開路不良改善報(bào)告

開路不良改善報(bào)告報(bào)告單位：HDI制造部

報(bào)告人：劉

劍

杰

報(bào)告日期：2014.12.11

一.團(tuán)隊(duì)組織

二.改善計(jì)畫三.現(xiàn)況把握

四.目標(biāo)設(shè)定五.改善措施

六.改善實(shí)施七.真因證實(shí)八.改善對(duì)策

九.效果追蹤十.標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告大綱一.團(tuán)隊(duì)組織制程楊鋼1.改善對(duì)策提出與執(zhí)行，技術(shù)支持2.生產(chǎn)參數(shù)改善及設(shè)計(jì)資料優(yōu)化3.改善效果追蹤與確認(rèn)4.標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)規(guī)格的制訂TeamLeader

劉劍杰李波林/魏健波線路1.數(shù)據(jù)收集與報(bào)告整理2.製作異常確認(rèn)與反饋3.改善對(duì)策執(zhí)行4.改善效果追蹤與確認(rèn)設(shè)備維護(hù)曾增鑫1.設(shè)備異常處理2.設(shè)備保養(yǎng)與維修3.設(shè)備改造呂俊偉1.設(shè)備及藥水、干膜特性評(píng)估，優(yōu)化生產(chǎn)參數(shù)整合二.改善計(jì)劃三.現(xiàn)況把握『1—5月份開路報(bào)廢推移圖』KeyMessage:1.從1—5月份開路報(bào)廢數(shù)據(jù)看，1月份開路報(bào)廢較少，2月份開始上升，5月份開路報(bào)廢有上升趨勢，開路報(bào)廢率達(dá)到2.23%2.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)為1—5月份，報(bào)廢數(shù)據(jù)來料MRB三.現(xiàn)況把握『全廠開路報(bào)廢分析』KeyMessage:1.開路報(bào)廢前三大分別為內(nèi)開、貼膜不良、曝光臟點(diǎn)，佔(zhàn)據(jù)開路不良的80.16%；2.以MRB的1—5月份開路報(bào)廢數(shù)據(jù)繪製，全廠線路開路報(bào)廢1.8998%三.現(xiàn)況把握『1—5月份開路報(bào)廢各不良項(xiàng)目推移圖』KeyMessage:1.從1—5月份開路報(bào)廢數(shù)據(jù)看，從1月份到5月份，貼膜、曝光臟點(diǎn)報(bào)廢上升最快，上升幅度分別為200%和530%，兩個(gè)不良項(xiàng)目報(bào)廢率上升0.92%，是開路不良上升的主要原因2.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)為1—5月份，報(bào)廢數(shù)據(jù)來源MRB三.現(xiàn)況把握『5月份線路內(nèi)開報(bào)廢BY料號(hào)』KeyMessage:從5月份開路報(bào)廢數(shù)據(jù)看，內(nèi)開前五大料號(hào)分別為H612VA11029、H208UA01196、H408VE02063、H104IA01229、H210VF052362.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)為5月份，報(bào)廢數(shù)據(jù)來源MRB三.現(xiàn)況把握『5月份線路曝光臟點(diǎn)報(bào)廢BY料號(hào)』KeyMessage:從5月份開路報(bào)廢數(shù)據(jù)看，內(nèi)開前五大料號(hào)分別為H612VA11029、H308VC32061、H210VF05236、H108VC32051、08UA011962.以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)為5月份，報(bào)廢數(shù)據(jù)來源MRB三.現(xiàn)況把握『5月份線路貼膜不良報(bào)廢BY料號(hào)』KeyMessage:從5月份開路報(bào)廢數(shù)據(jù)看，內(nèi)開前五大料號(hào)分別為H208UA01196、

H612VA11029、H408VE02063、H104IA01229、H210VF05236從開路三大報(bào)廢前五大料號(hào)看，內(nèi)開及貼膜不良五大料號(hào)完全一樣，曝光臟點(diǎn)H208UA01196、H612VA11029、H210VF05236這三大料號(hào)相同，新增H308VC32061、H108VC32051兩個(gè)料號(hào)，建議重點(diǎn)分析七大料號(hào)設(shè)計(jì)特性，確認(rèn)是否可從設(shè)計(jì)上改善以上數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)為5月份，報(bào)廢數(shù)據(jù)來源MRB掉PAD拐角處開路報(bào)廢並排線開路報(bào)廢貼膜不良三.現(xiàn)況把握『各種開路及開路高風(fēng)險(xiǎn)照片分類』蝕刻后刮傷干膜刮傷三.現(xiàn)況把握『各種開路及開路高風(fēng)險(xiǎn)照片分類』四.改善目標(biāo)KeyMessage:必達(dá)目標(biāo):改善幅度20%;挑戰(zhàn)目標(biāo):改善幅度40%改善數(shù)據(jù)以MRB報(bào)廢數(shù)據(jù)為準(zhǔn)五.改善措施前處理壓膜曝光DESAOI1.前處理保養(yǎng)週期變更，增加每週一次保養(yǎng)，主要對(duì)水洗槽、酸洗槽等槽體酸鹼洗，滾輪清潔，保養(yǎng)時(shí)間4小時(shí)/次

2.酸洗槽前進(jìn)板處實(shí)心滾輪改為葉片式滾輪，降低板面紮傷3.工程師將管制重點(diǎn)對(duì)前處理人員做教育訓(xùn)練，提升人員能力，減少板面異常41.壓膜滾輪清潔落實(shí)，每班滾輪點(diǎn)檢落實(shí)，粘塵紙更換落實(shí)2.保養(yǎng)動(dòng)作落實(shí)，每班固定保養(yǎng)45.鐘，工程師每班稽核3.針對(duì)保養(yǎng)死角制程負(fù)責(zé)對(duì)線路全員做教育訓(xùn)練，且不定時(shí)進(jìn)行稽核

