半導(dǎo)體工藝實(shí)習(xí)報(bào)告(褚金磊).docx

半導(dǎo)體工藝實(shí)習(xí)報(bào)告姓 名：_褚金磊_學(xué) 號(hào)：_131002205_專(zhuān) 業(yè)：_電子科學(xué)與技術(shù)_班 級(jí)：_2013級(jí)2班 _實(shí)習(xí)單位：_錦州遼晶電子科技有限公司實(shí)習(xí)時(shí)間：_2016_年_07_月_13_日 半導(dǎo)體工藝實(shí)習(xí)報(bào)告實(shí)習(xí)單位：錦州遼晶電子科技有限公司實(shí)習(xí)時(shí)間：2016年7月13日實(shí)習(xí)內(nèi)容：實(shí)地參觀(guān)雙極型硅晶體管生產(chǎn)全流程。實(shí)習(xí)目的：1、鍛煉自己的動(dòng)手能力，將學(xué)習(xí)的理論知識(shí)運(yùn)用于實(shí)踐當(dāng)中，反過(guò)來(lái)檢驗(yàn)書(shū)本上理論的正確性。將自己的理論知識(shí)與實(shí)踐融合，進(jìn)一步鞏固、深化已經(jīng)學(xué)過(guò)的理論知識(shí)，提高綜合運(yùn)用所學(xué)過(guò)的知識(shí)，并且培養(yǎng)自己發(fā)現(xiàn)問(wèn)題、解決問(wèn)題的能力。 2、更廣泛的直接接觸社會(huì)，了解社會(huì)需要，加深對(duì)社會(huì)的認(rèn)識(shí)，增強(qiáng)對(duì)社會(huì)的適應(yīng)性，將自己融合到社會(huì)中去，培養(yǎng)自己的實(shí)踐能力，縮短我們從一名大學(xué)生到一名工作人員之間的思想與業(yè)務(wù)距離，為以后進(jìn)一步走向社會(huì)打下堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。一、實(shí)習(xí)單位介紹 錦州遼晶電子科技有限公司是在市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)深化改革的進(jìn)程中對(duì)原遼寧晶體管廠(chǎng)實(shí)施改制后的一家高科技企業(yè)，坐落于風(fēng)景秀麗的沿海城市-錦州，公司占地3.4萬(wàn)平方米，建筑面積1.76萬(wàn)平方米。公司注冊(cè)資本3500萬(wàn)元，資產(chǎn)總額六千余萬(wàn)元?，F(xiàn)有員工148人，其中博士1人，碩士研究生5人，具有高級(jí)及以上專(zhuān)業(yè)技術(shù)職稱(chēng)11人。公司專(zhuān)業(yè)致力于中小規(guī)模集成電路、分立器件產(chǎn)品。現(xiàn)主導(dǎo)產(chǎn)品有二極管、三極管、達(dá)林頓晶體管、MOSFET以及三極管陣列、達(dá)林頓晶體管陣列、場(chǎng)效應(yīng)晶體管陣列等；三端集成穩(wěn)壓器、電流型PWM控制器、厚膜電路、混合集成電路等多門(mén)類(lèi)的產(chǎn)品，并在此基礎(chǔ)上，逐步發(fā)展了軸角轉(zhuǎn)換器系列產(chǎn)品、LDO低壓差線(xiàn)性電源部分系列產(chǎn)品、高效DC-DC電源部分系列產(chǎn)品、CAN總線(xiàn)隔離收發(fā)器系列產(chǎn)品等，以期上述產(chǎn)品在最短時(shí)間內(nèi)替代進(jìn)口，達(dá)到國(guó)產(chǎn)化目標(biāo)，竭誠(chéng)為廣大用戶(hù)打造更多高質(zhì)量、高可靠的產(chǎn)品，為國(guó)防事業(yè)和經(jīng)濟(jì)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。