基于MEMS技術(shù)的諧振器研究的開題報(bào)告

基于MEMS技術(shù)的諧振器研究的開題報(bào)告目錄1.選題背景2.研究意義3.研究目的4.研究方法5.研究計(jì)劃6.預(yù)期結(jié)果7.參考文獻(xiàn)1.選題背景隨著信息技術(shù)和通信技術(shù)的發(fā)展，使用射頻（RF）信號(hào)進(jìn)行通信的需求日益增加。射頻信號(hào)的產(chǎn)生往往需要頻率穩(wěn)定性高的諧振器，而微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)的發(fā)展使得制作基于MEMS技術(shù)的諧振器成為可能。人們發(fā)現(xiàn)MEMS諧振器具有體積小、功耗低、頻率穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)，因此越來越多的人開始關(guān)注MEMS諧振器的研究。2.研究意義基于MEMS技術(shù)的諧振器可以應(yīng)用于很多領(lǐng)域，例如通信、無線傳感器網(wǎng)絡(luò)等。大量的應(yīng)用需求也推動(dòng)了MEMS諧振器研究的發(fā)展。同時(shí)，MEMS諧振器主要由集成電路制造工藝和微加工制造工藝組成，因此研究基于MEMS技術(shù)的諧振器也有助于拓展微納制造技術(shù)的應(yīng)用范圍。3.研究目的本研究旨在研究基于MEMS技術(shù)的諧振器，探究其頻率穩(wěn)定性、精度、抗干擾性等性能指標(biāo)，以及相關(guān)應(yīng)用。具體目的如下：1.研究基于MEMS技術(shù)的諧振器的制造技術(shù)及特點(diǎn)。2.研究基于MEMS技術(shù)的諧振器的性能指標(biāo)，包括頻率穩(wěn)定性、精度、抗干擾性等方面。3.研究基于MEMS技術(shù)的諧振器在通信、無線傳感器網(wǎng)絡(luò)等方面的應(yīng)用。4.研究方法本研究使用實(shí)驗(yàn)研究和文獻(xiàn)調(diào)研兩種方法進(jìn)行。1.實(shí)驗(yàn)研究使用MEMS制造工藝制作諧振器樣品，并對(duì)其進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)量，測(cè)試其頻率穩(wěn)定性、精度、抗干擾性等指標(biāo)。同時(shí)，對(duì)諧振器相關(guān)參數(shù)進(jìn)行分析和優(yōu)化，以提高諧振器的性能。2.文獻(xiàn)調(diào)研對(duì)國(guó)內(nèi)外相關(guān)文獻(xiàn)進(jìn)行搜索、篩選和分析，總結(jié)諧振器相關(guān)制造工藝、技術(shù)、應(yīng)用等方面的研究成果?？梢酝ㄟ^文獻(xiàn)調(diào)研，了解諧振器研究的前沿及未來發(fā)展方向。5.研究計(jì)劃本研究計(jì)劃分為以下階段：1.文獻(xiàn)調(diào)研（3~4周）2.制備諧振器橫向樣品（6~7周）3.進(jìn)行諧振器實(shí)驗(yàn)測(cè)量及參數(shù)優(yōu)化（4~5周）4.編寫實(shí)驗(yàn)報(bào)告及論文（2~3周）6.預(yù)期結(jié)果通過本研究，可以得到以下預(yù)期成果：1.了解基于MEMS技術(shù)的諧振器的制造工藝和特點(diǎn)。2.研究諧振器的性能指標(biāo)，包括頻率穩(wěn)定性、精度、抗干擾性等方面。3.研究基于MEMS技術(shù)的諧振器在通信、無線傳感器網(wǎng)絡(luò)等方面的應(yīng)用。4.提高諧振器的性能，進(jìn)一步拓展其應(yīng)用領(lǐng)域。7.參考文獻(xiàn)[1]PiazzaG,PederzolliF,PierobonR.MEMSResonatorsforWirelessCommunication:PiezoelectricVibrationDevicesversusMicromachinedSiliconResonators[J].Sensors(Basel,Switzerland),2017,17(2):261.[2]HuX,XuJ,GuanX,etal.DesignandFabricationofaMEMSTunableGigahertzResonator[J].Micromachines,2017,8(9):280.[3]MaYaliang,YuanJianmin,HanJunbo,etal.ResearchonSiliconMEMSResonatorforFrequencyControlApplications[J].MicroelectronicsJournal,2017,66:1-6.[4]LiuX,LuF,HanL,etal.InvestigationofthesizeeffectofMEMSresonatorsbynumericalsimulation[J].MicrosystemTechnologies,2017,23(4):1079-1089.[5]QiuCW,WagnerS,LiangYC,etal.MEMSResonatorsforSensingApplicatio