有機(jī)蒸鍍?cè)O(shè)備-東南大學(xué)

1、東南大學(xué)化學(xué)化工學(xué)院金屬蒸鍍?cè)O(shè)備、 有機(jī)蒸鍍?cè)O(shè)備、旋涂用手套箱、 蒸鍍用手套箱采購招標(biāo)公告 項(xiàng)目名稱： 標(biāo)段一： 化學(xué)化工學(xué)院金屬蒸鍍?cè)O(shè)備、有機(jī)蒸鍍?cè)O(shè)備采購 標(biāo)段二： 化學(xué)化工學(xué)院旋涂用手套箱、蒸鍍用手套箱采購 項(xiàng)目地點(diǎn) : : 東南大學(xué)九龍湖校區(qū) 項(xiàng)目概況： 標(biāo)段一： （一）化學(xué)化工學(xué)院采購金屬蒸鍍?cè)O(shè)備 1 1 臺(tái) 密閉性高 膜厚控制設(shè)備：膜厚探頭 2 個(gè)，膜厚儀 2 個(gè) 樣品和蒸發(fā)源均配備擋板裝置 2. 配置 2.1 真空沉積腔體：具有觀察窗，手動(dòng)開門設(shè)置方便取樣和進(jìn)樣 2.2 金屬蒸發(fā)源 4 套：蒸發(fā)電極可加載蒸發(fā)舟或者鎢籃， 要求中心電極正 對(duì)樣品基底中心，蒸發(fā)源擋板。蒸發(fā)電源 1 套

2、或者 2 套，可切換 2.3金屬蒸發(fā)源可選擇性配置 2 個(gè)以及相應(yīng)的擋板， 金屬材料可斜入射到 達(dá)樣品架，蒸發(fā)源溫度最高要求可達(dá) 500oC，控溫精度1度。蒸發(fā)電源 最好能直接顯示溫度數(shù)字，并含升降調(diào)控。能實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體薄膜制備 2.4 機(jī)械泵 1 個(gè)，分子泵 1 個(gè)以及相應(yīng)的附件，分子泵水冷系統(tǒng) 2.5升降樣品架 2.6真空測(cè)量系統(tǒng) 2.7膜厚測(cè)試系統(tǒng) 2.8 工作臺(tái)：含真空計(jì)，蒸發(fā)源電源和相應(yīng)控制系統(tǒng)，加熱源控制系統(tǒng)， 膜厚測(cè)量系統(tǒng)，總電源控制區(qū)1.技術(shù)參數(shù)： 真空度:極限真空可達(dá)10-5Pa,工作真空度8*10-4Pa 樣品架：可旋轉(zhuǎn)，高度可調(diào)，距離蒸發(fā)源高度范圍 150-250mm,基 底

3、加熱 RT-300oC, 控溫精度小 蒸發(fā)源：金屬蒸發(fā)源 4 個(gè)，最好能旋轉(zhuǎn)，可蒸發(fā) Au， Ag， Al ， Cr， Pt 等金屬 金屬蒸發(fā)源可調(diào)節(jié)至正對(duì)樣品架中心以利于金屬以直入射方式沉積 到基片 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1.6 1.7 （二）化學(xué)化工學(xué)院采購有機(jī)蒸鍍?cè)O(shè)備 1 1 臺(tái) 設(shè)備功能用途 該有機(jī)鍍膜系統(tǒng)是用于有機(jī)電致發(fā)光工藝研究、 有機(jī)照明器件工藝研究、有機(jī)太 陽能電池工藝研究和有機(jī)半導(dǎo)體工藝研究的最佳設(shè)備， 工作效率高，具有事半功 倍的效果。 主要技術(shù)指標(biāo) 2.1真空抽氣系統(tǒng)：由KYKY600L/S渦輪分子泵和DM4L/S機(jī)械泵，復(fù)合數(shù)字真 空計(jì)，SD電磁隔斷/

4、充氣閥，防油充氣閥，壓力表和波紋管管道等組成，本底極 限真空度達(dá)到5X10-5 Pa。 2.2旋轉(zhuǎn)基片架：可放置4個(gè)20X25基片，做出4種不同的基片試樣。 掩膜板：基片與掩膜板間的間隙為 0，同時(shí)在線更換。 水冷膜厚探索頭：放在基片架上 4個(gè)基片的中心，對(duì)使用任一個(gè)蒸發(fā)源和對(duì) 任何一個(gè)基片，其測(cè)量精度都是相同的。 2.5有機(jī)控溫式坩堝蒸發(fā)源：壽命長達(dá) 800-1000小時(shí)以上，實(shí)際可用 4-5年勿需 維修。保溫好，控溫性能優(yōu)越， 2.6 頻率計(jì)： 共用 4套頻率計(jì) 2.7側(cè)拉門：規(guī)格 20 5X280 ， 2.8照明燈： 2 個(gè) 2.9電氣機(jī)柜： 1 臺(tái) 標(biāo)段二： （一）化學(xué)化工學(xué)院采購旋涂