1.臺(tái)面、A/W、底片框清潔動(dòng)作落實(shí)，粘塵紙更換落實(shí)

2.能量測試每班完成3.保養(yǎng)動(dòng)作落實(shí)，每班固定保養(yǎng)45.鐘，工程師每班稽核4.請(qǐng)保養(yǎng)組提供保養(yǎng)死角，并對(duì)曝光人員做保養(yǎng)教育訓(xùn)練，提升保養(yǎng)效果5.制定固定開路報(bào)廢標(biāo)準(zhǔn)提供到抽測掃描人員，避免報(bào)廢缺陷下放至AOI6.制程協(xié)助對(duì)無塵室所有粘塵機(jī)粘塵效果測試，將異常機(jī)臺(tái)匯總給工務(wù)維修，後續(xù)保養(yǎng)組每天測試7.針對(duì)現(xiàn)況分析中的良率差的七大料號(hào)，無塵室做重點(diǎn)管控1.針對(duì)不同干膜顯影速度按SOP作業(yè)，工程師不定時(shí)稽核2.收板及搬運(yùn)注意板面刮傷，06012等類似厚板改手動(dòng)收板1.每日統(tǒng)計(jì)AOI一次良率，將良率低於65%的知會(huì)到工程師，劉廠每日檢討原因2.每日品?；薃OI漏失數(shù)據(jù)，AOI工程師針對(duì)漏失進(jìn)行改善3.優(yōu)化AOI流程，降低漏失產(chǎn)生4.針對(duì)良率低的H208UA01196、H612VA11029、H408VE02063、H104IA01229、H210VF05236、H308VC32061、H108VC32051等幾大料號(hào)每天BYLOT分析良率六.對(duì)策實(shí)施—AOI漏失改善AOI課新流程OK退洗粘塵DES修板AOINGVRS補(bǔ)線檢修OK放置區(qū)檢修OK待補(bǔ)線待補(bǔ)線放置區(qū)異常板NGNGOKOKOKOK粘塵打報(bào)廢擦線OKOK待轉(zhuǎn)板放置區(qū)出貨對(duì)不能修的打報(bào)廢標(biāo)示現(xiàn)報(bào)廢標(biāo)示只準(zhǔn)打孔破,任何線路上的開短路VRS人員只能做修補(bǔ)標(biāo)示,不許打報(bào)廢！對(duì)不能補(bǔ)的打報(bào)廢標(biāo)示檢測對(duì)板子上的報(bào)廢標(biāo)示進(jìn)行確認(rèn),并對(duì)MRB判過的板子進(jìn)行抽檢！NGKeyMessage:變更后，VRS人員除孔破可判報(bào)廢外，其它報(bào)廢由補(bǔ)線及修補(bǔ)人員判定，并增加一崗位對(duì)報(bào)廢板做確認(rèn)，降低誤判及漏失六.對(duì)策實(shí)施—抽測品質(zhì)判定KeyMessage:制定抽測判定標(biāo)準(zhǔn)，降低人員誤判將報(bào)廢性質(zhì)的固定開路或缺口下放六.對(duì)策實(shí)施—前處理改善KeyMessage:前處理增加一次4小時(shí)周保養(yǎng)，提升板面清洗品質(zhì)，改善貼膜不良六.對(duì)策實(shí)施---粘塵機(jī)粘塵效果確認(rèn)KeyMessage:1.曝光機(jī)確認(rèn)時(shí)間為6月7日，壓膜機(jī)確認(rèn)時(shí)間為6月9日，6月9日下午設(shè)備維修后再次確認(rèn)已全部OK.驗(yàn)證方法:用鉛筆在裸銅板正反面並排畫上米字記號(hào)。然後經(jīng)過粘塵機(jī)，觀察粘塵紙卷上是否有黑色印跡，若有說明粘塵機(jī)有粘塵作用，反之則粘塵機(jī)粘塵效果失效.針對(duì)無塵室各粘塵機(jī)臺(tái)進(jìn)行確認(rèn)結(jié)果如下：有明顯黑色印跡---OK有輕微黑色印跡沒有黑色印跡---NG需設(shè)備調(diào)整六.對(duì)策實(shí)施---DES顯破點(diǎn)測試KeyMessage:1.經(jīng)對(duì)兩廠DES顯破點(diǎn)測試發(fā)現(xiàn)，在SOP規(guī)定的線速及噴壓下，顯破點(diǎn)都明顯提前了，易造成貼膜不良，制程已對(duì)顯破點(diǎn)做調(diào)整6月9日對(duì)A2&A3兩廠DES顯破點(diǎn)進(jìn)行確認(rèn)，結(jié)果如下：六.對(duì)策實(shí)施---粘塵機(jī)前端粘塵失效確認(rèn)KeyMessage:1.通過對(duì)比可知，經(jīng)過手動(dòng)將進(jìn)板前端粘塵一次的板子，曝光臟點(diǎn)及貼膜不良要比正常生產(chǎn)的板子少1.26%，不良下降24.8%驗(yàn)證方法:1.選取同一料號(hào)在同一機(jī)臺(tái)連續(xù)壓膜，同一機(jī)臺(tái)連續(xù)曝光，一批正常做，一批進(jìn)板前端用粘塵滾輪手動(dòng)粘塵一次，對(duì)比兩批板的曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù).驗(yàn)證1：AOI一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良對(duì)比及不良圖片六.對(duì)策實(shí)施---粘塵機(jī)前端粘塵失效確認(rèn)KeyMessage:1.經(jīng)過三次粘塵后發(fā)現(xiàn)第一次異物較多，在20個(gè)異物以上，調(diào)頭再粘后有7個(gè)點(diǎn)，第三次再粘有2個(gè)點(diǎn)，主要為膜屑、myalr絲、其它雜物，第二次及第三次粘塵異物主要分佈在粘塵紙的兩端驗(yàn)證方法:2.選一批板第一次正常過粘塵機(jī)，第二次調(diào)頭再過粘塵機(jī)，第三次正常過粘塵機(jī)，確認(rèn)三次過粘塵機(jī)后粘塵紙上的異物點(diǎn)數(shù)驗(yàn)證2：粘塵紙上異物數(shù)量對(duì)比：1無塵紙+酒精擦拭效果班保養(yǎng)后第一次換干膜第二次換干膜夾持滾輪切刀、刀槽保養(yǎng)后對(duì)比六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)換膜前後保養(yǎng)效果確認(rèn)無塵紙+酒精擦拭效果班保養(yǎng)后第一次換干膜驗(yàn)證方法:1.