裂片機操作書明中文

./20XX4月20XX4月10日改版裂片機操作書明書MOTEL:OBM-90T株式會社OPTOSYSTEMCO.,LTD本社〒610-0313京都府京田邊市三山木野神100：0081-774-68-4440：0081-774-68-4444目錄0安全使用設(shè)備11設(shè)備構(gòu)成21-1設(shè)備的構(gòu)成21-2設(shè)備的主要部分31-3操作面板42設(shè)備運轉(zhuǎn)42-1設(shè)備啟動42-2各軸手動操作52-3手動裂片與自動運行7〔1加工件的準備與安裝7〔2加工件平行的調(diào)出8〔3受臺槽寬的確定與登錄9〔4手動裂片10〔5自動運行12〔6有關(guān)裂片刀下降位置13〔7有關(guān)設(shè)定1、設(shè)定2133機械方面的調(diào)整143-1裂片刀的更換143-2攝像頭的調(diào)整164設(shè)備操作結(jié)束165機能·設(shè)定一覽表175-1操作面板175-2控制畫面的構(gòu)成195-3各畫面容20〔1主畫面表示20〔2參數(shù)變更方法21〔3SET1〔設(shè)定1SET2〔設(shè)定222〔4Speed1〔設(shè)定1速度設(shè)定Speed2〔設(shè)定2速度設(shè)定23〔5JOG1〔設(shè)定1JOG設(shè)定JOG2〔設(shè)定2JOG設(shè)定24〔6ACCEL1〔設(shè)定1加減速設(shè)定ACCEL2〔設(shè)定2加減速設(shè)定25〔7SET〔設(shè)定26〔8文檔操作276設(shè)備點檢·維護·消耗品的更換28安全使用設(shè)備為安全使用設(shè)備,請預先了解以下的注意事項,并以此操作設(shè)備。?請不要在用本設(shè)備加工Wafer以外的產(chǎn)品。?在充分理解本設(shè)備的操作后、并對操作容進行確認后再開始進行操作。在操作過程嚴禁將手伸入裂片區(qū)。?本設(shè)備的電器配線·電氣線路組件等〔電機驅(qū)動器等禁止隨意撥動、調(diào)整。?本設(shè)備應(yīng)在20°C左右的室環(huán)境條件中使用?請勿將液體或帶有腐蝕性的氣體等置于本設(shè)備上。同時,室濕度的增大將對設(shè)備產(chǎn)生損害。?切勿使設(shè)備發(fā)生重力沖擊；不要將重物置于設(shè)備上面。?關(guān)閉設(shè)備電源時請按照使用說明書中記載的順序正確關(guān)閉電源。不正確的電源關(guān)閉方式將會造成軟件損壞或資料丟失。11.設(shè)備構(gòu)成1-1設(shè)備構(gòu)成本設(shè)備構(gòu)成如下：漏電保護器漏電保護器腳輪控制用PC下置攝像頭及傳動總成操作面板下置攝像頭光源控制用PC機鍵盤控制用PC機監(jiān)視器下置攝像頭用監(jiān)視器指示燈塔裂片主體部21-2設(shè)備的主要部分本頁圖片為設(shè)備主要部分,上圖為裂片動作的主要部分；下圖為下置攝像頭及傳動總成部分。黃色箭頭表示由電機驅(qū)動各軸的動作方向。裂片刀裂片刀Z軸電機擊錘擊錘裂片刀裂片刀SUPPORTGAP平臺旋轉(zhuǎn)方向平臺旋轉(zhuǎn)方向平臺平臺前后移動下置攝像頭下置攝像頭下置攝像頭下置攝像頭·傳動總成3操作面板操作面板的各個按鍵的說明匯總在《5.機能·設(shè)定一覽表》的《5-1操作面板》中,請仔細閱讀該表。緊急停止按鍵各軸的動作緊急停止按鍵各軸的動作方向按鍵各軸的動作電機按鍵綠：ON紅：OFF蜂鳴器蜂鳴器ORGORG操作面板操作面板2.