《液晶顯示制造技術(shù)》課件-液晶顯示器件版網(wǎng)制作工藝

液晶顯示器件版網(wǎng)制作工藝CONTENTS目錄02版網(wǎng)制作工藝01課程導(dǎo)入01PARTone課程導(dǎo)入課程導(dǎo)入在當(dāng)今這個數(shù)字化時代，液晶顯示技術(shù)已經(jīng)深入我們生活的方方面面，從智能手機到高清電視，從平板電腦到醫(yī)療設(shè)備顯示屏，無處不見其身影。而這一切的背后，離不開液晶顯示器件版網(wǎng)制作工藝的精湛技藝與不斷創(chuàng)新。02PARTTWO版網(wǎng)制作工藝光刻掩膜版制作掩膜版鉻

版菲

林精度高耐用價格高干

版精度低不耐用價格低精度適中耐用性適中價格適中在液晶顯示器生產(chǎn)中，光刻工藝對光刻板的質(zhì)量要求主要有以下幾點：①圖形的尺寸要準(zhǔn)確。圖形的大小和圖形間距必須符合設(shè)計要求，圖形不發(fā)生畸變。②整套光刻版中的單元圖形應(yīng)能一一套準(zhǔn)，套準(zhǔn)誤差要盡量小，套準(zhǔn)后圖形的設(shè)計余量要符合生產(chǎn)設(shè)備的對位精度要求，一般要求套準(zhǔn)精度在20μm之內(nèi)。光刻版的質(zhì)量要求和檢驗③光刻版的黑白區(qū)反差要高。黑區(qū)要充分黑，應(yīng)能很好地阻擋住紫外光的通過；而白區(qū)應(yīng)無灰霧，應(yīng)能很好地透過紫外光或?qū)獾奈諛O小。④圖形邊緣要光滑陡直、無毛刺，過渡區(qū)要小。⑤版面要光潔，且沒有較大的針孔、小島和劃痕等缺陷。⑥光刻版要耐磨、不易變形。由于光刻版在光刻時要與玻璃接觸并發(fā)生摩擦，極易損壞，如果光刻版不堅固耐磨，則其壽命很短，勢必經(jīng)常換版，既影響效率也不經(jīng)濟(jì)。涂覆版通常稱為APR版，用于印刷取向劑工序，其制作過程為：菲林版的設(shè)計和制作與光刻版相同，它們是同時完成的。APR版設(shè)計要求與光刻版賽完全配套。不同點在于APR版因為使用輥筒涂覆，所以APR版的長邊方向不能完全是產(chǎn)品的實際尺寸，它要按一定的比例收縮，其收縮比根據(jù)涂覆機設(shè)備的涂覆輥直徑和選用APR版的版材來制定。菲林版制作ARR版曝光APR版沖洗烘干取向劑涂覆版的制作APR版結(jié)構(gòu)為下面是一種橡膠基板，基板上有一層一定厚度的感光材料，上、下各貼一層塑料保護(hù)膜。做版前先將APR版上、下保護(hù)膜揭掉，把菲林版藥膜面向下貼在有感光材料的面上用真空吸附的辦法，使菲林版與APR材料緊緊貼在一起，然后進(jìn)行紫外光照射。照射一定時間后，把菲林版取下，APR版放在專用清洗機中沖洗，沖洗液是一種配制好的專用液，待APR版顯出圖形后，將版進(jìn)行加熱烘干，這時版的制作就完成了。APR版放大示意圖APR版制作制成的版上有許多組單元圖形，在顯微鏡下能看出每組單元圖形的上面有很多有規(guī)律的網(wǎng)格狀的高低圖形，這些高低不平的形狀A(yù)PR版是保證涂覆質(zhì)量的關(guān)鍵。①APR版設(shè)計時其圖形內(nèi)網(wǎng)格的密度必須在一定范圍內(nèi)，而且一致性要好，密度般控制在300~600目之間；②APR版曝光時，APR版與菲林版之間不能有空隙、氣泡、污染物等，因為圖形網(wǎng)格目數(shù)較高，兩版之間有異物就會在APR版上做不出網(wǎng)格圖形；③APR版沖洗和固化要徹底，否則會影響使用質(zhì)量和使用壽命；④APR版的尺寸要符合設(shè)計要求，當(dāng)版材較大時，要裁剪。APR版制作

