DB34 4294-2022 半導體行業(yè)水污染物排放標準

半導體行業(yè)水污染物排放標準安徽省市場監(jiān)督管理局I 1 13術(shù)語和定義 2 3 5 5 5 7 8本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定本文件由安徽省人民政府2022年8月22日批準。GB/T7466水質(zhì)總鉻的測定GB/T7467水質(zhì)六價鉻的測定二苯碳酰二肼分光光度法GB/T7470水質(zhì)鉛的測定雙硫腙分光光度法GB/T7471水質(zhì)鎘的測定雙硫腙分光光度法GB/T7484水質(zhì)氟化物的測定離子選擇電極法GB/T11893水質(zhì)總磷的測定鉬酸銨分光光度法GB/T11901水質(zhì)懸浮物的測定重量法GB/T11907水質(zhì)銀的測定火焰原子吸收分光光度法GB/T11910水質(zhì)鎳的測定丁二酮肟分光光度法GB/T11912水質(zhì)鎳的測定火焰原子吸收分光光度法HJ/T60水質(zhì)硫化物的測定碘量法HJ/T195水質(zhì)氨氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T199水質(zhì)總氮的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T200水質(zhì)硫化物的測定氣相分子吸收光譜法HJ/T399水質(zhì)化學需氧量的測定快速消解分光光度法HJ484水質(zhì)氰化物的測定容量法和分光光度法HJ487水質(zhì)氟化物的測定茜素磺酸鋯目視比色法HJ488水質(zhì)氟化物的測定氟試劑分光光度法HJ489水質(zhì)銀的測定3,5-Br?PADAP分光光度法HJ490水質(zhì)銀的測定鎘試劑2B分光光度法2HJ494水質(zhì)采樣技術(shù)指導HJ501水質(zhì)總有機碳的測定燃燒氧化-非分散紅外吸收法HJ535水質(zhì)氨氮的測定納氏試劑分光光度法HJ536水質(zhì)氨氮的測定水楊酸分光光度法HJ537水質(zhì)氨氮的測定蒸餾-中和滴定法HJ636水質(zhì)總氮的測定堿性過硫酸鉀消解紫外分光光度法HJ637水質(zhì)石油類和動植物油類的測定紅外分光光度法HJ659水質(zhì)氰化物等的測定真空檢測管-電子比色法HJ667水質(zhì)總氮的測定連續(xù)流動-鹽酸萘乙二胺分光光度法HJ668水質(zhì)總氮的測定流動注射-鹽酸萘乙HJ671水質(zhì)總磷的測定流動注射-鉬酸銨分光光度法HJ694水質(zhì)汞、砷、硒、鉍和銻的測定原子熒光法HJ700水質(zhì)65種元素的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法HJ776水質(zhì)32種元素的測定電感耦合等離子體發(fā)射光譜法HJ828水質(zhì)化學需氧量的測定重鉻酸鹽法HJ970水質(zhì)石油類的測定紫外分光光度法(試行)HJ1069水質(zhì)急性毒性的測定斑馬魚卵法HJ1226水質(zhì)硫化物的測定亞甲基藍分光光度法《環(huán)境監(jiān)測管理辦法》(2007年7月25日國家環(huán)境保護總局令第39號)3中處理設(shè)施、工業(yè)集聚區(qū)(經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)、高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)、出口加工區(qū)等各類工業(yè)園區(qū))污水企業(yè)或生產(chǎn)設(shè)施排放到企業(yè)法定邊界外的廢水量，包括與生產(chǎn)有直接或間接關(guān)系的各種外排廢水(含廠區(qū)生活污水、冷卻廢水、鍋爐和電站廢水等)。取250ml水樣稀釋至1000ml(即體積分數(shù)為25%),則稀釋倍數(shù)D=4。測試中不產(chǎn)生測試效應(yīng)的最低稀釋倍數(shù)，本文件指不少于90%的斑馬魚卵存活時水樣的最低稀釋倍數(shù)，用LID表示。4.1水污染物排放限值見表1和表2。表1第一類水污染物排放限值污染物項目1總鎘(按Cd計)廢水排放口2總鉻(按Cr計)3六價鉻(按Cr“計)4總砷(按As計)5總鉛(按Pb計)廢水排放口6總鎳(按Ni計)7總銀(按Ag計)4單位：mg/L(pH值除外)污染物項目間接排放限值1氟化物(按F計)8企業(yè)廢水總排放口2總銅(按Cu計)3總鋅4硫化物(按S計)5總氰化物(按CN計)6pH(無量綱)7懸浮物(SS)8化學需氧量(COD)98總氮總磷陰離子表面活性劑(LAS)總有機碳(TOC)4.2企業(yè)向污水集中處理設(shè)施排放廢水時，其第二類水污染物排放應(yīng)達到表2中間接排放限值；向具4.3執(zhí)行特別排放限值的區(qū)域執(zhí)行表1和表2中相應(yīng)限值要求。