設(shè)備運轉(zhuǎn)2-1設(shè)備啟動向設(shè)備各電源部接入電源使設(shè)備呈可運轉(zhuǎn)狀態(tài)時,按照以下順序操作。漏電保護器的把手推上漏電保護器的把手推上按下操作面板上ON鍵按下操作面板上ORG鍵〔ORG指示燈閃爍當設(shè)備全體得到電源后,控制用PC自動啟動PC啟動稍候……控制用PC機監(jiān)視器上顯示出控制軟件的初期畫面及"DOORIGINRETURN！"的提示。操作面板的蜂鳴器連續(xù)鳴響。操作面板的ORG按鍵燈閃爍。設(shè)備的各驅(qū)動電機軸進行原點復歸動作在原點復歸動作過程中嚴禁將手伸入設(shè)備內(nèi)部原點復歸完成原點復歸動作中當"RETURNTOORIGIN"表示示,原點復歸動作過程中的驅(qū)動軸的名稱也同時表示。操作面板的蜂鳴器以一聲長鳴音通知原點復歸完成。操作面板上"ORG"按鍵燈關(guān)閉控制用PC監(jiān)視器屏幕顯示"MANUALMODE原點復歸完了后可以進行各軸的手動操作。若進行自動運行時,應(yīng)預先進行各參數(shù)的設(shè)定,此后方可進行自動運行。42-2各軸手動操作各軸MODE下手動操作時有效按鍵及機能如下各軸MODE下手動操作軸MODE移動按鍵動作形式Hi/LOW的變更備注SUPPORT紅圈受臺整體向箭頭方向移動〔操作者反方向X紅圈受臺整體向箭頭方向移動〔操作者反方向GAP紅圈受臺的GAP向箭頭方向移動?！彩芘_合閉X閉合后按鍵失效不會發(fā)生過度閉合紅圈受臺的GAP向箭頭方向移動?！彩芘_打開CAMERACAMERA攝像頭向設(shè)定的中心位置移動。－Hi按鍵即使不按下仍快速移動。攝像頭向左方向移動○攝像頭向右方向移動5軸MODE移動按鍵動作形式Hi/LOW的變更備注RING工作臺向箭頭方向移動〔操作者反方向○工作臺向箭頭方向移動〔操作者方向工作臺左旋轉(zhuǎn)工作臺右旋轉(zhuǎn)CUTTERcutter上升位置CUTTERDownAddress向待機位置下降－◎裂片刀在下降過程中嚴禁將手伸入裂片區(qū)?！蚋髟O(shè)定的ADDRESS值不得與受臺發(fā)生干涉。在檢查確認設(shè)定值后方可開始操作DownAddressCUTTERCutAddress位置下降CutAddressCUTTER或者單鍵DownAddress待機位置上升CutAddress或DownAddressCUTTER或者單鍵向CUTTER上升位置處上升62-3手動裂片及自動運轉(zhuǎn)〔1工件的準備與安裝在粘貼在偏平環(huán)上經(jīng)過劃片后的Wafer表面貼上保護膜后安裝在工作臺上。在前工序貼片時,為便于較順利地調(diào)出平行,建議如下圖所示,Wafer的平面首先盡可能地與扁平環(huán)一邊處于平行狀態(tài)。兩個面盡可能平行兩個面盡可能平行扁平環(huán)與扁平環(huán)與Wafer的方向〔例粘貼在扁平環(huán)上的Wafer粘貼在扁平環(huán)上的Wafer表面覆蓋保護膜使用軟布等將氣泡趕出使用軟布等將氣泡趕出將工作臺移至面前,同時旋轉(zhuǎn)工作臺將扁平環(huán)固定把手移至圖中所示位置處將工作臺移至面前,同時旋轉(zhuǎn)工作臺將扁平環(huán)固定把手移至圖中所示位置處按下操作面板上"SETPOSI"按鍵,工作臺將移動到預先設(shè)定的工件安裝位置來。貼有保護膜面向下,扁平環(huán)的前端、右端分別靠緊各端的定位塊。貼有保護膜面向下,扁平環(huán)的前端、右端分別靠緊各端的定位塊。壓住扁平環(huán),左手拉出固定把手,當扁平環(huán)的前端、右端確實靠緊定位塊后,壓住扁平環(huán),左手拉出固定把手,當扁平環(huán)的前端、右端確實靠緊定位塊后,松回固定塊把手。