微型機(jī)械加工技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢(shì)及其關(guān)鍵技術(shù)

1、微型機(jī)械加工技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀和趨勢(shì)及其關(guān)鍵技術(shù)-微型機(jī)械加工技術(shù)概念微型機(jī)械加工或稱微型機(jī)電系統(tǒng)或微型系統(tǒng)是只可以批量制作的、集 微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、甚至 外圍接口、通訊電路和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。其主要特點(diǎn) 有：體積?。ㄌ卣鞒叽绶秶鸀椋?m-10mm ）、重量輕、耗能低、性能 穩(wěn)定；有利于大批量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本；慣性小、諧振頻率高、響 應(yīng)時(shí)間短；集約高技術(shù)成果，附加值高。微型機(jī)械的目的不僅僅在于 縮小尺寸和體積， 其目標(biāo)更在于通過微型化、 集成化、來搜索新原理、 新功能的元件和系統(tǒng)，開辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域，形成批量化產(chǎn)業(yè)。 微型機(jī)械加工技術(shù)是指制作為機(jī)械

2、裝置的微細(xì)加工技術(shù)。微細(xì)加工的 出現(xiàn)和發(fā)展早是與大規(guī)模集成電路密切相關(guān)的，集成電路要求在微小 面積的半導(dǎo)體上能容納更多的電子元件，以形成功能復(fù)雜而完善的電 路。電路微細(xì)圖案中的最小線條寬度是提高集成電路集成度的關(guān)鍵技 術(shù)標(biāo)志，微細(xì)加工對(duì)微電子工業(yè)而言就是一種加工尺度從微米到納米 量級(jí)的制造微小尺寸元器件或薄模圖形的先進(jìn)制造技術(shù)。目前微型加 工技術(shù)主要有基于從半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工工藝中發(fā)展起來的硅平 面加工和體加工工藝，上世紀(jì)八十年代中期以后在LIGA加工（微型鑄模電鍍工藝）、準(zhǔn)LIGA加工，超微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工（EDM）、 等離子束加工、電子束加工、快速原型制造（ RPM）以及鍵合技術(shù)

3、等 微細(xì)加工工藝方面取得相當(dāng)大的進(jìn)展。微型機(jī)械系統(tǒng)可以完成大型機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)。微型機(jī)械與 電子技術(shù)緊密結(jié)合，將使種類繁多的微型器件問世，這些微器件采用大批量集成制造，價(jià)格低廉，將廣泛地應(yīng)用于人類生活眾多領(lǐng)域?？梢灶A(yù)料，在本世紀(jì)內(nèi)，微型機(jī)械將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向適用化，對(duì)工農(nóng)業(yè)、信息、環(huán)境、生物醫(yī)療、空間、國防等領(lǐng)域的發(fā)展將產(chǎn)生重大影響。微細(xì)機(jī)械加工技術(shù)是微型機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)非常重要而又非?；钴S的技術(shù)領(lǐng)域，其發(fā)展不僅可帶動(dòng)許多相關(guān)學(xué)科的發(fā)展，更是與國 家科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)和國防建設(shè)息息相關(guān)。微型機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展有 著巨大的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用前景。-微型機(jī)械加工技術(shù)的國外發(fā)展現(xiàn)狀1959年，Rich

4、ardPFeynman（ 1965年諾貝爾物理獎(jiǎng)獲得者）就提出了微型機(jī)械的設(shè)想。 1962 年第一個(gè)硅微型壓力傳感器問世，氣候開發(fā)出尺 寸為50500 m的齒輪、齒輪泵、氣動(dòng)渦輪及聯(lián)接件等微機(jī)械。1965年，斯坦福大學(xué)研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯微鏡、微 型傳感器方面取得成功。 1987 年美國加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子 直徑為6012 am的利用硅微型靜電機(jī)，顯示出利用硅微加工工藝制 造小可動(dòng)結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。微型機(jī)械在國外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學(xué)校與研究機(jī)構(gòu)的高 度重視。美國 MIT、Berkeley、StanfordAT&T和的1

5、5名科學(xué)家在 上世紀(jì)八十年代末提出 "小機(jī)器、大機(jī)遇：關(guān)于新興領(lǐng)域 -微動(dòng)力學(xué)的 報(bào)告"的國家建議書，聲稱 "由于微動(dòng)力學(xué)（微系統(tǒng)）在美國的緊迫性，應(yīng)在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競(jìng)爭(zhēng)中走在前面" ，建議中央財(cái)政預(yù)支費(fèi)用為五年 5000 萬美元，得到美國領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重視，連續(xù) 大力投資，并把航空航天、信息和 MEMS 作為科技發(fā)展的三大重點(diǎn)。 美國宇航局投資 1 億美元著手研制 "發(fā)現(xiàn)號(hào)微型衛(wèi)星 "，美國國家科學(xué)基 金會(huì)把 MEMS 作為一個(gè)新崛起的研究領(lǐng)域制定了資助微型電子機(jī)械系 統(tǒng)的研究的計(jì)劃，從1998年開始，資助MIT,加

