化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)

化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)1化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024報告目錄動力組2化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024[1]PANDA化學(xué)品系統(tǒng)用途及概況3化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024TFT基本工藝流程薄膜(ThinFilm)PVD:成長導(dǎo)電層CVD:成長絕緣層黃光(Photo)Exposure:曝光Coater&Developer:光阻涂布及顯影蝕刻(Etching)Dry:絕緣層之蝕刻WET:導(dǎo)電層之蝕刻STR:光阻去除Cleaner:清洗基板測試(Testing)KIP:電性測試KOI:光學(xué)檢查REN:缺陷修補KMM:Mura檢查

循環(huán)4化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024GlassPRFilmGlassPRGlassPAGlass1.基板上um級的Particle如何去除？？？2.各膜層圖案是怎么形成的？？？3.各膜層上光阻是如何去掉的？？？引言25化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024以Array為例：蝕刻組織架構(gòu)6化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024化學(xué)品

ArrayPhoto工段

ArrayWET工序

CFPhoto工段

CellPI工段PCD顯影工序TMAH25%PCD涂膠工序EBRthinner蝕刻工序：ITO，IGZO,K255等刻蝕液剝離工序：StripperPDV顯影工序KOH0.045%PCT涂膠工序EBRthinnerRework工序ITO、RGB-rework等PI工序NMP,N321，N403G8.6化學(xué)品主要使用區(qū)域7化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024原料槽車進(jìn)廠CCB充裝口CDS供應(yīng)機(jī)臺VMB閥箱

工藝機(jī)臺補充供應(yīng)200L桶動力化學(xué)品間生產(chǎn)凈房1.1CCSS工藝流程簡介廢液桶槽高濃度廢液排放廢液槽車外運至處理廠家CCSS:Central

ChemicalSupplySystem中央化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)8化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241.2G8.6CCSS站房位置分布4H有機(jī)化學(xué)品供應(yīng)及回收間(±0.00m)化學(xué)品間控制室4A無機(jī)化學(xué)品供應(yīng)間4B有機(jī)化學(xué)品回收間4B無機(jī)供應(yīng)間4B

KOH稀釋間4B有機(jī)供應(yīng)間K255K255-NewStripperEBR清邊液Stripper廢液EBR廢液IGZO刻蝕廢液NaClO2TMAH（25%）IGZO-EtchantKP-5-newNa2SO3ITO-EtchantKP-5HNO3（65%）N321廢液N403廢液NMP廢液EBR稀釋劑廢液ITO-rework廢水提升罐RGB-rework廢水提升罐ITO-reworkRGB-reworkKOH4.5%KOH0.045%N321N403NMPEBR稀釋劑RGB-rework-new廢水提升站4HStripperEBRIGZO-Etchant中繼提升站房9化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241.2G8.6運輸動線4H有機(jī)化學(xué)品供應(yīng)及回收間(±0.00m)化學(xué)品間控制室4A無機(jī)化學(xué)品供應(yīng)間4B有機(jī)化學(xué)品回收間4B無機(jī)供應(yīng)間4B

KOH稀釋間4B有機(jī)供應(yīng)間倉庫地磅處門衛(wèi)2資材倉庫辦公室質(zhì)量部QC辦公室來料廠商聯(lián)絡(luò)倉庫流程：倉庫通知QC和動力FMCS動力FMCS倉庫，動力，QC三方到廠檢查過磅沿動線至TCM10化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024設(shè)置場所藥液名稱成分設(shè)計使用量（140K）設(shè)計廢液量（140K）輸送方式TanK大小備注(L/day)(L/day)供給回收供給(M3)回收(M3)Array棟機(jī)械室

稀釋劑EBRPGME

PGMEA9602490LorryLorry20+6*230剝離液stripperAlkanolamine

Glycols4448840039LorryLorry30*840*5K255-newH2O2

HNO3

等42011-Lorry-30*3-部分儲罐共用切換K255H2O2

HNO3

等79136-Lorry-30*14-ITO-Etchant草酸

等12947-Lorry-30*2+6*2-酸化膜AL-Etch磷酸

硝酸

醋酸67875017LorryLorry30*1+6*240顯影液25%TMAHTMAH13057-Lorry-30*2+6*2-硝酸硝酸795-Drum-3*2-KP5HNO3