定位塊定位塊特別要注意定位塊與扁平環(huán)端面是否有間隙。當間隙存在時裂片過程中十字線與劃痕的平行性則很難保持。特別要注意定位塊與扁平環(huán)端面是否有間隙。當間隙存在時裂片過程中十字線與劃痕的平行性則很難保持。固定把手固定把手7〔2工件的平行調(diào)出在工作臺上安裝好工件后,以以下的順序調(diào)出平行。工作臺移至中心位置工作臺移至中心位置移動工作臺及攝像頭以使在攝像頭的視野范圍內(nèi)可以看到工作臺的旋轉(zhuǎn)中心※在《移動工作臺及攝像頭以使在攝像頭的視野范圍內(nèi)可以看到工作臺的旋轉(zhuǎn)中心※在《5-3個畫面內(nèi)容〔7SET設(shè)定》中的YCenter與CAMCenter為正確設(shè)定之例。CENTERCAMERACAMERA移至中心CAMERACAMERAMODE攝像頭監(jiān)視器的十字線與Wafer的劃線取得平行。攝像頭監(jiān)視器的十字線與Wafer的劃線取得平行。差角由工作臺旋轉(zhuǎn)進行補正RINGRING粗調(diào)整MODE粗調(diào)整MODEHi或工作臺前后微調(diào)整以使監(jiān)視器十字線附近的劃線與十字線重合工作臺前后微調(diào)整以使監(jiān)視器十字線附近的劃線與十字線重合MODEMODE或微調(diào)整MODE或CAMERA監(jiān)視器視野圍內(nèi)左右移動攝像頭,微調(diào)工作臺角度,以使劃線更為平行于十字線。MODE或CAMERA監(jiān)視器視野圍內(nèi)左右移動攝像頭,微調(diào)工作臺角度,以使劃線更為平行于十字線。CameraCamera左右移動MODEMODE或RING平行的微調(diào)左右移動攝像頭,檢查劃線與十字線的重合狀態(tài)。平行的微調(diào)左右移動攝像頭,檢查劃線與十字線的重合狀態(tài)?？衫每衫肏i機能,高速移動Camera進行平行的確認。若取得平行若取得平行進入裂片若未取得平行再次微調(diào)調(diào)整8〔3受臺槽寬的確定與登錄受臺槽寬的確定與登錄按以下的順序進行。該順序僅以對芯片約1.5倍的槽寬為例進行說明。〔通常在1.3～1.7倍左右為適宜寬度移動受臺<SUPPORT>監(jiān)視器上部的陰影移到紅色箭頭處為止。移動受臺<SUPPORT>監(jiān)視器上部的陰影移到紅色箭頭處為止。移動受臺<SUPPORT>。當受臺影像到達距監(jiān)視器顯示白橫線1各芯片位置時停止SUPPORTSUPPORTMODE或移動監(jiān)視器被橫線下方的受臺。移動監(jiān)視器被橫線下方的受臺。當槽寬約為芯片的1.5倍時停止移動受臺<GAP>移動受臺<GAP>監(jiān)視器下部的陰影,到紅色括號的寬度左右位置。在在TeachingMode狀態(tài)下,使用Mode作槽寬微調(diào)〔參照注1GAPMODEGAPMODE或GAP注：必須在TEACH注：必須在TEACH狀態(tài),控制PC的提示窗口上顯示GAP名及Add時方能登錄。按下登錄按鍵GAP位置則被登錄。MemoryTeachModeTeachMode的解除<參照注2>移動受臺移動受臺<SUPPORT>監(jiān)視器上映出的槽寬調(diào)整到紅色括號的位置時停止。再次使用SUPPORTMODE再次使用SUPPORTMODE將監(jiān)視器所示的槽寬與橫白線取中。SUPPORTSUPPORTMODE或TeachModeTeachMode下,選擇MODE,對槽寬微調(diào)<參照注3>SUPPORTCHIPSIZE的約CHIPSIZE的約1.5倍注：必須在TEACH注：必須在TEACH狀態(tài),控制PC的提示窗口上顯示SUPPORT名及Add時方能登錄。