氙氣 編制說明

2（一）任務(wù)來源和制定背景1.2022年標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)復(fù)審結(jié)論為修訂根據(jù)國標(biāo)委發(fā)〔2022〕10號文——《國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會關(guān)于開展推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)復(fù)審工作的通知》，國標(biāo)委下達了16項氣體標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)審項目，全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會（以下簡稱“氣標(biāo)委”）秘書處高度重視，為了國家經(jīng)濟、社會發(fā)展的需要，秘2022年2月，氣標(biāo)委秘書處首先對復(fù)審標(biāo)準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)基本信息、標(biāo)準(zhǔn)的時效性、標(biāo)準(zhǔn)的協(xié)調(diào)性的相關(guān)信息進行查詢。2022年3月01日起，秘書處就32項復(fù)審的項目，在生產(chǎn)及應(yīng)用單位等相關(guān)方范圍內(nèi)就標(biāo)準(zhǔn)的實施效果進行了調(diào)研，收集了相關(guān)單位的意見并匯總形成了初步的標(biāo)準(zhǔn)復(fù)展了評估，并對初步的復(fù)審意見進行了討論，最終形成了標(biāo)準(zhǔn)的復(fù)審結(jié)論建議。2022年4月26日，秘書處通過“全國專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會工作平臺”對復(fù)審結(jié)論發(fā)起了氣標(biāo)委全體委員參與的電子投票本次投票應(yīng)投票委員為97人，實際投票人為80人～89人，贊成率為99%～100%（具體的投票情況詳見附件2根據(jù)《全國專業(yè)標(biāo)委員會管理辦法》的規(guī)定，秘書處提出的復(fù)審結(jié)論建議通過全體委員的審議。2022年5月氣標(biāo)委秘書處向國標(biāo)委提交復(fù)審結(jié)論。報了修訂計劃，秘書處對其余的18項標(biāo)準(zhǔn)開展了修訂草案的預(yù)研工作，開展相關(guān)的驗證試驗，并根據(jù)驗證結(jié)果，編寫了標(biāo)準(zhǔn)草案和項目申報書。2.標(biāo)準(zhǔn)修訂計劃申報2023年11月27日秘書處將《氙氣》國家標(biāo)準(zhǔn)草案稿上傳委員工作平臺提交全體3委員進行投票，本次投票應(yīng)投票委員為97人，實際投票人為91人，其中投贊成票913.修訂計劃下達2023年12月28日，國標(biāo)委發(fā)文“國標(biāo)委發(fā)[202員會關(guān)于下達2023年國家標(biāo)準(zhǔn)復(fù)審修訂計劃的通知》，正式下達GB/T5828-2006《氙（二）起草過程員會秘書處在浙江衢州召開國家標(biāo)準(zhǔn)制修訂預(yù)研會議，會上各位參會代表以用戶實際需求為導(dǎo)向，對標(biāo)準(zhǔn)草案技術(shù)指標(biāo)及對應(yīng)分析方法的修訂內(nèi)容進行了詳細而充分地討論，確定了標(biāo)準(zhǔn)編制工作組各成員單位的職責(zé)、任務(wù)，并制定了工作計劃。2.標(biāo)準(zhǔn)起草工作的成立日，氣標(biāo)委行文“〔2024〕委字第02號”——《的通知》，向氣標(biāo)委總會及分會、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會、全社會征集本標(biāo)準(zhǔn)等22項國家標(biāo)準(zhǔn)草案稿的修訂意見及標(biāo)準(zhǔn)起草單位。為保證標(biāo)準(zhǔn)制定工作的順利進行，氣標(biāo)委秘書處成功組建了標(biāo)準(zhǔn)起草工作組，并明確了各起草單位承擔(dān)的工作（詳見附件A）。的修訂，標(biāo)準(zhǔn)起草工作組提出了對表B.1中各條修改意見的處理4對和修改。2024年2月29日氣標(biāo)委秘書處將本標(biāo)準(zhǔn)的征求意見稿、編制說明上傳家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會網(wǎng)站、全國氣體標(biāo)準(zhǔn)化網(wǎng)站，面向氣標(biāo)委全體委員、全社會廣泛征二、國家標(biāo)準(zhǔn)編制原則、主要內(nèi)容及其確定依據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T5828-2006《氙氣》，與GB/T5828-2006相比，除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外，主要技術(shù)變化如下：——更改了范圍（見第1章，GB/T5828—2008的第1章）；——更改了技術(shù)要求（見第4章，GB/T5828—2006的第3章）；）；——更改了氙氣純度的計算方法（見6.1，GB/T5828—2006的4.2）；——更改了氫氣、氟化物的檢驗規(guī)則（見第6.2，GB/T5828—2006的4.4）；——更改了一氧化碳、二氧化碳、甲烷的檢驗規(guī)則（見6.2，GB/T5828—2006的4.5）；——增加了非甲烷烴類的檢驗規(guī)則（見6.3）；——增加了水分含量測定的光腔衰蕩光譜法（見6.4，GB/T5828—2006的4.1）——增加了尾氣處理要求（見6.5）；——增加了檢驗規(guī)則的要求（見第7章）；——增加了標(biāo)簽要求（見8.2）；——增加了隨行文件要求（見8.3）；——更改了包裝、充裝、運輸、貯存的規(guī)定（見第9章，GB/T5828—2006的第5）；——增加了安全信息（見第10章）；——更改了附錄A（見附錄A）——增加了附錄B（見附錄B）（三）標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿與草案稿相比，主要變化5更改了標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍，將“氣態(tài)氙氣”改為“純氙和高純氙”。2.