NH4HF2

等3782-LorryorDrum-30*1+3*2-KP5-newHNO3等2121-LorryandDrum-20*1+3*2Na2S（20%）-3100-lorry-20*1-洗滌塔用藥NaClO2（20%）-5800-lorry-20*1-1.5G8.6化學(xué)品用量信息匯總表11化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024設(shè)置場所藥液名稱成分設(shè)計使用量（140K）設(shè)計廢液量（140K）輸送狀態(tài)Tank大小備注L/dL/d供給回收供給（M3）回收（M3）CELL制程清洗液N321(CELL)2-amino-ethanol

Glycol-ether1694794LorryLorry20*1+3*230NMP(CELL)N-Methyl-2-Pyrrolidone799970LorryorDrumLorry20*1+3*230N403(CELL)

Alkanolamine

Glycols41241794LorryorDrumLorry30*1+6*230

CF制程

有機(jī)溶劑EBR(CF)PGME

PGMEA18434029LorryLorry20*1+3*240現(xiàn)像液1DEV(CF)potassiumhydroxide23891-Lorry-30*3-現(xiàn)像液1調(diào)合Tank(CF)potassiumhydroxide2389062-from現(xiàn)像液1(CF)-30*8-ITO-Rework(CF)鹽酸289-Drum-3*2-RGB-Rework(CF)potassiumhydroxide

Diethanolamine514-Drum-3*2-RGB-rework-newTMAH,DMSO,BDG,NMP514-Drum-3*2-1.5G8.6化學(xué)品用量信息匯總表12化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024[2]PANDA化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)計專篇13化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024主要參考規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)：2.1化學(xué)品站房規(guī)劃設(shè)計1.參考GB50016-2014《建筑設(shè)計防火規(guī)范》，我司化學(xué)品站應(yīng)歸類于乙類庫房，能存放閃點大于28℃，小于60℃的液體，不能存放屬于甲類的氧化劑及化學(xué)易燃危險固體，不能存放爆炸下限小于10%的氣體。但實際我司化學(xué)品庫按照甲類二級防火建筑標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)。2.GB50058-92《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》明確各類電氣設(shè)備存放區(qū)域，電氣管線及裝置防爆等級。3.GB50019-2003《采暖通風(fēng)和空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》明確站房排風(fēng)類型及風(fēng)量要求等。4.GB15603-1995《常用化學(xué)危險品貯存通則》明確化學(xué)品站房設(shè)計原則基本考慮如下：a.有機(jī)化學(xué)品和無機(jī)化學(xué)品分開儲存，設(shè)計在不同的供應(yīng)間；b.供應(yīng)間與使用點應(yīng)考慮供應(yīng)的距離，采用就近原則，還需考慮設(shè)備的安裝條件，化學(xué)品間的高度應(yīng)與生產(chǎn)產(chǎn)房一致；c.易燃易爆的有機(jī)間應(yīng)考慮到防爆措施，應(yīng)采用非燃燒輕質(zhì)屋頂、輕質(zhì)墻體作為泄壓設(shè)施，設(shè)計使用二氧化碳滅火系統(tǒng)，電氣防爆隔離，操作界面與供應(yīng)間隔離；d.有腐蝕性質(zhì)的化學(xué)品供應(yīng)間，其地面、門窗、墻面需要有防腐功能。5.GB13690-2009《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)識》明確我司各類化學(xué)品的類別歸屬及標(biāo)識方法。6.SJ30002-92《電子工業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)定》明確化學(xué)品站房職業(yè)衛(wèi)生安全相關(guān)設(shè)施設(shè)計要求。14化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024化學(xué)品建筑安全設(shè)計

建筑特藥有機(jī)（4H）無機(jī)房（1G）外墻鋼筋混凝土空心磚防爆隔墻

屋面輕鋼夾芯板鋼筋混凝土建筑防火甲類二級防火換風(fēng)正常情況下每小時6次緊急情況下每小時12次負(fù)壓保證負(fù)壓控制圍堵系統(tǒng)：儲罐區(qū)域采用±0設(shè)計，但構(gòu)筑整體圍堰以避免化學(xué)品外泄造成污染易燃易爆區(qū)，采用輕鋼屋面防爆隔離墻2.1化學(xué)品站房規(guī)劃設(shè)計15化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20242.化學(xué)品系統(tǒng)設(shè)計流程Step1.根據(jù)技術(shù)組UM表確定每種化學(xué)品供應(yīng)及回收方式Step2根據(jù)技術(shù)組UM表確定儲存罐及管道材質(zhì)，儲罐容積大小Step3根據(jù)技術(shù)組UM表確定藥液輸送泵型號，過濾器型號，管徑大小Step4根據(jù)供應(yīng)邏輯編寫調(diào)試軟體程序，測試interlock功能16化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024[3]PANDA化學(xué)品系統(tǒng)安全專篇17化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241.動力供化學(xué)品危險性分類（按實際物料性質(zhì)辨識）1