按下登錄按鍵support位置則被登錄。MemoryTeachModeTeachMode的解除<參照注2>注1TEACHMODE各軸的設(shè)定位置的ADDRESS進行登錄時的模式。按下此鍵后,各軸動作模式按鍵燈閃爍,即可確定各個位置；所后按下MEEMORY鍵后,則將設(shè)定的位置完成登錄。注2閃爍中的TEACH鍵按下,TEACH模式冊被取消。住3TEACH模式下,各軸均以低速運動,位置確定精度提高。9〔4手動裂片為防止裂片刀與受臺發(fā)生干涉或裂片刀由上升位置向下降待機位置移動時觸及Wafer,手動裂片之前應(yīng)首先確認DOWNADDRESS及CUTADDRESS值·設(shè)定后再進行。平行調(diào)出及受臺槽寬確定、登錄后,首先按以下順序確定CUTADDRESS并手動試作裂片動作。前后移動調(diào)整工作臺。使前后移動調(diào)整工作臺。使Wafer的劃線與間監(jiān)視器十字線重合。裂片刀上升位置裂片刀上升位置裂片刀下降待機位置裂片刀下降待機位置裂片刀下降位置距SHEET上面約0.5～1.5mm為理想位置裂片刀由上升位置裂片刀下降位置距SHEET上面約0.5～1.5mm為理想位置裂片刀由上升位置向下降待機位置移動。CUTTERCUTTERCUTTER裂片刀下降位置裂片刀由下降待機位置裂片刀下降位置裂片刀由下降待機位置向裂片下降位置移動CUTTERCUTTERCUTTER裂片刀由下降待機位置向下降位置移動裂片刀由下降待機位置向下降位置移動裂片刀下降至Wafer裂開為止???裂片刀下降至Wafer裂開為止???TEACHTEACH模式下〔CUTTERMODE至Wafer裂開位置點動按鍵緩緩下降。由待機位置緩緩下降由待機位置緩緩下降TEACHCUTTERTEACHCUTTER接下頁10接上頁接上頁??????停止在Wafer裂開的位置處。停止在Wafer裂開的位置處。按下鍵登錄下降位置MEMORYMEMORY同時TEACHMODE解除同時TEACHMODE解除裂片刀由下降待機位置上升CUTTER裂片刀由下降待機位置上升CUTTER或僅用移動到下一條劃線處移動到下一條劃線處由下降待機位置作一次裂片動作由下降待機位置作一次裂片動作CUTTER裂片刀向下降待機位置上升裂片刀向下降待機位置上升CUTTER或僅用移動到下一條劃線處移動到下一條劃線處由下降待機位置作一次裂片動作由下降待機位置作一次裂片動作CUTTER※※裂片刀向下降待機位置上升裂片刀向下降待機位置上升CUTTER或僅用以下重復※以下重復※標記的動作11〔5自動運行自動運行是指當設(shè)定了起始、結(jié)束位置,按下START鍵后設(shè)備開始自動運行的狀態(tài)。在選用自動運行模式之前請首先進行〔1～〔4的操作、同時設(shè)定YPITCH值,在上述動作結(jié)束后,自動運行的設(shè)定與開始按照以下的順序進行。①①自動運行開始位置的裂片線與十字線的位置重合裂片起始位置裂片起始位置十字線十字線②②按下STRATP鍵⑤按下START鍵后自動運行開始③自動運行停止位置與十字線的位置重合④STOPP按鍵STOP按鍵暫停自動運行RESET鍵解除自動運行的設(shè)定結(jié)束位置通常設(shè)定在最后一線后的2、3條線處。自動運行的操作自動運行暫停時〔START按鍵閃爍時RINGMODE下可以將裂片線與白橫線間的位差進行補正操作。同時,在CAMERAMODE下可以左右移動CAMERA對裂片狀況進行確認。12〔6裂片刀的下降位置裂片刀的下降位置的最大值為CUTADDRESS+CUTDEPTH。〔[5-3各畫面詳細]的〔3SET1〔設(shè)定1與SET2〔設(shè)定2的CUTDEPTH項使用CUTDEPTH時參照下圖的關(guān)系請注意使用。