選擇一臺(tái)壓膜機(jī)在每次換膜時(shí)擦拭切刀及夾持滾輪對(duì)良率的影響1六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)換膜前後保養(yǎng)效果確認(rèn)4#壓膜機(jī)保養(yǎng)前後批次缺點(diǎn)數(shù)（曝光臟點(diǎn)+貼膜不良）狀況KeyMessage:1.從上數(shù)據(jù)看，離保養(yǎng)夾持滾輪及切刀時(shí)間越長，缺點(diǎn)越多，保養(yǎng)對(duì)良率影響較大1六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)換膜前後保養(yǎng)效果確認(rèn)壓膜機(jī)保養(yǎng)前後批次缺點(diǎn)數(shù)（曝光臟點(diǎn)+貼膜不良）狀況—BY料號(hào)對(duì)比1六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)換膜前後保養(yǎng)效果確認(rèn)壓膜機(jī)保養(yǎng)前後批次缺點(diǎn)數(shù)（曝光臟點(diǎn)+貼膜不良）狀況—BY料號(hào)對(duì)比KeyMessage:1.從上兩個(gè)料號(hào)保養(yǎng)前後開路缺點(diǎn)數(shù)對(duì)比，保養(yǎng)之後缺點(diǎn)數(shù)明顯減少，且缺點(diǎn)數(shù)隨壓板數(shù)量增加六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對(duì)壓膜機(jī)夾持滾輪檢查，發(fā)現(xiàn)2#、3#壓膜機(jī)夾持滾輪有破損現(xiàn)象，已通知設(shè)備更換.6月16日針對(duì)無塵室各壓膜機(jī)夾持滾輪進(jìn)行檢查結(jié)果如下：六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對(duì)壓膜機(jī)夾持滾輪檢查，發(fā)現(xiàn)2#、3#壓膜機(jī)夾持滾輪有破損現(xiàn)象，已通知設(shè)備更換.6月16日針對(duì)無塵室各壓膜機(jī)夾持滾輪進(jìn)行檢查結(jié)果如下：凹坑刮痕殘銅六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對(duì)曝光機(jī)下壓狀況進(jìn)行檢查，A2除2#、6#粘塵滾輪下壓異常外，其餘機(jī)臺(tái)OK，A3所有曝光機(jī)粘塵滾輪下壓正常，但11#曝光機(jī)進(jìn)板大於10CM下壓滾輪才下壓，6月17日下午會(huì)請(qǐng)?jiān)O(shè)備對(duì)所有粘塵機(jī)下壓狀況進(jìn)行調(diào)整6月16日針對(duì)無塵室各曝光機(jī)粘塵機(jī)粘進(jìn)板粘塵滾輪下壓狀況進(jìn)行檢查結(jié)果如下：A22#曝光機(jī)第二組滾輪下壓不一致A26#曝光機(jī)第二組滾輪下壓不一致線路無塵室粘塵機(jī)其餘曝光機(jī)下壓正常六.對(duì)策實(shí)施---壓膜機(jī)夾持滾輪檢查KeyMessage:1.6月16日對(duì)曝光機(jī)下壓狀況進(jìn)行檢查，A2除1#、2#壓膜機(jī)，3#曝光機(jī)的粘塵滾輪有破損外，其餘機(jī)臺(tái)OK,A3還未檢查，17日下午調(diào)整粘塵滾輪下壓時(shí)一并檢查，并請(qǐng)?jiān)O(shè)備備料對(duì)需更換的滾輪進(jìn)行更換6月16日針對(duì)無塵室各曝光機(jī)粘塵機(jī)粘粘塵滾輪狀況進(jìn)行檢查結(jié)果如下：3#曝光機(jī)粘塵滾輪破損嚴(yán)重1#壓膜機(jī)粘塵滾輪破損A2線路無塵室粘塵機(jī)粘塵滾輪2#壓膜機(jī)粘塵滾輪破損六.對(duì)策實(shí)施---設(shè)備整改匯總—A3六.對(duì)策實(shí)施---設(shè)備整改匯總—A2KeyMessage:1.截止到19日，設(shè)備已對(duì)粘塵機(jī)進(jìn)板下壓做調(diào)整，但粘塵滾輪破損現(xiàn)無庫存跟換，預(yù)計(jì)要到7月份才可以完成，壓膜機(jī)夾持滾輪破損的還有3臺(tái)機(jī)未更換，需到7月份才可完成，粘塵機(jī)下壓異常待設(shè)備維修六.對(duì)策實(shí)施---前處理待料對(duì)開路影響經(jīng)對(duì)前處理吸水海綿檢查發(fā)現(xiàn)，待料半小時(shí)以上吸水海綿就有發(fā)乾現(xiàn)象，用水?dāng)D壓無水流出，先針對(duì)待料后重新開機(jī)吸水海綿發(fā)干對(duì)良率的影響做確認(rèn)。方法：選取前處理各線在待料1小時(shí)后的料號(hào)批次，與同一料號(hào)同一層別在正常生產(chǎn)狀況下對(duì)比一次良率中，曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)：六.對(duì)策實(shí)施---藥水濃度及溫度對(duì)顯破點(diǎn)影響KeyMessage:1.從兩次測試看，顯影槽溫度對(duì)顯破點(diǎn)影響較大，顯影槽藥水濃度如在規(guī)格內(nèi)則對(duì)顯破點(diǎn)影響不大2.6月11日用溫度計(jì)測A3DES1#溫度發(fā)現(xiàn)，實(shí)測溫度與顯示溫度差異2—3度，而從實(shí)驗(yàn)看，顯影槽溫度對(duì)顯破點(diǎn)影響較大，後續(xù)要求每天用溫度計(jì)實(shí)測一次顯影槽溫度并與顯示溫度做對(duì)比，發(fā)現(xiàn)異常通知設(shè)備維護(hù)六.對(duì)策實(shí)施---前處理進(jìn)料異常KeyMessage:1.