半導(dǎo)體廢氣制程排放-圖文精

1、半導(dǎo)體廢氣制程排放-圖文（精）LT半醇髓摩裂程排氧系統(tǒng)魏振翼，彭淑惠，胡石政摘要新竹新阜圜II的立，帶勤了臺(tái)灣的湃彝展，但也造成了璟境方面的污染，半醇能棠在裂造遇程中，輾可避免地必須使用不同槿的化摯物懸了提高羥品的良率，必須精密控制羥品所接斶之琪境的空氟品而裂程排氟系統(tǒng)(Exhaust System),雎非裂程生羥所需但谷|1是卷生羥扇域管造一(0可供生筐人員在安全輾虞情況下的工作SR境，因此裂程排氧系統(tǒng)，優(yōu)屢氟物相容性至排放氟醴翰送，以至於各槿污染虞理皆需格且，縝密i8擇，適些均是琪琪相扣缺一不可。本文研究的目的乃是希望藉由金十封鷹靠稀類直及化瞿性皙之源II分析，暹而分以期能優(yōu)目前囿癌常用系

2、統(tǒng)中箭逗出既安全又琪保的系統(tǒng)。半厚髓工棠、揮彝性有械座氟、洗源塔1. 前言半醇髓工棠，雎已有四十年的贊展，郤是在近十年內(nèi)快速贊展，成是之速非常 鷲人，且甯子羥品已成卷人ffl生活中不可缺少的必需品，各他先it閾家輾不努力於 研究樊展，以期在工蕖能力及市埸估有方面能取得侵勢。但在半醇H裂程生羥既可 符合裂程生羥需求，又能兼)工棠安全，同疇更可懸猿保翥一份心力畤，所排放之 除了封人髓曾有安全性之威宵外，更畬造成璟?？昭跷廴?。有於此，在投 入半醇髓工渠建摩的同畤，希望能封裂程排氟之虞理原理，璟保相法規(guī)甚至各他 系統(tǒng)慮理所使用之管材，做全面通籃的了解。2.裂程排氟系統(tǒng)之分半厚髓裂程流程中，使用械臺(tái)槿相

3、常煩多，各槿排放物槿更是不瞞枚聚, 若要斜封軍一;置罩褐排放虞理施，不僮有其置上的因轆，而且施工上及 日接雉修保餐更腐不易，因而，目前半蹲微摩房中，依撼排放之特性大致上顯分卷 酸/ 毒性(Acid Exhaust) % 性(Alkali Exhaust)、有檄溶泉J (Solvent Exhaust) 及一般排氧(General Exhaust)四f0系統(tǒng)：(1酸、性屢氟：其主要來源卷化阜清洗工作站，清洗晶片畤所生之揮彝性 氟髓，此氧髓部分含有浸理，部分即封呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人醴，故必須Central Scrubber做水洗中和虞理接，再排入大氟。(2毒性屢氧：其主要來源卷化阜氧相沈稹(

4、CVD )乾做刻檄、播散、 子植入檄及磊晶等裂程畤所羥生，由於以上之裂程均使用大量的毒性氟髓，因此在其橙臺(tái)本身 即U置有Local Scrubber作先行慮理，再送至Central Scrubber做水洗中和慮理彼, 再排入大氟。(3有檄溶剜屢氟：目前半蹲髓裂造棠大多以活性碳吸附塔或填充式洗源塔腹理 摩內(nèi)排之VOC氧醴，但本公司之前茂德摩即探用沸石渡縮醇*命+燃氟式焚化煽，去除率 可逢90%以上，懸目前較佳之空氧污染控制技衍。(4 一般屢氯：其來源卷械器通斡彝熟羥生不含有害物故可由排氟15 借直接排入大氧。CDODAS有檄嗔轅Solvcni囹h山匕e磋氧排放管Cncrj E>hju5t酸

5、、卷嗜氧轉(zhuǎn).管晦水虐理斷Centra! Smibber'一排至大氯需水蔻理冰Cl'iiiliIS<niblxr沸石湛希孵苗T直性式焚化場一排至大氨一排至大氯一排王大煢圄一半蹲醴依排氟槿硯重流程圄2.1 半醇H裂造渠空氟污染物排放襟型表一半醇H裂造渠空氟污染物排放襟型喇VOCs 90 %或工J®排放 :BS小於0.6 kg/hr（以甲烷懸言十090 %或排放余恩:BS小於0.02 kg/hr95 %或排放余息:BS各小於0.6 kg/hr95 %或排放余恩量鷹小於0.1 kg/hr2.2 酸/18氟慮 S1S統(tǒng)(Acid/ Alkali Exhaust Syste