上升位置上升位置綠色：下降待機位置綠色：下降待機位置藍色：下降位置紅色：下降位置+CUTDEPTH裂片刀的位置裂片刀的位置〔7設(shè)定1·設(shè)定2裂片由以下3種MODE。黃字表示MODE容綠字表示1ONLY設(shè)定1條件下,橫、豎裂片線均為裂片條件必須以綠字1表示2ONLY設(shè)定2條件下,橫、豎裂片線均為裂片條件必須以綠字2表示1AND2一側(cè)為設(shè)定1條件,另一側(cè)為設(shè)地點那個2條件,兩個條件連續(xù)進行裂片裂片時分別顯示設(shè)定條件1設(shè)定條件2裂片條件方向…………黃字裂片條件方向…………黃字使用條件…………綠字表示含義使用條件…………綠字表示含義進行各切換時操作以下按鍵F71OR21AND22ONLY1ONLYF71OR21AND22ONLY1ONLY12121AND2提示表示的與切換：STOP按鍵+90o按鍵〔表示切換的同時工作臺旋轉(zhuǎn)90o1AND2時STARTP,STOPP應(yīng)分別在設(shè)定1,設(shè)定2時設(shè)定,其后可進行自動運行133.機械調(diào)整3-1裂片刀的更換裂片刀更換時請按照以下順序進行。進行更換時必須關(guān)閉設(shè)備的總電源。abab①4顆螺絲4顆螺絲松開a上面用于固定的4顆螺絲。松開a上面用于固定的4顆螺絲。A與b進行交換。b②b②輕輕固定裂片刀,使其為自由狀態(tài)。輕輕固定裂片刀,使其為自由狀態(tài)。1左旋松開止動螺絲1左旋松開止動螺絲③③bb2松開此螺母2松開此螺母1.5mm～2mm的間隙1.5mm～2mm的間隙裂片刀的左右上部的止動部的螺母松開,旋轉(zhuǎn)螺絲,使其與裂片刀之間形成一定的間隙。裂片刀的左右上部的止動部的螺母松開,旋轉(zhuǎn)螺絲,使其與裂片刀之間形成一定的間隙。14④④受臺<GAP>向最下方移動受臺的移動由此軸控制b邊察看間隙邊將裂片刀下降。當裂片刀接觸到受臺是停止下降下降轉(zhuǎn)動此軸裂片刀下降⑤⑤用手轉(zhuǎn)動裂片刀的電機軸,裂片刀慢慢下降當接觸到受臺、電機軸不能轉(zhuǎn)動的程度時,將4顆固定螺絲輕輕擰緊后,旋擰止動螺絲,使螺絲的端部頂住裂片刀。用手轉(zhuǎn)動裂片刀的電機軸,裂片刀慢慢下降當接觸到受臺、電機軸不能轉(zhuǎn)動的程度時,將4顆固定螺絲輕輕擰緊后,旋擰止動螺絲,使螺絲的端部頂住裂片刀?！沧⒁猓褐箘勇萁z不要過渡擰緊⑥⑥b②切實固定①刀上升緊固此螺絲時注意止動螺絲不要旋轉(zhuǎn)。向上托住此處<左右同樣>旋轉(zhuǎn)電機上軸使裂片刀上升,與止動螺絲的下端輕輕接觸。用手托住裂片刀的兩端,隨后擰緊用于固定裂片刀的4顆螺絲。旋轉(zhuǎn)電機上軸使裂片刀上升,與止動螺絲的下端輕輕接觸。用手托住裂片刀的兩端,隨后擰緊用于固定裂片刀的4顆螺絲。裂片刀的刀口部分較為銳利,因此向上托起裂片刀時一定托在兩端。3WaxPressMachine1set945,000.00裂片刀安裝后是否與受臺平行的檢查：手動旋轉(zhuǎn)裂片刀電機,裂片刀與受臺將將接觸時用厚薄規(guī)檢查其間隙。裂片刀更換后:1.開啟電源,進入Oringin原點復歸動作。2.應(yīng)充分注意裂片刀的待機位置及裂片位置,及時進行設(shè)定修改。153-2攝像頭的調(diào)整攝像頭Y軸的調(diào)整：受臺上不要放置任何障礙物的狀態(tài)下,裂片刀降到下降位置,可在監(jiān)視器畫面上看到裂片刀的刃口部的影像,調(diào)整Y軸使刃口與十字線重合。攝像頭Y軸的調(diào)整：將Wafer置于工作臺上,調(diào)整Z軸使監(jiān)視器上的焦距重合。