微電子學概論

1、會計學1微電子學概論微電子學概論2請在教學網上下載該文獻。費曼預言了微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)以及它的基本原則。345智能交通遠程醫(yī)療航天遙感智能家居智能手機World6傳感云計算核計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O完美體系猜想一完美體系猜想二感知才是我們存在的證據和認識世界的唯一途徑。7重力重力水空氣溫度磁場黏度化學化學生物聲音情緒情緒智能系統(tǒng)與真實世界的傳感紐帶：微機電系統(tǒng)(MEMS)89MEMSMicro-MachineMicro-System1011ControllerSensorActuator微電

2、子技術可以縮小控制部分MEMS機械部分的縮小是整個系統(tǒng)縮小的瓶頸。機械部分的縮小是整個系統(tǒng)縮小的瓶頸。12Electro-Mechanical system in microscope world.力學力學電子學電子學化學化學光學光學物理學物理學生物學生物學材料學材料學13MEMSMEMS is a Interdisciplinary Science which involves mechanics, electronics, chemistry, optics, physics, biology, material science etc.141516ADI制造制造171819Surface

3、 tensionMEMS微觀世界中物理法則微觀世界中物理法則20微加工微加工高深寬比刻蝕深谷21系統(tǒng)設計和集成系統(tǒng)設計和集成sensorControllerExecutionIntegrated System2223MEMS巨型機械制造小型機械；小型機械制造微機械（日本）微電子半導體加工工藝紫外光刻微電鑄模制造技術（德國）微機械微機械LIGA自頂向下自底向上2425各向異性腐蝕各向異性腐蝕深槽刻蝕深槽刻蝕26IC firstIC and MEMS mixedMEMS first272829303132333435363738394041怎樣將怎樣將MEMS和其他非電子系統(tǒng)以及和其他非電子系統(tǒng)以

4、及復雜電子系統(tǒng)在一個三維的芯片中集復雜電子系統(tǒng)在一個三維的芯片中集成？成？420.7X nodeX nodelogicmemoryanalogRFScaling down?SoCHigher value4332nm技術22nm65nm90nmlogicmemoryanalogRFSoCSiPMEMSmemorySystem in PackageSystem on chipHigher higher value44MEMS4546474849MEMSCMOSSolar CellFlexible electronicsBio-ChipAll in SiRFStorageMemory505152請在教學網上下載該文獻。費曼預言了微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)以及它的基本原則。5354550.7X nodeX nodelogicmemoryanalogRFScaling down?SoCHigher value5632nm技術22nm65nm90nmlogicmemoryanalogRFSoCSiP