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1、-作者xxxx-日期xxxx第6章 壓電式傳感器習(xí)題【精品文檔】第6章 壓電式傳感器1、為什么壓電式傳感器不能用于靜態(tài)測量,只能用于動態(tài)測量中?而且是頻率越高越好?2、什么是壓電效應(yīng)?試比較石英晶體和壓電陶瓷的壓電效應(yīng)3、設(shè)計壓電式傳感器檢測電路的基本考慮點是什么,為什么?4、有一壓電晶體,其面積為20mm2,厚度為10mm,當(dāng)受到壓力P=10MPa作用時,求產(chǎn)生的電荷量及輸出電壓: (1)零度X切的縱向石英晶體; (2)利用縱向效應(yīng)的BaTiO3。 解:由題意知,壓電晶體受力為F=PS=10×106×20×10-6=200(N) (1)0°X切割石英晶

2、體,r,d11×10-12C/N等效電容 ×10-14 (F)受力F產(chǎn)生電荷Q=d11F×10-12×200=462×10-2(C)=462pC輸出電壓 (2)利用縱向效應(yīng)的BaTiO3,r=1900,d33=191×10-12C/N等效電容×10-12(F)=33.6(pF)受力F產(chǎn)生電荷Q=d33F=191×10-12×200=38200×10-12×10-8C輸出電壓5、某壓電晶體的電容為1000pF,kq=/cm,電纜電容CC=3000pF,示波器的輸入阻抗為1M和并聯(lián)電容為5

3、0pF,求: (1)壓電晶體的電壓靈敏度足Ku; (2)測量系統(tǒng)的高頻響應(yīng); (3)如系統(tǒng)允許的測量幅值誤差為5,可測最低頻率是多少? (4)如頻率為10Hz,允許誤差為5,用并聯(lián)連接方式,電容值是多大? 解:(1) (2)高頻()時,其響應(yīng) (3)系統(tǒng)的諧振頻率 由 ,得(取等號計算) 解出 (/n)2=9.2564/nn=3.0424×247=751.5(rad/s) f=/2=751.5/2=119.6(Hz) (4)由上面知,當(dāng)g5%時,/n 當(dāng)使用頻率f=10Hz時,即=2f=2×10=20(rad/s)時 n=/3.0424=20/3.0424=20.65(ra

4、d/s)又由n=1/RC,則 C=1/nR=1/(20.65×1×106)=4.84×10-8´104pF6、分析壓電加速度傳感器的頻率響應(yīng)特性。若測量電路為電壓前量放大器C總=1000pF,R總=500M;傳感器固有頻率f0=30kHz,阻尼比,求幅值誤差在2以內(nèi)的使用頻率范圍。 解:壓電式加速度的上限截止頻率由傳感器本身的頻率特性決定,根據(jù)題意(取等號計算)則 1+(/n)42(/n)2 +4×2(/n)2=0.96 (/n)4 (/n)2 +0.04=0 解出 (/n)2或(/n)2(舍去)所以 /n =0.205 或-(舍去) wwn則

5、 fH =f0×30=6.15(kHz) 壓電式加速度傳感器下限截止頻率取決于前置放大器特性,對電壓放大器,其幅頻特性由題意得 (取等號計算) (wt)2 =0.9604+0.9604 (wt)2(wt)2wt=fL =/2=4.924/(2pt)=4.924/(2pRC)=4.924/(2p×5×108×10-9 ) =1.57(Hz) 其誤差在2%以內(nèi)的頻率范圍為:kHz 7、石英晶體壓電式傳感器,面積為100mm2,厚度為1mm,固定在兩金屬板之間,用來測量通過晶體兩面力的變化。材料的彈性模量為9×1010Pa,電荷靈敏度為2pCN,相對

6、介電常數(shù)是,材料相對兩面間電阻是1014。一個20pF的電容和一個100M的電阻與極板并聯(lián)。若所加力F=0.01sin(1000t)N,求: (1)兩極板間電壓峰峰值; (2)晶體厚度的最大變化。 解:(1)石英壓電晶片的電容 =4.514 ×10-12 (F) 4.5pF 由于Ra =1014,并聯(lián)電容R并=100M=108 則總電阻 R=Ra / R并 = 1014 /108 108 總電容 C=Ca /C并 =4.5+20=24.5(pF) 又因 F=0.01sin(1000t)N=Fm sin(t)N kq =2 pC/N則電荷 Q=d11 F= kq F Qm = d11