攝像頭Z軸止動螺絲攝像頭Z軸止動螺絲攝像頭Z軸微調(diào)用止動螺絲攝像頭Z軸微調(diào)用止動螺絲攝像頭Y軸止動螺絲攝像頭Y軸止動螺絲攝像頭Y軸微調(diào)用止動螺絲攝像頭Y軸微調(diào)用止動螺絲攝像頭Y軸微調(diào)。調(diào)整攝像頭中心的Y方向位置與刃口攝像頭Y軸微調(diào)。調(diào)整攝像頭中心的Y方向位置與刃口重合時使用。攝像頭Z軸微調(diào)。調(diào)整攝像頭焦距與Wafer高度重合時使用。4.設(shè)備操作結(jié)束控制軟件結(jié)束控制軟件結(jié)束按下鍵盤F10提示Y不結(jié)束軟件時按N不結(jié)束軟件時按N確認PC監(jiān)視器表示為DOSMODE。確認PC監(jiān)視器表示為DOSMODE。操作面板的OFF鍵按下漏電保護器扳手漏電保護器扳手扳下漏電保護器把手扳下漏電保護器把手前面板前面板165.機能·設(shè)定一覽表緊急停止鍵5-1操作面板緊急停止鍵蜂鳴器擊槌力度調(diào)節(jié)蜂鳴器擊槌力度調(diào)節(jié)按鍵名稱機能備注ON電力的接入OFF電力的關(guān)閉START自動運轉(zhuǎn)開始閃爍時運轉(zhuǎn)暫停閃爍時按下后運轉(zhuǎn)繼續(xù)STOP自動運轉(zhuǎn)停止RESET解除Error·表示自動運行暫停時<START按鍵閃爍時>按下此鍵可解除自動運轉(zhuǎn)模式。ORG各軸的原點復歸1or2Wafer的Breaking設(shè)定的選擇/切換與快捷鍵F7同機能CENTERTable前后軸向中心位置移動向設(shè)定的中心位置移動MEMORYTEACHMODE時各軸Add的記憶TEACH時記憶的數(shù)據(jù)自動存入裂片條件的文檔中HAMMERHAMMER動作每按一次動作一下。擊槌力度調(diào)節(jié)鈕可調(diào)節(jié)擊槌力度SETPOSI向工作臺前后軸的工件交換位置的移動向設(shè)定的位置移動90oTable旋轉(zhuǎn)90o每按一次該鍵左右交替旋轉(zhuǎn)。按設(shè)定的脈沖數(shù)旋轉(zhuǎn)。按住STOP鍵同時按此鍵,工件的Breaking條件〔設(shè)定1側(cè)or設(shè)定2側(cè)的設(shè)定也可以改變。TEACHTEACHMODE按鍵鍵燈閃爍時：TEACHMODE鍵燈熄滅時：TEACHMODE解除〔可進行自動運行/手動運運行INDEXTable前后方向的PICTH送進模式只有RING燈亮時有效。按一次鍵則按設(shè)定的PICTH值移動一次SUPPORT受臺<SUPPORT>前后移動模式17按鍵名稱機能備注GAP槽寬移動的動作模式CAMERACAMERA左右移動的模式RINGTable前后及旋轉(zhuǎn)的動作模式CUTTERCUTTER上下移動的動作模式←↑→↓各軸動作模式時的移動方向Hi各軸<注：參照備注欄>的高速/低速移動的切換CUTTER上下動作沒有高/低速的區(qū)別亮燈時：高速熄燈時：低速STARTP自動運轉(zhuǎn)開始位置的登錄登錄容：Table前后軸開始位置Camera左右軸開始位置STOPP自動運轉(zhuǎn)結(jié)束位置的登錄登錄容：Table前后軸結(jié)束位置Camera左右軸結(jié)束位置緊急停止鍵各軸動作停止按鍵向右旋轉(zhuǎn)解除緊急停止狀態(tài)及時解除后但各軸不會動作。緊急停止解除后恢復原畫面時,按提示按下RESET鍵,并必須作原點復歸。