對(duì)內(nèi)層切片孔未切除板做前處理測試，發(fā)現(xiàn)正常走前處理去除不了氧化，且切片處易藏藥水，溶液對(duì)壓膜滾輪造成損傷2.後續(xù)進(jìn)料發(fā)現(xiàn)內(nèi)層切片孔未切除及鉚釘孔未鉆孔的一律退回前站處理，避免板面清洗不淨(jìng)及污染滾輪6月19日在前處理進(jìn)料發(fā)現(xiàn)，電鍍轉(zhuǎn)給線路的板子部份板內(nèi)層切片孔未切掉，氧化嚴(yán)重且藏有藥水，走前處理后無法去除。前處理來料發(fā)現(xiàn)內(nèi)層切片孔未切掉，銅面氧化嚴(yán)重，且有長長的淚痕走前處理5#后氧化未去除，且淚痕也去除不了切片處孔內(nèi)藏有藥水六.對(duì)策實(shí)施---前處理進(jìn)料異常KeyMessage:對(duì)前處理進(jìn)料異常，將異常現(xiàn)象給前處理進(jìn)料人員做教育訓(xùn)練，并嚴(yán)格卡關(guān)進(jìn)料品質(zhì)，避免板面不良對(duì)開路的影響6月19日在前處理進(jìn)料發(fā)現(xiàn)部份板存在內(nèi)層切片未切除，板面藥水殘留，板面凹陷等現(xiàn)象。七.真因證實(shí)---前處理待料對(duì)開路影響（A3)七.真因證實(shí)---前處理待料對(duì)開路影響（A3)KeyMessage:1.現(xiàn)對(duì)A3四條前處理待料前後良率做對(duì)比，發(fā)現(xiàn)待料后第一批板子的良率比正常生產(chǎn)時(shí)良率都要低，後續(xù)要求待料后需先潤濕吸水海綿再生產(chǎn)七.真因證實(shí)---前處理待料對(duì)開路影響（A2)KeyMessage:1.A2前處理測試待料后開線第一批板子玉正常生產(chǎn)板子良率對(duì)比發(fā)現(xiàn)，待料后的板子良率也是必正常生產(chǎn)的板子良率低，後續(xù)要求待料后需先潤濕吸水海綿再生產(chǎn)七.真因證實(shí)---前處理進(jìn)料異常KeyMessage:1.19日對(duì)所有曝光機(jī)內(nèi)壓力做測試，發(fā)現(xiàn)只有9#與10#曝光機(jī)是正壓，其它曝光機(jī)都是負(fù)壓，查9#與10#曝光機(jī)回風(fēng)墻有隔離，其它曝光機(jī)回風(fēng)墻都沒有做隔離區(qū)6月19日對(duì)無塵室曝光機(jī)內(nèi)壓力做測試，發(fā)現(xiàn)除9#與10#曝光機(jī)是正壓外，其它機(jī)臺(tái)都是負(fù)壓。9#&10#曝光機(jī)測試時(shí)貼條是往機(jī)臺(tái)外吹的，標(biāo)示機(jī)臺(tái)內(nèi)壓力大於無塵室壓力，機(jī)臺(tái)內(nèi)是正壓其它曝光機(jī)測試時(shí)貼條是往機(jī)臺(tái)內(nèi)吹的，標(biāo)示機(jī)臺(tái)內(nèi)壓力小於無塵室壓力，機(jī)臺(tái)內(nèi)是負(fù)壓，空氣中的灰塵易飛往機(jī)臺(tái)內(nèi)七.真因證實(shí)---回風(fēng)墻封閉效果確認(rèn)KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為5月25日—6月10日半個(gè)月各曝光機(jī)臺(tái)生產(chǎn)C32061內(nèi)三一次良率對(duì)比2.從上圖看，回風(fēng)墻封閉的兩臺(tái)機(jī)9#&10#一次良率要比其他機(jī)臺(tái)要好，8#良率最差（以上數(shù)據(jù)存在不同人員操作機(jī)臺(tái)誤差）七.真因證實(shí)---回風(fēng)墻封閉效果確認(rèn)KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為5月25日—6月10日半個(gè)月各曝光機(jī)臺(tái)生產(chǎn)C29117內(nèi)三一次良率對(duì)比2.從上圖看，回風(fēng)墻封閉的兩臺(tái)機(jī)9#&10#一次良率要比其他機(jī)臺(tái)要好一點(diǎn)，8#機(jī)良率最差（以上數(shù)據(jù)存在不同人員操作機(jī)臺(tái)誤差）七.真因證實(shí)---換膜后對(duì)壓膜機(jī)做保養(yǎng)效果確認(rèn)KeyMessage:1.上圖為F03516內(nèi)二壓膜后對(duì)壓膜機(jī)保養(yǎng)與不保養(yǎng)的一次良率對(duì)比2.從上表看，換膜后對(duì)壓膜機(jī)保養(yǎng)，曝光臟點(diǎn)及貼膜不良異常有較大下降，保養(yǎng)后不良點(diǎn)下降幅度50%七.真因證實(shí)---換膜后對(duì)壓膜機(jī)做保養(yǎng)效果確認(rèn)KeyMessage:1.上圖為E02056外層壓膜后對(duì)壓膜機(jī)保養(yǎng)與不保養(yǎng)的一次良率對(duì)比2.從上表看，換膜后對(duì)壓膜機(jī)保養(yǎng)，曝光臟點(diǎn)及貼膜不良異常有較大下降七.真因證實(shí)---C32051內(nèi)二LDI與ORC曝光良率對(duì)比KeyMessage:1.C32051內(nèi)二改LDI曝光后，曝光臟點(diǎn)及貼膜不良下降明顯，改LDI曝光后生產(chǎn)3批平均每批報(bào)廢4個(gè)，ORC曝光平均每批有36個(gè)報(bào)廢2.以上數(shù)據(jù)來自IPQC單X報(bào)廢七.真因證實(shí)---顯影速度對(duì)良率的影響KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為A2線路1738干膜在不同顯影速度下曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)一次良率對(duì)比狀況2.從數(shù)據(jù)看，1738干膜顯影速度4.5m/min比4.0m/min良率要好建議後續(xù)1738干膜顯影速度改為4.5m/min七.