(高清版)GBT 42604-2023 真空技術(shù) 真空計(jì) 熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范

GB/T42604—2023/ISO27894國家市場監(jiān)督管理總局國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)I Ⅲ 1 1 1 5 6 67制造商另給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范(可選) 8 9附錄A(資料性)典型的玻璃殼體的B-A型真空計(jì) 附錄B(資料性)B-A型真空計(jì)的典型電連接 附錄C(資料性)電離真空計(jì)的問題 ⅢV空計(jì)收集的離子流與氣體密度和壓力成正比。高速運(yùn)動(dòng)的電子碰則是通過自持放電或電子發(fā)射陰極產(chǎn)生。在商用電離真空計(jì)中，電子1GB/T42604—2023/ISO27894:2b)熱陰極電離真空計(jì)通常用作參考標(biāo)準(zhǔn)，本文件為高真空下正確校準(zhǔn)真空計(jì)的相關(guān)信息。使用電離真空計(jì)開c)本文件還列出了與電離真空計(jì)壓力測量相關(guān)的重要的不確定度分量，也給出了這些ISO/TS3567真空計(jì)與標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)直接比較校準(zhǔn)(Vacuumgauges—Calibrationbydirectcomparisonwitharefere2控制單元controlunit控制器controller電離計(jì)中可為規(guī)管供電、控制與測量電流或電壓以及在一些情況下為規(guī)管元件除氣供電的電路組件。注1:見附錄B中圖B.1。集成式integratedtype發(fā)射式transmittertype規(guī)管和控制器為一體式結(jié)構(gòu)，在烘烤時(shí)可以分開的真空計(jì)。分離式separatedtype被動(dòng)式passivegaugetype規(guī)管和控制器是獨(dú)立結(jié)構(gòu)，兩者之間由電纜連接的真空計(jì)。圖1集成式和分離式真空計(jì)單式真空計(jì)singlegauge由單個(gè)規(guī)管組成的真空計(jì)。3GB/T42604—2023/ISO27894:2009殼體envelope3.2物理參數(shù)定義SI。——發(fā)射電流；I?！趬毫下測量的離子流；p壓力；電離靈敏度ionizationsensitivity4式中：I.——發(fā)射電流：po——?dú)堄鄩毫?；壓力px修正系數(shù)correctionfactorf.p=fe·Pind (5) (6)相對(duì)修正系數(shù)relativecorrectionfactorfa——給定氣體“x”的修正系數(shù)；5GB/T42604—2023/ISO27894:2009p=fe/N?·Pind在恒定壓力下，從電離真空計(jì)開啟到讀數(shù)變化穩(wěn)定殘余電流等效壓力residualcurrent-equivalentpressure4符號(hào)和縮略語說明1p壓力殘余壓力真空計(jì)的示值壓力原級(jí)標(biāo)準(zhǔn)或參考標(biāo)準(zhǔn)的壓力待校準(zhǔn)儀器(真空計(jì))的示值壓力r1AAAS靈敏度(系數(shù))電離靈敏度6GB/T42604—2023/ISO5熱陰極電離真空計(jì)的原理σ——電離截面面積；k——玻耳茲曼常數(shù)。出于不同目的可配有額外的電極。電極的數(shù)量及其結(jié)構(gòu)和形狀取決于熱陰極電離真空計(jì)的具體6制造商給出的熱陰極電離真空計(jì)規(guī)范制造商應(yīng)提供6.1～6.20中給出的特性和規(guī)范，以便真空計(jì)用戶能夠估算壓力量值。電離真空計(jì)的問題見附錄C。6.1真空計(jì)的類型6.2顯示和測量信號(hào)輸出6.3測量范圍測量范圍通常取決于可接受的測量不確定度。因此，制造商應(yīng)給出測量是真空計(jì)讀數(shù)在測量不確定度限內(nèi)的最大壓力和最小壓力之間的范圍。如6.3中描述的，真空計(jì)總的相對(duì)不確定度(準(zhǔn)確度)u應(yīng)規(guī)定為讀數(shù)和/或測量范圍的全量程的百分比。應(yīng)按照GB/T27418—2017的規(guī)定給出相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。相對(duì)不確定度也能用帶有一個(gè)常數(shù)7GB/T42604—2023/ISO27894:2009應(yīng)分別規(guī)定規(guī)管和電纜可承受的最高溫度。如果集成式真空計(jì)的控制器能拆分，應(yīng)對(duì)此加以說小及其可能的波動(dòng)和漂移量。當(dāng)采用控制單元根據(jù)壓力改變調(diào)節(jié)發(fā)射給出壓力切換點(diǎn)。壓力上升和下降過程可對(duì)應(yīng)不同的切換點(diǎn)，每個(gè)都應(yīng)給出規(guī)管內(nèi)所有電極的對(duì)地參考電位應(yīng)明確給出。電離概率很大程度取決于電子能量，根據(jù)參考電6.11接口宜給出用SI單位表示的規(guī)管和控制器尺寸的輪廓圖?？