4.4半導體生產(chǎn)企業(yè)不同產(chǎn)品規(guī)格的單位產(chǎn)品基準排水量執(zhí)行表3規(guī)定。表3單位產(chǎn)品基準排水量1≤6英寸芯片生產(chǎn)m3/片排水量計量位置與2m3/片312英寸芯片m3/片4封裝產(chǎn)品傳統(tǒng)封裝產(chǎn)品m3/千塊產(chǎn)品圓片級封裝產(chǎn)品m3/片5m3/萬塊產(chǎn)品注：本表中規(guī)定的單位產(chǎn)品基準排水量值應(yīng)按滿產(chǎn)情況進行測4.5半導體行業(yè)新建和現(xiàn)有企業(yè)廢水處理設(shè)施自2025年1月1日起，按表4監(jiān)測廢水的綜合毒性，每5表4綜合毒性控制項目1企業(yè)廢水總排放口以最低無效應(yīng)稀釋倍數(shù)來表征，在26℃±1℃的條件下培養(yǎng)48h,不少于90%的斑馬魚卵存活時水樣的最低稀釋4.6水污染物排放限值適用于單位產(chǎn)品實際排水量不高于單位產(chǎn)品基準排水量的情況。若單位產(chǎn)品實際排水量超過單位產(chǎn)品基準排水量，應(yīng)按公式(1)將實測水污染物濃度換算為水污染物基準水量排放濃度，并以水污染物基準水量排放濃度作為判定排放是否達標的依據(jù)。產(chǎn)品產(chǎn)量和排水量統(tǒng)計周期為一個工作日?！谄髽I(yè)的生產(chǎn)設(shè)施同時生產(chǎn)兩種以上產(chǎn)品，可適用不同排放控制要求或不同行業(yè)污染物排放標準時，且生產(chǎn)設(shè)施產(chǎn)生的污水混合處理排放的情況下，應(yīng)執(zhí)行排放標準中規(guī)定的最嚴格的濃度限值，并按公式(1)換算水污染物基準水量排放濃度：C基——水污染物基準排水量排放濃度，單位為毫克每升(mg/L);Q排水總量，單位為立方米(m3);Y某種產(chǎn)品產(chǎn)量，產(chǎn)品單位見表3:Q某種產(chǎn)品的單位產(chǎn)品基準排水量，產(chǎn)品單位見表3:C實——實測水污染物排放濃度，單位為毫克每升(mg/L)?！鬛總與ΣY×Q基的比值小于1,則以水污染物實測濃度作為判定排放是否達標的依據(jù)。5水污染物監(jiān)測要求5.1監(jiān)測一般要求5.1.1企業(yè)應(yīng)按照《環(huán)境監(jiān)測管理辦法》的規(guī)定，建立企業(yè)監(jiān)測制度，制定監(jiān)測方案，對水污染物排放狀況開展自行監(jiān)測，保存原始監(jiān)測記錄，公布監(jiān)測結(jié)果。5.1.2企業(yè)安裝污染物排放自動監(jiān)控設(shè)備的要求，按有關(guān)法律和《污染源自動監(jiān)控管理辦法》的規(guī)定5.1.3企業(yè)應(yīng)按環(huán)境監(jiān)測管理規(guī)定和技術(shù)規(guī)范的要求，設(shè)計、建設(shè)、維護排污口標志。5.1.4對企業(yè)排放的廢水采樣，應(yīng)根據(jù)監(jiān)測污染物的種類，在規(guī)定的污染物排放監(jiān)控位置進行。5.1.5建設(shè)項目環(huán)境保護設(shè)施竣工驗收監(jiān)測應(yīng)在主體工程調(diào)試工況穩(wěn)定、環(huán)境保護設(shè)施運行正常情況下進行，并記錄監(jiān)測時的實際工況。5.2監(jiān)測要求5.2.1水污染物的監(jiān)測采樣應(yīng)按HJ91.1、HJ493、HJ494、HJ495的規(guī)定執(zhí)行。5.2.2企業(yè)排放水污染物濃度的測定采用表5所列的方法標準。5.2.3本文件實施后，表5所列污染物如有新發(fā)布的環(huán)境監(jiān)測分析方法標準，其方法適用范圍和條件相同的，也適用于本文件對應(yīng)污染物的測定。6污染物項目1總鎘2總鉻水質(zhì)總鉻的測定34總砷567水質(zhì)銀的測定3,5-Br?PADAP分光光度法89懸浮物(SS)化學需氧量(C0D)總有機碳(TOC)總氰化物水質(zhì)石油類的測定紫外分光光度法(試行)7污染物項目總磷水質(zhì)無機陰離子(F、Cl、NO2-、Br、NO?、PO?、SO?2-、S04)的測定離子色譜法陰離子表面活性劑總銅總鋅86.2企業(yè)按照法律法規(guī)及標準規(guī)范要求與生態(tài)環(huán)境部門聯(lián)網(wǎng)的自動監(jiān)測有效數(shù)