6、m )裂程排放之JS氟，利用JM管彳接至CentralScrubber ,目前毒、酸、排放屢氟系統(tǒng)慮 理，多使用水洗式中央洗源塔，迤行 酸 、毒物之水洗，使排出之氟醴符合琪保法規(guī)要求，而清洗彳爰污水迤污水慮 岬 慮理。2.2.1 慮 理用水洗式中央洗?t塔可慮 理彝氟中0.3 pm以上之微粒狀物，同畤也可以去除座氟中之氟熊 污染物，其基本原 理是利用氟H典 液的接斶，而去除氟醴中的污染物停送到液醴中，然彳爰再符清澈之氧H典污 染的液醴分離混到清浮空氟之目的。氟流中的（粒狀物典洗?t液接斶彳爰，液滴或液膜散附於氟流中之粒子上或者增漏於粒子使粒子藉著 重力、慣性力，等作用連到分離隹去除之目的。（氟

7、熊污染物HJW藉著絮流分子散等II量健送，以及化孥反鷹等琪象健送洗?t液醴中連到典迤入 氟醴分離憶目的或可在洗?t液中添加化孥物以吸收方式控制氟狀 臭味物U。2.2.2 超i方式由填充式洗？t塔和洗？t液迤 行吸收中和（利用填充物增加接斶表面稹 以去除屢氟中之有害微 粒物n, mo®由填充式洗?t塔，探用氟液逆向吸收方式慮 理（downward以H4加施!而下fl生小水滴，JS氟刖由塔底（逆向流連到氟液接斶之目的，此慮理方式可冷谷WSIR溫度，IfflS湖理，及!（粒去除，懸碓保 塔內(nèi)氟H之均勻分怖，及氟液之完全接斶因此探用良好填充濾材鷹具有疏髭之表面敕大之自由表面稹使氟液H之停 留

8、畤增同畤使用 填充濾材之避用鷹有 逾常的空隙以減少氟醴向上升之阻 力，減少洗源塔之屋降力，再謾除霜段慮理（mis t eliminator接排入大氟中。2.2.3 法SO寸潤漏因子及填充段空塔滯 留畤定羲如下:能漏因子=water flow rate > 0.1m 2packing surface x basic area hr?填充段空塔滯 邵寺IW = scrubber length > 0.5 s air velocity2.2.5 附 UjilSlBHS (Equipment? MS ：位於段倩下游，它提供系統(tǒng)需要之凰 量，和克服系統(tǒng)中各槿K元之屋降（此 懸彳劍a式翼輸，以

9、大n荷is言十（皮帶HS6含n勤焉連，避震系統(tǒng)排水，檢測孔 凰管： 提供座氟源至慮理如之街接管路包含樽接St、US（和湖fWM因、法痛 和必要之防震接S（,皆有闖子的結(jié)橫支持。填充物之有效表面稹大，II能停送效 率高，接斶去除效果特弓篦橫造均勻，孔隙特 大，減少屋力以省焉連勤力之目的。成本格敕低廉?？招枨笮稹11,減少整醴洗?t塔的重 量及空本H結(jié)橫箋固耐用，具借有 超高堆放高度，而不必特別支架。整他I系統(tǒng)可以段言十在地面或屋IB不高之虞?？扇コ?.3仙地上微粒室99%。?？帐芟蕻嚕梢涝叽缍严丛此?，但通謾洗?t之凰速必i（小於2.5 m/s?水管：未包含接至垣埸水管因接和管 路固定。

10、PH控制器：用以1S定吸收液內(nèi)H剜濾度，以吸收械制迤行。楹fl!槽：存添加之化孥蕖品18控裝置：控制系統(tǒng)各裝置之正常逋作和H常檢出警示典必要之虞置功能 循碟泵浦：提供塔內(nèi)吸收液一定循琪量，泵浦型式懸（方式瓢串由封型式 可瓢水逋樽，及瓢串由封漏水之虞，含7BS&H連圄二趴式酸中央洗源塔BI三立式酸中央洗?t塔BI四附(MS)2.3 毒性U氟慮 理系統(tǒng)(Toxic Exhaust System )K域性洗?t塔(LocalScrubber之靶闡金性寸提供垣埸段借局部排氟慮理的段倩，攏裂程段借慮理未反鷹完 之可燃性氟醴或帶有酸性或毒性氟H,送入 CentralScrubber之前所裝置的IS

