真空鍍膜設(shè)備可行性研究報(bào)告

1、真空鍍膜設(shè)備可行性研究報(bào)告一、項(xiàng)目實(shí)施背景薄膜是-種物質(zhì)形態(tài)，它所使用的膜材料非常廣泛，可以是單質(zhì) 元素或化合物，也可以是無機(jī)材料或有機(jī)材料。薄膜與塊狀物質(zhì)一樣, 可以是單晶態(tài)的，多晶態(tài)的或非晶態(tài)的。近年來功能材料薄膜和復(fù)合 薄膜也有很大發(fā)展。鍍膜技術(shù)及薄膜產(chǎn)品在工業(yè)上的應(yīng)用非常廣泛， 尤其是在電子材料與元器件工業(yè)領(lǐng)域中占有及其重要的地位。鍍膜方法可以分為氣相生成法，氧化法，離子注入法，擴(kuò)散法， 電鍍法，涂布法，液相生長法等。氣相生成法又可分為物理氣相沉積 法，化學(xué)氣相沉積法和放電聚合法等。它們都要求淀積薄膜的空間要 有一定的真空度。所以，真空技術(shù)是薄膜制作技術(shù)的基礎(chǔ)，獲得并保 持所需的真空環(huán)

2、境，是鍍膜的必要條件。其中，化學(xué)氣相沉積鍍膜技 術(shù)即為pecvd真空鍍膜技術(shù)。pecvd是利用高頻電源輝光放電產(chǎn)生等離子體進(jìn)行化學(xué)氣相沉積 的過程。其特點(diǎn)是電子密度高、電子平均能量大，富含大量化學(xué)氣相 沉積的活性粒子和自由基，并且沉積溫度低。在采用s1h4和nh3作 為源氣體沉積sinx薄膜的過程中，由于大量氫原子的存在，使所生 成的薄膜除了具有減反射性能外，兼具有良好的表面和體鈍化性能， 這是因?yàn)樵陔x子的轟擊下，氫原子更容易擴(kuò)散進(jìn)入薄膜體內(nèi)，從而提 高膜的體鈍化效果。不僅如此，pecvd等離子體中由于含有高密度的 離子，這些具有一定動能的離子對沉積的減反射鈍化膜進(jìn)行轟擊，還 會提高膜的質(zhì)密性

3、和應(yīng)力。pecvd的一個(gè)基本特征是和實(shí)現(xiàn)了薄膜沉積工藝的低溫化，因此 帶來的好處是：o節(jié)省能源，降低成本提高產(chǎn)能減少高溫導(dǎo)致的基片壽命衰減。正是以上特性，pecvd真空鍍膜設(shè)備被廣泛應(yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)、半 導(dǎo)體和相關(guān)的微電子行業(yè)。1、pecvd設(shè)備與半導(dǎo)體上世紀(jì)70年代初發(fā)展起來的pecvd最早是為了適應(yīng)現(xiàn)代半導(dǎo)體 工業(yè)的發(fā)展，制取優(yōu)質(zhì)介質(zhì)膜。現(xiàn)代科技對半導(dǎo)體器件的可靠性和穩(wěn) 定性要求越來越高，為了防止器件制造過程中的表面玷污，必須進(jìn)行 表面鈍化。用pecvd法制備的鈍化膜的沉積實(shí)在低溫下（200400°c ） 進(jìn)行的，鈍化效果好，失效時(shí)間長，具有良好的熱學(xué)和化學(xué)穩(wěn)定性。2、pecvd

4、設(shè)備與 tft-lcd80年代末，pecvd技術(shù)開始應(yīng)用于tft-lcd產(chǎn)業(yè) 在tet-lcd領(lǐng) 域應(yīng)用最廣的是rf-pecvd系統(tǒng)。pecvd在低溫、大面積鍍膜方向上 具備其他cvd鍍膜無可比擬的優(yōu)勢，進(jìn)一步推進(jìn)了平板顯示業(yè)的發(fā)展 和更新、基板尺寸更大的生產(chǎn)線被制造出來。從1世代的in-line生 產(chǎn)線、batch-type生產(chǎn)線，到目前已投入運(yùn)營的8世代cluster生 產(chǎn)線，以及正在研制的更高世代的生產(chǎn)線都在廣泛應(yīng)用pecvd設(shè)備。3、pecvd設(shè)備與多晶硅太陽能電池pecvd設(shè)備是整條太陽能電池生產(chǎn)線的核心設(shè)備之一 pecvd技術(shù) 在光伏電池上的廣泛應(yīng)用，主要基于以下兩種作用：(1)

