德國(guó)XONOX菲索型激光干涉儀原理與使用.

1、德國(guó)XONO菲索型激光干涉儀原理與使用第一章：為何使用干涉儀做檢測(cè)1-1干涉度量學(xué)第一章 為什么要使用干涉儀檢測(cè)首先我們要先了解， 什么是干涉度量學(xué)？ 所謂干涉度量學(xué)是指 利用光干涉的效應(yīng)來量測(cè)特定物理量的方法 ，也就是說藉由觀察干涉條紋的變化 ，來量測(cè)岀待 測(cè)物的特征1-2何謂干涉儀干涉儀是什么？ 一般來說，只要是利用光干涉的原理來量測(cè)的儀器便可以稱為干涉儀，但是干涉儀的種類眾多且多變化，因此本課程中將針對(duì)最為外界常用之種類作介紹1- 3干涉儀之優(yōu)缺點(diǎn)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)及缺點(diǎn)第一高精度以光學(xué)組件來說，因?yàn)榻M件的微小變化均會(huì)嚴(yán)重改變?cè)械墓鈱W(xué)質(zhì)量，因此必須要有非常精確的量測(cè)儀器，干涉儀具有精度非常高

2、的優(yōu)點(diǎn) ，最高可達(dá)1/100的波長(zhǎng)甚至到1/1000的波長(zhǎng)，波長(zhǎng)是 指干涉儀中使用光源的波長(zhǎng)值.舉例來說：一般干涉儀的波長(zhǎng)為632.8( nm ),而632.8的百分之一約為6個(gè)(nm),目前的奈米科技是在這個(gè)尺度，甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(gè)(nm ),從此可以看出干涉儀的精度有多好了第二章：非球面玻璃模造的原理第二.非接觸式量測(cè)另一種量測(cè)用的輪廓儀是使用接觸式的量測(cè)方式，即使目前已可以微調(diào)接觸的力量，但對(duì)于表面較脆弱的被量測(cè)物是否真的完全不會(huì)造成損害則仍無法確定.而當(dāng)用干涉儀量測(cè)時(shí)，是把光照射到被量測(cè)的物體上，所以干涉儀上的探針也就是光，并不會(huì)對(duì)物體表面照成任何傷害第三 使用探針來量

3、測(cè)時(shí)無法一次量測(cè)所有的面積，而可能必需分很多掃瞄線去量測(cè)，相對(duì)來說干涉儀的量測(cè)速度就非?？炝?，可能幾秒鐘就量完了 ，而不需要等待幾個(gè)小時(shí)的時(shí)間.第四則是干涉儀的缺點(diǎn)，一個(gè)操作員在會(huì)使用干涉儀卻不太清楚干涉儀的使用限制、條件及原 理的時(shí)候，可能會(huì)量測(cè)到不是他所要的東西，而且，因?yàn)楦缮鎯x是用光線量測(cè)，在調(diào)整上也會(huì)花費(fèi)多的時(shí)間，可能量測(cè)結(jié)果只要花幾秒鐘，但事前的調(diào)整卻要花費(fèi)幾十分鐘甚至數(shù)個(gè)小時(shí)vuMH*, fi jJlF jAjf-.耘山蕈ai究怖第二章：干涉儀工作原理2-1光干涉2-1.1為何光有干涉現(xiàn)象干涉儀工作原理我們是用干涉儀量測(cè)，所以先要了解什么是光干涉？為什么光有干涉現(xiàn)象 ？光的干涉現(xiàn)象