真因證實(shí)---前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)破損對(duì)良率的影響KeyMessage:1.上圖為A3線路前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)使用情況，6月20日檢查發(fā)現(xiàn)燒焦后更換新的，但使用兩天后又有輕微燒焦，且燒焦部位有粘性前處理乾燥段過濾網(wǎng)破損更換新過濾網(wǎng)兩天后又有燒焦現(xiàn)象七.真因證實(shí)---前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)破損對(duì)良率的影響KeyMessage:1.上圖為A3線路前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)更換前後C29123外層一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)對(duì)比，更換前平均每批22個(gè)不良點(diǎn)，更換后平均每批13個(gè)不良點(diǎn)，更換后不良點(diǎn)數(shù)下降幅度45%第1批第2批第3批第4批第5批第6批第7批第8批第9批第10批七.真因證實(shí)---前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)破損對(duì)良率的影響KeyMessage:1.上圖為A3線路前處理1#烘乾段過濾網(wǎng)更換前後C29117外層一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)對(duì)比，更換前平均每批20個(gè)不良點(diǎn)，更換后平均每批9個(gè)不良點(diǎn)，更換后不良點(diǎn)數(shù)有下降2.前處理1#需設(shè)備改善，以免烘乾段過濾網(wǎng)經(jīng)常被燒壞，改善前每天點(diǎn)檢一次過濾網(wǎng)破損狀況第1批第2批第3批第4批第5批第6批七.真因證實(shí)---ORC曝光臺(tái)保養(yǎng)前後良率對(duì)比KeyMessage:1.6月23日對(duì)ORC曝光機(jī)曝光平臺(tái)檢查，發(fā)現(xiàn)平臺(tái)周邊都很多灰塵，已保養(yǎng)組確認(rèn)很長時(shí)間未拆開后蓋對(duì)曝光臺(tái)進(jìn)行保養(yǎng)，6月24日—25日保養(yǎng)組集中人力對(duì)ORC曝光臺(tái)進(jìn)行全面保養(yǎng)，已降低平臺(tái)灰塵對(duì)曝光品質(zhì)的影響七.真因證實(shí)---ORC曝光臺(tái)保養(yǎng)前後良率對(duì)比KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為ORC曝光機(jī)曝光臺(tái)保養(yǎng)前後一次良率中曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)對(duì)比，從數(shù)據(jù)中看，保養(yǎng)后一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)有下降趨勢，後續(xù)再多跟進(jìn)生產(chǎn)批次，確認(rèn)保養(yǎng)效果七.真因證實(shí)---ORC曝光臺(tái)保養(yǎng)前後良率對(duì)比KeyMessage:1.以上數(shù)據(jù)為ORC曝光機(jī)曝光臺(tái)保養(yǎng)前後一次良率中曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)對(duì)比，從數(shù)據(jù)中看，保養(yǎng)后一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良數(shù)有下降趨勢2.因保養(yǎng)后生產(chǎn)時(shí)間不足，AOI一次良率出來的數(shù)據(jù)只有F03530批次較多，後續(xù)再多跟進(jìn)生產(chǎn)批次，確認(rèn)其它料號(hào)的良率狀況八.效果確認(rèn)---DES各段速度測試匯總7月1日測試后設(shè)備已對(duì)實(shí)際值與顯示值差異較大的設(shè)備做調(diào)整，現(xiàn)已全部OK八.效果確認(rèn)---設(shè)備整改結(jié)果匯總以上為7月3日A2新增設(shè)備問題，7月5日將6#曝光機(jī)滾輪變形維修OK，其它還未維修八.效果確認(rèn)---設(shè)備整改結(jié)果匯總1.上表為7月份對(duì)干膜蓋孔能力測試后根據(jù)封孔狀況定義的干膜使用規(guī)則2.0704周對(duì)1333干膜蓋孔能力測試，孔徑大於3.5mm時(shí)1333干膜則會(huì)出現(xiàn)孔破，附件為1333干膜蓋孔能力測試報(bào)告八.效果確認(rèn)---設(shè)備整改結(jié)果匯總曝光機(jī)冷風(fēng)管過濾網(wǎng)原定7月30日完成更換，現(xiàn)配件請(qǐng)購中，未完成，壓膜機(jī)過濾器原定7月30日完成更換，現(xiàn)配件請(qǐng)購中，未完成八.效果確認(rèn)—蝕刻壓力變更對(duì)貼膜不良的影響1.上圖為蝕刻壓力從2.3kg/cm2變更為1.2kg/cm2對(duì)A01196貼膜不良對(duì)比2.從數(shù)據(jù)看，蝕刻壓力變更后，A01196貼膜不良比率下降幅度較大，下降幅度為70%KEY:1.全檢壓膜后板子150pnl，其中6pnl有膜下異物；2.全檢60pnl有5個(gè)板面凹陷2.膜下異物已做切片，待分析層別是微蝕前還是微蝕后膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物膜下異物KEY:切片分析異物位於VCP銅層之上，為壓膜時(shí)膜屑反粘造成