注意事項絲網(wǎng)用于絲網(wǎng)印刷工序，分為印框網(wǎng)和印點網(wǎng)兩種。絲網(wǎng)的制作流程為：菲林版制作繃網(wǎng)貼感光膜曝光沖洗烘干封網(wǎng)檢查修網(wǎng)上線使用絲網(wǎng)的制作菲林版制作方法與光刻版和APR菲林版相同，設(shè)計時需注意以下幾點：①印框版的封口方向必須一致，否則灌注工序無法進(jìn)行；②封框線寬度要根據(jù)屏的面積大小、可視區(qū)與切割線的間距及盒間隙而定，一般設(shè)計在0.25~0.35mm之間；菲林版的制作③封框尺寸要大于APR版的尺寸，即設(shè)計時絲印膠不能壓在取向?qū)由希虎芙z網(wǎng)框、絲印點的設(shè)計要與光刻版完全配套；⑤絲網(wǎng)框、點及周邊輔助線不能影響切割。絲網(wǎng)材料根據(jù)材質(zhì)分有尼龍網(wǎng)、滌綸網(wǎng)和金屬網(wǎng)，尼龍網(wǎng)變形大一般不使用，常用的為滌綸網(wǎng)。金屬網(wǎng)印刷精度好，壽命長但成本高，一般很少使用，只在高檔產(chǎn)品中有使用。這三種網(wǎng)材的制版特點和應(yīng)用范圍歸納于表：網(wǎng)材優(yōu)點缺點應(yīng)用范圍滌綸伸縮性?。粡姸却?；價廉；耐高溫耐磨性、感光液結(jié)合性、印墨通過性均不如尼龍目前用量最大，因為耐高溫，故可用于電路板產(chǎn)品尼龍印墨通過性好伸縮性較大用于大字體路標(biāo)、廣告等產(chǎn)品不銹鋼拉伸度?。粡姸雀?；印墨通過性好；絲徑細(xì)價格高、伸張后不能復(fù)原精細(xì)元件；電路板；集成電路絲網(wǎng)制版01.絲網(wǎng)材料絲網(wǎng)印刷的版膜是黏附于繃在網(wǎng)框的絲網(wǎng)上的，所以網(wǎng)框的性質(zhì)和制版質(zhì)量也直接有關(guān)，框材有木、鋁、鋼鐵等材料，三種材質(zhì)的網(wǎng)框制版的優(yōu)缺點歸納于表：框材優(yōu)點缺點繃網(wǎng)方法應(yīng)用范圍及黏合劑木投資少易變形手工、機械特大尼龍網(wǎng)版聚乙烯醇縮醛膠等鋁穩(wěn)定、耐用、輕便成本高機械應(yīng)用最多，多用丁氰膠黏合劑鋼鐵堅固耐用、定型性好需防銹、搬運費力機械不銹鋼網(wǎng)用502黏合劑絲網(wǎng)制版02.網(wǎng)框①普通情況下繃網(wǎng)角度，印框網(wǎng)用45°角繃網(wǎng)這樣能保證印出的膠邊較直，印點網(wǎng)用90°角繃，這樣節(jié)省材料；需要進(jìn)行高精細(xì)印刷時采用22.5°角，這樣可以保證圖形的細(xì)節(jié)還原好。繃網(wǎng)張力要求均勻一致，一般控制在8~15mm之間。張力太大絲網(wǎng)變脆、易裂開、損傷，張力太小絲網(wǎng)松軟變形嚴(yán)重，印出的圖形失真。②網(wǎng)沖洗一定要徹底，因為若網(wǎng)孔沒沖開或留有