真空磁控濺射鍍膜設備中羅茨泵的保養(yǎng)與維護_第1頁
真空磁控濺射鍍膜設備中羅茨泵的保養(yǎng)與維護_第2頁
真空磁控濺射鍍膜設備中羅茨泵的保養(yǎng)與維護_第3頁
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文檔簡介

真空磁控濺射設備的真空度高低及穩(wěn)定性直接決定了鍍膜產品性能，真空條件控制是鍍膜的關鍵技術之一。通過開發(fā)使用羅茨泵關鍵零部件的安裝、拆卸裝置，可以有效降低羅茨泵的日常自主保養(yǎng)成本和周期。羅茨泵是容積真空泵的一種，在泵腔內，有2個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，一個轉子由連接軸直接由驅動電機驅動，另一個轉子通過安裝在羅茨泵轉子上的齒輪進行傳動。通過轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內，再經排氣口排出。圖1為羅茨泵結構示意圖。圖1羅茨泵結構示意圖羅茨泵使用過程的維護（1）軸套拆卸裝置：以前的方法不但耗時較長，并且很容易對主軸表面造成損傷，從而保證不了泵腔內的真空度。為此，研制了一個由軸套夾、連接桿、連接面、沖擊塊和端面組成的裝置，通過沖擊塊在連接桿上的空行軌跡對端面施加作用力，使其端面向外拉伸，通過連接桿帶動軸套夾向外運行，快速的將硬度較高的且與軸靜密封的軸套拆卸下來。軸承拆卸裝置示意圖見圖2。圖2軸承拆卸裝置圖（2）轉子安裝固定裝置：為解決人工安裝出現(xiàn)的問題，在羅茨泵驅動端安裝可調整角度的驅動軸固定裝置，如圖3所示。首先將該裝置的固定環(huán)套入羅茨泵傳動桿內，通過固定銷插入固定環(huán)和傳動桿原有銷孔內。然后通過在兩個轉子之間插入0.3mm的塞尺，在豎直轉子和羅茨泵內壁之間插入1mm的塞尺，確定轉子的位置，將連接板根據角度固定到帶有螺紋的支撐桿上，用螺母緊固好，防止在緊固齒輪過程中出現(xiàn)位移。圖3轉子安裝固定裝置圖（3）活塞安裝裝置：研制的一種活塞環(huán)安裝工具如圖4所示，使用該工具可以有效降低活塞的安裝難度，有利于活塞快速放置到套筒內，而且放置過程中避免了活塞環(huán)的損壞，保證了活塞的密封性能?？蓪崿F(xiàn)活塞的快速安裝，在任何需要更換活塞的地方均能使用，無使用場所的限制。圖4活塞環(huán)安裝工具圖真空磁控濺射鍍膜過程中，設備狀態(tài)對生產工藝控制難度的影響很大，設備損耗快，維護頻繁，通過輔助裝置的開發(fā)

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