規(guī)范性引用文件根據(jù)第3章及以后的規(guī)范性引用文件的情況，增加以下24個規(guī)范性引用文件：——GB/T150（所有部分）壓力容器；——GB/T191包裝儲運圖示標(biāo)志；——GB/T4946氣相色譜法術(shù)語——GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法——GB/T5832.4氣體分析微量水分含量的測定第4部分：石英晶體震蕩法——GB/T6285氣體中微量氧的測定電化學(xué)法——GB/T6388運輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志——GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定——GB/T16084氣瓶警示標(biāo)簽——GB24159焊接絕熱氣瓶——GB/T27550氣瓶充裝站安全技術(shù)條件——GB/T28054鋼質(zhì)無縫氣瓶集束裝置——GB/T28726氣體分析氧離子化氣相色譜法——GB/T30685氣瓶直立道路運輸技術(shù)要求——GB/T33360氣體分析痕量分析用氣體純化技術(shù)導(dǎo)則——GB/T34525氣瓶搬運、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定——GB/T37180氣體分析校準(zhǔn)用純氣和混合氣體的使用指南——GB/T37182氣體分析等離子發(fā)射氣相色譜法——GB/T38521氣體分析純度分析和純度數(shù)據(jù)的處理——GB/T38677氣體分析測量過程及結(jié)果校準(zhǔn)技術(shù)要求——GB/T43306氣體分析采樣導(dǎo)則——JB/T6898低溫液體貯運設(shè)備使用安全規(guī)則——TSGR0005移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程修訂以下3個規(guī)范性引用文件的名稱：“GB14194永久氣體氣瓶充裝規(guī)定”修訂為：“GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定”6“GB16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定”修訂為：“GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序”“GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”修訂為：GB16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”“氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程”修訂為：“TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程”刪除以下5個規(guī)范性引用文件：——GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則——GB/T8981氣體中微量氫的測定氣相色譜法——GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定——GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程——HG/T2686惰性氣體中微量氫、氧、甲烷、一氧化碳的測定氧化鋯氣相色譜法3.術(shù)語和定義修改為“GB/T4946、GB/T14850界定的術(shù)語和定義適用于本文件?！?.技術(shù)要求修改部分技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容，如設(shè)置高純氙合格品5N，一等品5.5N，優(yōu)等品6N三個檔次標(biāo)準(zhǔn)；增加SF6的指標(biāo)；增加對于總雜質(zhì)含量的指標(biāo)要求以及拆分氟化物高純氙純氙優(yōu)等品一等品合格品一等品合格品氙氣（Xe）純度(摩爾分數(shù))/10-2≥99.9999≥99.9995≥99.999≥99.995≥99.99氮(N2)含量(摩爾分數(shù))/10-6（氧氣（O2）+氬（Ar））含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.15氫（H2）含量(摩爾分數(shù))/10-6一氧化碳(CO)含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.4二氧化碳(CO2)含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.8甲烷含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.8水分(H2O)含量(摩爾分數(shù))/10-67氪氣（Kr）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05六氟化硫（SF6）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.03——————六氟乙烷（C2F6）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.03——————四氟化碳（CF4）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.04——————非甲烷烴類含量(摩爾分數(shù))/10-6————————雜質(zhì)總含量(摩爾分數(shù))/10-6≤100（1）刪除了“組批”和“抽樣”兩條。6.試驗方法（1）標(biāo)題“液態(tài)氙”改為“氙氣”（2）6.2中增加氫氣、甲烷、一氧化碳、二氧化碳的檢測方法，即將標(biāo)題“氮氣、（氧氣+氬氣）...”改為“6.2氫氣、氮氣、氧氣+氬氣、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氪氣、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測定”。（3）在6.2.1測定方法中增加“允許采用GB/T37182或其它等效方法”的字樣。（4）水分含量測定內(nèi)容由“按GB/T5832.2或GB/T5832.3或GB/T5832.4的規(guī)定執(zhí)行。允許采用其它等效方法，當(dāng)測定結(jié)果有異議時，以GB/T5832.2規(guī)定的方法為仲裁方法?！备臑椤鞍碐B/T5832.1、GB/T5832.2或GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y定氙氣中水分含量。如對測定結(jié)果有異議時，當(dāng)水含量在0.5ppm以上時，以GB/T5823.2為仲裁方法；當(dāng)水含量在0.5ppm及0.5823.3為仲裁方法?！?.檢驗規(guī)則（1）刪除瓶裝、氣瓶集束裝置裝、長管拖車裝、大容積無縫鋼瓶裝的氙以及管道輸送的氙氣的檢驗規(guī)則，改為“氙氣產(chǎn)品應(yīng)逐一檢驗并驗收。當(dāng)檢驗結(jié)果均符合表1的技術(shù)要求時，判該產(chǎn)品合格。當(dāng)檢驗結(jié)果有任何一項指標(biāo)不符合表1的技術(shù)要求時，則判該產(chǎn)品不合格?！?.標(biāo)志、標(biāo)簽和隨行文件（1）8.1.1修改了合格證的內(nèi)容，刪除了“批號”，增加了“樣品編號”?！a(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期；8——樣品編號；——本文件的編號及技術(shù)指標(biāo)。（2）8.2標(biāo)簽在“氙氣的標(biāo)簽應(yīng)符合GB/T16084規(guī)定的要求”修改為“氙氣的標(biāo)簽應(yīng)符合GB/T16084、GB15258規(guī)定的要求”，即增加了“、GB/15258”字樣。（3）8.3中將“應(yīng)給新用戶提供氙氣的安全技術(shù)說明書?！备臑椤皯?yīng)給新用戶提供符合GB/T16483規(guī)定的氙氣的安全技術(shù)說明書。”