危險系數(shù)高N321剝離清洗劑，Stripper剝離液，AL刻蝕液，RGB-rework，ITO-rework（原液及廢液，酸/堿摩爾濃度高，酸堿腐蝕性強(qiáng)）KP-5輔助銅刻蝕液（原液，含有NH4F，可能水解產(chǎn)生HF）EBR稀釋劑（原液及廢液，有機(jī)成分>95%,易燃易爆）NMP溶劑（原液及廢液，有機(jī)成分>95%,易燃易爆）TMAH25%濃液（堿性、神經(jīng)毒性）硝酸（65%，強(qiáng)腐蝕性）K255，KOH，ITO刻蝕液，亞硫酸鈉，亞氯酸鈉（原液濃度較低或腐蝕性相對較?。?

危險系數(shù)中等3

危險系數(shù)較低18化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241.1高危險性化學(xué)品性質(zhì)剖析-NMP暴曬試驗試驗簡述取100mlNMP廢液，在室外溫度35°時暴曬3小時。結(jié)論：未見燃燒及其他異常19化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024試驗簡述取100mlNMP廢液，室外溫度35°，用明火點燃結(jié)論：極具燃燒性質(zhì)，遇明火易燃！1.1高危險性化學(xué)品性質(zhì)剖析-NMP明火接觸試驗20化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241、警示語：警告2、危險性說明：易燃液體和蒸氣。對眼有強(qiáng)烈的刺激。可能造成對呼吸器官的刺激。可能引起嗜睡或頭暈。3、滅火方法及滅火劑：水噴霧頭泡沫干粉二氧化碳(CO2)4、救火時的特殊危險性火災(zāi)發(fā)生時，燃燒會產(chǎn)生有害氣體：一氧化碳（CO）5、防火防爆的建議遠(yuǎn)離火源。采取預(yù)防措施防止靜電積累試驗簡述取100mlEBR廢液，在室外溫度35°時暴曬3小時。結(jié)論：未見燃燒及其他異常1.1高危險性化學(xué)品性質(zhì)剖析-EBR暴曬試驗21化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024試驗簡述取100mlEBR廢液，室外溫度35°，用明火點燃結(jié)論：極具燃燒性質(zhì)，遇明火易燃！1、警示語：警告2、危險性說明：易燃液體和蒸氣。對眼有強(qiáng)烈的刺激?？赡茉斐蓪粑鞴俚拇碳??？赡芤鹗人蝾^暈。3、滅火方法及滅火劑：水噴霧頭泡沫干粉二氧化碳(CO2)4、救火時的特殊危險性火災(zāi)發(fā)生時，燃燒會產(chǎn)生有害氣體：一氧化碳（CO）5、防火防爆的建議遠(yuǎn)離火源。采取預(yù)防措施防止靜電積累1.2高危險性化學(xué)品性質(zhì)剖析-EBR明火接觸試驗22化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024TMAH中毒致死案例

1996年2月中旬臺灣高雄某電子化學(xué)品制造廠工人在從事TMAH輸送系統(tǒng)故障之排除工作時，輸送管線爆裂造成兩名工人身體多處被TMAH溶液噴濺，兩名工人立即用大量清水緊急沖淋，20分鐘后兩名呈現(xiàn)昏迷現(xiàn)象，廠方人員即刻對兩名工人施以心臟復(fù)蘇術(shù)并送醫(yī)院急救，經(jīng)醫(yī)院搶救無效死亡。

1.3高危險性化學(xué)品案例-TMAH中毒致死23化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024