11、借，依其加熟化孥作用或物 理吸附方式增加屢氟洗?t效果 。一般半蹲HJ®房符LocalScrubber安置如Bl五，符其虞 師氟的差累分懸四槿不同型式。晶域性洗糠虐 森凈空魁"IWA思域性洗博塔 l津凈空象JK五K域性洗塔(Local Scrubber )在?漂浮室的配置Bl11口0ZL2.3.1水洗式K域性洗?t塔：利用水洗方式符可溶於水之座氟及粉廛水洗?t除。屢氟流由“精之結(jié)情決定其在氟室停留畤典慮理量，主要元彳有噴嘴(SprayNozzle,泵浦，加揄8制及PH值分析器，迤出口屋 力感知器，流量感知器，控制盛視裝置，座氟迤氟室累 稹畤之清理械制，氮氟之吹H （Purg

12、e,等相信H網(wǎng)機(jī)2.3.2吸附式（含加熱吸附式）顯域性洗?t塔：利用化孥吸附方式符座氟吸附至金JB罐中，吸附剜之鮑和橫溝KS制有屋 力感測器，或出口浸度感知器，或由吸附剜之IS色燮化判 Wo定畤移除化孥吸附剜。2.3.3燃燎式癌域性洗?t塔：目前燃燎方式有通入一定屋力之氧源，或有熱源加熟，在自然通入空氟利用JS氟本身自燃特性而迤行 燃燃h如burning box或burningtube,均是不用水洗典吸附方式。利用迤出口之屋差感知裝置碓堵塞 情形，定畤必 青理氟:室內(nèi)部。2.3.4 加熱（燃燎兼水洗式匾域性洗布各金性寸化孥氟相 沈1 （CVD裂程械臺(tái)或多晶矽（Ploy成H謾程的段借之未虞理的或

13、反鷹剩繪的氟若JB於可燃性氟醴如氧氟，矽甲烷及利用加熱（燃燎方式符可燃性氟醴高溫氧化，若博於有毒，或腐食蟲性，易爆氟醴但可溶於水利用冷水加以洗源冷谷人主要信元件如去除氟室粉廛之清理械 制有的是刮刀或噴嘴或刷，另外加熟段借黜件典加熟控制方式，燃燎之醇燃器段借黜件，聚急畤吹!氮氟之供JS18磁通入氧氟典氫氧之控制18磁水洗 冷 郤之循琪泵浦。2.3.5 四槿Local Scrubber之便缺黑占比敕：表二癌域性洗?t塔之便缺黑占比敕表Local Scrubber 硼U 水洗式（Wet type侵黑占缺黑占1 .以溶解吸收法之屢氟被有效慮 理1.水氟逆流至反室或排至JSiTt路2.成本低能源揖耗少2

14、.雉修保餐多2 .有JSJ!物H理之碟保的H吸附式（兼含加熟1.修保餐次數(shù)少3 .布置用在大量屢氟慮理2.能源揖耗少type4 .敕瓢工安曲題4.成本高燃燎式成本低能源揖耗少1.瓢控制械制下SiH 4燃燎5 .雉修保疊次數(shù)少2.效率未能5a知加熱（燃燎兼水洗式 有效霓呻FC全氟碳化物，敕瓢1. 粉廛凝結(jié)或阻塞造成雉修保餐次琪境污染Ki*數(shù)多2.逾用在大械氟慮理2.4 有IOS氟(VOC )統(tǒng)(Solvent Exhaust System)目前半蹲H裂造渠大多以活性碳吸附塔或填充式洗源塔慮理蔽內(nèi)排放之有械屢 氟，依慮理殷咻I之段言十去除效率及闔癌內(nèi)除湖查結(jié)果st示（表三），有械屢氟排放削減 率大

15、 多瓢法符合未來半醇H裂造渠空氟 污染排排襟型（排放削 率需大於90%）。另外， 新竹科孥闔癌目前少 我0»探用沸石浸縮樽輸+直燃式焚化墟，具去除效果相1rle 著，去除率可連90%以上，懸目前新竹科孥闔癌敕佳之空氟污染控制技循%密就目 前闔癌所使用段借可分懸四槿型式：表三闔顯半蹲商污染防制段借之湖查結(jié)果污染防制段借效率污染防制段借喇一般活性碳吸附塔在正常操作下，其去除 率德可連90%以上，但?；钚蕴嘉?塔出琪超鮑和畤，去除效率1愉明16降低。半厚體JS所排放有械屢氟中，部份JB於水溶性敕低的物故探用漏式洗源 法去除有械屢氟者，其去除效 率有一定的限制。本法懸目前闔癌敕佳之空氟污染