二、實(shí)習(xí)內(nèi)容和過(guò)程1.實(shí)習(xí)內(nèi)容本次實(shí)習(xí)主要參觀(guān)公司的芯片加工中心、封裝、篩選、老化等車(chē)間，通過(guò)總工程師的講解，讓我們熟悉和了解車(chē)間內(nèi)器件的工藝流程和車(chē)間內(nèi)各個(gè)機(jī)器的功能及使用注意事項(xiàng)，使我們了解實(shí)際現(xiàn)實(shí)的操作，提高我們的知識(shí)與實(shí)際操作相結(jié)合的能力。 2.實(shí)習(xí)過(guò)程 本次實(shí)習(xí)由三名老師帶隊(duì)，我們班級(jí)二十名同學(xué)被分成三組，各自跟隨一名老師，我們組是七個(gè)人跟著老師進(jìn)行實(shí)習(xí)參觀(guān)，負(fù)責(zé)給我們講解的是廠(chǎng)子里有著豐富經(jīng)驗(yàn)的總工程師，一頭花白的頭發(fā)象征他豐富的學(xué)識(shí)和操作經(jīng)驗(yàn)，我們最開(kāi)始進(jìn)入的是芯片加工中心，聽(tīng)著老師的講解這個(gè)車(chē)間主要加工分離器件和大功率器件，為了保持車(chē)間的衛(wèi)生，我們穿了便捷的鞋套進(jìn)入，一進(jìn)入車(chē)間就聽(tīng)到了嘈雜的機(jī)器運(yùn)作的聲音。首先，車(chē)間內(nèi)展示的磨片機(jī)器，添加金剛砂懸浮液進(jìn)行研磨，將硅片一面拋光打平，為之后在這面上做器件做準(zhǔn)備；因?yàn)檐?chē)間主演加工三極管，所以用結(jié)深測(cè)定儀測(cè)定PN結(jié)的結(jié)深，采用的是切角法；接下來(lái)是化學(xué)處理的機(jī)器，所采用的是1號(hào)液和2號(hào)液，之后是清洗硅片，主要去除硅片上的重金屬和雜志；在擴(kuò)散車(chē)間中，擴(kuò)散主要是擴(kuò)散磷和硼，擴(kuò)散分為預(yù)擴(kuò)散和再擴(kuò)散，車(chē)間中用固態(tài)陶瓷片擴(kuò)散硼，主要用恒定源擴(kuò)散和有限源擴(kuò)散，老師說(shuō)在溫度升高時(shí)，結(jié)深會(huì)升高，高溫下器件缺陷會(huì)增加；氧化車(chē)間中，機(jī)器沒(méi)運(yùn)行，聽(tīng)總工程師的講解，氧化主要分為干氧、濕氧和水汽氧化，每種方法都有各自的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)，但車(chē)間主要采用的是干氧和濕氧；工藝中比較核心的步驟是光刻，車(chē)間中的光刻機(jī)是比較老的，但基本的操作和功能都是相同的；在蒸發(fā)步驟中，采用的是電子束蒸發(fā)，之后參觀(guān)的是鈍化車(chē)間。參觀(guān)芯片加工中心后，上午就結(jié)束了，之后我們?cè)趶S(chǎng)子的食堂和員工們一起吃飯，中午的伙食很不錯(cuò)，實(shí)惠又美味，物美價(jià)廉，而且食堂的秩序井然有序，不禁為公司的管理感到佩服。