6、州大學(xué)等8所大學(xué)和 貝爾實(shí)驗(yàn)室從事這一領(lǐng)域的研究與開發(fā)， 年資助額從 1 00萬、200萬加 到 1993年的 500萬美元。1994年發(fā)布的美國國防部技術(shù)計(jì)劃報(bào)告， 把 MEMS 列為關(guān)鍵技術(shù)項(xiàng)目。美國國防部高級(jí)研究計(jì)劃局積極領(lǐng)導(dǎo)和 支持MEMS的研究和軍事應(yīng)用，現(xiàn)已建成一條 MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝線以促 進(jìn)新型元件 /裝置的研究與開發(fā)。美國工業(yè)主要致力于傳感器、位移傳 感器、應(yīng)變儀和加速度表等傳感器有關(guān)領(lǐng)域的研究。很多機(jī)構(gòu)參加了 微型機(jī)械系統(tǒng)的研究，如康奈爾大學(xué)、斯坦福大學(xué)、加州大學(xué)伯克利 分校、密執(zhí)安大學(xué)、威斯康星大學(xué)、老倫茲得莫爾國家研究等。加州 大學(xué)伯克利傳感器和執(zhí)行器中心（BSAC得到國

7、防部和十幾家公司資 助1500萬元后，建立了 1115m2研究開發(fā)MEMS的超凈實(shí)驗(yàn)室。 日本通產(chǎn)省 1991 年開始啟動(dòng)一項(xiàng)為期 10 年、耗資 250 億日元的微型 大型研究計(jì)劃，研制兩臺(tái)樣機(jī)，一臺(tái)用于醫(yī)療、進(jìn)入人體進(jìn)行診斷和 微型手術(shù)，另一臺(tái)用于工業(yè)，對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)和原子能設(shè)備的微小裂紋 實(shí)施維修。該計(jì)劃有筑波大學(xué)、東京工業(yè)大學(xué)、東北大學(xué)、早稻田大 學(xué)和富士通研究所等幾十家單位參加。歐洲工業(yè)發(fā)達(dá)國家也相繼對(duì)微型系統(tǒng)的研究開發(fā)進(jìn)行了重點(diǎn)投資，德國自1988年開始微加工十年計(jì)劃項(xiàng)目，其科技部于 19901993年撥 款 4 萬馬克支持 " 微系統(tǒng)計(jì)劃 "研究，并把微系統(tǒng)列為

8、本世紀(jì)初科技發(fā)展 的重點(diǎn)，德國首創(chuàng)的LIGA工藝，為MEMS的發(fā)展提供了新的技術(shù)手段， 并已成為三維結(jié)構(gòu)制作的優(yōu)選工藝。法國 1993年啟動(dòng)的 7000萬法郎 的"微系統(tǒng)與技術(shù) "項(xiàng)目。歐共體組成 "多功能微系統(tǒng)研究網(wǎng)絡(luò) NEXUS，" 聯(lián)合協(xié)調(diào) 46 個(gè)研究所的研究。 瑞士在其傳統(tǒng)的鐘表制造行業(yè)和小型精 密機(jī)械工業(yè)的基礎(chǔ)上也投入了 MEMS的開發(fā)工作，1992年投資為1000 萬美元。英國政府也制訂了納米科學(xué)計(jì)劃。在機(jī)械、光學(xué)、電子學(xué)等 領(lǐng)域列出8個(gè)項(xiàng)目進(jìn)行研究與開發(fā)。為了加強(qiáng)歐洲開發(fā)MEMS的力量， 一些歐洲公司已組成 MEMS開發(fā)集團(tuán)。目前已有大量

9、的微型機(jī)械或微型系統(tǒng)被研究出來，例如：尖端直徑為5 m的微型鑷子可以夾起一個(gè)紅血球，尺寸為 7mm< 7mmK 2mm的微 型泵流量可達(dá)250卩l(xiāng)/min能開動(dòng)的汽車，在磁場(chǎng)中飛行的機(jī)器蝴蝶，以 及集微型速度計(jì)、微型陀螺和信號(hào)處理系統(tǒng)為一體的微型慣性組合（MIMU ）。德國創(chuàng)造了 LIGA工藝，制成了懸臂梁、執(zhí)行機(jī)構(gòu)以及微型 泵、微型噴嘴、濕度、流量傳感器以及多種光學(xué)器件。美國加州理工 學(xué)院在飛機(jī)翼面粘上相當(dāng)數(shù)量的1mm的微梁，控制其彎曲角度以影響 飛機(jī)的空氣動(dòng)力學(xué)特性。美國大批量生產(chǎn)的硅加速度計(jì)把微型傳感器（機(jī)械部分）和集成電路（電信號(hào)源、放大器、信號(hào)處理和正檢正電路等）一起集成在硅片