異物平面圖切片圖切片圖切片圖切片圖KEY:前處理烘乾段風(fēng)刀管道拆下確認(rèn)管道內(nèi)壁附有黑色異物，部份已脫落，易導(dǎo)致膜下異物

烘乾段風(fēng)刀管道確認(rèn)KEY:在前處理烘乾段空氣過濾器內(nèi)新覆蓋增加過濾網(wǎng)，機(jī)臺(tái)正常運(yùn)轉(zhuǎn)下確認(rèn)是否有異物從此處進(jìn)入機(jī)臺(tái)內(nèi)。

前處理烘乾段空氣過濾器改裝前改裝后++KEY:加裝濾網(wǎng)后一段時(shí)間拿UV燈照射濾網(wǎng)及過濾器內(nèi)、外處均有異物。

濾網(wǎng)效果確認(rèn)1壓膜不良確認(rèn)項(xiàng)匯總項(xiàng)目問題點(diǎn)確認(rèn)人備註1.來料板面異物或膜屑導(dǎo)致開短路：全檢壓膜后板子150pnl，其中6pnl有膜下異物呂俊偉2.板面凹陷，刮傷，導(dǎo)致貼膜不良：全檢11029料號(hào)60pnl有5各點(diǎn)呂俊偉

3.預(yù)熱機(jī)滾輪破損孟強(qiáng)4.壓膜機(jī)夾持滾輪破損孟強(qiáng)5.壓膜機(jī)後蓋破損，不能有效隔絕外部環(huán)境孟強(qiáng)6.板子預(yù)熱后溫度不足，業(yè)界干膜管控50-55度：每天由工程師測試預(yù)熱后板面溫度孟強(qiáng)

7.粘塵機(jī)除靜電裝置是否有效需確認(rèn)：待找到靜電測試儀后測試孟強(qiáng)8.前處理烘乾風(fēng)刀管道異物：目前前處理1#線拆下確認(rèn)管道有大量黑色異物呂俊偉

八.效果確認(rèn)—AOI漏失改善KeyMessage:1.附件為AOI漏失改善報(bào)告33週工作事項(xiàng)序號(hào)內(nèi)容完成時(shí)間1統(tǒng)計(jì)其它廠商使用設(shè)備及藥水8月12日2A2線路1#&2#壓膜機(jī)簡易封閉裝置8月13日3A2前處理2#自動(dòng)噴水裝置8月14日4A3線路無塵室回風(fēng)牆封閉效果確認(rèn)8月13日52線路前處理變形吸水海綿滾輪軸心更換8月15日其它廠商使用設(shè)備及藥水廠家項(xiàng)目前處理壓膜機(jī)華通設(shè)備臺(tái)化至勝藥水清英超粗化

方正設(shè)備臺(tái)化伯東藥水外層sps+金剛砂（內(nèi)層超粗化）

聯(lián)能設(shè)備臺(tái)化伯東藥水中粗化&超粗化

深南設(shè)備宇宙思沃藥水超粗化（美格）

美維設(shè)備

藥水中粗化&超粗化（板明）

A2線路1#&2#壓膜機(jī)簡易封閉裝置A2線路1#&2#壓膜機(jī)簡易封閉裝置A2前處理2#自動(dòng)噴水裝置前處理省水省電模式下待料,傳動(dòng)停止.重新生產(chǎn)後吸水海綿滾輪噴灑15秒.改善前（人員手動(dòng)添加，存在漏加風(fēng)險(xiǎn)）改善后（待料后開線自動(dòng)添加15sec）A2前處理2#自動(dòng)噴水裝置A3線路無塵室回風(fēng)牆封閉效果確認(rèn)1.8月11日—15日將無塵室回風(fēng)墻做封閉改善，降低曝光臟點(diǎn)。2.上圖是7月6日—19日（改善前）03530內(nèi)一良率與8月17日—20日（改善后）11#ORC曝光機(jī)一次良率對(duì)比3.從上圖看，改善前03530內(nèi)一曝光臟點(diǎn)及貼膜不良平均28個(gè)/批，改善后曝光臟點(diǎn)及貼膜不良16個(gè)/批，下降幅度43%34週工作事項(xiàng)序號(hào)內(nèi)容完成時(shí)間1加大研磨機(jī)刷磨量由0.05mm加大至0.08mm8月26日2加大前處理微蝕量由0.7um加大至1.0um8月27日3靜電測試8月29日4SPS槽提升Cu2+濃度8月30日SPS槽提升Cu2+濃度Spec:Cu2+<=50g/l35週工作事項(xiàng)序號(hào)內(nèi)容完成時(shí)間效果確認(rèn)1加大研磨機(jī)刷磨量由0.05mm加大至0.08mm8月28日9月10日2加大前處理微蝕量由0.7um加大至1.0um8月29日9月11日3靜電測試9月3日

