3504歐路表操作指南

3504歐路表入門簡介：初步認識3504歐路表是一種可以通過調(diào)節(jié)功率、電壓或者電流等實現(xiàn)對設(shè)備溫度的控制儀器。其按鍵如圖1所示A/MAN自動/手動PROG選擇常用程序參數(shù)RUN/HOLD啟動/暫停換頁鍵，選擇新的菜單選擇菜單中新的參數(shù)減小參數(shù)數(shù)值或改變程序狀態(tài)增大參數(shù)數(shù)值或改變程序狀態(tài)該歐路表中共有4個訪問等級，不同訪問等級具有不同參數(shù)設(shè)置和作用，如表2所示：操作等級初始菜單全部操作參數(shù)配置控制Level1YESLevel2YESLevel3YESConfigaration基本操作=1\*GB3①在任何顯示界面下，可通過長時間按住進入訪問菜單：在該菜單下主要有以下一些參數(shù)：GotoLevel1Level2Level3Configration分別進入不同訪問等級A/MANFuncONOFF使用自動/手動按鍵禁止自動/手動按鍵RUN/HOLDFuncONOFF使用程序啟動/暫停按鍵禁止程序啟動/暫停按鍵IRMODEONOFF允許使用紅外接口禁止使用紅外接口KeylockALLNONE禁止所有面板按鍵使用允許面板按鍵使用在參數(shù)Goto可通過按住上下選擇鍵分別進入4個不同訪問等級：Level1，Level2，Level3，Config注意：千萬別在機器工作時進入Config等級中=2\*GB3②在進入不同訪問等級后，可以在該等級中訪問各個菜單以及菜單下的各個參數(shù)。如進入Level2后，你可以通過訪問到以下幾個主要菜單：菜單名注解ProgramStatus程序狀態(tài)菜單ProgramEdit程序編輯菜單AlarmSummary報警摘要菜單AlarmSettings報警設(shè)置菜單ControlPage控制摘要菜單WSP/MANOP主菜單，顯示實際工作設(shè)定值以及功率輸出比一．在菜單Programstatus中通過可以訪問以下幾個重要參數(shù)：參數(shù)參數(shù)取值意義Program1到最大允許程序數(shù)程序序號Segment1到最大允許段號數(shù)段號SegtimeLeft時間數(shù)值段剩余時間Status分別為RUNHOLDENDRESET四個取值程序狀態(tài)PSP設(shè)定數(shù)值曲線設(shè)定值Cur.Seg.Type當(dāng)前段類型SegmentTarget設(shè)定數(shù)值段目標(biāo)值Segmentrate設(shè)定數(shù)值段斜率注：1在該菜單下有些參數(shù)值需要程序運行時才會出現(xiàn)，即Status為RUN時。2.SegmentTarget和Segmentrate取值分別為當(dāng)前段目標(biāo)設(shè)定值和變化速率，可以直接通過增大或減小數(shù)值來重新修改當(dāng)前段目標(biāo)值和變化速率。二．在菜單ProgramEdit中可以訪問以下主要的參數(shù)Program程序號SegmentsUsed所用的段號數(shù)Segment該段段號TargetSP該段段號目標(biāo)值RampRate斜率（單位時間里電壓數(shù)值變化多少）PIDSet當(dāng)前段相關(guān)的PID設(shè)置SegmentType該段類型注：1該菜單主要是用于程序編輯所用.2還有一些用于程序編輯的參數(shù)這里沒有列出。三．在菜單ControlPage中主要有以下一些重要參數(shù)：SPSelect選擇SP1或者SP2來設(shè)定值的選擇范圍SP1設(shè)定SP1的值SP2設(shè)定SP2的值SPRate設(shè)定值的變化速率OutputHi輸出上限OutputLo輸出下限SafeOP開路時傳感器的輸出注：其中OPHi為設(shè)定的最大功率輸出，所以當(dāng)實際顯示值與當(dāng)前設(shè)定值差距較大時，可能是由于OPHi值有關(guān)，此時可修改OPHi值達到實際顯示值與當(dāng)前設(shè)定值一致目的。