5、用手套箱 1）旋涂用手套箱箱體 材料：304 不銹鋼，厚度 3mm 內(nèi)表面：不銹鋼拉絲處理 外表面： 內(nèi)部尺寸： 前窗： 手套口： 手套： 過濾器 擱物架： 箱體照明：熒光燈，安裝在每塊玻璃窗前上方操作方便。 含晶振器）在線測(cè)量膜厚。 門上有兩個(gè)玻離觀察窗。 1 1臺(tái) 噴漆，白色 長度：2440mm，深度：750mm；高度：900mm 傾斜的視窗，透明鋼化安全玻璃，厚度 8 mm 材料為聚甲醛，0型圈密圭寸 丁基橡膠，直徑 8”，長度 32” ：規(guī)格 0.3 微米，1 個(gè)氣體入口和 1 個(gè)氣體出口 不銹鋼材料，內(nèi)置 2 層 接口： 備用接口 6 個(gè)， DN 40 KF ，電源接口 2 個(gè) （

6、220V） 2） 大過 渡 艙 尺寸 材料 表面 附件 艙門 壓力表：模擬顯示 控制：電磁閥觸摸屏自動(dòng)操作 3） 小過渡艙 直徑150mm,長度300mm,進(jìn)入旋涂用手套箱部分長度100 mm 304 不銹鋼 內(nèi)表面為拉絲處理，外表面噴漆 雙門，螺紋鎖緊 壓力表：模擬顯示 控制：手動(dòng)閥手動(dòng)操作 4） 氣體凈化循環(huán)系統(tǒng) 凈化柱 功能：氣體密閉，除水、除氧 容器材料： 304 不銹鋼 凈化材料：銅觸媒、分子篩 水氧指標(biāo)：小于 1ppm 循環(huán)系統(tǒng) 工作氣體：氮?dú)?、氬?循環(huán)能力：集成風(fēng)機(jī)流量90m3h，加裝變頻 再生 操作： PLC 自動(dòng)控制再生過程 再生氣體： 工作氣體與氫氣混合氣體， （氫氣 5

7、-10%） 真空泵 規(guī)格：8m3h，旋片泵，帶油霧過濾器，氣振控制 閥門 主閥： DN 40 KF ，電氣動(dòng)角閥 控制閥：電磁集成閥 （不銹鋼集成閥座，單柱為六個(gè)閥集成 ） 5） 控制系統(tǒng)： 功能：包括自診斷、斷電自啟動(dòng)特性，具有壓力控制和自適應(yīng)功能；自動(dòng)控制、 循環(huán)控制、密碼保護(hù)。 壓力控制：控制箱體、過渡艙的壓力，箱體工作壓力 +/- 10mbar 內(nèi)可以自由設(shè) 定，超出+/-12mbar系統(tǒng)自動(dòng)保護(hù)； 腳踏板： 控制箱體壓力，方便操作升壓和降壓 6） 顯示系統(tǒng)：采用西門子 PLC 觸摸屏，顯示運(yùn)行狀態(tài)，箱體壓力、系統(tǒng)記錄等 7） 真空系統(tǒng)控制情況：真空泵，可手動(dòng)或通過 PLC啟動(dòng)，流量8

8、 m3h,可對(duì)過渡 艙抽真空，并保持箱體壓力平衡，真空泵極限真空度 370*600 mm方便轉(zhuǎn)移體積較大的物料。小過渡倉尺寸 150*30 mm，高效轉(zhuǎn)移小尺寸物料。 密封要求：焊接連接，不泄露，無密封老化問題。 傳送及操作方式：可通過移動(dòng)托盤傳送，托盤易于拆卸；手動(dòng)操作。 （4） 氣體純化系統(tǒng)：氣體純化柱；循環(huán)風(fēng)機(jī)；有機(jī)溶劑吸附柱。 （5） 技術(shù)指標(biāo) 泄露率： 0.001vol%/h H2O 1ppm, O2 1ppm （6）其他附件 真空泵；水、氧分析儀：分析儀精度應(yīng)達(dá)量程的 1%或0.2ppm；分析儀輸出可直 接連接到觸摸控制屏， 可對(duì)氣體循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)控制， 實(shí)現(xiàn)自動(dòng)循環(huán)； 可設(shè)定 報(bào)警值。箱內(nèi)電源接口：配多孔電源插座。 投標(biāo)單位條件 1、報(bào)名單位需要具有生產(chǎn)廠商銷售代理授權(quán)委托書 2、法人營業(yè)執(zhí)照副本。 3、稅務(wù)登記證副本。 4、組織機(jī)構(gòu)代碼證。 授權(quán)委托書原件報(bào)名時(shí)帶來核對(duì)，原件放在投標(biāo)文件中。 上述文件除提供 原件外，另須提供一套原件復(fù)印件并 加蓋公章 （請(qǐng)?jiān)诜饷孀⒚鳎?另備一套原件復(fù)印件放在投標(biāo)文件中） 資格預(yù)審截止時(shí)間： 2013 年 1