5、減少太陽能電池晶體硅表面對可見光的反射為了降低晶體硅太陽電池的效率，通常需要減少太陽電池止表面 的反射，還需要對晶體硅表面進(jìn)行鈍化處理，以降低表面缺陷對于少 數(shù)載流子的復(fù)合作用。硅的折射率為3.8,如果宜接將光滑的硅表面放置在折射率為 10的空氣中，其對光的反射率可達(dá)到30%左右。人們使用表面的織 構(gòu)化降低了一部分反射，但是還是很難將反射率降得很低，尤其是對 多晶硅，使用各向同性的酸腐蝕液，如果腐蝕過深，會影響到pn結(jié) 的漏電流，因此其對表面反射降低的效果不明顯。因此，考慮在硅表 面與空氣之間插層折射率適中的透光介質(zhì)膜，以降低表面的反射， 在工業(yè)化應(yīng)用中，sinx膜被選擇作為硅表血的減反射膜，

6、sinx膜的 折射率隨著x值的不同，可以從1.9變到2. 3左右，這樣比較適合于 在3. 8的硅和1. 0的空氣屮進(jìn)行可見光的減反射設(shè)計(jì)，是一種較為優(yōu) 良的減反射膜。(2) 對晶體硅表面的鈍化作用另一方血，硅表面有很多懸掛鍵，對于n型發(fā)射區(qū)的非平衡載流 了具有很強(qiáng)的吸引力，使得少數(shù)載流了發(fā)生復(fù)合作用，從而減少電流。 因此需要使用一些原子或分子將這些表面的懸掛鍵飽和。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)， 含氫的sinx膜對于硅表面具有很強(qiáng)的鈍化作用，減少了表面不飽和 的懸掛鍵，減少了表面能級。由于pecvd設(shè)備淀積的氮化硅薄膜，同時(shí)起到減反射膜和鈍化的作用，可以極大地提高電池片轉(zhuǎn)換效率，降低生產(chǎn)成木，是太陽能生 產(chǎn)線中最

7、為重要的設(shè)備之一。二. 項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模及主要內(nèi)容（一）項(xiàng)目建設(shè)規(guī)模依據(jù)規(guī)劃要求，本項(xiàng)目擬占地（約*畝），其中建構(gòu)筑物占地面積為*nf，總建筑面積為*m2o主要建構(gòu)筑物包括：生 產(chǎn)廠房*座、倉庫*座、綜合樓*棟及其它配套設(shè)施。項(xiàng)目預(yù)計(jì)總投資*萬元，其中建設(shè)投資*萬元（包括基礎(chǔ)工 程建設(shè)投資和和萬元和設(shè)備購置及安裝投資和*萬元），流動資金 *萬元。項(xiàng)目建設(shè)資金來源全部自籌。項(xiàng)目分二期建設(shè)，建設(shè)周期為*個(gè)月，自*年*月至*年*月。其中一期工程自月至月，二期工程月至月。（-）主要建設(shè)內(nèi)容項(xiàng)目整體上，分二期建設(shè)完成，具體建設(shè)內(nèi)容為: 一期工程包括綜合辦公樓、實(shí)驗(yàn)樓、職工宿舍樓、一號生產(chǎn)廠房、原料庫及公用配