3.一些快捷鍵的使用=1\*GB3①按住后，再按住實現(xiàn)向前翻菜單。=2\*GB3②按住后，再按住實現(xiàn)向前翻參數(shù)。=3\*GB3③同時按住和可實現(xiàn)回到初始頁。=4\*GB3④在初始頁同時按住和可實現(xiàn)確認所有的報警。關(guān)于觸摸屏的簡介：該觸摸屏主要有如圖所示的8個頁面，分別為主畫面、真空系統(tǒng)、溫度控制、運動系統(tǒng)、循環(huán)水系統(tǒng)、數(shù)據(jù)曲線、報警記錄以及報警音響。下面一一介紹主畫面在主畫面中可以看到設(shè)備及晶體的各種主要參數(shù)：=1\*GB3①各個循環(huán)水管的水溫，=2\*GB3②晶體的溫度，=3\*GB3③晶體位置、拉伸運動速度、旋轉(zhuǎn)速度、籽晶桿重量，=4\*GB3④加熱器電流、電壓、電阻和功率，=5\*GB3⑤真空度和閥門啟動情況真空系統(tǒng)在該界面中可以實現(xiàn)打開機械泵和擴散泵來控制設(shè)備的真空度，直接在閥門位置通過觸摸即可打開閥門，也可以設(shè)置好連鎖條件設(shè)置參數(shù)實現(xiàn)自動控制。抽真空步驟大體順序可在畫面中“啟動運行狀態(tài)”顯示出來，當(dāng)處于自動控制時會按照啟動順序啟動?！巴Ｖ惯\行狀態(tài)”中為關(guān)閉閥門停止抽真空時的運行順序。3．溫度控制當(dāng)真空度達到要求時，可以在該溫度控制菜單界面下啟動加熱系統(tǒng)。=1\*GB2⑴首先點擊“本地控制”，此時會變?yōu)椤斑h程控制”，=2\*GB2⑵然后點擊“啟動”。就可以實現(xiàn)設(shè)備按照歐路表中設(shè)定的程序進行加熱。界面中還顯示歐路表的程序狀態(tài)部分參數(shù)以及不同熱電偶的溫度值?！白詣涌刂茀?shù)設(shè)置”可以通過輸入工藝配方參數(shù)來實現(xiàn)自動控制溫度。目前該控制設(shè)置還是無效狀態(tài)（根據(jù)廠家說法）。4．運動控制在運動控制界面下，可以看到籽晶的當(dāng)前位置，運動速度，旋轉(zhuǎn)速度以及在籽晶上已生長晶體的重量。當(dāng)選擇“手動控制”時，在“手動控制參數(shù)設(shè)置”中可以手動實現(xiàn)籽晶桿位置的定位、運動速度、旋轉(zhuǎn)速度的設(shè)定。當(dāng)選擇“自動控制”時，籽晶會按照“自動控制參數(shù)設(shè)置”的步驟來運行。5.循環(huán)水系統(tǒng)循環(huán)水系統(tǒng)主要有以下幾個循環(huán)水路的監(jiān)控：=1\*GB2⑴上下蓋循環(huán)水=2\*GB2⑵水冷電極1循環(huán)水=3\*GB2⑶水冷電極2循環(huán)水=4\*GB2⑷籽晶桿循環(huán)水=5\*GB2⑸循環(huán)水總管循環(huán)水；該菜單界面下可以看到主要的循環(huán)水溫度以及循環(huán)水流量報警，同時水流量不足或水溫過高報警參數(shù)可以在該頁面中設(shè)置6.數(shù)據(jù)曲線在數(shù)據(jù)曲線菜單中可以看到主要包括：=1\*GB2⑴溫度曲線=2\*GB2⑵運動曲線=3\*GB2⑶真空曲線=4\*GB2⑷加熱曲線上圖所示的分別為溫度曲線加熱曲線以及運動曲線不同界面。=1\*GB2⑴在溫度曲線中可以看到T1，T2,T3隨時間的溫度變化曲線。=2\*GB2⑵在運動曲線中可以看到晶體重量、旋轉(zhuǎn)速度、籽晶桿位置、拉伸速度、定位速度隨時間的變化曲線。=3\*GB2⑶真空曲線中可以看到真空度、真空變化率以及氬氣流量隨時間的變化曲線。=4\*GB2⑷在加熱曲線中可以看到功率、電壓、電流以及電阻隨時間的變化曲線。在各個曲線中，為了更好的觀測和分析數(shù)據(jù)曲線，可以直接通過輸入數(shù)值設(shè)置縱坐標(biāo)和橫坐標(biāo)的范圍。查看具體某段時間的曲線，首先點擊“曲線開始時間”輸入曲線的開始時間，然后調(diào)節(jié)好曲線的上下坐標(biāo)范圍和時間跨度，即可讀出該曲線的變化趨勢圖。7.報警記錄該菜單主要由“實時報警”和