(高清版)GBT 43793.2-2024 平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法 第2部分：光學(xué)性能

平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分：光學(xué)性能2024-03-15發(fā)布2024-10-01實(shí)施I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。本文件是GB/T43793《平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法》的第2部分。GB/T43793已經(jīng)發(fā)布了以下部分：——第1部分：理化性能；——第2部分：光學(xué)性能；——第3部分：可靠性。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任。本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。本文件起草單位：合肥鼎材科技有限公司、北京鼎材科技有限公司、阜陽(yáng)欣奕華材料科技有限公司、固安鼎材科技有限公司、廣州賽西標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)研究院有限公司、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、常州強(qiáng)力電子新材料股份有限公司、江陰潤(rùn)瑪電子材料股份有限公司、深圳市創(chuàng)顯光電有限公司。Ⅱ彩色濾光片是平板顯示器(FPD),尤其是液晶顯示器(LCD)中最核心的部件之一，主要作用是將白色雜背光分離提純?yōu)榉仙纫蟮募t、綠、藍(lán)三種純色原色光，LCD的色域、亮度、對(duì)比度和飽和度均受彩色濾光片的控制。彩色濾光片的制備通常是將彩色光刻膠涂于玻璃基板上成膜，經(jīng)紫外光光刻從而形成圖案。色光刻膠材料的重要指標(biāo)，這些指標(biāo)會(huì)影響彩色光刻膠的流動(dòng)性、成膜性、質(zhì)量、壽命、彩色濾光片制備工藝，甚至運(yùn)輸和制造成本。因此有必要確立彩色光刻膠性能測(cè)試方法。GB/T43793旨在給出彩色光刻膠各項(xiàng)性能測(cè)試方法，擬由三個(gè)部分組成?！?部分：理化性能。目的是給出并提供彩色光刻膠理化性能的測(cè)試方法?！?部分：光學(xué)性能。目的是給出并提供彩色光刻膠光學(xué)性能的測(cè)試方法?！?部分：可靠性。目的是給出并提供彩色光刻膠可靠性的測(cè)試方法。1平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法第2部分：光學(xué)性能1范圍本文件描述了平板顯示用彩色光刻膠光學(xué)性能中色度、輝度和對(duì)比度三項(xiàng)指標(biāo)的測(cè)試方法。本文件適用于平板顯示用彩色光刻膠的制造、質(zhì)量控制以及研發(fā)工作。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T3979物體色的測(cè)量方法GB/T5698顏色術(shù)語(yǔ)GB/T18910.11液晶顯示器件第1-1部分：術(shù)語(yǔ)和符號(hào)GB/T43793.1—2024平板顯示用彩色光刻膠測(cè)試方法第1部分：理化性能CIE1931色彩空間(colorspace)3術(shù)語(yǔ)和定義GB/T3979、GB/T5698和GB/T18910.11色溫為6774K的光源。界定的以及下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。亮態(tài)輝度lightstatebrightness彩色濾光片在對(duì)比度儀最大亮度狀態(tài)下測(cè)量出的亮度。暗態(tài)輝度darkstatebrightness彩色濾光片在對(duì)比度儀最小亮度狀態(tài)下測(cè)量出的亮度。彩色濾光片亮態(tài)輝度與暗態(tài)輝度的比值。4環(huán)境條件除非另有規(guī)定，測(cè)試應(yīng)在下列條件下進(jìn)行：a)測(cè)試過(guò)程全程避光，可為室中光源加濾光膜，以濾除紫外線(500nm以下);2b)環(huán)境溫度：23℃±2℃;c)相對(duì)濕度：30%～70%。5色度和輝度測(cè)試包括但不限于將彩色光刻膠涂于透明玻璃上，并經(jīng)前烘、曝光、顯影、后烘等工藝制備成具有特定均一膜厚(通常膜厚不大于5μm)的彩色濾光片的設(shè)備。5.1.2顯微分光光度計(jì)顯微分光光度計(jì)要求如下。a)光源、波長(zhǎng)范圍、波長(zhǎng)間隔及誤差：如非特別指出，光源應(yīng)為標(biāo)準(zhǔn)C光源(燈管為鹵素?zé)艋蚶潢帢O熒光燈),采樣波長(zhǎng)范圍為380nm～780nm,波長(zhǎng)間隔1nm或5nm,誤差不應(yīng)大于士0.5nm。測(cè)光重復(fù)性應(yīng)在1%以?xún)?nèi)。b)校準(zhǔn)：根據(jù)制造商的說(shuō)明書(shū)對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)并記錄校準(zhǔn)期間所觀測(cè)到的、包括線性和波長(zhǎng)位移等的測(cè)試儀器特性，校準(zhǔn)周期不應(yīng)超過(guò)2年。c)色度和輝度測(cè)試穩(wěn)定性：樣品靜止不動(dòng)，測(cè)試20次，輝度最大誤差不應(yīng)大于±0.05,色度最大誤差不應(yīng)大于±0.0005。5.2樣品狀態(tài)調(diào)節(jié)測(cè)試樣品應(yīng)均勻，無(wú)氣泡、雜質(zhì)和透明間隙。