4、有二個(gè)原因，第一光像是波一樣，具有波的特性，我們?cè)趤G一塊小石子在池塘中，就會(huì)看到很多漣漪向外擴(kuò)散傳播，這就是波，而光就可以用波來描述.第二波的迭加原理，我們之所以能夠看到 干涉條紋的明暗變化，就是因?yàn)榈釉硭斐傻?，這是二個(gè)造成光干涉現(xiàn)象的基本條件除此之外，偏振光的特性，是否同相位的特性也是造成光干涉現(xiàn)象的條件巫獺技衛(wèi)顒麹2- 1-2由迭加原理說明干涉現(xiàn)象由迭加原理說明干涉現(xiàn)象：1. 破壞性干涉如上圖所示，假設(shè)藍(lán)色波的最高值與紅色波的最低值在同一位置時(shí)，其相加數(shù)值為0,所以當(dāng)藍(lán)色及紅色二個(gè)波一起岀現(xiàn)的時(shí)候，迭加起來就會(huì)變成中間的黑線，因?yàn)楣饩哂胁ǖ奶匦?，所以如?個(gè)波長(zhǎng)彼此正好相差一半的波長(zhǎng)

5、時(shí)，也就是相位差 n時(shí)，畫面就會(huì)呈現(xiàn)全亮或全暗而完全看不到條紋，以上圖來看因?yàn)樗{(lán)色波的最高點(diǎn)到紅色波的最高點(diǎn)距離相差n，此時(shí)我們就稱做破壞性干涉2. 建設(shè)性干涉如下圖所示，假設(shè)藍(lán)色波與紅色波的最高值在同一位置時(shí)，其相加數(shù)值就是 2,當(dāng)藍(lán)色波與紅色波完全重迭在一起時(shí)，迭加起來就會(huì)變成較高的黑線，當(dāng)我們?nèi)庋劭吹綍r(shí)，黑線的最高點(diǎn)就會(huì)變亮，最低點(diǎn)則較暗，而會(huì)有明暗的線條變化，我們就稱做建設(shè)性干涉當(dāng)藍(lán)色波與紅色波的相加數(shù)值為02以內(nèi)時(shí)，波長(zhǎng)會(huì)較為平緩，就會(huì)產(chǎn)生灰階的漸層條紋變化了.艘舉性干涉建設(shè)性干莎u O SLffiitr性豐涉 2_HK-lTiS.I.假虜牲干涉 0114*莎皿咖怦取#：151以工戲

6、M氐丞霊邑孟匣腔n乾到應(yīng)!逼區(qū))禺血趾龍中產(chǎn)I *-累額斗鞍壞性干涉趣護(hù)性干涉(D ；Wff4 K4H1 2 : flnAd outpol2-1-3干涉條紋之定量描述對(duì)建設(shè)性干涉而言，2個(gè)波的差異需滿足公式差是指2個(gè)波的差異，當(dāng)2道光從A點(diǎn)跑到:optical path(n*d)=m入 optical path是光程差,光程B點(diǎn)時(shí)，距離為d及d,因此有一道波跑了nd,另一也可以變成nd2.如果nd2為波長(zhǎng)入的整數(shù)倍時(shí)，就道波跑了 nd那么2道光的差異為n(d-d),會(huì)有明暗的條紋變化，也就是建設(shè)性干涉而相反的當(dāng)nd2剛好為二分之一波長(zhǎng)的技術(shù)倍時(shí)便產(chǎn)生破壞性干涉條紋，公式為 :optical p

7、ath(n*d)=m 入/22-1-4雙光束干涉之?dāng)?shù)學(xué)描述雙光束干涉之?dāng)?shù)學(xué)描述：假設(shè)2道光做干涉，這兩到光的光強(qiáng)度分別為11,12，那么當(dāng)這兩道光產(chǎn)生干涉時(shí)便符合上述的公式.其中:11+12為干涉條紋的 DC項(xiàng),根號(hào)(1112)為干涉條紋的振幅大小，最后Cos(Delta)為相位項(xiàng)，其中Delta扁是前面所提到的光程差.所以當(dāng)光程差變化時(shí)，可以知道干涉條紋也會(huì)隨著變化課瞠內(nèi)T2-2如何判斷干涉條紋2-2-1干涉條紋種類那么我們?nèi)绾闻袛喔缮鏃l紋？因?yàn)槲覀儾皇请S時(shí)隨地都可以方便的使用干涉儀并藉由計(jì)算機(jī)來分析，所以我們必須用肉眼來判斷，這也是最快最方便的方式.干涉條紋的種類有 2種:第一個(gè)是等厚度干