4內(nèi)一中粗化測試9月3日

5A2線路3#&4#壓膜機(jī)簡易封閉裝置9月2日9月11日A2線路3#&4#壓膜機(jī)簡易封閉裝置靜電測試流程前處理貼膜比對(duì)項(xiàng)次/項(xiàng)目烘乾后貼膜前收板機(jī)分板機(jī)貼膜前暫存機(jī)粘塵機(jī)粘塵前粘塵后預(yù)熱前預(yù)熱后貼膜前PE膜與干膜分離處貼膜后翻板機(jī)翻板前翻板機(jī)翻板后收板機(jī)DES3#7107220042-150000264#110-202-500001#1343-30-300000012#-2-1000-40000內(nèi)一中粗化測試微蝕量由0.7um加大至1.0um微蝕量由0.7um加大至1.0um(E02081內(nèi)一)0.7um:內(nèi)二一次良率曝光臟點(diǎn)1.18%,貼膜不良0.47%,1.0um:內(nèi)二一次良率曝光臟點(diǎn)0.76%,貼膜不良0.67%,內(nèi)一中粗化測試37週工作事項(xiàng)序號(hào)內(nèi)容完成時(shí)間效果確認(rèn)1內(nèi)一中粗化測試9月10日9月15日2烘乾段後異物分析9月15日

3A21#烘乾段清潔9月10日9月15日內(nèi)一中粗化測試鼓風(fēng)馬達(dá)出風(fēng)管道分接管吹乾進(jìn)風(fēng)管熱風(fēng)生成機(jī)管道烘乾進(jìn)風(fēng)管烘乾風(fēng)刀冷風(fēng)風(fēng)刀吹乾段進(jìn)風(fēng)彎管Keymessage：1.烘乾進(jìn)風(fēng)管及熱風(fēng)生成機(jī)風(fēng)管先使用清水沖洗.然後使用軸承和酒精布清潔內(nèi)壁.最後再用水沖洗.2.生產(chǎn)前空轉(zhuǎn)5min確保管道無殘留水份A21#烘乾段清潔烘乾段後異物分析建議事項(xiàng)進(jìn)度壓膜機(jī)1#切刀使用9.3萬次時(shí)膜屑異常壓膜氣泡切刀缺口掉屑，且保養(yǎng)不乾淨(jìng)Key:壓膜氣泡主要為壓膜滾輪上膜屑導(dǎo)致

另諮詢?nèi)樟耗C(jī)廠商切刀壽命，新刀建議10萬次，研磨刀5萬次（最多只能研磨4次），而廠內(nèi)新舊刀只定義10萬次，未定義研磨次數(shù)10/8日1#壓膜機(jī)更換新刀，使用一天狀況OK，無膜屑?jí)耗C(jī)2#3#4#機(jī)臺(tái)檢查結(jié)果Key:目前2#3#4#機(jī)臺(tái)最長壽命7.6萬次，檢查均無膜屑AOI掃描一次不良假點(diǎn)數(shù)跟進(jìn)對(duì)比（E02087L4/L7）Key：保養(yǎng)后掃描lot6不良點(diǎn)1117點(diǎn)，假點(diǎn)數(shù)1064點(diǎn)

製作1900pnl后掃描lot3不良點(diǎn)578點(diǎn)，假點(diǎn)數(shù)531點(diǎn)前處理4#烘乾溫度改善前後曝光臟點(diǎn)和貼膜不良對(duì)比Keymessage：1.烘乾溫度改善前曝光臟點(diǎn)和貼膜不良平均不良率為1.42%，改善后為1.2%，下降0.22%，下降幅度15%

A3線路無塵室回風(fēng)牆封閉效果確認(rèn)1.8月11日—15日將無塵室回風(fēng)墻做封閉改善，降低曝光臟點(diǎn)。2.上圖是7月6日—19日（改善前）03530內(nèi)一良率與8月17日—20日（改善后）11#ORC曝光機(jī)一次良率對(duì)比3.從上圖看，改善前03530內(nèi)一曝光臟點(diǎn)及貼膜不良平均28個(gè)/批，改善后曝光臟點(diǎn)及貼膜不良16個(gè)/批，下降幅度43%1硬度計(jì)測試結(jié)果1壓痕測試結(jié)果1壓痕測試結(jié)果1夾持滾輪3.目前廠內(nèi)因材質(zhì)異常需更換的夾持滾輪共29根,10/21A3更換5根

1.材質(zhì)異常夾持滾輪酒精檫拭後無粘性,生產(chǎn)過程中溫下無粘性2.透明發(fā)光夾持滾輪酒精檫拭後粘性強(qiáng),生產(chǎn)過程中溫下弱粘性1壓痕測試結(jié)果1壓痕測試結(jié)果1本週工作1.材質(zhì)異常夾持滾輪更換進(jìn)度2.幹膜型號(hào),尺寸統(tǒng)一(目前樣品使用較多1738,量產(chǎn)如C29131,C29152等1738幹膜測試;尺寸方面外層,內(nèi)二幹膜尺寸選擇)3.壓膜滾輪新材質(zhì)協(xié)助設(shè)備測試4.A3線路前處理生產(chǎn)習(xí)慣更改,由壓膜機(jī)的干膜型號(hào)決定前處理生產(chǎn)料號(hào)改為前處理生產(chǎn)料號(hào)通知壓膜手架什麼膜,前處理收集720PNL集中生產(chǎn)1壓痕測試結(jié)果1硬度計(jì)測試結(jié)果1壓膜一次與二次良率對(duì)比1.測試方法：選用A01196L3/6層120Pnl和C29138L2/7層40pnl,每個(gè)料號(hào)一半壓膜採用正常壓膜參數(shù)壓膜一次，另一半正常參數(shù)壓膜一次后，壓膜壓力、速度、溫度等參數(shù)不改變的情況下再空壓一次2.測試結(jié)果：壓膜一次的兩個(gè)料號(hào)一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良總數(shù)93個(gè)strip,壓膜二次一次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良總數(shù)28個(gè)strip，壓膜二次的不良數(shù)比壓膜一次的少65strip,不良率下降70%壓膜一次的二次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良報(bào)廢11個(gè)strip,壓膜二次二次良率曝光臟點(diǎn)及貼膜不良報(bào)廢6個(gè)strip，壓膜二次報(bào)廢數(shù)比壓膜一次的少4strip，報(bào)廢率下降40%