研究表明TMAH主要健康危害，其特性為類似毒螺類神經(jīng)毒素，可以抑制呼吸肌肉群，造成呼吸肌肉停止，心跳減緩，嚴(yán)重者腦部缺氧死亡。

吸入、食入和皮膚大面積接觸TMAH時，在15-30分鐘內(nèi)產(chǎn)生急性中毒，甚至呼吸停止死亡，人類口服可能致死劑量：25%TMAH0.8-4cc，2.38%TMAH8.4-42cc。急救措施：皮膚接觸是立即以大量清水持續(xù)沖洗20分鐘以上并脫去受污染衣物，立即送醫(yī)院急救，過程中避免二次污染；不慎吸入時，若患者呼吸困難，立即供應(yīng)氧氣，若患者停止呼吸時，立即施以人工呼吸并送醫(yī)院急救。

1.3高危險性化學(xué)品案例-TMAH毒性危害24化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024面對?；?，該如何安全運行？2.危險化學(xué)品安全預(yù)防措施25化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20242.1危險化學(xué)品安全預(yù)防硬件措施排氣系統(tǒng)：無機(jī)化學(xué)品系統(tǒng)充裝口/供應(yīng)機(jī)臺漏液偵測器均與緊急排氣風(fēng)機(jī)閥門聯(lián)動

有機(jī)化學(xué)品系統(tǒng)供應(yīng)機(jī)臺設(shè)置有紅外及溫度探測器，與房間氣體偵測器一并與緊急排氣風(fēng)機(jī)閥門聯(lián)動槽車CCB充裝口CDS供應(yīng)機(jī)臺門偵測器VMB閥箱

工藝機(jī)臺補充供應(yīng)200L桶化學(xué)品供應(yīng)間生產(chǎn)凈房漏液偵測CO2自動滅火裝置（有機(jī)機(jī)臺設(shè)置）氣體泄露偵測器（有機(jī)及HF房間設(shè)置）消防系統(tǒng)：各個站房均按國家標(biāo)準(zhǔn)配置煙霧報警器，消防栓，滅火器等消防設(shè)施勞保應(yīng)急：各個站房按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)配置有沖身洗眼器，應(yīng)急器材柜等勞保應(yīng)急物資26化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241.動力化學(xué)品運行團(tuán)隊及運行機(jī)制建設(shè)情況TCM工作范圍人員職責(zé)TCM經(jīng)理：工作管理與人員管理1.TCM工作管理:1)與業(yè)主排定維修保養(yǎng)計劃。

2)依保養(yǎng)計劃安排每日工單項目。

3)現(xiàn)場維修保養(yǎng)作業(yè)質(zhì)量之督導(dǎo)。

4)異常維修追蹤管控。2.TCM人員管理

1)人員班表排定

2)人員請假/調(diào)班與加班人員控管

3)人員之教育訓(xùn)練與案例倡導(dǎo)TCM領(lǐng)班:工作管理與執(zhí)行

1）依當(dāng)日工單:安排人力完成任務(wù)

2）現(xiàn)場修保養(yǎng)作業(yè)執(zhí)行確認(rèn).3）異常維修執(zhí)行報告

4）出勤回報.5）周報/月報整理TCM安全工程師:安全標(biāo)準(zhǔn)化實施及現(xiàn)場安全管理

1）TCM安全標(biāo)準(zhǔn)化內(nèi)容實施更新2）現(xiàn)場作業(yè)安全檢查及督導(dǎo)整改3）員工不安全行為糾正教育4）各類安全報告整理班組組員：負(fù)責(zé)TCM工作范圍內(nèi)工作及任務(wù)之執(zhí)行

（1人監(jiān)控電腦、2人抄表巡檢）

1）值班抄表巡檢

2）監(jiān)控裝置

3）異常緊急聯(lián)絡(luò)窗口4）酸桶更換.5）槽車充填/回收作業(yè)檢查（平均每天6~8輛槽車）.6）取樣送檢作業(yè)

7）定期維修保養(yǎng)作業(yè)執(zhí)行①FilterPM②Sensor測試③Parts更換④電動機(jī)具保養(yǎng)(堆高機(jī)/板車/夾酸車)8）其它業(yè)主交辦事項（1）動力部化學(xué)品工程師職責(zé)：1.化學(xué)品原料/廢液叫料/外運安排。2.化學(xué)品系統(tǒng)運行過程中產(chǎn)線反應(yīng)的問題對應(yīng)解決。3.全方位安全監(jiān)管。4.TCM運行工作監(jiān)管。5.化學(xué)品節(jié)能減排工作推進(jìn)實施。另：動力部設(shè)置1名專職化學(xué)品工程師和3名兼職運行人員（每班一名）（2）動力部兼職運行人員職責(zé)：