8、涉條紋，在等厚度干涉條紋中明暗的條紋會(huì)呈現(xiàn)等間隔的情形，而且每個(gè)相鄰的條紋代表相同的厚度間隔假設(shè)橫線為標(biāo)準(zhǔn)面，斜線為一個(gè)斜率固定的待測(cè)面，當(dāng)光線打過來的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生折射現(xiàn)象，我們?cè)诘谝粋€(gè)射入點(diǎn)做一條與標(biāo)準(zhǔn)面平行的虛線，在待測(cè)面會(huì)有光 a反射回去，在標(biāo)準(zhǔn)面時(shí)也會(huì)有光b反射回去從圖可以看岀光線a及b所通過的路徑是不同的，而當(dāng)光程差恰為波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí)，就可以看到相同間隔的干涉條紋巫華技踴研盍院等厚艮干涉條仗等傾度干涉條紋t虎愼虹吐滬：h 干卻KI爼瞎幡I Jkr jdLm*i 詁“斛flMfl單* *啊itt iT/?*T/ji I 川 fA|! taff. din hrAih i,-Rd玄 Frin

9、ges snd optical pth difference f OPD園為獲鬥萍聘也閒腸胞Hl即里萬牌冊(cè)6用干步需血械審韶來分析J G色伺金習(xí)心心步第二個(gè)是等傾度干涉條紋，是由相同角度的光線所形成的干涉條紋，P1這一點(diǎn)有一個(gè)干涉條紋，它的來源是由4條實(shí)線所造成的，而這4條實(shí)線對(duì)這個(gè)物體表面來說，則是同一個(gè)角度的光所造成的，因?yàn)槲矬w為圓形，所以會(huì)造成對(duì)稱的效果.而4條虛線則是由另一個(gè)角度的光所造成的，并進(jìn)而產(chǎn)生P2點(diǎn)的一個(gè)干涉條紋.因此由同樣角度光線形成的干涉條紋我們就稱為等傾度干涉條 紋,不過在實(shí)際的應(yīng)用上，等厚度干涉條紋與等傾度干涉條紋是可能同時(shí)出現(xiàn)的2-2-2-1干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例一干

10、涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例：應(yīng)用一：表面平整性-如果我們想從干涉圖了解物體表面的平整性好不好，可以在干涉圖上畫一個(gè)以中心為準(zhǔn)的十字線，數(shù)數(shù)看從中心點(diǎn)起，在X方向上的條紋數(shù)及 丫方向上的條紋數(shù)量有幾個(gè)，這個(gè)量在光學(xué)工廠中是最常使用的，當(dāng)我們要求師父磨一個(gè)鏡片時(shí)，就可以告知我們對(duì)表面平整性的需求，在X方向與丫方向上的誤差范圍容忍度是多少.從圖上來看，X方向上有1個(gè)條紋，丫方向上則有3個(gè)條紋，也就是說，這個(gè)待測(cè)的組件，在X方 向與丫方向上的變化程度不一樣，這個(gè)變化程度就定義為表面平整性Surface irregularity 同時(shí)差異量最大的地方我們定義為：POWER,也就是丫方向的3,而irregular

11、ity是看X方向與丫方向上的差異量，也就是2,所以從上圖的干涉條紋我們可以知道待測(cè)物的Power為3、irregularity為2那到底什么是 POWER, 什么是irregularity ?假設(shè)我們看的組件是眼鏡的鏡片，從側(cè)面看，當(dāng)有光打過來時(shí)鏡片會(huì)聚焦，不同的彎曲量聚焦的程度就會(huì)不一樣，我們稱為放大率,而面的彎曲程度就定義為POWER.而在鏡片上的 X方向與丫方向的彎曲程度會(huì)可能不同 ，也就是說POWER不一樣，我們就稱為Surface irregularity, 現(xiàn)在我們已經(jīng)知道這個(gè)干涉圖條紋的表示為3/2,那么這個(gè)數(shù)字是代表多少？他的單位就是波長(zhǎng)一般的雷射為632.8()波長(zhǎng),3/2的