擊槌強度HAMMER捶擊強度的調(diào)整蜂鳴器提示音響185-2控制畫面的構(gòu)成控制軟件的基本容如下：當前設(shè)定提示窗口計數(shù)窗口當前設(shè)定提示窗口計數(shù)窗口當前各軸Add當前各軸Add裂片使用條件裂片使用條件控制軟件結(jié)束控制軟件結(jié)束設(shè)定設(shè)定1,2切換設(shè)定2設(shè)定1設(shè)定設(shè)定1,2切換設(shè)定2設(shè)定1退出速度設(shè)定選擇退出速度設(shè)定選擇設(shè)定2加減速設(shè)定設(shè)定2JOG設(shè)定設(shè)定2速度設(shè)定設(shè)定1設(shè)定2加減速設(shè)定設(shè)定2JOG設(shè)定設(shè)定2速度設(shè)定設(shè)定1加減速設(shè)定設(shè)定1速度設(shè)定設(shè)定1JOG設(shè)定文檔操作選擇文檔操作選擇文檔讀出文檔保存退出文檔刪除文檔讀出文檔保存退出文檔刪除195-3個畫面容〔1主畫面表示當前設(shè)定提示窗計數(shù)窗當前設(shè)定提示窗計數(shù)窗當前各軸Add當前各軸Add裂片使用條件d裂片使用條件d各快捷鍵各快捷鍵表示部容詳細·備注當前設(shè)定表示當前裂片方向的設(shè)定值F1：SET1<或F3：SET2>設(shè)定容的表示計數(shù)窗上端數(shù)字：設(shè)定的最大裂片線數(shù)下端數(shù)字：自動運行中當前裂片線數(shù)提示窗Error提示表示/當前動作狀態(tài)的表示各軸當前Add表示電機軸的當前AddYAdd：TableY軸<單位：脈沖=um>θAdd：TableY軸<單位：脈沖>裂片使用條件表示裂片使用的條件快捷鍵表示文檔與各種設(shè)定向操作畫面移動按鍵F1：SET1=切換至設(shè)定1畫面F2：未被使用F3：SET2=切換至設(shè)定2畫面F4：未被使用F5：SPEED=切換至速度設(shè)定畫面。不能使用快捷鍵。F6：FILE=進入文檔操作選擇畫面。F7：1OR2=設(shè)定1,2的切換F8：SET=進入設(shè)定畫面F9：未被使用F10：END=控制軟件結(jié)束20鍵盤快捷鍵及各鍵功能F1：SET1=切換至設(shè)定1畫面F1：SET1=切換至設(shè)定1畫面F2：未被使用F3：SET2=切換至設(shè)定2畫面F4：未被使用F5：SPEED=切換至速度設(shè)定畫面。不能使用快捷鍵。F6：FILE=進入文檔操作選擇畫面。F7：1OR2=設(shè)定1,2的切換F8：SET=進入設(shè)定畫面F9：未被使用F10：END=控制軟件結(jié)束〔2參數(shù)變更方法參數(shù)的變更由操作鍵盤上輸入數(shù)值執(zhí)行。此后說明的各設(shè)定畫面中,變更項目由鍵盤上的箭標按鍵進行選擇、Enter鍵確定,隨后即可在選擇的項目中輸入變更數(shù)據(jù)。數(shù)值輸入后再次按Enterj鍵確認,數(shù)值即被變更。若取消選擇了變更項目并按下了Enter鍵,同時亦輸入數(shù)據(jù)的操作時,請不要繼續(xù)按下Enter鍵,改按Esc鍵即可解除上述操作。各設(shè)定畫面由其所對應(yīng)的快捷鍵按下后表示；返回主畫面時按Esc鍵。Esc鍵Esc鍵Enter鍵快捷鍵Enter鍵快捷鍵21〔3SET1〔設(shè)定1與SET2〔設(shè)定2下圖為設(shè)定1的畫面表示。設(shè)定1與設(shè)定2的設(shè)定項目、容相同。