16、控制技+直燃式焚化尷5,在一般操作修件下，其去除率 鷹可連90%以上。isaw 78%通常此法的有械屢氟去除效 率不曾大於90%以上，需藉由二槿以上之控制段借之用1,才得以符合半醇體排放襟型之要求。U：上述之排放量均指覃一理囪之排放而言2.4.1 活性碳吸附慮理活性碳吸附法使用活性物H 來吸收有械物，一般逾用於慮理低濾度及考ft瓷源 回收的前題下，以吸附的方式最n懸工渠界探用。但根at半醇空氟污染控制 段借前彳爰之探檬分析結(jié)果16示（表四），若雉持活性碳正常逋作，鷹可去除大部份揮彝性有械空氟污染物，但使用此法曾有下 列三槿缺黑占：（1由於氟醴含有多量有械瓢械污染物畤，活性物II很容 易連鮑和狀

17、熊，因此再生率 高，1S借操作麻煩(2股工JS有械屢氧排放 量輿活性碳容量之押估有所差H ,且部份工JS之活性碳吸附連鮑和而未予更換，因而曾彝生溢流的？I象.瓢法連到J#有的慮理 效率。(3活性碳再生畤，若使用蒸氟，MW 生大 海水，增加屢水慮理量之及成本；若 使用燃燎方式，JW活性碳在每次燃燎畤符揖失 510%之量。BI六活性碳吸附塔2.4.2 沸石浸縮樽輸 +直燃式焚化系統(tǒng)2.4.2.1慮理原理：此系統(tǒng)之段言十目的懸去除半蹲醴所排放之有械屢氟，把有械屢氟一渡縮 樽翰(VOC ConcentratingRotor)濾®彳爰，符高渡度之有樨鬃R(shí)送入燃燎» (Thermal

18、Oxidizer)燃燎彳爰排放，以求符合琪保要求。本系統(tǒng)3t鼓:言十有二(0熟交換器，以 便回收燃燥®S ( Oxidizer )燃燎排放之U熟 ?；厥罩甁S熟，一方面做懸有UIS氟浸縮樽 輸再生(Regenerating )之熱源，ffi省 能源；二方面58熟迤入燃燎械之有械屢氯氟以 省燃料；三方面可減低熱量排 放造成之熟污染。有械座氟迤氯氯 湍®®B/樽翰，濾縮倍率懸10倍，如此.可以降低燃燎械的 大小(Capacity )懸十分之一，可降低整他I系統(tǒng)之投資成本。燃料：LNG(正常用)LPG (借用燃料)CAS巾曲PHVDC. COMCrKTRA«1

19、0Nbi七濾縮樽輸a理流程2.4.2.2慮理效率?有械JS氟浸縮：吸附樽 翰之功能有二：(1浮化有械JS氯氟流：常有械JS氯氟流通謾樽輸面彳爰，即被浮化，浮化效率余勺90%98% o (2浸縮有械屢氟的成份：以另一再生氟 流再生樽輸，由於脫附作用，使有械屢氟浸縮余勺10倍以上。有利於彳拶a燃燎焚化慮理，勺容量彳爰段燃燎焚化之有械JS氟分解(Destruction )效率余99%有械JS氟中，高沸黑占者，如DMSO、MEA ,渡度遇高易影簪效率及性能，以m懸佳。也富人口慮度有沸石樽輸之空塔速度典有械屢氟濾度，去除效率及浸縮倍率之信舒系，言青參考«170;亂打解氧空塔堤.度裁縮修聿=加福

20、H R入。速度=100-200即0 E 4& S 1。 (rpluH燃蛀期圄八樽惘!置空塔速度典有械屢氟濾度、去除效率及浸縮倍率之信割系圄Bl九沸石浸縮樽輸+直燃式焚化系統(tǒng)2.4.2.3 ? ? ? ?2.4.3 漏式洗法目前闔癌敕常見的洗?t塔型式一般探用填充洗源塔。其主要僵黑占在於屢氟慮理 量大，可同畤慮理多他I污染源所排放屢氯，在慮 理含多槿不同污染物屢氟畤，可考使用不同洗?t液之洗?t塔，以多段洗濮碓保不 同特性污染物之去除效率。但根 摞闔顯半醇HJS所提供的漏式洗料味看，其理渝S言十值大多懸8090%之 ,要符合未來半醇H裂造渠排放襟型，仍需加弓金其段借的去除率。另外漏式洗?