8、套設(shè)施，建筑面積為和*平方米，建有生產(chǎn)線*條，一期工程進(jìn)度為和杠年,自 * * * *芻三* * *月至* * * * * * *月 ；可行性研究報(bào)告大綱（具體可根據(jù)客戶要求進(jìn)行調(diào)整）第一章研究概述第一節(jié)研究背景與目標(biāo)第二節(jié)研究的內(nèi)容第三節(jié)研究方法第四節(jié)數(shù)據(jù)來源第五節(jié)研究結(jié)論一、市場規(guī)模二、競爭態(tài)勢三、行業(yè)投資的熱點(diǎn)四、行業(yè)項(xiàng)目投資的經(jīng)濟(jì)性第二章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目總論第一節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目背景一、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目名稱二、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目承辦單位三、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目主管部門四、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目擬建地區(qū)、地點(diǎn)五、承擔(dān)可行性研究工作的單位和法人代表六、研究工作依據(jù)七、研究工作概況第二節(jié)可行性研究結(jié)論一

9、、市場預(yù)測和項(xiàng)目規(guī)模二、原材料、燃料和動力供應(yīng)三、選址四、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目工程技術(shù)方案五、環(huán)境保護(hù)六、工廠組織及勞動定員七、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目建設(shè)進(jìn)度八、投資估算和資金籌措九、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目財(cái)務(wù)和經(jīng)濟(jì)評論十、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目綜合評價(jià)結(jié)論第三節(jié)主要技術(shù)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)表第四節(jié)存在問題及建議第三章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目投資環(huán)境分析第一節(jié)社會宏觀環(huán)境分析第二節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目相關(guān)政策分析一、國家政策二、真空鍍膜設(shè)備行業(yè)準(zhǔn)入政策三、真空鍍膜設(shè)備行業(yè)技術(shù)政策第三節(jié)地方政策第四章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目背景和發(fā)展概況第一節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目提出的背景一、國家及真空鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展規(guī)劃二、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目發(fā)起人和發(fā)起緣由第二節(jié)真空

10、鍍膜設(shè)備項(xiàng)目發(fā)展概況一、已進(jìn)行的調(diào)查研究真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目及其成果二、試驗(yàn)試制工作情況三、廠址初勘和初步測量工作情況四、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目建議書的編制、提出及審批過程第三節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目建設(shè)的必要性一、現(xiàn)狀與差距二、發(fā)展趨勢三、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目建設(shè)的必要性四、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目建設(shè)的可行性第四節(jié)投資的必要性第五章真空鍍膜設(shè)備行業(yè)競爭格局分析第一節(jié)國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)現(xiàn)狀一、重點(diǎn)企業(yè)信息二、企業(yè)地理分布三、企業(yè)規(guī)模經(jīng)濟(jì)效應(yīng)四、企業(yè)從業(yè)人數(shù)第二節(jié)重點(diǎn)區(qū)域企業(yè)特點(diǎn)分析一、華北區(qū)域二、東北區(qū)域三、西北區(qū)域四、華東區(qū)域五、華南區(qū)域六、西南區(qū)域七、華中區(qū)域第三節(jié)企業(yè)競爭策略分析一、產(chǎn)品競爭策略二、價(jià)格競爭策略三、渠道

11、競爭策略四、銷售競爭策略五、服務(wù)競爭策略六、品牌競爭策略第六章真空鍍膜設(shè)備行業(yè)財(cái)務(wù)指標(biāo)分析參考第一節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)產(chǎn)銷狀況分析第二節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)資產(chǎn)負(fù)債狀況分析 第三節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)資產(chǎn)運(yùn)營狀況分析 第四節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)獲利能力分析 第五節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)成本費(fèi)用分析第七章真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場分析與建設(shè)規(guī)模第一節(jié)市場調(diào)查一、擬建真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目產(chǎn)出物用途調(diào)查二、產(chǎn)品現(xiàn)有生產(chǎn)能力調(diào)查三、產(chǎn)品產(chǎn)量及銷售量調(diào)查四、替代產(chǎn)品調(diào)查五、產(chǎn)品價(jià)格調(diào)查六、國外市場調(diào)查第二節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場預(yù)測一、國內(nèi)市場需求預(yù)測二、產(chǎn)品出口或進(jìn)口替代分析三、價(jià)格預(yù)測第三節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)市場推銷戰(zhàn)略一、推銷方式

