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1、1目的:規(guī)範潔淨室設備機臺移入及包商施工作業(yè)方式,避免破壊潔淨室潔淨等級。2範圍:潔淨室內(nèi)所有設備機臺移入,設備、廠務外包施工作業(yè)等。3.作業(yè)方法:3.1設備機臺移入3.1.1移入所需工具:3.1.1.1開關設備取物門、庫板:、吸盤、套筒(或活動板手)。3.2清潔機臺:pvc手套、ipa、無塵拭紙。3.1.1.3移入:油壓板車、鋼板、橡皮或pvc墊片、木頭(需用膠帶作包覆)。3.1.2移入流程:3.121緩衝區(qū)以一-般吸塵器及拖把清潔。3.1.2.2機臺首先吊至緩衝區(qū),將出入門關閉,地面清潔後,以ipa作機臺清潔、擦拭。(清潔 重點:機臺平面、內(nèi)部、凹凸槽以及輪子等)3.123移入機組較多,緩
2、衝區(qū)無法一次容納時應分段施作、每次均在機組吊至緩衝區(qū)後將出入 門關閉、清潔機臺,移入並關閉庫板完成才可進行下段流程。出入門與庫板絕不可同時 開啓。3.124庫板拆卸時,需將空調箱外氣量加大,確保潔淨室維持正壓。3.1.2.5庫板拆卸後,出入口以黏崖墊覆蓋,u型槽拆卸地面以工業(yè)膠布貼覆,避免發(fā)庫。3.1.2.6油壓板車、薄鋼板及須進人潔淨室之機具,以ipa擦拭清潔後,方可進入,若需使用堆 高機設備,動力採用電池式。3.127機臺重量超過1000kg時,地面應鋪設薄鋼板,避免刮傷地板。328設備定位時,支撐腳應鋪不銹鋼墊片或潔淨室專用墊片,移出機具業(yè)將活動門以ipa擦 拭後復原。3.129潔淨室移
3、入動線以潔淨室專用吸塵器清潔及擦拭。3.1.2.10通知品管檢測潔淨室particle。3.3注意事項:3.i.3.1機臺清潔及移入全程,人員應戴pvc手套,避免指紋和particle污染設備。3.1.3.2鋼板進入潔淨室須擦拭清潔,木塊須用工業(yè)膠布纏包覆後,進入潔淨室。3.1.3.3吸塵器使用前,應檢查hepa集塵袋是否飽和。3.1.3.4機臺擦拭力求徹底,庫板及出入門開啓力求縮短時間。爲爭取時效'必耍時工務得提出 需求'請生產(chǎn)線人員支援,以順遂工作之進行。3.1.3.5設備採購時,得耍求廠商在機臺山廠前作好清潔及包裝,以減少事後清潔之死角。3.2包商施工:3.2.1施工規(guī)範
4、:321.1施工人員應穿著施工用無塵衣'避免弄髒污染生產(chǎn)人員無塵衣。並遵守本公司潔淨室 3.2.1.2進入潔淨室之工具、管材、樓梯等,須先擦拭乾淨才可進入。321.3管材須切割,應拿出潔淨室外施作,完成後擦拭清淨才可攜入。3.2.1.4施工中需在庫板挖孔者,在裁切同時,另一人在旁以潔淨室專用吸塵器吸塵清潔,配 管完成應以silicon作氣密。32.1.5監(jiān)工人員應準備pvc手套數(shù)雙及無塵拭紙,供施工人員髒污或破損時,清潔更換。3.2.1.6潔淨室內(nèi)嚴禁使用燒焊。321.7完工後檢查項目:項目管路是否固定牢固'暫壓是否合格天花板、機臺是否歸定位天花板、牆面是否有指紋及髒污施工區(qū)域
5、是否清潔乾淨是否破壞氣密,是否有打silicon廢料、樓梯等是否已攜出潔淨室通知品管部再次檢測潔淨室particle3.3宣達與管理:3.3.1潔淨室內(nèi)使用設施或維修施工採購時,採購部應對廠商提示此規(guī)範,並列入合約扣款項目中。3.3.2施工前由負責單位工程師塡寫潔淨室進入申請單申請進入潔淨室。ii口頭向廠商施工人 員宣達需遵守潔淨室規(guī)範。3.3.3施工人員需在許可活動區(qū)域範圍活動,負責工程師須預先告知,且儘可能全程陪同。3.3.5管理流程採購提示潔淨室規(guī)範3.3.4本公司任何人員對違反規(guī)範之行爲'均有立即扌旨正,耍求改善之權力與義務。施工前負責部門之擔當工程師提出進入潔淨室申 請'經(jīng)製造部門主管核準後'始可進入擔當工程師全程陪同''怖工"擔當工程師口頭宣達潔淨室規(guī)範,並請 廠商在申請單上簽名確認製造部課長指定工程師施工結束,離開確認並繳回申請單或舗班軌行稽核予當班丁稗師或
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