7、Fm = kq Fm =2 pC/N×0.01N=0.02 pC所以×10-3 (V)=0.756mV 峰峰值: Uim-im =2Uim =2×0.756=1.512mV (2)應(yīng)變m =Fm /SE =0.01/(100×10-6×9×1010×10-9 =dm /d dm =dem =1××10-9×10-9 mm 厚度最大變化量(即厚度變化的峰峰值 )d =2dm =2××10-9×10-9 (mm) ×10-12 m8、用石英晶體加速度計及電荷放

8、大器測量機器的振動,已知:加速度計靈敏度為5pC/g,電荷放大器靈敏度為50mV/pC,當(dāng)機器達到最大加速度值時相應(yīng)的輸出電壓幅值為2V,試求該機器的振動加速度。(g為重力加速度) 解:由題意知,振動測量系統(tǒng)(壓電式加速度計加上電荷放大器)的總靈敏度K=KqKu =5pC/g ×50 mV/pC=250mV/g=Uo/a式中,Uo為輸出電壓;a為振動系統(tǒng)的加速度。則當(dāng)輸出電壓Uo=2V時,振動加速度為 a=Uo/K=2×103/250=8(g)5-8 用壓電式傳感器測量最低頻率為1Hz的振動,要求在1Hz時靈敏度下降不超過5。若測量回路的總電容為500pF,求所用電壓前置放

9、大器的輸入電阻應(yīng)為多大? 解: 由題意知,對于電荷放大器,動態(tài)響應(yīng)幅值誤差為,(取等號計算)(/n)2 =0.9025+0.9025 (/n)2/n=1/n =3.04/=3.04/(2×1)=0.484(s)=RC所以 R=/C=0.484/(500×10-12×108W=968MW9、 已知壓電式加速度傳感器的阻尼比,其無阻尼固有頻率f0=32kHz,若要求傳感器的輸出幅值誤差在5以內(nèi),試確定傳感器的最高響應(yīng)頻率。解: 由加速度傳感器的頻率特性知,動態(tài)響應(yīng)幅值誤差為 (取等號)(/n)41.96(/n)2 +0.093=0解出 (/n)2或(/n)2(舍去)則

10、 /n Hn則 fH =f0×32=7.04(kHz) 10、 某壓電式壓力傳感器的靈敏度為80pC/Pa,如果它的電容量為1nF,試確定傳感器在輸入壓力為時的輸出電壓。 解:當(dāng)傳感器受壓力 Pa時,所產(chǎn)生的電荷Q=80 pC/Pa ×1.4Pa=112 pC輸出電壓為Ua =Q/Ca =112×10-12 /(1×10-9)=0.112(V)11、一只測力環(huán)在全量程范圍內(nèi)具有靈敏度,它與一臺靈敏度為10mV/pC的電荷放大器連接,在三次試驗中測得以下電壓值:(1)100mV;(2)10V;(3)75V。試確定三次試驗中的被測力的大小及性質(zhì)。 解:測力環(huán)

11、總靈敏度 K=3.9 pC/N ×10mV/pC=39 mV/N = U0/F式中,U0為輸出電壓,F(xiàn)為被測力,所以 F1 =U01 /K=100mV/39mV/N=2.56N (壓力) F2 =U02 /K=10×10 3mV/39mV/N=256N (拉力) F3 =U03 /K=75×10 3mV/39mV/N=1923N (壓力)12、某壓電式壓力傳感器為兩片石英晶片并聯(lián),每片厚度h=,圓片半徑r=1cm,r,X切型d11-12C/N。當(dāng)壓力垂直作用于PX平面時,求傳感器輸出電荷Q和電極間電壓Ua的值。 解:當(dāng)兩片石英晶片并聯(lián)時,所產(chǎn)生電荷 Q并=2Q=2d11 F=2d11 r2 =2××10-12××106 ××(1

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