（1）安全信息的說明由附錄A調(diào)整為附錄B。（1）增加了氙氣中氫氣、氮氣、氧氣+氬氣、甲烷、一氧化碳、二氧化碳、氪氣、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的測定的供參考的色譜條件以及流程圖、譜圖。（1）B.1.3中增加氙氣的基礎(chǔ)性息：“【壓縮氙】20第一段描述標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容，標(biāo)準(zhǔn)起草工作組根據(jù)GB/T1.1-2020的規(guī)定，對標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)容進行梳理、使用規(guī)范的描述語句與詞匯。第二段描述標(biāo)準(zhǔn)的適用范圍，2006版本的標(biāo)準(zhǔn)適用于“深冷法從空氣中提取的氣(液)態(tài)氙。主要用于電光源工業(yè)，也用于醫(yī)療、電真空、激光等領(lǐng)域”。修訂后刪除了應(yīng)用領(lǐng)域，且將“氣(液)態(tài)氙”改為“純氙和高純氙”9的需要，將設(shè)置高純氙合格品5N，一等品5.5N，優(yōu)等品6N三個檔次標(biāo)準(zhǔn)。同時為避小組對國際、國內(nèi)氙氣產(chǎn)品生產(chǎn)情況進行了深入調(diào)研、分析和討論（國內(nèi)較大規(guī)模氙氣氣體企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)見表2~表4），確定了征求意見稿的技術(shù)指標(biāo)，見表1。表2企業(yè)1氙氣標(biāo)準(zhǔn)氙氣（Xe）純度（體積分數(shù)）/10-2≥99.9997氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6≤二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤甲烷（CH4）含量（體積分數(shù)）/10-6≤水（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氪氣（Kr）含量（體積分數(shù)）/10-6≤4-6≤雜質(zhì)總含量（體積分數(shù)）/10-6≤3表3企業(yè)2氙氣標(biāo)準(zhǔn)氙氣（Xe）純度（體積分數(shù)）/10-2≥99.9999氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6≤二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤甲烷（CH4）含量（體積分數(shù)）/10-6≤總烴含量（體積分數(shù)）/10-6≤水（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氪氣（Kr）含量（體積分數(shù)）/10-6≤4-6≤雜質(zhì)總含量（體積分數(shù)）/10-6≤表4企業(yè)3氙氣標(biāo)準(zhǔn)氙氣（Xe）純度（體積分數(shù)）/10-2≥99.9995氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氫（H2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6≤二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6≤甲烷（CH4）含量（體積分數(shù)）/10-6≤水（H2O）含量（體積分數(shù)）/10-6≤氪氣（Kr）含量（體積分數(shù)）/10-6≤-6≤雜質(zhì)總含量（體積分數(shù)）/10-6≤修訂為逐瓶檢驗。標(biāo)準(zhǔn)中將采樣的要求單列一條，并引用了GB/T43306《氣體分析采樣導(dǎo)則》，該標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO19230:2020，適用于氙氣的采樣，因此本次修訂直接引用。氙氣的純度采用差減法計算，為了與技術(shù)要求相對應(yīng)，本次修訂規(guī)定先計算總雜質(zhì)含量，然后減去總雜質(zhì)含量計算純度。六氟化硫含量的測定GB/T5828-2006《氙氣》發(fā)布時，GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》還未發(fā)布實施，故無法引用。GB/T28726已經(jīng)正式發(fā)布實施近12年，已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。現(xiàn)行版本的《氙氣》中規(guī)定一氧化碳、二氧化碳和甲烷含量的測定采用的是GB/T8984規(guī)定的氫火焰法，該方法檢測靈敏度偏低，對高純度惰性稀有化碳、二氧化碳的測定無法滿足要求，因此根據(jù)工作組會議的要求，本次修訂采用了GB/T28726規(guī)定的氦離子化氣相色譜法。因此，根據(jù)工作組會議的要求，起草小組及標(biāo)準(zhǔn)驗證平臺作了試驗驗證工作，驗證結(jié)果見附件C。從檢測結(jié)果可以看出，GB/T28726規(guī)定的HID（氦離子化法）能全部測定惰性稀有氣體中氧+氬、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、氙、氟化物等雜質(zhì)含量，檢出限和靈敏度遠遠優(yōu)于其他方法，因此本次制訂采用GB/T28726規(guī)定的HID5.3水分含量的測定現(xiàn)行的GB/T5828-2006《氙氣》是采用GB/T5832.1-2016《氣體中微量水分的測定第1部分：電解法》或GB/T5832.2-2016《氣體中微量水分中規(guī)定的方法，由于該方法存在誤差較大等缺陷，另外當(dāng)時GB/T5832.3-2011《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法》未正式發(fā)布，故現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)中未采用光腔衰蕩光譜法測定水含量。由于GB/T5832.3已經(jīng)正式發(fā)布實施近13年，目前該方法依然是高純特氣中微量水含量的最優(yōu)法，因此本次修訂直接采用GB/T5832.3?，F(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)中未單列檢驗規(guī)則，本次制修訂將“檢驗規(guī)則”單列，并完善了判定規(guī)則。7.標(biāo)志、標(biāo)簽和隨行文件本次修訂參照了最新的有關(guān)法律法規(guī)、標(biāo)準(zhǔn)和國際化學(xué)品安全卡。2009版的規(guī)定比較雜亂，根據(jù)工作組會議的要求，將該章分成三部分內(nèi)容來編制：（1）標(biāo)志（2）包裝、運輸和貯存（3）安全信息，并將安全信息放入附錄B。（1）產(chǎn)品質(zhì)量合格證根據(jù)最新的惰性稀有氣體標(biāo)準(zhǔn)體系中對產(chǎn)品質(zhì)量合格證的要求，將合格證的內(nèi)容修——產(chǎn)品名稱、生產(chǎn)廠名稱；——生產(chǎn)日期；——樣品編號；——本文件的編號及技術(shù)指標(biāo)。