JJG 2018-1989 國家檢定校準 規(guī)范

中華人民共和國國家計量檢定系統(tǒng)表JJG2018—1989表面粗糙度計量器具MeasuringInstrumentsforSurfaceRoughness1989-06-22發(fā)布1990-04-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布JJG2018—1989表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)表JJG2018—1989VerificationSchemeofMeasuringInstrumentsforSurfaceRoughness本國家計量檢定系統(tǒng)表經(jīng)國家技術(shù)監(jiān)督局于1989年06月22日批準,并自1990年04月01日起施行。起草單位:中國計量科學(xué)研究院本檢定系統(tǒng)表技術(shù)條文由起草單位負責解釋JJG2018—1989本檢定系統(tǒng)表主要起草人:毛起廣(中國計量科學(xué)研究院)參加起草人:金良元(中國計量科學(xué)研究院)JJG2018—1989目錄一二三四計量基準器具………………………(1)計量標準器具………………………(1)工作計量器具………………………(2)表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)框圖………………(2)ⅠJJG2018—1989表面粗糙度計量器具檢定系統(tǒng)表*本檢定系統(tǒng)表規(guī)定了表面粗糙度Rz和Ry參數(shù)為0.1~80μm以及Ra參數(shù)為0.1~10μm范圍內(nèi)的國家計量基準所包含的全套主要計量器具和主要計量學(xué)參數(shù),從國家計量基準器具通過標準計量器具向工作計量器具進行量值傳遞的程序,并指明誤差和基本檢定方法。一計量基準器具表面粗糙度國家基準用于復(fù)現(xiàn)和保存粗糙度參數(shù)Rz和Ry在0.1~80μm測量范圍內(nèi)以及Ra參數(shù)在0.1~10μm測量范圍內(nèi)的長度單位,通過計量標準器具向國內(nèi)各生產(chǎn)和使用單位的工作計量器具傳遞量值,以保證全國表面粗糙度量值的統(tǒng)一。國家基準由下列全套計量器具組成:有專用單色光源的干涉顯微鏡基準裝置;觸針式表面粗糙度測量系統(tǒng),包括專用微機系統(tǒng)、連接硬件和成套軟件;一組表面粗糙度基準樣板和基準階梯量塊組。國家基準保證:當測量微觀不平度高度的極值參數(shù)Ry和Rz時,在0.1~1μm范圍內(nèi),其未消除的系統(tǒng)誤差()不超過s0.005μm,隨機誤差(單次測量的標準偏差σ)不超過0.005μm;在>1~80μm范圍內(nèi),s不超過0.03μm,σ不超過0.03μm。當測量微觀不平度輪廓算術(shù)平均高度Ra參數(shù)時,在0.1~0.25μm范圍內(nèi),其未消除的系統(tǒng)誤差()不超過s0.005μm,隨機誤差(單次測量的標準偏差)不超過σ0.002μm;在>0.25~10μm范圍內(nèi),s不超過0.007μm,σ不超過0.003μm。為了保證按上述準確度復(fù)現(xiàn)表面粗糙度參數(shù)Ra以及Rz、Ry測量的長度單位,必須遵守國家基準的保管、使用規(guī)則和測量操作程序。二計量標準器具采用表面粗糙度標準樣板作為粗糙度量值傳遞的主要計量標準器具。標準樣板的型式有兩大類:一類為標準單刻線樣板(包括組成階梯高度的階梯式實物標準),單刻線溝槽深度(或階梯高度)為0.1~80μm范圍,用作傳遞微觀不平度高度極值參數(shù)Ry和Rz的標準器具;另一類為標準多刻線樣板(包括其他類似型式的用于校驗觸針式儀器的校驗樣板),其Ra參數(shù)值在0.1~10μm范圍,用作傳遞粗糙度參數(shù)Ra的標準器具。標準多刻線樣板按其準確度和使用對象分為一等和二等兩個等級。由計量基準器具用直接檢定法分別檢定各類型的標準樣板。一等標準多刻線樣板可通過隨機誤差()不大于1%的觸針式儀器,用比較法檢定二等標準多刻線樣板。σ檢定標準單刻線樣板溝槽深度的不確定度δ(3σ),在0.1~1μm范圍為±(5~1)%,在>1~80μm范圍為±(3~0.5)%。注:自2003年之后,原“計量檢定系統(tǒng)”統(tǒng)稱為“計量檢定系統(tǒng)表”。1JJG2018—1989檢定一等標準多刻線樣板Ra值的不確定度δ(3σ),在0.1~0.25μm范圍為±5~(3%),在>0.25~10μm范圍為±3~0.5%()。檢定二等標準多刻線樣板Ra值的不確定度σ(3σ),在0.1~0.25μm范圍為±7~(5%),在>0.25~10μm范圍為±5~3%()。為保證可靠地傳遞量值,標準樣板工作區(qū)域內(nèi)粗糙度參數(shù)值的均勻性應(yīng)有明確規(guī)定,并且必須遵守規(guī)定的檢定方法、程序和標準樣板使用規(guī)則。用允許誤差()不大于±7%的觸針式儀器以及其他相應(yīng)準確度的儀器直接檢定Δ表面粗糙度比較樣塊或表面粗糙度標準件。三工作計量器具工作計量器具包括:干涉顯微式測量儀、光切式測量儀、觸針式測量儀以及表面粗糙度比較樣塊或粗糙度標準零件等。各類標準樣板是檢定這些測量儀器準確度的主要工具。比較樣塊和標準件則用