10、上 3mrhc3mm的范圍內(nèi)。日本研制的數(shù)厘米見方的微型車床可加工精度達(dá)1.5 m勺微細(xì)軸-微型機(jī)械加工技術(shù)概念 微型機(jī)械加工或稱微型機(jī)電系統(tǒng)或微型系統(tǒng)是只可以批量制作的、集 微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、甚至 外圍接口、通訊電路和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。其主要特點(diǎn) 有：體積?。ㄌ卣鞒叽绶秶鸀椋簂mlOmm ）、重量輕、耗能低、性能 穩(wěn)定；有利于大批量生產(chǎn)，降低生產(chǎn)成本；慣性小、諧振頻率高、響 應(yīng)時(shí)間短；集約高技術(shù)成果，附加值高。微型機(jī)械的目的不僅僅在于 縮小尺寸和體積， 其目標(biāo)更在于通過微型化、 集成化、來搜索新原理、 新功能的元件和系統(tǒng)，開辟一個(gè)新技術(shù)領(lǐng)域，

11、形成批量化產(chǎn)業(yè)。微型機(jī)械加工技術(shù)是指制作為機(jī)械裝置的微細(xì)加工技術(shù)。微細(xì)加工的 出現(xiàn)和發(fā)展早是與大規(guī)模集成電路密切相關(guān)的，集成電路要求在微小 面積的半導(dǎo)體上能容納更多的電子元件，以形成功能復(fù)雜而完善的電 路。電路微細(xì)圖案中的最小線條寬度是提高集成電路集成度的關(guān)鍵技 術(shù)標(biāo)志，微細(xì)加工對(duì)微電子工業(yè)而言就是一種加工尺度從微米到納米 量級(jí)的制造微小尺寸元器件或薄模圖形的先進(jìn)制造技術(shù)。目前微型加 工技術(shù)主要有基于從半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工工藝中發(fā)展起來的硅平 面加工和體加工工藝，上世紀(jì)八十年代中期以后在LIGA加工（微型鑄模電鍍工藝）、準(zhǔn)LIGA加工，超微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工（EDM）、 等離子束加工、電

12、子束加工、快速原型制造（RPM）以及鍵合技術(shù)等 微細(xì)加工工藝方面取得相當(dāng)大的進(jìn)展。微型機(jī)械系統(tǒng)可以完成大型機(jī)電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)。微型機(jī)械與 電子技術(shù)緊密結(jié)合，將使種類繁多的微型器件問世，這些微器件采用 大批量集成制造，價(jià)格低廉，將廣泛地應(yīng)用于人類生活眾多領(lǐng)域。可 以預(yù)料，在本世紀(jì)內(nèi)，微型機(jī)械將逐步從實(shí)驗(yàn)室走向適用化，對(duì)工農(nóng) 業(yè)、信息、環(huán)境、生物醫(yī)療、空間、國防等領(lǐng)域的發(fā)展將產(chǎn)生重大影 響。微細(xì)機(jī)械加工技術(shù)是微型機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)非常重要而又非常 活躍的技術(shù)領(lǐng)域，其發(fā)展不僅可帶動(dòng)許多相關(guān)學(xué)科的發(fā)展，更是與國 家科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)和國防建設(shè)息息相關(guān)。微型機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展有 著巨大的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用前景

13、。-微型機(jī)械加工技術(shù)的國外發(fā)展現(xiàn)狀1959年，RichardPFeynman（ 1965年諾貝爾物理獎(jiǎng)獲得者）就提出了微型機(jī)械的設(shè)想。 1962 年第一個(gè)硅微型壓力傳感器問世，氣候開發(fā)出尺 寸為50500 m的齒輪、齒輪泵、氣動(dòng)渦輪及聯(lián)接件等微機(jī)械。1965年，斯坦福大學(xué)研制出硅腦電極探針，后來又在掃描隧道顯微鏡、微 型傳感器方面取得成功。 1987 年美國加州大學(xué)伯克利分校研制出轉(zhuǎn)子 直徑為6012 am的利用硅微型靜電機(jī)，顯示出利用硅微加工工藝制 造小可動(dòng)結(jié)構(gòu)并與集成電路兼容以制造微小系統(tǒng)的潛力。微型機(jī)械在國外已受到政府部門、企業(yè)界、高等學(xué)校與研究機(jī)構(gòu)的高 度重視。美國 MIT、Berkeley、StanfordAT&amp;T和的15名科學(xué)家在 上世紀(jì)八十年代末提出 "小機(jī)器、大機(jī)遇：關(guān)于新興領(lǐng)域 -微動(dòng)力學(xué)的 報(bào)告 "的國家建議書，聲稱 "由于微動(dòng)力學(xué)（微系統(tǒng)）在美國的緊迫性， 應(yīng)在這樣一個(gè)新的重要技術(shù)領(lǐng)域與其他國家的競(jìng)爭(zhēng)中走在前面 " ，建議 中央財(cái)政預(yù)支費(fèi)用為五年 5000 萬美元，得到美國領(lǐng)導(dǎo)機(jī)構(gòu)重視，連續(xù) 大力投資，并把航空航天、信息和 MEMS 作為科技發(fā)展的三大重點(diǎn)。 美國宇航局投資 1 億美元著手研制 "發(fā)現(xiàn)號(hào)微型衛(wèi)星 "，美國國家科學(xué)基 金會(huì)把 MEM