1.槽車接駁，每天上下午各一次現(xiàn)場槽車充裝安全巡查。2.抽查TCM工作執(zhí)行情況，并反饋于化學(xué)品工程師。2.2專業(yè)?；愤\行團(tuán)隊及運行機(jī)制建立27化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024序號工作內(nèi)容實施人員實施頻次附圖1日常運行點檢（用/存量統(tǒng)計）TCM現(xiàn)場點檢一天4次，監(jiān)控電腦液位統(tǒng)計一天4次，總計8次/天2日常運行點檢（設(shè)備保養(yǎng)點檢）TCM按日/月/季度/年保養(yǎng)計劃嚴(yán)格實施，動力部工程師每周抽查核實后于點檢表簽字，確保完成質(zhì)量3日常運行點檢(槽車充裝檢查）TCM及動力運行部運行人員每輛槽車嚴(yán)格按照checklist流程作業(yè)，TCM，動力部運行人員，化學(xué)品工程師三級監(jiān)管，每周周報回顧發(fā)現(xiàn)問題，舉一反三4日常運行點檢（化學(xué)品管道檢查）TCM目前僅涉及一次配，待二次配驗收后也包含入內(nèi)，每周完成一次全面檢查5日常運行點檢（電氣設(shè)備專項檢查）TCM每月一次，須持溫槍或熱成像儀對所有化學(xué)品電氣柜進(jìn)行溫度檢查6日常5S整理TCM每天一塊區(qū)域（包含機(jī)臺清潔），每周將所有區(qū)域清理一遍略1.動力化學(xué)品運行團(tuán)隊（TCM）工作實施情況（普通類）2.2.1化學(xué)品系統(tǒng)運行-運行工作分解28化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024序號工作內(nèi)容實施人員實施頻次附圖1安全標(biāo)準(zhǔn)化體系更新落實TCMTCM安全工程師專人跟蹤落實，動力化學(xué)品工程師2周對照總清單目錄檢查一次體系更新情況2安全點檢（排氣設(shè)備，CO2自動滅火設(shè)備，偵測器等設(shè)備點檢）TCM按日/月/季度/年保養(yǎng)計劃嚴(yán)格實施，動力部工程師每周抽查核實后于點檢表簽字，確保完成質(zhì)量3安全點檢(消防設(shè)施及應(yīng)急勞保器材點檢）TCM,動力運行部消防設(shè)施半月點檢一次（較公司要求增加一倍），滅火器材動力部消防運行人員季度復(fù)核，勞保及應(yīng)急用品由動力化學(xué)品工程師季度復(fù)核4應(yīng)急培訓(xùn)，演練TCM，動力運行部TCM每周內(nèi)部培訓(xùn)一次，每月為動力部運行班組進(jìn)行一次例行培訓(xùn)，參與各類?；废嚓P(guān)演習(xí)一次5安全專項檢查TCM，動力運行部TCM安全工程師一周一次，經(jīng)理2周一次，動力部化學(xué)品工程師一周一次，科長帶隊專項檢查2周一次2.2.1化學(xué)品系統(tǒng)運行-運行工作分解2.動力化學(xué)品運行團(tuán)隊（TCM）工作實施情況（安全類）29化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/2024安全管理提升軟件措施高標(biāo)準(zhǔn)建立動力特氣化學(xué)品及大宗氣站安全管理標(biāo)準(zhǔn)化體系

加強(qiáng)槽車充裝現(xiàn)場安全管理，報請運行科支援人力落實充裝現(xiàn)場巡檢制度。

規(guī)范及完善的表單臺賬制度，作為TCM請款考核資料與產(chǎn)線組織聯(lián)合應(yīng)急演練，加強(qiáng)重點區(qū)域化學(xué)品泄露應(yīng)急處理能力Step1Step2Step3Step42.3運行期危險化學(xué)品安全提升措施30化學(xué)品基礎(chǔ)知識培訓(xùn)5/8/20241.施工作業(yè)管理2.無死角安全檢查制度1.特種及普通作業(yè)：嚴(yán)格執(zhí)行動力部作業(yè)審批許可流程，施工前