（2）本次制修訂更改為：包裝容器上應(yīng)涂刷“純氙”或“高純氙”字樣。（3）按照最新的要求，增加了包裝標(biāo)志、顏色標(biāo)志、和運輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志的要求：運輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志應(yīng)符合GB/T6388的規(guī)定。8.包裝、充裝、運輸和貯存氙氣是大氣氣體中的稀有組分，為無臭、無色、無味、無毒、具有單原子結(jié)構(gòu)的化學(xué)惰性氣體。氙氣在空氣中的近似濃度為0.09ppm。很少有用戶需要大批量使用氙氣，我國對永久氣體氣瓶（鋼瓶）包裝的規(guī)定有GB/T5099（鋼制無縫氣瓶），大容量程》、《移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》，充裝、運輸及貯存的安全管理要求的規(guī)））），【冷凍液態(tài)氙】2591。物理性質(zhì)：氙氣是稀有氣體，無色、無臭、無味，化學(xué)力：5.88MPa；相對密度4.46（干燥空氣=1），液態(tài)相對密度4.46（水=1）。常溫下,氙氣是無色無味氣體，不燃，無特殊燃爆特性。常氣壓下無毒。高濃度時，使氧分壓降低而發(fā)生窒息。人吸入混有70%氙氣的氧，引起輕度麻醉，約經(jīng)3min即意識喪失。如遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開裂和爆炸的危險。無環(huán)境毒害。9.3操作注意事項生產(chǎn)過程密閉操作，生產(chǎn)裝置全面通風(fēng)，工作場所配備應(yīng)急處理設(shè)備。密閉空間需要加裝氙氣濃度監(jiān)測和報警裝置。操作人員應(yīng)經(jīng)過專門培訓(xùn)，嚴格遵守操作規(guī)程。操作人員穿一般作業(yè)工作服。液化氣體泄露時穿防寒服。遠離火種、熱源,工作場所禁止吸煙。配備自給式正壓自給式呼吸器。在傳送過程中,鋼瓶和容器接地和跨接,防止產(chǎn)生靜電。搬運時輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。液氙屬低溫液體，有造成人體凍傷的危險，操作液氙時應(yīng)穿戴隔冷手套和防護服。發(fā)生火災(zāi)時，切斷氣源。消防人員佩帶空氣呼吸器，穿全身防火防毒服，在上風(fēng)向滅火。噴水冷卻容器，盡可能將容器從火場移至空曠處。氙氣不燃。根據(jù)著火原因選擇適當(dāng)滅火劑滅火。如果誤吸入，迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢。如呼吸困難，給氧。如呼吸停止、心跳停止，立即進行心肺復(fù)蘇術(shù)，并就醫(yī)。皮膚接觸：如發(fā)生凍傷，用溫水（38℃~42℃)復(fù)溫，忌用熱水或輻射熱,不要揉搓，并就醫(yī)。盡可能切斷泄漏源。保證充分的通風(fēng)，消除所有點火源。根據(jù)氣體的影響區(qū)域劃定警戒區(qū)，無關(guān)人員從側(cè)風(fēng)、上風(fēng)方向撤離至安全區(qū)。建議應(yīng)急處理人員佩戴內(nèi)置正壓自給式呼吸器。防止氣體通過下水道、通風(fēng)系統(tǒng)和密閉性空間擴散。噴霧狀水抑制蒸氣或改變蒸氣云流向。隔離泄漏區(qū)直至氣體散盡。9.6貯存注意事項貯存于陰涼、干燥、通風(fēng)的不燃氣體專用庫房。遠離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。與易燃物質(zhì)分開存放，不應(yīng)混儲。應(yīng)配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急9.7廢棄處置說明應(yīng)當(dāng)進行必要的處理，以使其對周圍的影響滿足國家相關(guān)法規(guī)要求。污染包裝物：將容器返還生產(chǎn)商或按照國家和地方法規(guī)處置。廢棄注意事項：處置前應(yīng)參閱國家和地方有關(guān)法規(guī)。把倒空的容器歸還廠商。三、試驗驗證的分析、綜述報告,技術(shù)經(jīng)濟論證，預(yù)期的經(jīng)濟效益、社會效益和生態(tài)效益（1）試驗驗證的分析、綜述報告本標(biāo)準(zhǔn)制定過程中，起草小組做了大量的試驗驗證工作，詳見附件D。（2）技術(shù)經(jīng)濟論證，預(yù)期的經(jīng)濟效益、社會效益和生態(tài)效益氙氣是一種惰性氣體，穩(wěn)定性極好，因此在日常生活中以及尖端技術(shù)、醫(yī)療等諸多領(lǐng)域都發(fā)揮著重要作用。氙氣廣泛用于電子、光電源工業(yè)，還用于氣體激光器和等離子流中。用氙氣充的燈泡與相同功率的充氬燈泡相比具有發(fā)光率高、體積小、壽命長、省電等優(yōu)點。氙氣燈有極高的發(fā)光強度，一盞六萬瓦的氙燈的亮度，相當(dāng)于九百只一百瓦的普通燈泡。由于氙具有幾乎連續(xù)的光譜，因此可以在高壓電弧放電作用下產(chǎn)生類似日光的明亮白光，這種長弧氙燈俗稱“人造小太陽”，由于透霧能力特別強，可用作有霧導(dǎo)航燈。氙閃光燈的色彩好，用于拍攝彩色電影。氙燈可以放出紫外線，應(yīng)用于醫(yī)療行業(yè)。而氙的同位素被用于測量腦血流量與研究肺功能、計算胰島素分泌量等。此外，氙燈凹面聚光后可生成2500℃高溫，可用于焊接或切割難熔金屬，如鈦、鉬等。在芯片制造中，氙氣主要被用于蝕刻。根據(jù)國家統(tǒng)計局數(shù)據(jù)，2016-2021年中國集成電路產(chǎn)量持續(xù)增長，2021年達到3594.3億塊。隨著中國芯片產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，氙氣需求增長加快，產(chǎn)能也逐漸提升。根據(jù)中國氣協(xié)數(shù)據(jù)，2021年中國氙氣產(chǎn)能約為5000立方米/年，是2014年產(chǎn)能的2.6倍。隨著社會的發(fā)展，氙氣的市場潛力巨大，尤其航天和芯片產(chǎn)業(yè)是我國目前正在大力發(fā)展的行業(yè)，氙氣的市場需求也將隨之增加。我國氙氣進口主要來自美國、德國等多個國家，來源較為廣泛。同時由于國產(chǎn)氙氣產(chǎn)能的不斷增長，進口量呈現(xiàn)下滑走勢，市場整體仍延續(xù)較高價格。氙氣的產(chǎn)量極低，全球氙氣主要廠商有AirLiquide、Iceblick、Praxair、LindeGroup等。前三大廠商2023年全球氙氣市場銷售額達到了23億元，預(yù)計2030年將達到34億元，年復(fù)合增長率（CAGR）為5.8%（2024-2030）。因此，如何盡快提高高純氦、超純氦國產(chǎn)產(chǎn)量迫GB/T5828-2006《氙氣》自發(fā)布實施以來，對國內(nèi)氪氣的生產(chǎn)發(fā)揮了較好的指導(dǎo)作代化企業(yè)發(fā)展及國內(nèi)市場的需求，迫切需要修訂此標(biāo)準(zhǔn)，本次修訂對于生產(chǎn)廠家規(guī)范生產(chǎn)、提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低成本具有十分重要的意義。此外，本次修訂對于合理利用、保護稀缺資源，提高國產(chǎn)純氙、高純氙和超純氙產(chǎn)品的競爭力，保護民族企業(yè)，解決卡脖子問題具有十分重要的意義。