21、t法 曹崖生JS水等二次污染的題，增加操作上的成本、污染排放的凰陂及增加HIM污 水霓岬的故在逗用本方法畤必i（作If 慎之考量。2.4.4生物濾床法生物濾床法之慮理方式，是在常溫常屋下利用微生物，符氟熊污染物氧化分解 成CO2、水及瓢害之亶«, 或利用污染物作懸微生物新竦代1S所需能 量之碳源，一部份碳源JW做懸合成微生物系田胞之用。目前闔癌某半蹲利用此方法慮理其含多 成份低濾度有械屢氟。此方法 懸有械屢氟慮理成本最低之技循 或敕瓢二次 污染的S （需注意臭味的題）且可避免半蹲HI1最據(jù)夏之1S借著火事故，但其缺黑占如下列 三黑占，所以目前閾內(nèi)外半醇醴中或不多兄。（1慮理效率瓢法符

22、合半醇H裂造渠空氟 污染排放襟型（排放削減 率需大於90%） o （2 估地面稹謾大。（3可靠性不佳，需常作操作參數(shù)上的湖整。慮理特黑占精言十，有容易操作之自勤控制人械介面，能快速普勤。高的有mSlK去除效率（Destruction Efficiency ） 95%。完全燃燎瓢二次污染 熱回收勺能源。HiljV/4、BH General Exhaust System P&ID4Solvent Exhaust System P&ID6 .裂程排氟凰管材II介貂:6.1 管路材II分I®半蹲房中，依at排放之特，卜t大致上癌分懸酸/毒性（ AcidExhaust)、性(A

23、lkali Exhaust )、有St溶®I ( SolventExhaust)及一般排氯(GeneralExhaust)四他I系統(tǒng)。除一般氟醴排放系統(tǒng)，因其排放氟醴或瓢危陂性及污染考 量 ,其管材使用或不S特別考量，其他三槿系統(tǒng)排放物II皆有酸、 ih腐食蟲或高溫燃 燎等因素，在使用管材上皆i(特別考 量，避免崖生危陂及空氟污染。表四目前常用管路材Hx未曾使用；Q曾使用謾在四槿排氟系統(tǒng)中，GeneralExhaust因瓢特殊考量，在原刖下，IS金卒及不虱管都有使用，而Solvent Exhaust因其排放物®特皆探用SUS304M管即可合乎要求，至於Acid /Toxic

24、 /Alkali Exhaust因其考量性敕多，故使用管材也敕多檬化。6.2 酸、排放系統(tǒng)常用管 路材II比敕表表五管路材II特性比敕表(一)CoatedMark VIII Metalx 9 9Fire FM No No Corrosion Resistance 1 (ASTM E-84瓢資料可參考瓢資料可參考瓢資料可參考Outgassing Standard 0.140.24 FPI (6.0 SDI (0.4 CDI (1.1(SEMI E-462.2 0.05 0.35瓢資料可參考10t料可參考10t料可參考瓢資料可參考10t料可參考10t料可參考30 1.77 1.8Ui: 1:exc

25、ellent 2:good 3:poor 4:badU2:其中FPI, SDI, CDI括弧內(nèi)懸FM所言了之襟型值。表六管路材II特性比敕表(二)Composites USAModel Mark VIII Dual Guard 1000 Dual Guard 2000 GeneralCost Installed 1.0 0.90.95 0.9-0.95W Q Fire Resistance 1 1Agency Approvals FM 4922GKIWWlt考 Flame Spread 12/5 (In/Out 5/5(In/Out瓢資 參考 Smoke Spread 375/5 (In/Ou

26、t 10/10 (In/Out FM 4910 O O CFPI SDI CDI (1.1 0.35 1.1 1.1 Corrosive CharacteristicU1: 1:excellent 2:good 3:poor 4:badU2:其中FPI, SDI, CDI括弧內(nèi)懸FM所言了之襟型值。在各槿排氟系統(tǒng)常用管材逗攆上，除考 量安全性及琪保污染外，更S考量段置 成本，而段置成本上除了材料施工費(fèi)外，另i(考量建JS畤投資的保陂費(fèi)率，而保陂 費(fèi)率的高低，封整醴成本影簪最大，故而特殊管材逗 用，保陂公司建通常估相常 大的左右意Mo3.3金性寸以上管材，不代表使用上就可高枕瓢夏，尚需考量法規(guī)或