1ORC曝光機(jī)底片清潔刷異常1.查底片清潔刷，每曝光清潔20pnl清潔一次，清潔頻率正常，但清潔範(fàn)圍有異常，每次清潔時(shí)從上圖1開始清潔，清潔毛刷走到2那個(gè)位置就停止清潔了，從2到3這一段底片沒有清潔，大於占底片長度的三分之一未清潔到，此異常已向設(shè)備反饋，因需要廠商進(jìn)廠調(diào)整，現(xiàn)暫未進(jìn)行調(diào)整底片框123毛刷未清潔區(qū)域毛刷清潔OK區(qū)域1同一批板壓膜前後順序良率對(duì)比1.測試方法：選用E01513外層120Pnl按正常參數(shù)壓膜，在板子上按壓膜順序編號(hào)（1—120），將這批板子分成四份，每份30pnl，1-30pnl為第一批，31-60pnl為第二批，61-90pnl為第三批，91-120pnl為第四批，對(duì)比這四批板子良率，確認(rèn)壓膜前後順序?qū)α悸实挠绊?.測試結(jié)果：從一次良率看，前30pnl良率最差，貼膜不良&曝光臟點(diǎn)有6個(gè)不良點(diǎn)，后90pnl良率差異不大，第二批1個(gè)，第三、四批各2個(gè)從二次良率看，前30pnl貼膜不良&曝光臟點(diǎn)報(bào)廢1個(gè)，后三批無報(bào)廢

1A3線路各壓膜機(jī)二次良率對(duì)比1.數(shù)據(jù)來源：11月9日—11月12日1#--7#壓膜機(jī)所生產(chǎn)料號(hào)二次良率中曝光臟點(diǎn)&貼膜不良報(bào)廢率2.從數(shù)據(jù)看，7#壓膜機(jī)良率最差，貼膜不良&曝光臟點(diǎn)報(bào)廢率5.75%，2#報(bào)廢率4.35%，3#&4#連線報(bào)廢率3.13%，1#報(bào)廢率3.08%，5#&6#報(bào)廢率1.74%3.其中2#、7#為前處理與壓膜機(jī)未連線機(jī)臺(tái)，其它壓膜機(jī)都為前處理與壓膜機(jī)連線機(jī)臺(tái)前處理烘乾段1前處理4#參數(shù)修改后良率對(duì)比前處理4#11月15日修改參數(shù)：1.速度從3.5m/min改為3.0m/min2.烘乾溫度從80℃改為90℃從修改前後良率看，修改后良率有明顯提升，曝光臟點(diǎn)報(bào)廢從0.6%下降到0.3%，下降幅度50%，貼膜不良報(bào)廢從0.49%下降到0.19%，下降幅度61%1前處理4#參數(shù)修改后良率對(duì)比前處理4#11月15日修改參數(shù)：1.速度從3.5m/min改為3.0m/min2.烘乾溫度從80℃改為90℃從修改前後前處理每日產(chǎn)出看，修改前平均每天3182pnl,修改后3513pnl，修改前後產(chǎn)出影響不大，可滿足現(xiàn)有產(chǎn)量生產(chǎn)1壓膜一次與二次良率對(duì)比1.測試方法：將一批板子正常壓膜，壓完后將一半板子挑出再空壓一次，對(duì)比不同壓膜參數(shù)貼膜不良&曝光臟點(diǎn)不良數(shù)量2.測試結(jié)果：

11月27日—12月3日再測試三批板，現(xiàn)已測試10批，從測試結(jié)果看一次壓膜兩批板一次良率貼面不良&曝光臟點(diǎn)平均23strip/lot,二次壓膜平均不良6.7strip/lot，一次不良下降幅度71%，一次壓膜二次良率報(bào)廢平均6.4strip/lot,二次壓膜報(bào)廢平均2.1strip/lot，報(bào)廢率下降67%

1AOI改善措施八.效果確認(rèn)—MRB開路報(bào)廢推移圖KeyMessage:從MRB數(shù)據(jù)看，開路報(bào)廢從5月份開始增加，5月份報(bào)廢率2.51%，6月整體報(bào)廢3.29%，7月份整體報(bào)廢率2.21%，比6月份下降32.8%，8月份報(bào)廢率1.5%，比7月份下降32%9月份MRB開路報(bào)廢1.49%，比8月份下降0.6%10月份重新定義新的改善目標(biāo)為0.9%10月份報(bào)廢率1.26%，比9月份下降15.4%，11月份截止到11月27日?qǐng)?bào)廢率1.39%，比10月份上升10%12月份截止到12月10日?qǐng)?bào)廢率1.06%，1449周報(bào)廢率1.07%，1450周前6天報(bào)廢率1.23%八.效果確認(rèn)—A2MRB&IPQC單X開路報(bào)廢推移圖八.效果確認(rèn)—A3MRB&IPQC單X開路報(bào)廢推移圖1VRS后墊膠片改善前後良率對(duì)比1.數(shù)據(jù)選擇：從FA分析看，內(nèi)開報(bào)廢都是L2/7異常，VRS墊膠片改善從11月25日

開始，現(xiàn)選擇改善前11075L2/7層生產(chǎn)10批及改善后生產(chǎn)10批，對(duì)比棕化前刮傷造成的內(nèi)開報(bào)廢數(shù)2.對(duì)比結(jié)果：從上圖看，改善前平均每批棕化前刮傷報(bào)廢63strip,改善后平均每批棕化前刮傷報(bào)廢21strip，改善幅度66.7%1VRS后墊膠片改善前後良率對(duì)比1.測試方式，選擇11075L2/7層在VRS檢修后待轉(zhuǎn)棕化前，選擇兩批板子重掃AOI，確認(rèn)VRS后刮傷數(shù)據(jù)2