12、二、推銷措施三、促銷價(jià)格制度四、產(chǎn)品銷售費(fèi)用預(yù)測第四節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目產(chǎn)品方案和建設(shè)規(guī)模一、產(chǎn)品方案二、建設(shè)規(guī)模第五節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目產(chǎn)品銷售收入預(yù)測第八章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目建設(shè)條件與選址方案第一節(jié)資源和原材料一、資源評述二、原材料及主要輔助材料供應(yīng)三、需要作生產(chǎn)試驗(yàn)的原料第二節(jié)建設(shè)地區(qū)的選擇一、自然條件二、基礎(chǔ)設(shè)施三、社會經(jīng)濟(jì)條件四、其它應(yīng)考慮的因素第三節(jié)廠址選擇一、廠址多方案比較二、廠址推薦方案第九章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目應(yīng)用技術(shù)方案第一節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目組成第二節(jié)生產(chǎn)技術(shù)方案一、產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)二、生產(chǎn)方法三、技術(shù)參數(shù)和工藝流程四、主要工藝設(shè)備選擇五、主要原材料、燃料、動力消耗指標(biāo)六、主要生產(chǎn)車間布置方

13、案 第三節(jié)總平面布置和運(yùn)輸一、總平面布置原則二、廠內(nèi)外運(yùn)輸方案三、倉儲方案四、占地面積及分析第四節(jié)土建工程一、主要建、構(gòu)筑物的建筑特征與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)二、特殊基礎(chǔ)工程的設(shè)計(jì)三、建筑材料四、土建工程造價(jià)估算第五節(jié)其他工程一、給排水工程二、動力及公用工程三、地震設(shè)防四、生活福利設(shè)施第十章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)與勞動安全第一節(jié)建設(shè)地區(qū)的環(huán)境現(xiàn)狀一、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目的地理位置二、地形、地貌、土壤、地質(zhì)、水文、氣象三、礦藏、森林、草原、水產(chǎn)和野生動物、植物、農(nóng)作物四、自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景游覽區(qū)、名勝古跡、以及重要政治文化設(shè)五、現(xiàn)有工礦企業(yè)分布情況六、生活居住區(qū)分布情況和人口密度、健康狀況、地方病等情況七、大氣、

14、地下水、地面水的環(huán)境質(zhì)量狀況八、交通運(yùn)輸情況九、其他社會經(jīng)濟(jì)活動污染、破壞現(xiàn)狀資料十、環(huán)保、消防、職業(yè)安全衛(wèi)生和節(jié)能第二節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目主要污染源和污染物一、主要污染源二、主要污染物第三節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目擬采用的環(huán)境保護(hù)標(biāo)準(zhǔn)第四節(jié)治理環(huán)境的方案一、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目對周圍地區(qū)的地質(zhì)、水文、氣象可能產(chǎn) 生的影響二、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目對周圍地區(qū)自然資源可能產(chǎn)生的影響三、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目對周圍自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景游覽區(qū)等可能 產(chǎn)生的影響四、各種污染物最終排放的治理措施和綜合利用方案五、綠化措施，包括防護(hù)地帶的防護(hù)林和建設(shè)區(qū)域的綠化第五節(jié)環(huán)境監(jiān)測制度的建議第六節(jié)環(huán)境保護(hù)投資估算第七節(jié)環(huán)境影響評論結(jié)論第八節(jié)勞

15、動保護(hù)與安全衛(wèi)生一、生產(chǎn)過程中職業(yè)危害因素的分析二、職業(yè)安全衛(wèi)生主要設(shè)施三、勞動安全與職業(yè)衛(wèi)生機(jī)構(gòu)四、消防措施和設(shè)施方案建議第十一章企業(yè)組織和勞動定員第一節(jié)企業(yè)組織一、企業(yè)組織形式二、企業(yè)工作制度第二節(jié)勞動定員和人員培訓(xùn)一、勞動定員二、年總工資和職工年平均工資估算三、人員培訓(xùn)及費(fèi)用估算第十二章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度安排 第一節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目實(shí)施的各階段一、建立真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目實(shí)施管理機(jī)構(gòu)二、資金籌集安排三、技術(shù)獲得與轉(zhuǎn)讓四、勘察設(shè)計(jì)和設(shè)備訂貨五、施工準(zhǔn)備六、施工和生產(chǎn)準(zhǔn)備七、竣工驗(yàn)收第二節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目實(shí)施進(jìn)度表一、橫道圖二、網(wǎng)絡(luò)圖第三節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目實(shí)施費(fèi)用一、建設(shè)單位管理費(fèi)二、生產(chǎn)

