ic工藝技術(shù)6外延

集成電路工藝技術(shù)講座

第六講外延工藝Epitaxy外延技術(shù)講座提要外延工藝簡述外延的某些關(guān)鍵工藝幾種常見外延爐性能比較外延工藝及設(shè)備的展望一因、涌外鋸延毫工資藝槍簡墨述1汗.祝外金延倚的株含首意E止p揀i嗓—淹t臨a攀x構(gòu)y員是鞋由幟希役臘席詞美來燦的跨表恒示姜在敢上仙面堪排化列局u進(jìn)p謎o芝n辱t對o驚a椅r搭r譽(yù)a規(guī)n蛋g丹e今。外懇延袖的僅含列意險(xiǎn)是添在朽襯侄底糊上嘴長慮上彈一月層舟有環(huán)一肥定挑厚杏度溉一屑定欄電塞阻茶率晚及展一梳定例型情號虧的屬單動晶妥。外困延拐是枯一全種虛單酷晶足生瀉長助技強(qiáng)術(shù)罵但酬又示不艇同個(gè)于拍拉娘晶打、伍也船不挪同緩于麻一叛般擾的綠C依V寒D貨。2傻.拔外廳延樂的眼優(yōu)光點(diǎn)減枯少儲串虹聯(lián)捆電旨阻簡秘化抱隔嘆離旬技蝴術(shù)消姿除事C昏M痕O炭S盒的管可厘控第硅為效肉應(yīng)可甚以叉根周據(jù)給器食件鑄的掛要綠求梁,寇隨逗心甲所預(yù)欲接地蒙生刮長寺,銹各辰種懼不架同辜型某號躍，堂不絨同宣電烘阻脫率希和鏈厚瀉度皺的押外咽延挑層苦。C葵M降O成S清電妖路紋的切l(wèi)拖a洗t皆c筐h睡-烘u漿p桶效栗應(yīng)用墓重境摻騰襯京底祖加備外覆延皆可賞以懸減爐小役這掠效嘉應(yīng)RsRw3軍.便外員延吸沉筒積德的則原纖理1瓶)凍反戚應(yīng)啦式S潤i耀HX肆1C藝LY+X絕2H2S堪i婦+YH楚C餅L2頸)踏主滲要喉外晶延線生展長扁源硅源生長速率μm/m生長溫度允許含氧量sicl40.4-1.51150-12005-10ppmsihcl30.4-31100-12005-10ppmsih2cl20.4-21050-1150<5ppmsih40.1-0.3950-1050<2ppm（驕Y賄=向X焰1剝+罷2館X軋2量）4栗.襯外弟延糕工抄藝板過父程裝蹲片趕計(jì)氣升譜溫恒慣溫鑄(陪8斤5霞0o管C牧)烘肉烤聲6惜’升溫霞(伶1趴2扭0幅0o龜?灰)H綢C南L湯腐彎蝕趕薦氣外足延襖沉材積趕鴉氣凈并授降柿溫N緣瑞2玻趕皂氣培(我3鋼’允)取繳片5謙.聾H堪C防L晉腐架蝕預(yù)的臂作貢用清唯潔殖表守面按減鋸少立缺虹陷減群少庸前遷工拾藝轉(zhuǎn)所筆引某入們的芹損幅傷米，驚降港低淚和哭消心除沿晶變體司缺紫陷H熊C研L麗的彈腐尊蝕銅量哭約錯(cuò)0惜.碼2傘-依0肢.牧4μ廣，存我宜們寇選該用范腐攏蝕把速含率撐為孩0販.霞0旬6辯μ例/約m舟時(shí)另間計(jì)4切’得約微去施除羅0度.茅2酒4勾μ啊。6仙.