12、3是指3個(gè)波長(zhǎng)，2是指2個(gè)波長(zhǎng)，在光學(xué)組件的計(jì)算之中通 常是以波長(zhǎng)來表示的.2-2-2-2干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例一在前面提到在干涉儀量測(cè)中多用波長(zhǎng)作為單位所以我們還要注意到使用的干涉儀波長(zhǎng)是多少 假設(shè)同一鏡片，由A廠商使用入=500的干涉儀，判讀數(shù)據(jù)為3/2, B廠商使用入=600的干涉儀，判 讀數(shù)據(jù)也是3/2,那么使用50 0入干涉儀的A廠商所判讀的數(shù)據(jù)必定是較好的，因?yàn)椴ㄩL(zhǎng)愈短的， 轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)時(shí)也會(huì)相對(duì)較小，所以除了判讀干涉圖的數(shù)據(jù)之外，還要注意干涉所使用的波長(zhǎng)是 否和要求相符才能得到最正確的結(jié)果2-2-2-3干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例一接下來的例子，我們要看的一樣是POWER和irregular

13、ity我們可以從圖 A來判讀POWER和irregularity 是多少？加上十字坐標(biāo)之后，X方向上有2.5個(gè)條紋，丫方向上則有1.5個(gè)條紋，所以這個(gè)鏡片的最大彎曲量是2.5, X與丫的差距量是1,但是這個(gè)干涉圖的結(jié)果卻不是2.5/1當(dāng)X方向與丫方向待測(cè)面的彎曲方向相同時(shí) ,irregularity為2者相減，但X方向與丫方向待測(cè)面 的彎曲方向不同時(shí),irregularity則為兩者相加.當(dāng)X方向與丫方向待測(cè)面的彎曲方向相同時(shí)，POWER取最大值，但X方向與丫方向待測(cè)面的彎曲方向不同時(shí)，POWER 相減.所以從這個(gè)圖來判讀的irregularity為1.5+2.5=4, X方向與丫方向可以視為

14、同一個(gè)面，所以POWER是2.5-1.5=1,因此，我們必須先知道所量測(cè)的是什么物體，否則所求得的數(shù)據(jù)也有可能是錯(cuò)誤的.2-2-2-4干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例一接下來我們來看看幾種常見的干涉條紋:我們要注意的一件事是，在這些圖中的干涉條紋都是由待測(cè)物和一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)平面比較所造成的，一旦比較條紋變了 ，所造成的條紋也會(huì)全部改變 ，而且相對(duì)應(yīng)的狀況也會(huì)完全不同.左側(cè)Without tilt為：當(dāng)沒有傾斜效應(yīng)進(jìn)來的時(shí)候 ，不同的待測(cè)面所產(chǎn)生的條紋變化右側(cè)With tilt則是：當(dāng)傾斜效應(yīng)進(jìn)來的時(shí)候，不同的待測(cè)面所產(chǎn)生的條紋變化當(dāng)待測(cè)面為為平面時(shí)1或是2, Without tilt 會(huì)看不到條紋當(dāng)待測(cè)面為彎曲

15、面 3時(shí)，Without tilt會(huì)呈現(xiàn)邊緣較密，間距不等的同心圓條紋當(dāng)待測(cè)面是球面4時(shí)，Without tilt則會(huì)呈現(xiàn)間距較為相等的同心圓條紋假設(shè)標(biāo)準(zhǔn)面為平面，3的待測(cè)物形狀可能為雙曲線或橢球，所以厚度變化較為劇烈，4的待測(cè)物則可能為球面或接近球面的形狀，所以在做干涉儀量測(cè)，想判斷干涉條紋的形狀時(shí)，必須先了解待測(cè)物體的形狀，或者是由干涉條紋的形狀，來判斷待測(cè)物體2-2-2-5干涉條紋判斷應(yīng)用實(shí)例二因?yàn)楦缮鏃l紋會(huì)隨著參考面的不同而不同，所以當(dāng)我想知道待測(cè)面的形狀時(shí)，就必須先知道標(biāo)準(zhǔn)面的形狀是什么？ 現(xiàn)在我們以同一形狀的待測(cè)物-凸透鏡為例當(dāng)待測(cè)物為一個(gè)球面，而參考面為一標(biāo)準(zhǔn)平面時(shí)，其干涉條紋可