因?yàn)槲覀儏⒂^(guān)學(xué)習(xí)只有一天的時(shí)間，所以下午的任務(wù)較重，主要參觀(guān)的有封裝、篩選、老化車(chē)間，這部分的工藝步驟在我們學(xué)校的實(shí)驗(yàn)室中是沒(méi)有的，所以下午參觀(guān)學(xué)習(xí)中我精神格外集中；我們先參觀(guān)的是封裝車(chē)間，第一個(gè)進(jìn)入的是參數(shù)測(cè)量室，室內(nèi)還有不少工作人員忙碌的身影，老師講解的過(guò)程中我認(rèn)真的記了筆記，同學(xué)還有用錄音筆錄音，此房間中主要是三極管的直流特性測(cè)試，門(mén)口邊的是三極管的輸出特性機(jī)器，通過(guò)顯示屏的圖像參數(shù)來(lái)確定三極管的放大倍數(shù)，第二個(gè)是測(cè)定雪崩電壓的，雪崩電壓是三極管的重要直流特性，晶體管的直流電壓超過(guò)閾值電壓時(shí)會(huì)發(fā)生擊穿，此時(shí)的閾值電壓就是擊穿電壓。工作人員特別認(rèn)真的把每一個(gè)器件放在機(jī)器上進(jìn)行測(cè)試，然后進(jìn)行記錄，工作人員工作時(shí)認(rèn)真負(fù)責(zé)的態(tài)度給我們留下了深刻的印象；車(chē)間里還有特征頻率測(cè)試儀、最大工作頻率測(cè)試儀等等測(cè)量晶體管直流參數(shù)的機(jī)器，此外還有晶體管讀示儀、多功能測(cè)試儀等，老師為我們?cè)敿?xì)的介紹了機(jī)器的用處和操作步驟，過(guò)程中我們也提出了自己遇見(jiàn)的難題，老師也為我們進(jìn)行詳細(xì)的解答，同學(xué)們之間也相互討論，場(chǎng)面十分熱鬧；經(jīng)老師介紹說(shuō)，公司產(chǎn)品都是頻率低、功率大的器件，功率1W300W的是大功率器件，小于1W的是小功率器件。接下來(lái)我們進(jìn)入的是封裝車(chē)間的氣密性測(cè)試室，老師介紹時(shí)說(shuō)，氣密性的好壞直接影響器件的質(zhì)量問(wèn)題，房間內(nèi)用檢漏的方式檢查器件的氣密性，檢漏的方法是浮游檢漏，老師還介紹了檢漏的原理，使我們恍然大悟；然后老師帶我們進(jìn)入打印室，打印室主要采用油墨打印和激光打印，其中油墨打印清晰可見(jiàn)，但使用周期不長(zhǎng)，激光打印使用周期長(zhǎng)，但不易見(jiàn)。接下來(lái)我們進(jìn)入的是篩選車(chē)間，車(chē)間內(nèi)的篩選機(jī)器大而且排列緊密，篩選通過(guò)氣密性、高溫、老化等方法進(jìn)行環(huán)境測(cè)試篩選，找出其中存在固有缺陷的器件，例如位錯(cuò)等缺陷；最后我們進(jìn)入的是老化車(chē)間，由于使用環(huán)境等原因會(huì)使器件發(fā)生老化，老化會(huì)影響器件的性能和使用壽命。大功率器件老化測(cè)試的條件是75，工作12小時(shí)。實(shí)習(xí)參觀(guān)后我們師生全體和總工程師及公司的相關(guān)人員進(jìn)行了合影，帶著老師的祝福，我們返回了校園。三、實(shí)習(xí)心得體會(huì)經(jīng)過(guò)這一天的參觀(guān)實(shí)習(xí)，讓生活在大學(xué)象牙塔的我們學(xué)會(huì)了很多，明白了理論與實(shí)踐結(jié)合的重要性和大學(xué)實(shí)驗(yàn)室與工廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)之間的區(qū)別。這一次的學(xué)習(xí)，讓我學(xué)會(huì)了其他的知識(shí)比如晶體管的封裝、老化和篩選等工藝，也認(rèn)識(shí)了許多新的儀器，這些儀器原理更復(fù)雜，操作也更繁瑣，但測(cè)量的參數(shù)更加精準(zhǔn)，因?yàn)檫@個(gè)公司生產(chǎn)的器件主要對(duì)軍工提供。此外，我們也學(xué)習(xí)了企業(yè)的管理文化和員工們之間的辛苦，為我們將來(lái)的就業(yè)和創(chuàng)業(yè)提供許多新的理念和指導(dǎo)。四、