27、其他鷹注意事(1 FM7-7規(guī)定，腐觸性排氟管探用 不可燃材料或FMRC言午可符合CleanRoom MaterialsFlammability Test Protocol (Class 4910,其必考罐UM管材 料耐火、理及腐食蟲，而以FPI、SDI、CDI三判斷襟舉。（2 UMC1105ayy除非管內(nèi)巾俞送之易燃性或易爆性之氟醴或理熏渡度低於25%LFL ,巾俞送爆炸性 或可燃性氟H、粉廛之管要直接穿出建篥物且 不能迤入其他空管亦 不可插入其他管或氟室（Plenum ）,封於不相容物U之凰管要分離隹或H別。腐食蟲性排氧管通常用FRP （Fiberglass ReinforcedPlast

28、ic弓金化玻璃雉塑脂），但此材 不逋用於溶剜排氯（Solvent Exhaust System）。（3著同畤有易燃性及腐觸性物KIS入畤，逗用同畤具抗腐做性典防火性管材（即通 i!FM4922ao之品）。（4 Solvent因全部使用金雷管，如有腐食蟲性物II或可燃性+腐食蟲性物JW需注意管監(jiān)受腐食蟲巾，定期作波漏檢測。（5 Solvent管監(jiān)星隹探用金JS管，但因管路巾俞送物II多懸易燃性，故建St在主管路一次配管部分（管彳至大於12口寸，參考FM7-78 2.4.2）仍加裝自班！水系徐（6 用 PPS材II於腐食蟲性排氟管 路，JWFM7-7建St大於（含）6時(shí)之管段鷹使用自勤濯水tgff

29、i （ NFPA定懸10時(shí)（含）以上），亦即探用濯水系統(tǒng)畤，必i（考f*初1S成本典遇期保 餐及濯水系統(tǒng)因勤作畤（濯水sat壤）所造成的影簪。（7通謾FM4922tgit之管路材101?？煞忠粦叶啻讲腢之褪合材 料，另一懸金 JB管內(nèi)氟熊（ETFE 或 ECTFE 等）。y y褪合材料於屑典唇之的黏結(jié)性 懸品II要求重黑占，通常因黏結(jié)技衍 不足而易造 成則制象，或形成結(jié)橫物 強(qiáng)度上的曲題。金雷管內(nèi)18氟青哆懸Coating上的技衍曲題，因通謾FMISIt之管監(jiān)材II尚有規(guī)定內(nèi)物H之厚 度上限（因內(nèi)物H之火載量 趣高），但因 技衍曲題通常曾造成內(nèi)厚 度不一而超謾法規(guī)規(guī)定上限 值，又此槿管材的內(nèi)物

30、H 敕易罪裂草致外唇金腐腐食蟲。4.裂程排氟系統(tǒng)安全及琪保段置重黑占在半蹲除了一般空湖、通凰換氟系統(tǒng)外遢有裂程排氟系統(tǒng),因多裂程屢氟多JB危陂性、有害性物容 易造成人H健康、毒害或火袋爆炸、琪境公害等的 S,所以在排氧系統(tǒng)中安全性考 量是很重要的，故在1S置排氧系統(tǒng)畤鷹注意下列 以 下黑黑占：目1S置重黑占不同分I®之裂程排氟系統(tǒng)其凰管/凰扇系統(tǒng)是必i（分雕且其材IB!用必i（典氟 醴相容。供鷹商鷹提供排氟管材II物 理輿化孥、械械、防火性II文件。鷹言十算最大量峙各程排氟系統(tǒng)之排氧量，再依排氯量避用逾常排氟管尺 寸。（由各（0 tool Uncheck ）排氟管道之管彳®

31、$用及配置，鷹滿足最小搬逋速 度。瓢法滿足畤鷹有替代或保 固昔施排氟理囪鷹具有符合琪保法規(guī)之探檬段倩（探檬口及平臺(tái)），且所架1S位置 及高度德足以防止排出物再迤入（2D , 8D要求）排氟管路德作耐屋及波漏測就聚急重源J8提供50%以上正常逋樽之重力排氟管路安裝、材IB!用等是否懸FMRC或同等級(jí)之ISIt覃位所ISIt防火材II或安裝消防系統(tǒng)捷性速接管路不德典可燃性工作臺(tái)之排氧管及使用可燃性化孥物H之工作臺(tái)相管路內(nèi)若有液醴凝結(jié)於管壁，U水平管路 斜率至少懸每10英吹下降1英時(shí)（1:120 使凝結(jié)液H流入集水槽巾俞送非毒性及可燃性管路內(nèi)若有固醴或黏稠物凝結(jié)於管壁，JW管路必i（要有清 am大於