四、與國際、國外同類標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)內(nèi)容的對比情況，或者與測試的國外樣品、樣機的有關(guān)數(shù)據(jù)對比情況（一）國內(nèi)外氦氣供需情況0.086ml。目前都通過大型空分裝置進行初步濃縮，先取得氪氙混合氣，再進行分離精制，如一套10萬立方米的低溫精餾制氧裝置，加工空氣量約需50萬立方米/小時，如果將氙全部分離出來，也僅有43升/小時。供應(yīng)世界消費的30%。但隨著新冠疫情和俄烏戰(zhàn)爭的嚴重影響，烏克蘭兩家因戰(zhàn)爭停運，實際產(chǎn)量大幅下降，造成供需失衡加劇。盡管現(xiàn)在國內(nèi)有部分企業(yè)實現(xiàn)了自主生產(chǎn)氙氣，其中包含99.9995%超高純航空氙氣，如凱美特氣，但是生產(chǎn)線上的部分設(shè)備還是依賴進口，若國際形勢緊張，也將會影響生產(chǎn)，所以，想完全擺脫進口依靠國內(nèi)自主供應(yīng)氙氣需求還需努力。（二）我國標(biāo)準(zhǔn)與國外、國際標(biāo)準(zhǔn)的比較該標(biāo)準(zhǔn)無國際標(biāo)準(zhǔn)可以借鑒，在制定過程中參考了國內(nèi)外相關(guān)文獻及資料。五、以國際標(biāo)準(zhǔn)為基礎(chǔ)的起草情況，以及是否合規(guī)引用或者采用國際國外標(biāo)準(zhǔn)，并說明未采用國際標(biāo)準(zhǔn)的原因0本標(biāo)準(zhǔn)為我國自行修訂，未采用國際、外國標(biāo)準(zhǔn)。六、與有關(guān)法律、行政法規(guī)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系（一）與氙氣的生產(chǎn)、儲存、運輸、安全相關(guān)的法律、法規(guī)有：令2013年第2號公布，交通運輸部令2016年第36號第一次2019年第42號第二次修訂通過）；2.《特種設(shè)備安全監(jiān)察條例》（國務(wù)院令373號）；3.《特種設(shè)備安全法》（中華人民共和國主席令（第四號）；（二）本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范性引用的標(biāo)準(zhǔn)化文件有GB/T150（所有部分）壓力容器GB190危險貨物包裝標(biāo)志GB/T191包裝儲運圖示標(biāo)志GB/T4946氣相色譜法術(shù)語GB5099（所有部分）鋼質(zhì)無縫氣瓶GB/T5832.1氣體分析微量水分GB/T5832.2氣體分析微量水分的測定第2部分：露點法GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜法GB/T6285《氣體中微量氧的測定電化學(xué)法》GB/T6388運輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志GB/T7144氣瓶顏色標(biāo)志GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定GB/T8984氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法GB/Tl4194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定GB15258化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定GB/T16084氣瓶警示標(biāo)簽GB24159焊接絕熱氣瓶GB/T27550氣瓶充裝站安全技術(shù)條件GB/T28054鋼質(zhì)無縫氣瓶集束裝置GB/T28726氣體分析氧離子化氣相色譜法GB/T30685氣瓶直立道路運輸技術(shù)要求GB/T33360氣體分析痕量分析用氣體純化技術(shù)導(dǎo)則GB/T34525氣瓶搬運、裝卸、儲存和使用安全規(guī)定GB/T37180氣體分析校準(zhǔn)用純氣和混合氣體的使用指南氣體分析等離子發(fā)射氣相色譜法氣體分析純度分析和純度數(shù)據(jù)的處理氣體分析測量過程及結(jié)果校準(zhǔn)技術(shù)要求GB/T43466氣體分析采樣導(dǎo)則（更改成標(biāo)準(zhǔn)號）JB/T6898低溫液體貯運設(shè)備使用安全規(guī)則TSGR0005移動式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程TSG23氣瓶安全技術(shù)規(guī)程七、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)八、涉及專利的有關(guān)說明本標(biāo)準(zhǔn)不涉及專利九、實施國家標(biāo)準(zhǔn)的要求，以及組織措施、技術(shù)措施、過渡期和實施日期的建議等措施本標(biāo)準(zhǔn)的內(nèi)容已經(jīng)具有較廣泛的應(yīng)用范圍，具有可靠的技術(shù)措施保證，因此本標(biāo)準(zhǔn)實施的過渡期較短（不會超過半年）。十、其他應(yīng)予說明的事項附件A起草單位承擔(dān)的具體工作明細表序號單位名稱標(biāo)準(zhǔn)起草人主要工作123456789表B.1氣標(biāo)委秘書處征集到的對GB/T5828—2006的修改意見（按單位排序）注：征集到的意見是針對GB/T5828—2006提出，標(biāo)準(zhǔn)草案稿對部分意見已作了修改，章條號也有所變化序號修改意見提出單位名稱11.規(guī)范性引用文件GB7144《氣瓶顏色標(biāo)記》已被GB/T7144-2016《氣瓶顏色標(biāo)志》代替；GB14194《永久氣體氣瓶充裝規(guī)定》已被GB/T14194-2017《壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定》代替；GB16483《化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定》已被GB/T16483-2008《化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序》代替；GB16912《氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程"已被GB16912-2008《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》代替。2.技術(shù)規(guī)程文件《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》已被TSG23《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》代替。3.