所示。該傳感器采用2μm直徑的焊絲，利用環(huán)氧材料將芯片封裝起來，因此能夠抵擋20萬g的加速度沖擊。在霍普金森棒沖擊測試中，該加速度傳感器的量程達(dá)到10萬g?？垢哌^載技術(shù)的研究20世紀(jì)90年代，美國Endevc抗高過載技術(shù)的研究20世紀(jì)90年代末，利用表面微機(jī)械加工技術(shù)，美國圣地亞國家實(shí)驗(yàn)室研制出一種用于鉆地武器的高g值加速度計(jì)，如圖

所示。加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)由參考電容、檢測電容和支撐梁組成。檢測電容由定極板和動(dòng)極板組成，定極板與傳感器基座連在一起，動(dòng)極板由梁支撐在定極板的上方。該加速度計(jì)材料選用多晶硅，其量程可達(dá)到5萬g?？垢哌^載技術(shù)的研究20世紀(jì)90年代末，利用表面微機(jī)械加抗高過載技術(shù)的研究如圖所示為美國NASA中心研制的單晶6H-SiC壓阻式加速度計(jì)。主要應(yīng)用于高溫、高電磁場等特殊場合，這些特殊場合對常規(guī)的硅傳感器提出了考驗(yàn)，而碳化硅的半導(dǎo)體特性使其在這種特殊場合有著巨大的應(yīng)用前景?？垢哌^載技術(shù)的研究如圖所示為美國NASA中心研制的單晶抗高過載技術(shù)的研究現(xiàn)狀高G值加速度計(jì)已被應(yīng)用于炮彈引信、激光制導(dǎo)炸彈和巡航導(dǎo)彈中美國ADI公司、ENDEVCO公司應(yīng)用目標(biāo)瞄準(zhǔn)了汽車防撞氣囊、測量儀器和軍事領(lǐng)域美國的CSEM，CROSSBOW和MOTOROLA公司以及UCberkley，Standford等著名大學(xué)抗高過載技術(shù)的研究現(xiàn)狀高G值加速度計(jì)已被應(yīng)用于炮彈引信、激光抗高過載技術(shù)的研究國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r:目前，我國在該方面的研究還處于實(shí)驗(yàn)室研制階段，研制單位包括清華大學(xué)、東南大學(xué)、北京大學(xué)、中電科技第四十九研究所、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、上海微系統(tǒng)所、信息產(chǎn)業(yè)部13所等。抗高過載技術(shù)的研究國內(nèi)發(fā)展?fàn)顩r:目前，我國在該方面的研究還處北京大學(xué)微電子所研制的高過載壓阻式加速度計(jì)，其結(jié)構(gòu)如圖

所示，量程為5萬g。該加速度計(jì)在結(jié)構(gòu)上采用具有壓膜阻尼調(diào)整和限位過載保護(hù)的“三明治”結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了芯片級封裝。在中間敏感結(jié)構(gòu)層上設(shè)計(jì)了獨(dú)特的梁膜結(jié)構(gòu)，在敏感方向上保證了結(jié)構(gòu)具有足夠的靈敏度，有效的抑制了其它非敏感方向上的靈敏度?？垢哌^載技術(shù)的研究北京大學(xué)微電子所研制的高過載壓阻式加速度計(jì)，其結(jié)構(gòu)如圖所示204所研制的988壓電加速度計(jì)，其結(jié)構(gòu)如圖所示，量程為10萬g，頻率響應(yīng)為25KHz，幅值線性為10%，電荷靈敏度為0.4-0.7pc/g，最大橫向靈敏度比10%。抗高過載技術(shù)的研究204所研制的988壓電加速度計(jì)，其結(jié)構(gòu)如圖所示，量上海微系統(tǒng)研究所用體硅微系統(tǒng)技術(shù)（包括DRIE技術(shù)）制作了一種雙等質(zhì)量塊的等寬薄板結(jié)構(gòu)的高過載加速度計(jì)，理論分析其最大量程為20萬g，沖擊靈敏度為1.43μv/g，固有頻率優(yōu)于200KHz?？垢哌^載技術(shù)的研究目前，國外高G值加速度傳感器量程已達(dá)20萬g，國產(chǎn)傳感器的量程可達(dá)10萬g。上海微系統(tǒng)研究所用體硅微系統(tǒng)技術(shù)（包括DRIE技術(shù)）制作我國雖然近幾年在理論和實(shí)驗(yàn)方面取得一定的進(jìn)展，但無論是通過表面微機(jī)械加工還是體微機(jī)械加工，樣機(jī)在抗高過載能力方面都存在較大的技術(shù)難點(diǎn)。在實(shí)際工程中，器件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)，阻尼的設(shè)計(jì)，線路的設(shè)計(jì)以及封裝技術(shù)等方面都存在或多或少的問題，與國際上的先進(jìn)水平還有著很大的差距，因此還需要更多的研究，設(shè)計(jì)出滿足高過載環(huán)境下所需求的產(chǎn)品?？垢哌^載技術(shù)的研究我國雖然近幾年在理論和實(shí)驗(yàn)方面取得一定的進(jìn)展，但無論是通過表采用微機(jī)械限位結(jié)構(gòu)法來提高梁—島型壓阻式加速度傳感器的抗過載能力，并探索優(yōu)化設(shè)計(jì)的方法研究采用整體式懸臂梁結(jié)構(gòu)高G值MEMS傳感器的結(jié)構(gòu)和動(dòng)力學(xué)模型，探索此類結(jié)構(gòu)的高過載保護(hù)方法對高G值MEMS加速度傳感器進(jìn)行有限元模擬，對傳感器的封裝結(jié)構(gòu)進(jìn)行頻域分析和時(shí)域分析，研究封裝材料對傳感器振動(dòng)模態(tài)和輸出信號的影響抗高過載技術(shù)的研究MEMS加速度傳感器抗高過載技術(shù)研究采用微機(jī)械限位結(jié)構(gòu)法來提高梁—島型壓阻式加速度傳感器的抗過載研究高G值MEMS加速度傳感器的動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)方法、校準(zhǔn)裝置及相應(yīng)的動(dòng)態(tài)數(shù)學(xué)模型基于有限元模擬和經(jīng)驗(yàn)數(shù)值相結(jié)合的辦法，研究電容式高G值MEMS加速度傳感器的設(shè)計(jì)方法，并采用硅溶片工藝以及外圍電路和表頭的一體化設(shè)計(jì)方法，以提高傳感器的抗高過載性能?？垢哌^載技術(shù)的研究