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123456dblCr00dbllCCCr）（00lllllCC10dblClCSr007 結結構構型型傳傳感感器器 物物性性型型傳傳感感器器 特特性性 結結構構參參數數決決定定 物物質質性性質質決決定定 性性能能 穩(wěn)穩(wěn)定定 將將迅迅速速提提高高 成成本本 較較高高 將將大大大大降降低低 應應用用 廣廣泛泛 發(fā)發(fā)展展方方向向之之一一 89dACr00dACr01011BIKUHHBIdRH12dtdWeL1314151617 基基本本物物理理量量 派派生生物物理理量量 線線位位移移 長長度度、厚厚度度、應應變變、振振動動、磨磨損損、不不平平度度 位位移移 角角位位移移 旋旋轉轉角角、偏偏振振角角、角角振振動動 線線速速度度 速速度度、振振動動、流流量量、動動量量 速速度度 角角速速度度 轉轉速速、角角振振動動 線線加加速速度度 振振動動、沖沖擊擊、質質量量 加加速速度度 角角加加速速度度 角角振振動動、扭扭矩矩、轉轉動動慣慣量量 力力 壓壓力力 重重量量、應應力力、力力矩矩 時時間間 頻頻率率 周周期期、計計數數、統(tǒng)統(tǒng)計計分分布布 溫溫度度 熱熱容容量量、氣氣體體速速度度、渦渦流流 光
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