規(guī)范性引用文件中建議增加以下標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)程文件：GB/T3723《工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則》、GB/T27550-2011《氣瓶充裝站安全技術(shù)條件》、GB/T4946-2008《氣相色譜法術(shù)語》、GB/T14850-2020《氣體分析詞匯》、GB/T38677-2020《氣體分析測量過程及結(jié)果校準(zhǔn)技術(shù)要求》、GB/T38521-2020《氣體分析純度分析和純度數(shù)據(jù)的處理》、GB/T37180-2018《氣體分析校準(zhǔn)用純氣和混合氣體的使用指南》、GB/T33360-2016《氣體分析痕量分析用氣體純化技術(shù)導(dǎo)則》。4.規(guī)范性引用文件中所引用水分分析方法建議增加GB/T5832.3《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩法》，并以該方法作為仲裁方法。5.規(guī)范性引用文件中所引用微量氫含量分析方法標(biāo)準(zhǔn)為GB/T8981《氣體中微量氫的測定氣相色譜法》，該方法目前已較少使用，建議取消該引用標(biāo)準(zhǔn)，對氙中氫采用GB/T《28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法》進行測量。6.規(guī)范性引用文件中所引用標(biāo)準(zhǔn)建議增加GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》，附錄A與”GB/T28726”相同，可刪除。7.規(guī)范性引用文件中所引用標(biāo)準(zhǔn)“HG/T2686《惰性氣體中微量氫、氧、甲烷、一氧化碳的測定氧化鋯氣相色譜法》建議刪除，對于氙中微量氫、氮、氧＋氬、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、氧化亞氮、氟化物可采用GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》進行測量，對于氙中氧，建議采用GB/T6285《氣體中微量氧的測定電化學(xué)法》進行測量。8.表1中，建議將“甲烷(CH4)含量"改為”總碳氫(THC)含量(以甲烷計)"，后文同。9.表1中建議增加對于總雜質(zhì)含量的指標(biāo)要求。10.表1中，“氟化物(C2F6)"是指所有氟化物以C2F6計還是只需檢測C2F6?11.4.3條中，氙中氮、氧＋氬、氪、氧化亞氮、氟化物含量建議采用G液空B/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》作為仲裁方法，但允許使用其它等效方法進行測量，附錄A與GB/T28726相同，可刪除。12.4.4條中，微量氫含量分析方法標(biāo)準(zhǔn)為“GB/T8981氣體中微量氫的測定氣相色譜法”，該方法目前已較少使用，建議取消該引用標(biāo)準(zhǔn)，對氙中氫采用"GB/T28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法"進行測量；13.4.6條中，建議采用GB/T5832.3《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩法》作為仲裁方法，但允許使用其它等效方法進行測量。14.5章中所涉及引用標(biāo)準(zhǔn)與引用規(guī)程文件參照前述進行更新。21、建議修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容，2、規(guī)范性引用文件增加光腔衰蕩的檢測方法，3、增加檢驗環(huán)境的要求。4、4.4中HG/T2686改成GB/T28124，允許采用其他等效的方法測定。5、4.5中GB/T8984.1改成GB/T8984。6、4.6中增加GB/T5832.3，允許采用其他等效的方法測定。北京首鋼31、建議建立一個6N氙氣產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)；2、氟化物檢測建議區(qū)分六氟化硫和六氟乙烷；3、氧氬指標(biāo)分別檢測武鋼氣體41、對應(yīng)不同用戶需要，設(shè)置高純氙合格品5N，一等品5.5N，優(yōu)等品6N三個檔次標(biāo)準(zhǔn)。2、增加SF6指標(biāo)。河南納新5（1）修訂意見：應(yīng)用領(lǐng)域增加“照明技術(shù)上用來充填光電管、閃光燈和氙氣高壓燈、X光攝影的造影劑等”（2）修訂意見：增加氙氣的基礎(chǔ)信息，比如“代碼：CAS號：7440-63-3;UN號：【壓縮氙】2036；【冷凍液態(tài)氙】2591。物理性質(zhì)：沸點-108.1℃,熔點：-112℃,燃燒極限（體積分數(shù)無意義，燃燒極限（密度）：無意義，臨界溫度：16.6℃,臨界壓力：5.88Mpa；相對密度：4.46(干燥空氣=1)；自燃溫度：無意義。”（3）修訂意見：4.6水分含量測定內(nèi)容改為“按GB/T5832.2或GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y定氙氣中水分含量。當(dāng)對測定結(jié)果有異議時，當(dāng)水含量在0.5ppm以上時，以GB/T5823.2為仲裁方法；當(dāng)水含量在0.5ppm及0.5ppm以下時，以GB/T5823.3為仲裁方法。”（4）修訂意見：5.2氙氣出廠時應(yīng)附有質(zhì)量合格證，內(nèi)容中應(yīng)增加“瓶號”信息。（5）修訂意見：4.3氫、氮氣、氧氣+氬氣、氪氣、氧化亞氮、氟化物含量的測定增加等離子的檢測方法；（6）修訂意見：測定時，應(yīng)增加尾氣處理措施；（7）考慮載氣的純度問題；衢州杭氧6有意向參加修訂起草，建議增設(shè)6N級氙氣標(biāo)準(zhǔn)浙大72規(guī)范性引用文件中:GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序”；“GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”修訂為：GB16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”；“《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》”修訂為：“《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》TSG23”福建久策81、4.3/4.4/4.5條款雜質(zhì)的含量的測定都可以引用GB/T287262、4.6水分含量的測定按5832.3執(zhí)行中船特氣81、建議5.5N指標(biāo)組分含量改為：氫0.1ppm，氧氬0.5ppm，氮1ppm，甲烷0.1ppm，一氧化碳0.05ppm，二氧化碳0.05ppm，氧化亞氮0.05ppm，六氟化硫0.1ppm，六氟乙烷0.1ppm，四氟化碳0.1ppm，氪1ppm，水0.5ppm2、建議增加6N指標(biāo)，氫0.05ppm，氧氬0.1ppm，氮0.3ppm，甲烷0.05ppm，一氧化碳0.05ppm，二氧化碳0.05ppm，氧化亞氮0.05ppm，六氟化硫0.05ppm，六氟乙烷0.05ppm，四氟化碳0.05ppm，氪0.1ppm，水0.1ppm3、建議組分采用PDHID檢測，水分采用光腔衰蕩法檢測心連心需要完善適合充裝容器的種類，新瓶規(guī)中嚴格的規(guī)定了充裝介質(zhì)的合規(guī)性，需要有可循的標(biāo)準(zhǔn)作為依據(jù)中復(fù)科金1、氟化物的測試建議增加GCMS方法，因為按照標(biāo)準(zhǔn)是所有氟化物以C2F6計，但氦放電離子化法實際操作性不強，無法定性未知氟化物。