杀硎緸閷挾取辽疃取粮叨?w×d×8點(diǎn)下引入高純氣體完成試驗(yàn)。制造商可給出一些典型測7.2顯示范圍9如果可行，應(yīng)給出靈敏度系數(shù)典型值，因?yàn)樵谝慌a(chǎn)品中該系數(shù)可零散分布。在眾多影響因素不穩(wěn)定性(見參考文獻(xiàn)[4])及其密度分布(見參考文獻(xiàn)[5])。靈敏度系數(shù)GB/T42604—2023/ISO壓升。為了避免這些影響，真空計(jì)宜保持潔凈。在超高真空(UHV)和極高真空(XHV)壓力(資料性)(資料性)B-A型真空計(jì)的典型電連接B-A型真空計(jì)的典型電連接見圖B.1。圖B.1B-A型真空計(jì)的典型電連接(資料性)C.1振動(dòng)和沖擊收集極一般是鎢制發(fā)夾型結(jié)構(gòu)，可能極易受振動(dòng)和外部沖擊以致?lián)p壞。對(duì)其他部件來說也是如C.2磁場要把規(guī)管放在真空腔室內(nèi)以免真空計(jì)之間的離子相互干擾。如果幾個(gè)真空計(jì)在真空腔室內(nèi)相C.6靈敏度(靈敏度系數(shù))C.7殼體GB/T42604—2023/ISO[1]ISO3529-3:1981Vacuumtechnology—Vocabulary—Part[2]ISO/TS27893Vacuumtechnology—Vacuumgauges—Evaluationoftheuncertaintiesresultsofcalibrationsbydirect[3]ISOGuide99:1993Internationalvocabularyofbasican(VIM).[4]ABBOTTPJ,LOONEYJP.Influenceofthefilamentityofglass-envelopeB-Agauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1994,12,pp.2911-2916.[5]ARNOLDPC,BILLSDG.Causesofunstableandnon-reproduciblesensitivitiesinBayard-Alpertionizationgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1984,2,pp.159-162.[6]JOUSTENK.Temperaturecorrectionsforthec[7]ABBOTTPJ,LOONEYJP,MOHANP.Theeffectotivityofhotcathodeionizationgauges.(Vacuum)2005,77,pp.217-222.[8]POULTERKF,SUTTONCM.Long-termbehaviorofionization[9]SCHMIDTK,BERGNERU.Stabilit?tvonHochvakuum-Meβrohren[Stabilityofvacuummeasuringtubes].(VakuumForsch.Prax.)1996,3,pp.177-182.[10]FILIPPELLIAR,ABBOTTPJ.Long-termstperformance:ResultsobtainedfromrepeatedcalibandTechnologyprimaryvacuumstandard.(J.Vac.Sci.Technol.A)1995,13,pp.2582-2586.[11]wOODSD,TILFORDCR.Long-termstabilityoftwotypesofhotcatgauges.J.Vac.Sci.Technol.A1985,3,pp.542-545.[12]TILFORDCR.Sensitivityofhotcathodeionizationgauges.(J[13]ARNOLDPC,BORICHEVSKYSC.gauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1994,12,pp.568-573.[14]TILFORDCR,FILIPPELLIAR,ABBOTTAlpertionizationgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1995,13,pp.458-487.[15]SUMMERSRL.Empiricalobservationsonthesensitivityofhotcathodeionivacuumgauges.NASATechnicalNote,NASATND-5285,1969.[16]NAKAOF.Determinationoftheionizationgaugesensitivityusingtherelativeioncross-section.(Vacuum)1975,25,pp.431-435.[17]HOLANDAR.Investigationofthesensitivityofionization-typevacuumgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1973,10,pp.1133-1139.[18]PEACOCKRN,PEACOCKNT,HAUcoldcathodeionizationgauges.(J.Vac.Sci.Technol.A)1991,9,pp.1977-1[19]BERMANA.Totalpressureme