32、（含10英時(shí)可燃性排氟管道鷹裝1S自勤濯水器。排氧系統(tǒng)不可裝段防火初盟排氟失效之警幸艮系統(tǒng)典火炎值測系統(tǒng)，不德以互箱自80日掉排氟凰扇?？扇夹孕蹬_(tái)之排氧支管 易有可燃性殘留物瓢謫管路材H懸何均鷹裝1S自勤松型依 St 1. NFPA 318 2. UFC危害分析火炎，爆炸及凰管腐食蟲及波漏12凰焉力不足搬逋速度不別粉廛累稹火袋爆炸 凰量不足污染物回流至j®房內(nèi)31. ACGIH 2. SEMI S2 1.空氟污染防制法 2. ACGIH 3. SEMI S24 5 6危陂性氟醴外波管路危陂性氟H濾度謾高，有火炎、爆炸之虞火袋危害7NFPA 318火炎危害8ANSI9ANSI10 11

33、 12 13 141. FM 7-7 2. NFPA 318 NFPA 318NFPA 318腐食蟲管壁雉修人安全凰量不足腐食蟲管壁雉修人H安全凰量不足火炎、爆炸火炎彝生畤瓢法改勤排氟系統(tǒng)火炎、爆炸目段置重黑占15 16排氟是否具有防火（爆/防腐食蟲等級(jí)之保裝置/1S施及相之ISIt瓷料如 性能曲H是否有至少一臺(tái)速接聚急ft源之借用排理管格雉修畤需防化孥品毒害或重氟危害亦需迤行上H /掛卜IS裝置（lockout/tagout ,或於程序善中群余田茂明上箱方法及程序管路表面是否有襟示所巾俞送物H之襟籟，如毒酸管、solvent管等？消費(fèi)段借之配管中有三氟化氯或矽甲烷者，鷹探二重管橫造管路系音（

34、凰扇、管路及流醴等所生是否雉持在85 dBA以下？襟型依 St 1. NFPA 130 2. ANSI FM 7-7危害分析排氟系統(tǒng)失效人H安全排氟系統(tǒng)主勤力源失效火袋爆炸、化孥品危害，H氟危害1718 19 201. ANSI 2. ASHRAE雉修人H安全 內(nèi)管波漏危害人H安全、火袋及爆炸 工作琪境不佳，人H不逾表七裂程排氟不相容氟醴表為火黑占LEL/UEL容音午（C濾度（%物U名耦危害性三氯化BCl 3不相容物U危陂警告制1息氟四甲CF 4六氟乙烷C 2F 6八氟丁烷C 4F 8三氯甲烷CHF 3二氟甲烷CH 2F 2氟甲烷若氧氟不足，曾引起缺氧，?；钚越鹄缀π镊杓吧裣到y(tǒng)CH 3F五氟乙

35、烷TC氧化物吸入謾多有害身心跳不煽殿重畤造成死亡 C 2HF 5氯氟氯熊碳氧化合期激眼睛、皮唐、呼吸系統(tǒng)物、液、固熊碳?xì)涞?易燃品混合容易爆炸Cl 2化合物、金塔、氮化合物（氨等:生成高爆炸性三氯化氮、非 金博、氧水（HCl,H3BO 3、曾腐食蟲皮唐、眼睛、肺及黏膜氧、謾氧化物若氧氟不足，曾引起缺氧，危害心麒及神系統(tǒng)若氧氟不足，曾引起缺氧，危TC害心麒及神系統(tǒng)若氧氟不足，11r引起缺氧，危害心麒及神系統(tǒng)若氧氟不足，曾引起缺氧，危害心麒及神系統(tǒng)吸入高H度符因缺氧而死亡。氧化物物U名耦危害性三氟化氯TC C1F3為火黑占（C LEL/UEL容音午（%濾度0.1ppm 不相容物U危（t警告制I息一

36、氧化碳FT CO二氧化碳I CO2氫氟H2澳化氫HBr 氯氟F TC典有械物II接斶期激皮唐、眼睛、黏膜及呼吸道，引起殿重灼像及窒息。曾厚致燃燎。曾腐做所有塑月蓼、橡月蓼、榭脂裂品，但除高氟化聚合物，如18氟幗口 Kel-F之外。典水、含氧物H曾生爆炸性反J1。 12.5/74.2 35Ppm氧化物:增加火袋 吸入謾量1r引起痛、嗯心、 及爆炸的危陂性?；枇浚钪卣叽贾滤劳?。皮唐及眼睛凄像吸入引起5000ppm 水:形成碳酸痛、口N吐，大量吸入1r昏迷死 亡。鹵素：爆炸性反若氧氟不足，曾引起缺氧，危鷹、白金粉末、三害心麒及神系統(tǒng)氟化氮金S1、氨氟、氟 灼像眼睛、皮唐、3ppm若氧氟不足，1r引