堵外箭延景摻混雜摻皂雜小源捎：N傷型罰：蔬P桌H扮3真/寧H院2尾A童S窮3爛/松H楚2漁P蛾型勁：但B介2杯H樹6續(xù)/恨H疲2摻悼雜洽方放式縮慧：s筒o株u眼r滔c度e怪%張=到i哈n克j籮e亭c課t瘡%d鑼i鑄l撐u菠e驢n肝t努%嘗=練1閱0叨0徹%擦-傾i肌n傲j熟e駐c騙t釣%摻貞雜浪計(jì)胞算ρT縮慧e匙s芹t/ρT簽a完r餃g縫e太t=D頃NT課a君r梅g決e夾t/D屈NT園e氧s肢t實(shí)無際袋的壓修姜正由刪于看有惰自棉摻鳳雜錄因揀此草實(shí)巨際剃摻巡壽雜撓量犧還添應(yīng)箭減惹去曲自小摻籃雜窄的頑量7.竄外查延落參慈數(shù)閘測皮定晶現(xiàn)體弦缺華陷采：層和錯(cuò)矛,疊位橡錯(cuò)梁,遍滑外移爭線奔,誕點(diǎn)幕缺脹陷腥,鮮顆搶粒涌,如霧懂,讓小掠丘分爆析凡手雹段栽：顯毒微吼鏡濁、膝干棗涉中相綱襯究顯肢微鍵鏡忍、u乖v副燈由、擦掃椒描剝電盤鏡敘、箏表某面丙沾后污熄掃梳描凡儀1炸)外辱延計(jì)表昂面祥缺蹲陷炊的謀顯襯示純和蘆測反試缺憐陷離的適顯亦示對壺于解(恩1奪1湖1嗎)雙取吐向斯：S筋i勾r夫t灰l賺：脊H您F淋：聯(lián)5扒m草C同r堪O炒3希=命1喇:瞞1對嚇于轟(贏1乳0惜0抬)米取魚向騎：W指r今i纏g燭h筆t羊：a底.辮4視5近g慮C反r濁O令3事+偉9燃0價(jià)m泛l革H銅2蓮Ob垃.強(qiáng)6土g爬C盈U凍(尤N根O艦3洗)科+霧1屯8役0速m覽l菊H丙2裝Oc陵.籮9財(cái)0肢m價(jià)l扶H賀N翁O切3溫+捉1蜘8觀0柄m所l遵H跟A呢C冤+胸1棍8軟0啄m貿(mào)l黨Ha招:抖b粘:惠c英=拍1承:廢1央:改1染斃色瓶腐沖蝕商液眼：哨H叢F席:睡H京N昨O話3盆:降H善A膨C策=厲1浙:箏3奸:癥72吹)隱電揚(yáng)阻討率疊測觸試三炕探鵝針勒:乒n獵/傳n菠+橡p漫/姜p境+探英針降接斯觸確電及阻由大四背探共針跑:受p表/禿n濤n詞/億p當(dāng)趨在避界暑面挨有遠(yuǎn)低夾阻貫過毫渡繞區(qū)膽時(shí)寒測槐試局不鏡準(zhǔn)S輕R瓦P育:姿n絹/挑n傷+哲p衣/雙p跳+累n儉/蘆p守p取/扶n要讓求派知掏道育襯摸底但型歐號載與凈取傾向忍，饅否站則窄測搖試匯不肢準(zhǔn)C唇-廢V演:江n鏟/復(fù)n家+專p雷/帝p錢+巷n越/柳p廢p澡/呀n要棄求鍛嚴(yán)佩格虹的剩表關(guān)面熊清胃潔禁處座理四族探督針s臟r簡pS伴r定p看還寶可序測渣濃膠度判(嚼或甘電復(fù)阻惹率援)似與像結(jié)幻玉深平的紐奉關(guān)如系矮，垂可倦看刮過府渡葡區(qū)猾寬懶度砌，呆是米一耕個(gè)擴(kuò)很城好肢的信分丙析舞測拉試破手摧段基療區(qū)住太陜深翁使鵲擊云穿曾下掘降基珠區(qū)換結(jié)乎深峰合氣理物擊摟穿課提鈔高3協(xié))膨厚鄭度修測值試磨酒角豎染廉色與再挑用踩干烈涉結(jié)顯唯微告鏡恥測竭厚押度層塵錯(cuò)呀法化：對逼于撞(坦1梢1固1館)松T委=廢0汗.棉8滔1隔6朗L對還于戲(拴1掏0裙0腳)朝T仙=批0臥.跑7暢0奇7訪L紅趨外乘測面厚席儀進(jìn)：候范留圍讀0叮.款2衰5豎-田2到0四0森微模米精愈度艘0線.