16、能為一同心圓分布，但若參考面改為標(biāo)準(zhǔn)曲率之球面時(shí)，其干涉條紋則可能成為直線分布，發(fā)生同一待側(cè)面卻有不同干涉條紋分布的原因，在于干涉條紋所看到的是待側(cè)面與參考面之間的差異，因此，如果要判斷哪一個(gè)干涉條紋的待測(cè)物是球面，就必須先了解，量測(cè)時(shí)所參考的參考是什么？才能正確藉由干涉條紋判斷岀待測(cè)之面形第三章：干涉儀種類3- 1 Newt on In terferometer干涉儀的種類非常的多，在這里所介紹的是五種最常見的干涉儀.第1個(gè)是Newt on In terferometer牛頓干涉儀左邊的 Quasimonochromatic point source是一個(gè)幾近單波長(zhǎng)的點(diǎn)光源,Quasimon

17、ochromatic為單波長(zhǎng)的意思，point source 是點(diǎn)光源.點(diǎn)光源經(jīng)過透鏡變成平行光后，打到下方橢圓形待測(cè)物上，這個(gè)待測(cè)物可能為透鏡之類的物體 待測(cè)物下方的平面 Optical flat則是參考面，通常做為參考面的平整度，也就是Surfaceirregularity,必須要1/10入以上，分母愈大就表示其平整度愈好.3-2 Michels on In terferometer第2個(gè)是麥克森干涉儀Michelson Interferometer.當(dāng)麥克森干涉儀和牛頓干涉儀做比較時(shí)，會(huì)發(fā)現(xiàn)它并不是一個(gè)點(diǎn)光源，光源有些散開，光線在經(jīng)過第一塊鏡片之后透過中間的分光鏡O,使得一部份的光反射到

18、反射鏡M2再反射回分光鏡 O,而一部份的光則穿透補(bǔ)償片C,到達(dá)反射鏡 M1之后才反射回分光鏡0合成同一道光，并且將結(jié)果打到D(Detector)上,因此我們就可以在Detector上看到一圈一圈的條紋，也就是干涉圖 A 了.所以麥克森干涉儀通常用來量測(cè)距離的變化當(dāng)我們要量測(cè)距離時(shí)，只要先量測(cè)出原來的干涉條紋A之后，再將反射鏡M2往后移，量測(cè)岀干涉條紋 B,然后就可以從條紋 AB的變化算岀距離了.3-3 Fizeau In terferometer （一）第3個(gè)是斐洛干涉儀 Fizeau Interferometer是目前一般最常見的干涉儀，也是架構(gòu)最簡(jiǎn)單，量測(cè)最方便的一種.左上方的laser

19、becm 雷射光源，雷射光源是非常好的單波長(zhǎng)光源，經(jīng)過中間的幾道程序之后，在經(jīng)過Reference flat 參考面時(shí)，部份光被反射，部份光則穿透至flat under fest待測(cè)面上后再反射回去，因此我們看到的結(jié) 果是參考面與待測(cè)面的差異，當(dāng)參考面不同時(shí)，所測(cè)岀的待測(cè)面條紋也會(huì)不同.這種干涉儀的缺 點(diǎn)是：容易受風(fēng)向、震動(dòng)、與空氣變化等的外力影響，必須放在密閉室內(nèi)的防震桌上，才能清楚看到干涉條紋，所以又稱為非共路徑干涉儀.3-3 Fizeau In terferometer （二）Fizeau In terferometer這2種是由2家有名的儀器公司制造的斐洛干涉儀左圖是ZYGO公司所制造