16、籌備費(fèi)三、生產(chǎn)職工培訓(xùn)費(fèi)四、辦公和生活家具購置費(fèi)五、勘察設(shè)計(jì)費(fèi)六、其它應(yīng)支付的費(fèi)用第十三章投資估算與資金籌措第一節(jié)真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目總投資估算一、固定資產(chǎn)投資總額二、流動資金估算第二節(jié)資金籌措一、資金來源二、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目籌資方案第三節(jié)投資使用計(jì)劃一、投資使用計(jì)劃二、借款償還計(jì)劃第十四章財(cái)務(wù)與敏感性分析第一節(jié)生產(chǎn)成本和銷售收入估算一、生產(chǎn)總成本估算二、單位成本三、銷售收入估算第二節(jié)財(cái)務(wù)評價(jià)第三節(jié)國民經(jīng)濟(jì)評價(jià)第四節(jié)不確定性分析第五節(jié)社會效益和社會影響分析一、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目對國家政治和社會穩(wěn)定的影響二、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目與當(dāng)?shù)乜萍肌⑽幕l(fā)展水平的相互適應(yīng)性三、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目與當(dāng)?shù)鼗A(chǔ)設(shè)施發(fā)展水平

17、的相互適應(yīng)性四、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目與當(dāng)?shù)鼐用竦淖诮?、民族?xí)慣的相互適應(yīng)五、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目對合理利用自然資源的影響六、真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目的國防效益或影響七、對保護(hù)環(huán)境和生態(tài)平衡的影響第十五章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目不確定性及風(fēng)險(xiǎn)分析第一節(jié)建設(shè)和開發(fā)風(fēng)險(xiǎn)第二節(jié)市場和運(yùn)營風(fēng)險(xiǎn)第三節(jié)金融風(fēng)險(xiǎn)第四節(jié)政治風(fēng)險(xiǎn)第五節(jié)法律風(fēng)險(xiǎn)第六節(jié)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)第七節(jié)技術(shù)風(fēng)險(xiǎn)第十六章真空鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢分析第一節(jié)我國真空鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展的主要問題及對策研究一、我國真空鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展的主要問題二、促進(jìn)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展的對策第二節(jié)我國真空鍍膜設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢分析第三節(jié)真空鍍膜設(shè)備行業(yè)投資機(jī)會及發(fā)展戰(zhàn)略分析一、真空鍍膜設(shè)備行業(yè)投資機(jī)會分

18、析二、真空鍍膜設(shè)備行業(yè)總體發(fā)展戰(zhàn)略分析第四節(jié)我國真空鍍膜設(shè)備行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)一、政策風(fēng)險(xiǎn)二、環(huán)境因素三、市場風(fēng)險(xiǎn)四、真空鍍膜設(shè)備行業(yè)投資風(fēng)險(xiǎn)的規(guī)避及對策第十七章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目可行性研究結(jié)論與建議第一節(jié)結(jié)論與建議、對推薦的擬建方案的結(jié)論性意見二、對主要的對比方案進(jìn)行說明三、對可行性研究中尚未解決的主要問題提出解決辦法和建議四、對應(yīng)修改的主要問題進(jìn)行說明，提出修改意見五、對不可行的項(xiàng)目，提出不可行的主要問題及處理意見六、可行性研究中主要爭議問題的結(jié)論第二節(jié)我國真空鍍膜設(shè)備行業(yè)未來發(fā)展及投資可行性結(jié)論及建第十八章財(cái)務(wù)報(bào)表第一節(jié)資產(chǎn)負(fù)債表第二節(jié)投資受益分析表第三節(jié)損益表第十九章真空鍍膜設(shè)備項(xiàng)目投資可行性報(bào)