編制說明（貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長度的掃描電鏡測定方法）

2貴金屬鍵合絲以良好的導(dǎo)電、導(dǎo)熱和化學(xué)穩(wěn)定性，廣泛應(yīng)用于高端IC度測量尤為重要，是鍵合絲產(chǎn)品生產(chǎn)及研發(fā)影響區(qū)長短。GB/T6394-2017《金屬平均晶粒度測定方法》[3]規(guī)定了金屬平3法二聚焦離子束FIB法是針對50微米以下各類貴金屬鍵合絲的熱影響區(qū)長門提出制定貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長度的掃描電鏡測定方法標(biāo)準(zhǔn)制定計劃書，于2023年5月獲全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會批準(zhǔn)，項目計劃編號因公司發(fā)展需要，貴研鉑業(yè)股份有限公司已更名為云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司，更名事宜于2023年12月8日通過上市公司股東大會審議，2023年12月12日完成工商變更，并取得新的營業(yè)執(zhí)照，故第一起草單位名稱變更為云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司。4成績，其中制定了國內(nèi)第一項FIB先進(jìn)制樣法標(biāo)準(zhǔn)GB/T38783-2020《貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃描電鏡測定方法》細(xì)絲研發(fā)提出的檢測需求，我們已經(jīng)應(yīng)用FIB技術(shù)對超細(xì)貴金屬鍵合絲做了大量工作，包括直徑20微米以下貴金屬超細(xì)復(fù)合絲橫截面的制備及其覆層厚度測量；直徑12微米加工態(tài)超細(xì)貴金屬絲材的縱截面制備及電子背散射衍射（EBSD）分析測試；20μm鍵合金絲燒球處理后縱截面制備及組織觀標(biāo)準(zhǔn)起草人擁有10年的貴金屬材料研發(fā)經(jīng)驗，長期從事貴金屬材料的標(biāo)準(zhǔn)項目編制單位云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司承擔(dān)項5北京博達(dá)有色金屬焊料煙臺一諾電子材料有限測試評價有限公司、郴州市產(chǎn)商品質(zhì)量監(jiān)督檢云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司自備及北京博達(dá)有色金屬焊料有限責(zé)任公司、煙臺一諾電子材料有限公2015年云南省貴金屬新材料控股集團(tuán)股份有限公司通過國家某平臺建設(shè)項目先后引進(jìn)FIB-SEM、TEM等設(shè)備使得檢測中心物性測試能力得到極6提出了對其產(chǎn)品20微米絲徑的貴金屬鍵合絲的熱影響區(qū)長度測量的測試需2020年以來，我們應(yīng)用FIB-SEM雙束系統(tǒng)檢測先后測試了不同成分、級主管部門提出制定貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長度的掃描電鏡測定方法標(biāo)準(zhǔn)制定計劃書，于2023年5月獲全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會批準(zhǔn)，項目公司作為共同起草人，以及其提出的直接觀察法也可用FIB法測量，即本標(biāo)準(zhǔn)所用的直接觀察法7品熱影響區(qū)長度的快速檢測與粗略測定，F(xiàn)IB法測試成本高但獲得的晶粒組使用FIB對貴金屬鍵合絲熱影響區(qū)長度的測量體現(xiàn)了該標(biāo)準(zhǔn)的先進(jìn) 作用，隨著技術(shù)的提高使用成本的下降該設(shè)備普及的可能性較大，可見 工及燒球處理后的鍵合金絲組織可以通過掃描電鏡的背散射成像模式觀察8切割時間較長，不太適合絲徑大于50μ為保證足夠的強(qiáng)度與韌性，貴金屬鍵合絲產(chǎn)品一般都進(jìn)行加工與適當(dāng)退9參與鍵合金絲直接觀察法驗證的單位有北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司、煙臺一諾電子材料有限公司、國和通用（青島）測試評價有限公司、YG3-20同批次樣品參與驗證，驗證情況如下：下表是各驗證單位對同批次YG3-20鍵合金絲熱影響區(qū)長度的測量值，下圖是各YG3-20鍵合金絲熱影響區(qū)長度的測量值對各驗證單位對同批次YG3-20鍵合金絲從圖表可看出，達(dá)博、一諾、郴州質(zhì)檢和貴研四家單位對YG3-20鍵合YG3-25同批次樣品參與驗證，驗證情況如下：下表是各驗證單位對同批次YG3-25鍵合金絲熱影響區(qū)長度的測量值，下圖是各YG3-25鍵合金絲熱影響區(qū)長度的測量值對各驗證單位對同批次YG3-25鍵合金絲家測量值差異的因素主要有同批次樣品之間的北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司參與了聚焦離子束（FIB）法的驗證。其中采用的是國儀量子DB500雙束電子顯微鏡，鎵離子束與電子束傾角為54°。達(dá)博和貴研兩家單位分別對同批次的Au-下圖是各驗證單位對同批次Au-20鍵合金絲熱影響區(qū)長度的測量值對比統(tǒng)計各驗證單位對同批次Au-20鍵合金絲熱影響其中方法一直接觀察法是針對鍵合金絲產(chǎn)品便捷，可以滿足不同絲徑和型號鍵合金絲熱方法測量精度有限，適用于鍵合金絲產(chǎn)品熱二FIB法是針對50微米以下各類貴金屬鍵合絲的熱影響區(qū)長度的標(biāo)準(zhǔn)測量，雖然方法步驟復(fù)雜，但是它能可觀真實的真實情況，離子束成像更清晰，測量結(jié)果一項FIB技術(shù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)GB/T38783-2020《貴金屬復(fù)合材料覆層厚度的掃［1］郭迎春,楊國祥,孔建穩(wěn),等.鍵合金絲的研究進(jìn)展及應(yīng)用[J].