斯0訪2次微壞米滾睡槽炒法敬：藏T班=減(孫X仇-多Y產(chǎn))援/很DYxDLL二碎、者外凈延頓的茅一販些壞關(guān)蜂鍵烏工尿藝1自.灶外捐延紋的疼圖埋形應(yīng)漂冬移上p幕a絮t述t哀e益r皇n曾s扛h付i旋f機(jī)t-衣對艙于秒(擠1愛1薪1繳)散晶體體必在算與倚1蘋1御0姓定沿位筋面載垂緞直巧的從方攔向聲發(fā)虹生建圖孫形晝漂難移廣。-壟產(chǎn)俊生慢原態(tài)因凳是狡外寒延廊的踐反誰應(yīng)袖產(chǎn)釘物刃H捕C手L豆，影擇舅優(yōu)喂腐菜蝕萄埋蝕層桐邊樣緣騾，捉使查埋汗層悄圖覆形覽產(chǎn)續(xù)生很位住移潑。-議危誓害杠性肆：零使期光雜刻焦無跟法蜻對蠅準(zhǔn)劣，鼠從守而蓮影替響趟電您學(xué)燥特米性鑰。-栽關(guān)蓮鍵哥：鞠要刑知派道爸漂幻玉移眠量考，業(yè)同云時(shí)穿要鹿控斤制鑄各屯爐萄子灘相禾同街。外蓄延寒圖止形爺漂農(nóng)移使的能測化定用近滾科槽徑法合測恭s視h憐i策f鼓t由蔽于抱漂宇移轉(zhuǎn).套使轎光旦刻栗套襯準(zhǔn)養(yǎng)差撇.慮造軟成海電才學(xué)積性震能皂變芹差案擋例良分竭析7率8額0跑0貌上外下臉片蹤蝶因伴溫欄度貼不軍均延勻殼造鍵成擋s口h犁i椒f才t奪不駛同展,獄引普起久電脹學(xué)灰參持?jǐn)?shù)薦不敘同快。上初片險(xiǎn)漂唇移校小碎糾鐵偏堆過濤頭下觸片佛糾飽偏荒較算正殃確2文.羊圖羊形箭畸皺變鄙D撿i誓s騰t壞o協(xié)r提t(yī)驕i稈o桶n外擔(dān)延退后親圖傭形狐增傅大恰或水縮私小致,導(dǎo)變漲模偉糊減,抽甚棗之講消羨失慈。圖幟形秋邊總緣亮不偏再怠銳超利售?；套兲栐w因拆：主蒸要棋是愿H掏C育L咱腐已蝕蓮硅肚片易表惜面潑，漢在糟臺等階蘋處唯，授由句于涂取鮮向費(fèi)不性同廚使陽各和方院向鋼腐弱蝕桐速呈率泛不均同地結(jié)砌果砌產(chǎn)微生盾畸即變王。S泡H皇I襪F濾T對鉛稱煉變符大非課對妖稱排畸杰變對甲稱迫變伸小圖肚形載消登失外強(qiáng)延沸后建圖短形昂嚴(yán)雪重好畸庭變對刊于事(缺1狀1蹄1淘)各晶嚼片屢,剃取絮向近對腫畸騎變燦影勉響匪很借大畸諷變態(tài)小畸衛(wèi)變恢嚴(yán)孤重輕記微醬畸收變溉使僅圖嘉形擾邊背緣裳模歌糊坡，巴使支光驢刻安困現(xiàn)難輕淹微遵畸詳變水撲平代方爪向洽變墊寬歐，幣光骨刻略機(jī)駱不推能悅識蠟別硅陶源避中辣氯攜原帽子歌的怎含哭量插上才對跌s翅h索i雙f縱t便的疑影差響溫預(yù)度雜對辨s蘆h阿i莫f院t窯的灣影騾響生去長額速勾率槳對膽s保h慘i哀f雪t癢的稈影持響減腫少守畸碎變月和鵝漂辰移特的侵方考法選落用玩低莫氯艙的鼠源莊。溫毫度依升慮高撞畸北變蠟減銹少降杏低乘外假延坡壓頓力滔(雀采濕用世減正壓禿外坐延族)降趕低怪生潤長逮速支率么(丹減才少倉氯侄含們量粗)對擋于煤(垃1氏1曾1教)肆取央向刮偏網(wǎng)離掌3宇-常4o新(裂向蕉最賊近星的款1菠1行0廁方糠向價(jià))增減加膨H蠻2街流摟量2辰.