GC/MS法可以較好解決該問題。2、氪氣是以CF4計，氙氣是以C2F6計，是否可統(tǒng)一。3、明確氟化物測試指標(biāo)，是否只測試CF4、C2F6。4、1)GB/T8984.1、HG/T2686、GB/T8981已廢止；2）GB14193液化氣體氣瓶充裝規(guī)定已更新為：GB/T14194液化氣體氣瓶充裝規(guī)定；3）GB7144已更新為GB/T7144；4）GB16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定已更新為：GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序；5）GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程已更新為GB/T16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程；5、4.4條款氫氣含量的測定方法需更新上海市計量院1、在規(guī)范性引用文件中，應(yīng)該增加如GB/T5832.3-2011和GB/T37182-2018等新增方法2、將體積分數(shù)改為摩爾分數(shù)3、增加SF6的指標(biāo)中國計量院1.建議增加微量水分的測量方法GB/T5832.3氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩光譜2.附錄A中增加典型色譜圖南京市計量監(jiān)督檢測院1.文中涉及的一些標(biāo)準(zhǔn)已作廢；2.抽樣部分建議修訂；3.建議取消氫、一氧化碳指標(biāo)光明院表B.1中各條修改意見的處理結(jié)論(按章節(jié)排序)GB/T5828-2006《純氦、高純氦和超純氦》標(biāo)準(zhǔn)修訂意見注：征集到的意見是針對GB/T5828—2006提出，標(biāo)準(zhǔn)草案稿對部分意見已作了修改，章條號也有所變化。應(yīng)用領(lǐng)域增加“照明技術(shù)上用來充填光電管、閃光燈和氙氣高壓燈、X光攝影的造影劑等”（衢州杭氧未采納，待征求意見）2.規(guī)范性引用文件（1）首鋼增加GB/T5832.3（采納）（2）福建久策1）“GB14194永久氣體氣瓶充裝規(guī)定”修訂為：“GB/T14194壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定”采納，草案稿已增加）2）“GB16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定”修訂為：“GB/T16483化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序”采納）3）“GB16912氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”修訂為：GB16912深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程”（采納）；4）“《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》”修訂為：“《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》TSG23（采納，草案稿已增加）（3）液空1）標(biāo)準(zhǔn)版本發(fā)生變化GB7144《氣瓶顏色標(biāo)記》已被GB/T7144-2016《氣瓶顏色標(biāo)志》代替采納，草案稿已增加）GB14194《永久氣體氣瓶充裝規(guī)定》已被GB/T14194-2017《壓縮氣體氣瓶充裝規(guī)定》代替；（福建久策采納）GB16483《化學(xué)品安全技術(shù)說明書編寫規(guī)定》已被GB/T16483-2008《化學(xué)品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序》代替福建久策采納）《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》已被TSG23《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》代替福建久策、上海計量院采GB16912《氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》已被GB16912-2008《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》代替福建久策采納）2)建議增加以下標(biāo)準(zhǔn)或規(guī)程文件GB/T3723《工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則》、（采納，使用采樣導(dǎo)則標(biāo)準(zhǔn)代替，草案稿已增加）GB/T4946-2008《氣相色譜法術(shù)語》、（采納）GB/T5832.3《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩法》（首鋼、南京市計量監(jiān)督檢測院）、（草案稿已增加）GB/T6285《氣體中微量氧的測定電化學(xué)法》（采納）GB/T14850-2020《氣體分析詞匯》、（采納）GB/T16804-2011《氣瓶警示標(biāo)簽》、（采納）GB/T27550-2011《氣瓶充裝站安全技術(shù)條件》、（采納）GB/T28726-2012《氣體分析氦離子化氣相色譜法》、（采納）GB/T33360-2016《氣體分析痕量分析用氣體純化技術(shù)導(dǎo)則》、（采納）GB/T37180-2018《氣體分析校準(zhǔn)用純氣和混合氣體的使用指南》、（采納）GB/T38521-2020《氣體分析純度分析和純度數(shù)據(jù)的處理》、（采納）GB/T38677-2020《氣體分析測量過程及結(jié)果校準(zhǔn)技術(shù)要求》。（采納）3）刪除GB/T8981《氣體中微量氫的測定氣相色譜法》、HG/T2686《惰性氣體中微量氫、氧、甲烷、一氧化碳的測定氧化鋯氣相色譜法》（上海計量院采納）（4）中國計量院增加如GB/T5832.3-2011和GB/T37182-2018等新增方法（采納）3.術(shù)語和定義增加“GB/T4946、GB/T14850界定的術(shù)語和定義適用于本文件?！保ú杉{）4.技術(shù)要求（1）首鋼建議修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（采納，詳見技術(shù)指標(biāo)表格）（2）河南納新氣體對應(yīng)不同用戶需要，設(shè)置高純氙合格品5N，一等品5.5N，優(yōu)等品6N三個檔次標(biāo)準(zhǔn)（采納，詳見技術(shù)指標(biāo)表格）（3）中國計量院將體積分數(shù)改為摩爾分數(shù)（采納）增加SF6的指標(biāo)（采納，詳見技術(shù)指標(biāo)表格）（4）武鋼氧、氬指標(biāo)分開規(guī)定未采納，待征求意見）增加6N（浙大采納）（5）液空建議增加對于總雜質(zhì)含量的指標(biāo)要求采納，詳見技術(shù)指標(biāo)表格）建議將“甲烷(CH4)含量"改為”總碳氫(THC)含量(以甲烷計)"，后文同部分采納，增加了乙烷、丙烷含量測定方法）“氟化物(CF4)"是指所有氟化物以CF4計還是只需檢測CF4?