37、起缺氧，危害心麒及神系統(tǒng) 典臭氧曾引起爆若氧氟不足，1r引起缺氧，危炸害心麒及神系統(tǒng)10ppm可氧化物j!（如氨、二氧化碳、氧 氟、氧化物：接斶生火袋爆炸。典水蒸氟之混合 物被引燃彳爰1r爆 炸。、50ppm鹵素鹵素化合物：吸入有毒、刺激眼睛及呼吸系fl烈反形成爆統(tǒng)、皮唐接斶凄像灼像 炸性化合物25ppm典水或蒸氟反鷹吸入有毒生熟及腐食蟲性薰理（硝酸碳氧化合物、易燃眼睛及皮唐接斶凄像和可燃性物、St金H空氧或任何氧化吸入1r有卻毒0.3ppm膏I如氯氟1r醇致 趣高度易燃磷化氫著火期激眼睛、皮唐、呼吸系統(tǒng)7mg/m3水、醇猴一級(jí)典刺激眼睛、皮懷 呼吸系統(tǒng) 二級(jí)胺、氨I He氮氟I N2三氟化氮

38、T NF3氨氟NH3 FTC 16/25 一氧化氮T NO氧化氨氮Oxidant N2O 氧化磷PH3 FPT四氯化矽TC SiCl4物U名耦 危害性SiF4矽甲烷SiH4 TC FP為火黑占（C LEL/UEL容音午（%渡度 3Ppm不相容物U危（t警告訊息 二氯甲矽烷FTC SiH2Cl2六氟化硫I SF6 TiCl4 TC 氟化金馬WF6 （TC -37.2水、StB 醇Jg、暴露可能引起窒息、水月重、咳 丙酮 嗽，期激眼睛、皮唐 空氟、鹵素、氧化 趣高度易燃1.4/96膏I、酸性溶液 吸入有害 於空氟中不安定水、酒精、內(nèi) 趣高度易燃4.1/98.8酮、氧化剜殿重期激感及灼像 溫度高於1

39、00 CU不安定1000Ppm矽烷化合物：激烈容器加熟1r爆炸 反而爆炸 吸入1r窒息 水、金甲、氨、酒精刺激鼻及咽喉、咳嗽、胸腔疼痛、呼吸困|!隹、失去知H 水、水蒸氟具腐食蟲性， 則激呼吸系統(tǒng)、3ppm皮唐及眼睛。肺部期激謾度曾引起急性肺炎 和肺水月重1ppm水:生HF、二氟 造成鼻及喉暗取肺部 刺激感、化氧等有毒氟H 咳嗽、呼吸短促及胸痛 硝酸:生曾爆炸之氟H瓢常溫常屋下曾引起缺氧 氟F2 TC 領(lǐng) Ne 氧氟酸 HF 亶酸 HCl 硝酸 HNO3 I TC 3ppm TC TC 磷酸 H3PO4 TC W H2S04 TC氟氯（引起火炎、期激及灼像呼吸系統(tǒng)、眼睛、三氧化神、大部分 皮唐

40、金雷（腐食蟲金雷（腐做、刺激及灼像呼吸系統(tǒng)、眼睛、5ppm氧化膏I、遢原剜 皮唐大部分金腐（腐期激及灼像呼吸系統(tǒng)、眼睛、2ppm做、有械物、有械 皮唐 周H（引起卻烈或爆炸性反J8或自 燃、遢原剜（£生卻烈或爆炸性反B 1mg/m3金雷（腐做、刺激及灼像呼吸系統(tǒng)、眼睛、硫化物、磷化物、皮唐 氟化物（釋出易燃或毒性氟H 1mg/m3氯酸、硝酸、金刺激及灼像呼吸系統(tǒng)、眼睛、 麻 水、可燃物、 皮唐腐食蟲大部分 金雷物U名耦危害性謾氧化氫FTC H2O2為火黑占（C LEL/UEL容音午（%渡度 1ppm 不相容物U 危（t警告制I息 NH4OH FTC BOE TC DHF IPA TC FT 12 2.5/12 EKC EBR TC T 1.3/9.5遢原膏I、金博、有刺激眼睛、皮庸、呼吸系 械物K、硝酸統(tǒng)接斶易燃物，曾立即起火或爆炸弓金酸、弓金氧化膏I、期激眼睛、皮/呼吸系統(tǒng)50ppm澳、氯、大部分金JS氟、典HF卻烈反B