摻?jīng)Q雜岸與繳自伴摻礙雜D肌總朋摻法雜赴=魂D老摻裳雜籌+安D蝕自叢摻電雜當(dāng)噸D亞自質(zhì)摻攻量售<巧<密D庸摻避雜嶺時(shí)難影何響畏不晴大當(dāng)心D熊自脅摻籠雜酬與惡D盜摻攜雜聰接榮近朝時(shí)伯,宮影蹦響僅就綢明織顯近,鈔甚培至篇難廊控扔制。外路延逆過購程片自嫌摻上雜贈的憐停材滯夠?qū)游唇庀屧诖鈬?yán)延炕過咳程務(wù)中融襯港底營表獅面盞由貢于隆原減子倆間謊的堂引異力哈，有繼一馳個(gè)墊停釘滯嘗層攜，襯忍底制中幫重掉摻蔽的帶雜床質(zhì)煙被姨吸付附辮在告停爪滯支層千,沉民積椅時(shí)舅以綿自謊摻兆雜恩進(jìn)模入趨外搬延和層慨中嬸。停滯層襯底外行延欄過華程數(shù)中冬氣嗚流醉和臘雜紅質(zhì)盼的雁走司向具父體齊案逃例震：重慎摻攀襯僻底悔使主外家延孫電收阻攻率托降照低.自藥摻時(shí)雜邪量著的葡估裳算凳：在掉重否摻首銻花的侵N長+牢襯剪底紗上兵外潤延本企征走外溫延務(wù)：所陪陜片ρ流>蟻1能0殺0掩Ω住c弊mN冒+延ρ狀=攜1兆8盲-凡2彎6王Ω間c北m摻國雜佩外宇延坦：D劇N液=滾6讓0駁c扣c糞陪腰片熊ρ豆=縫1稍1歪Ω準(zhǔn)c壺m給N甚=棄4種.騎4斬*流1師01包4N虹+ρ使=陡7遍Ω顧c吩m宅N興=噸5露.姨5樹*殃1屬01菊4自錯(cuò)摻絨雜兩量煮：錢?亮=排1附.副1舞*扇1搜01歉4不葵同稱的才加雞熱習(xí)方議式飽可扭以有產(chǎn)穿生矮不鮮同挺的駝自就摻茅雜喚結(jié)貓果1襪.漿感偵應(yīng)斗加辜熱坦的將特胖點(diǎn)醉是儀基費(fèi)座倒的宮溫敞度賴高花于吳硅叢片召溫悶度系，打外皂延策過愁程朱使亂基溫座款上棚的震硅呀向歲硅著片躺背閑面衛(wèi)轉(zhuǎn)啄移紹，逗使紛重氧摻馳襯葛底交的金雜連質(zhì)店封湊住滋，努減勇少僑自默摻鉤雜蚊。2筑.探紅族外春加譯熱燭的點(diǎn)相陪反寇：攀硅搬片霸的奔溫跌度舒高富于綢基頓座前，診外瞞延張時(shí)略硅泉片天背朵面金的候硅云和濟(jì)雜路質(zhì)付原拆子為在為向肯基謹(jǐn)座項(xiàng)轉(zhuǎn)稱移商過犯程星中歇跑惹出仇來緩形寬成云自酸摻乏雜件。所卷以躍紅劣外仗加氏熱散要園比值感撇應(yīng)歲加娛熱富自勁摻輸雜返要墓嚴(yán)進(jìn)重匯，岔過際渡竿區(qū)者也槽差悄一趁些T號2敢T炭3者T葬4基捎座謊溫葡度欣T音1T嫌1廳>門T而2衫>撤T鑄3有>祖T際4感擔(dān)應(yīng)塞加醒熱外汽延巷的影過乘渡替區(qū)1廁)給過寸渡全區(qū)主的父定曾義維：在直外兔延不與康襯棄底何界幅面外豪延蓬電院阻恐率哨差培二協(xié)個(gè)數(shù)焦量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