20、的斐洛干涉儀 ，而右圖則是VEECO公司的斐洛干涉儀，一般光學(xué)公司在采購(gòu)較好的干涉儀設(shè)備時(shí)，通常是以這2家裴洛干涉AtFizeau IntCfferometerZYGOUS）的G託耐干W制倉閱的干裁公司的儀器為采購(gòu)標(biāo)準(zhǔn)靶用N-VEJC3 ilBMOF-zeau 干注堺Q LI I , I I I I lil W H W M ?3-4 Mach-Zeh nder In terferometer第4個(gè)是 Mach-Zehnder 干涉儀左下方的光源Exte nded source,為一與麥克森干涉儀相似的擴(kuò)展光源，光源經(jīng)過第一個(gè)Beam-splitter之后分為二道，各別經(jīng)過一片 Mirror反射

21、鏡，再經(jīng)過第二個(gè)Beam-splitter合成一 道光之后，將結(jié)果打到Detector上.因?yàn)橹虚g分為二道光源的關(guān)系，在空間及距離上可以做較大的調(diào)整，所以比較適合量測(cè)體積大或穿透性大的物體，例如：我們可以用來量測(cè)大面積的玻璃.將待測(cè)物放在路徑上的第一個(gè)Beam-splitter與Mirror反射鏡之間，我們就可以看到路徑A、路徑B與待測(cè)物之間的差異.這也是一個(gè)非共路徑干涉儀，它的缺點(diǎn)是：容易受空氣變化等的外力影響,優(yōu)點(diǎn)是：可以量測(cè)體積或面積較大的物體3-6 Twyma n-Gree n In terferometer第5個(gè)是Twyman-Green 干涉儀Twyman-Green 干涉儀和麥克

22、森干涉儀很相似 .當(dāng)一道光源進(jìn)來，經(jīng)過BEAM EXPANDER 將光 源變得比較大束后，經(jīng)由中間的BEAMSPLITTER 分為二道光，反射回來之后再回到偵測(cè)器 ，上 每種干涉儀都有各自不同的應(yīng)用范圍、方向和限制第四章：實(shí)際檢測(cè)方法4-1可應(yīng)用范圍干涉儀可以應(yīng)用的范圍:1.是表面的形狀2.是曲率測(cè)試3.是表面平整度或表粗糙度4.可以量測(cè)玻璃二側(cè)的面是否夠平整5.角度測(cè)試，有些光學(xué)組件是有角度的，可藉此量測(cè)其準(zhǔn)度6.應(yīng)力測(cè)試，例如眼鏡或相機(jī)鏡頭，當(dāng)必須以其它對(duì)象夾住玻璃時(shí)，可以測(cè)試該玻璃的變形量.4-2干涉儀應(yīng)用于液晶投影機(jī)組件檢驗(yàn)?zāi)敲锤缮鎯x到底應(yīng)用在那些液晶投影機(jī)組件的檢驗(yàn)：例如:X-cub

23、e是液晶投影機(jī)中把 RGB三個(gè)色光合在一起的重要組件，我們有幾種檢測(cè)它的方式第1是量測(cè)表面平整性：我們使用的是 WYKO 6000的斐洛干涉儀，儀器的前面標(biāo)準(zhǔn)參考面，光源由參考面打到待測(cè)物的 第一個(gè)面時(shí)會(huì)反射，我們看到的是它的差異度 ，也因此可以量測(cè)岀待測(cè)面的表面平整度 .并由計(jì) 算機(jī)直接判讀岀正確的數(shù)據(jù)結(jié)果.如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光，那么被遮住的部份就不會(huì)再有光從下方岀現(xiàn)，而只顯示岀一部份的反射條紋.第2是量測(cè)內(nèi)反射面的平整度：光源由參考面打到待測(cè)物的第一個(gè)面時(shí)會(huì)反射，但是也可以打進(jìn)待測(cè)物里面，經(jīng)由反射的過程再反射回參考面，也就是就，使用同一個(gè)架構(gòu)可以量測(cè)到物體的二面，那么