項目容輸入圍單位備注CUTTIMES自動運裝時最大裂片線數(shù)1～999次DOWNADDRESS上刃的下降待機位置0～μmCUTADDRESS上刃的下降位置0～限位開關(guān)μmF8+SET確定限位HAMMERTIMES自動運轉(zhuǎn)時擊槌擊打數(shù)0～99次/CutCUTPERLINE對1LINE上刃的下降次數(shù)0～99Cut/LineYPITCHTABLE前后方向的Pitch送進量0～9999μmSupportAddress自動運轉(zhuǎn)時Supptort的位置0～99999脈沖不要數(shù)值直接輸入GAPADDRES自動運行時GAP的位置0～9999脈沖不要數(shù)值直接輸入TIMER〔UP自動運轉(zhuǎn)時上刃在待機位置的停止時間0～999msecTIMER〔DOWN自動運轉(zhuǎn)時上刃在下降位置的停止時間0～999msecCutdepth包含YSTARTPOSI設(shè)定的自動運轉(zhuǎn)開始時工作臺的位置。0～99999脈沖不要數(shù)值直接輸入YSTOPPOSI設(shè)定的自動運轉(zhuǎn)停止時工作臺的位置。0～99999脈沖不要數(shù)值直接輸入CAMSTARTPOSI設(shè)定的自動運轉(zhuǎn)開始時攝像頭位置0～99999脈沖不要數(shù)值直接輸入CAMSTOPPOSI設(shè)定的自動運轉(zhuǎn)停止時攝像頭位置0～99999脈沖不要數(shù)值直接輸入ΘADDRESS工作臺旋轉(zhuǎn)電機的當前位置0～99999脈沖不要數(shù)值直接輸入CTUTDEPTH上刃由下降位置開始的送進量0～99μm由CUTADD的下降量22〔4SPEED1〔設(shè)定1速度設(shè)定與SPEED2〔設(shè)定2速度設(shè)定下圖所示為設(shè)定1的界面,設(shè)定1與設(shè)定2的表示界面、設(shè)定容相同。項目容輸入圍單位備注CUTHIGH上刃上下移動的高度1～99999脈沖/sec單位時間向電機發(fā)出的脈沖值。如果變更數(shù)值時切勿輸入過大的數(shù)值,輸入值應(yīng)在設(shè)備出廠時的設(shè)定值附近,但設(shè)定后必須注意設(shè)備的動作。YHIGH工作臺前后高速移動1～99999ΘHIGH工作臺高速旋轉(zhuǎn)1～99999CAMHIGHCAMERA左右高速移動1～99999CUTLOW工作臺前后移動的初速度1～10000YLOW工作臺前后移動的初速度1～10000ΘLOW工作臺旋轉(zhuǎn)的初速度1～10000CAMLOWCAMERA左右移動初速度1～1000023〔5JOG1〔設(shè)定1JOG設(shè)定與JOG2〔設(shè)定2JOG設(shè)定下圖所示為設(shè)定1的界面,設(shè)定1與設(shè)定2的表示界面、設(shè)定容相同。項目容輸入圍單位備注CUTJOG上刃上下移動的手動低速移動時的速度設(shè)定1～99發(fā)給電機的下一信號為止的待機間隔?！矝]有單位標度數(shù)值越小JOG的速度越慢。YJOG工作臺前后移動的手動低速移動時的設(shè)定1～99ΘJOG工作臺旋轉(zhuǎn)移動的手動低速移動時的設(shè)定1～99CAMJOGCamera左右移動時的手動移動速度的設(shè)定1～99SUPPORTJOG首臺的手動低速移動速度的設(shè)定1～99GAPJOGGAP的手動低速移動的速度設(shè)定1～9924〔6ACCEL1〔設(shè)定1加減速設(shè)定與ACCEL2〔設(shè)定2加減速設(shè)定下圖所示為設(shè)定1的界面,設(shè)定1與設(shè)定2的表示界面、設(shè)定容相同。項目容輸入圍單位備注CUTSLOWUP上刃上下移動的加速設(shè)定值1～99數(shù)值越小加·減速度越大YSLOWUP工作臺前后移動的加速設(shè)定值ΘSLOWU