按照以下步驟順序進(jìn)行測(cè)試。a)將彩色光刻膠涂于潔凈玻璃基板上，依照供需雙方協(xié)商確定的前烘、曝光、顯影、后烘等程序，制成符合測(cè)試條件的彩色濾光片，并切割成符合儀器操作說(shuō)明所規(guī)定的尺寸。b)確認(rèn)設(shè)備電源線路、數(shù)據(jù)線路連接正常、無(wú)松動(dòng)，確保電源處于穩(wěn)定狀態(tài)，并確保計(jì)算機(jī)系統(tǒng)工作正常。c)根據(jù)儀器使用說(shuō)明書(shū)，顯微分光光度計(jì)開(kāi)機(jī)預(yù)熱至穩(wěn)定狀態(tài)方可開(kāi)始測(cè)量。d)調(diào)節(jié)顯微分光光度計(jì)測(cè)量斑或入射光斑大小及清晰度，在測(cè)試樣品表面上的顯微分光光度計(jì)測(cè)量斑尺寸或入射光斑尺寸應(yīng)小于被測(cè)測(cè)試樣品透光區(qū)，且測(cè)量斑或入射光斑直徑不大于e)使用與待測(cè)樣品基材相同材質(zhì)的空白玻璃基板測(cè)量參比光量。f)將樣品放置到測(cè)試設(shè)備的樣品臺(tái)上，使光源從樣品玻璃面射入。g)測(cè)試樣品的色度和輝度數(shù)據(jù)。如果測(cè)試多個(gè)樣品，每個(gè)樣品的測(cè)試區(qū)域應(yīng)相同。h)按照GB/T43793.1—2024中7.4的規(guī)定測(cè)量測(cè)試區(qū)域膜厚，并記錄。i)數(shù)據(jù)處理。5.4數(shù)據(jù)處理數(shù)據(jù)處理包括以下內(nèi)容。a)樣品的輝度和色度應(yīng)按照CIE1931確定：輝度以Y表示，色度以x,y表示；或可按照3GB/T20147.4確定：輝度以L*表示，色度以a*,b*表示；或輝度以L*表示，色度以u(píng)*,v*表示。b)色度測(cè)試結(jié)果應(yīng)保留4位有效數(shù)字，輝度測(cè)試結(jié)果應(yīng)保留2位有效數(shù)字，膜厚度應(yīng)保留5位有效數(shù)字。5.5測(cè)試報(bào)告測(cè)試報(bào)告應(yīng)包括以下內(nèi)容：a)測(cè)試樣品來(lái)源、名稱(chēng)和批號(hào)等；b)采用的測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)號(hào)(本文件編號(hào));c)測(cè)試條件(儀器設(shè)備型號(hào)、測(cè)試斑點(diǎn)尺寸);d)測(cè)試日期；e)獲得的測(cè)試結(jié)果(輝度、色度值和測(cè)試區(qū)域的膜厚)。6對(duì)比度測(cè)試6.1儀器包括但不限于將彩色光刻膠涂于透明玻璃上，并經(jīng)前烘、曝光、顯影、后烘等工藝制備成具有特定均一膜厚的彩色濾光片的設(shè)備。對(duì)比度儀參數(shù)如下。a)光源及誤差：如非特別指出，光源一般為標(biāo)準(zhǔn)C光源(燈管為鹵素?zé)艋蚶潢帢O熒光燈),對(duì)比度誤差不大于5%。b)測(cè)試區(qū)域：樣品測(cè)試區(qū)域應(yīng)為儀器可檢測(cè)的有效區(qū)域。c)校準(zhǔn)：根據(jù)制造商的說(shuō)明書(shū)對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)并記錄校準(zhǔn)期間所觀測(cè)到的、包括線性和波長(zhǎng)位移等的測(cè)試儀器特性，校準(zhǔn)周期不超過(guò)2年。d)亮態(tài)輝度、暗態(tài)輝度和對(duì)比度測(cè)試穩(wěn)定性：樣品靜止?fàn)顟B(tài)，測(cè)試10次，相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差(RSD):亮態(tài)輝度不大于±3%,暗態(tài)輝度不大于士5%,對(duì)比度不大于5%。若相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差超過(guò)，應(yīng)更6.2測(cè)試條件測(cè)試區(qū)域應(yīng)為膜厚均一的單一像素，測(cè)試樣品應(yīng)無(wú)氣泡、雜質(zhì)和透明間隙。6.3測(cè)試步驟按照以下步驟順序進(jìn)行測(cè)試。a)將彩色光刻膠涂于潔凈玻璃基板上，依照前烘、曝光、顯影、后烘等程序，制成符合測(cè)試條件的彩色濾光片，并切割成符合儀器操作說(shuō)明所規(guī)定的尺寸。b)確認(rèn)設(shè)備電源線路、數(shù)據(jù)線路連接正常、無(wú)松動(dòng)，確保電源處于穩(wěn)定狀態(tài)，并確保計(jì)算機(jī)系統(tǒng)工作正常。c)根據(jù)儀器使用說(shuō)明書(shū)，對(duì)比度儀開(kāi)機(jī)預(yù)熱至穩(wěn)定狀態(tài)方可開(kāi)始測(cè)量。d)測(cè)試設(shè)備初始位置、光源及內(nèi)部校準(zhǔn)。GB/T43793.2—2024e)以空氣為基底進(jìn)行測(cè)試(不放任何樣片),等待儀器測(cè)試結(jié)束。空氣基底對(duì)比度結(jié)果在量程C±1%范圍內(nèi)，后續(xù)測(cè)試數(shù)據(jù)可靠。f)將樣品放置到測(cè)試設(shè)備的樣品臺(tái)上，使光源從樣品玻璃面射入。g)測(cè)試樣品的亮態(tài)輝度和暗態(tài)輝度。h)數(shù)據(jù)處理。6.4數(shù)據(jù)處理對(duì)比度以CR表示，按公式(1)計(jì)算。CR=Lmx/Lmin………………(1)式中：CR——對(duì)比度；Lmx——亮態(tài)輝度(或稱(chēng)偏光片平行時(shí)輝度),單位為坎德拉每平方米(cd/m2);Lmx——暗態(tài)輝度(或稱(chēng)偏光片垂直時(shí)輝度