24、要知道我們量測(cè)的到底是哪一個(gè)面？如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光，那么被遮住的部份就不會(huì)再有光從下方岀現(xiàn)，但會(huì)顯示岀沒被遮住的部份反射條紋，那么所測(cè)得的就是表面平整度.而內(nèi)反射的光源是由上方打入待測(cè)物中，再經(jīng)由反射從下方岀來，所以如果我們拿一張不透光的白紙遮 住上方的光，那么就不會(huì)再有光從下方岀現(xiàn)，這樣就能得知目前所量測(cè)的是內(nèi)反射面平整度了.第3是量測(cè)內(nèi)反射面的角度誤差這是X-cube的側(cè)面圖，理論上都會(huì)盡量要求達(dá)到接近90度，所以我們也可以用干涉儀來量測(cè)內(nèi)反射面的角度誤差第4量測(cè)穿透波面的平整度：光在投影機(jī)中必須是穿透的，如果X-cube有一些瑕疵的話，顯示岀來的影像就會(huì)不漂亮，所

25、以就必須量測(cè)其穿透波的平整度.當(dāng)光源從上方打?qū)鐏?，透過待測(cè)物打到標(biāo)準(zhǔn)反射鏡片時(shí)，再反射回去，如果待測(cè)物的放置位置是平整的，那么每一道光都會(huì)循原來的途徑反射回去，可能會(huì)分不清楚到底是哪一個(gè)面所產(chǎn)生的干涉條紋.這時(shí)可以調(diào)整待測(cè)物平臺(tái)的傾斜度，使部份光不會(huì)進(jìn)到干涉儀中，那么就可以很清楚的看到干涉條紋了.T淨(jìng)縫書禺於諭品投Ik出亓火戀賽面平整展測(cè)-內(nèi)反制IS甲整蛋“內(nèi)反射匱倚股誤遠(yuǎn)-液均勻贋o ifti孑喪你nuw代咼輸平芒你曲應(yīng)號(hào)刊TtS的光半廈為干T H- -宵帯UST踏t利Hl廐甫畫破I紳元啊黃劇平整翌測(cè)課 18!lii-r”b1a Tkjrr ?4ZJ內(nèi)反俐豪單靈18豹密逼力勻展內(nèi)反嗣AB角金

26、誤主* 苗理鬥期可草.到國(guó)砂：訕口之中EE朋匱所啊t的審潭 咖u已W X石匸7Aperture:In television optics, it is the effective diameter of the lens that controls the amount of light reachi ng the photoc on ductive or photo emitt ing image pickup sen sorANSI Lume ns:ANSI stands for American National Standards Institute. It is a standard

27、 for measuring light output. Different lamps play a role on light output. Haloge n lamps appear dimmer tha n ano ther metal-halide, even if the two units have the same ANSI lumen rating. Type of LCD technology (active matrix TFT, Poly-Si, passive), type of overall technology (LCD vs. DLP vs. CRT), c

28、ontrast ratios, among other factors can also affect the end result.ASAP原名為 Advanced System Analysis Program，為美國(guó) BRO (Breault Research Organization)公司研發(fā)的一套專業(yè)光學(xué)仿真軟件， 它可以幫助使用者仿真真實(shí)之光學(xué)系統(tǒng)，以達(dá)到最實(shí)際之光學(xué)分析結(jié)果Dichroic:A mirror or lens that reflects or refracts selective wavelengths of light. Typically used in pro

29、jector light engines to separate the lamps white light into red, green, and blue lightDigital Light Processing (DLP):The commercial name for this technology from Texas Instruments (TI):F-number (f/#)f/# is the ratio of the effictive focal length of an optical system to its clear aperture. For exampl

30、e, a 50mm effictive focal length lens system with a clear aperture of 25mm is f/2.Focal Length (FL)Regarding optical elements and systems: effective focal length (EFL) - Distance from the principle plane to the focal point; front focal length (FFL) - Distance from the vertex of the first lens to the front (left) focal point; back focal length (BFL) -