（采納，拆分成六氟化硫（SF6）含量(摩爾分數(shù))/10-6、六氟乙烷（C2F6）含量(摩爾分數(shù))/10-6、四氟化碳（CF4）含量(摩爾分數(shù))/10-6詳見技術(shù)指標(biāo)表格）（6）光明院建議取消氫、一氧化碳指標(biāo)（未采納，待征求意見）（7）表C.1技術(shù)指標(biāo)高純氙純氙6N高純氙5N5高純氙5N高純氙4N5純氙4N純氙數(shù))/10-2≥99.9999(心連心)≥99.9999≥99.9999(航天502所）≥99.9999(≥99.9995(心連心)≥99.9995(納新≥99.9995(≥99.999≥99.999≥99.995≥99.99稿）氮(N2)含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.3≤0.2≤0.2≤1≤1.5≤2.5≤2.5數(shù))/10-6≤0.1≤0.1≤0.1≤0.5≤0.5≤1.5≤1.5氬（Ar）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.05≤0.05數(shù))/10-6≤0.05≤0.1≤0.1≤0.1≤0.5≤0.5≤0.5一氧化碳(CO)含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.05≤0.05≤0.05≤0.05≤0.1≤0.2≤0.2≤0.4二氧化碳(CO2)含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.05≤0.05≤0.05≤0.05≤0.1≤0.3≤0.3≤0.8數(shù))/10-6≤0.05≤0.05≤0.05≤0.05≤0.1≤0.1≤0.3≤0.3≤0.8氧化亞氮（N2O）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05≤0.05≤0.05≤0.05≤0.1≤0.2≤0.2水分(H2O)含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.1≤0.1≤0.1≤0.5≤1≤2.0氪氣（Kr）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.1≤0.1≤0.1≤≤1≤1≤2.0≤20——≤0.1≤0.1——————≤0.5≤10六氟化硫（SF6）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05————≤0.1——≤0.5——————量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05————≤0.1————————四氟化碳（CF4）含量(摩爾分數(shù))/10-6≤0.05——————≤0.1————————————雜質(zhì)總含量(摩爾分數(shù))/10-611≤1（0.95）≤5（5）5.組批、采樣和抽樣（1）光明院抽樣內(nèi)容建議修訂（采納，草案稿已修改）6.試驗方法（1）武鋼氣體1）氧氬指標(biāo)分別檢測采納）2）氟化物檢測建議區(qū)分六氟化硫和六氟乙烷。（采納）（2）衢州杭氧1）測定時，應(yīng)增加尾氣處理措施采納，草案稿已增加）2）考慮載氣的純度問題采納）3）4.3（現(xiàn)已改成6.2）氫、氮氣、氧氣+氬氣、氪氣、氧化亞氮、氟化物含量的測定增加等離子的檢測方法采納，原文件中未把氫氣加入，已加入，氧化亞氮的檢測待征求意見，增加文字“GB/T37182或”）4）4.6（現(xiàn)已改成6.4）水分含量測定內(nèi)容改為“按GB/T5832.2或GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行?？刹捎闷渌刃У姆椒y定氙氣中水分含量。當(dāng)對測定結(jié)果有異議時，當(dāng)水含量在0.5ppm以上時，以GB/T5823.2為仲裁方法；當(dāng)水含量在0.5ppm及0.5ppm以下時，以GB/T5823.3為仲裁方法。”（采納）（3）液空1）4.6水分分析方法建議增加GB/T5832.3《氣體中微量水分的測定第3部分：光腔衰蕩法》，并以該方法作為仲裁方法，允許使用其它等效方法進行測量。（南京市計量監(jiān)督檢測院采納）2）4.4條中，微量氫含量分析方法標(biāo)準(zhǔn)為GB/T8981《氣體中微量氫的測定氣相色譜法》，該方法目前已較少使用，建議取消該引用標(biāo)準(zhǔn)，對氪中氫采用"GB/T28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法"進行測量。（上海計量院采納，已在6.4中體現(xiàn)）《氣體分析氦離子化氣相色譜法》進行測量。作為仲裁方法，但允許使用其它等效方法進行測量對于氙中氧，建議采用GB/T6285《氣體中微量氧的測定電化學(xué)法》進行測量。（暫未采納，待征求意見）氙中氮、氧＋氬、氪、氟化物含量建議采用"GB/T28726-2012氣體分析氦離子化氣相色譜法"作為仲裁方法，但允許使用其它等效方法進行測量采納）（4）中船特氣1）4.3/4.4/4.5條款雜質(zhì)的含量的測定都可以引用GB/T28726采納，已在6.4中體現(xiàn)）2）4.6水分含量的測定按5832.3執(zhí)行。（采納）（5）上海計量院氟化物的測試建議增加GCMS方法，因為按照標(biāo)準(zhǔn)是所有氟化物以CF4計，但氦放電離子化法實際操作性不強，無法定性未知氟化物。GC/MS法可以較好解決該問題。（部分采納，現(xiàn)驗證試驗及指標(biāo)已確定氟化物種類，且規(guī)定了可采用等效方法，待征求意見）1）進一步明確氟化物測試指標(biāo)，是否只測試CF4、C2F6。（采納）2）4.4條款氫氣含量的測定方法需更新。（采納）（6）心連心建議組分采用PDHID檢測，水分采用光腔衰蕩法檢測。（采納）7.標(biāo)志、標(biāo)簽和隨行文件（1）衢州杭氧5.2氙氣出廠時應(yīng)附有質(zhì)量合格證，內(nèi)容中應(yīng)增加“瓶號”信息。（采納，增加樣品編號）8.包裝需要完善適合充裝容器的種類，新瓶規(guī)中嚴格的規(guī)定了充裝介質(zhì)的合規(guī)性，需要有可循的標(biāo)準(zhǔn)作為依據(jù)（采納，草案已修改）9.2.1刪除“加裝防振圈”（采納）9.安全信息（1）衢州杭氧增加氙氣的基礎(chǔ)信息，比如“代碼：CAS號：7440-63-3;UN號：【壓縮氙】2036；【冷凍液態(tài)氙】2591。(采納，紅色為增加部分)物理性質(zhì)：沸點-108.1℃,熔點：-112℃,燃燒極限（體積分數(shù)無意義，燃燒極限（密度無意義，臨界溫度：16.6℃,臨界壓力：5.88Mpa；相對密度：4.46(干燥空氣=1)；自燃溫度：無意義?！薄跋鄬φ羝芏?.46（空氣=1）”改為“相對密度：4.46(干燥空氣=1)”（采納，紅色增加部分）（3）中復(fù)科金需要完善適合充裝容器的種類，新瓶規(guī)中嚴格的規(guī)定了充裝介質(zhì)的合規(guī)性，需要有可循的標(biāo)準(zhǔn)作為依據(jù)。（采納，草案已修改）（4）液空所涉及引用標(biāo)準(zhǔn)與引用規(guī)程文件參照“規(guī)范性引用”文件一章進行更新。（采納）（1）液空與”GB/T28726”相同，可刪除。（采納）（2）南京市計量監(jiān)督檢測院增加典型色譜圖。（采納