行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)多晶硅行業(yè)用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量的測定電感耦

1、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)多晶硅行業(yè)用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子光譜法（工作組討論稿）編制說明一、工作簡況1、項目的必要性簡述隨著多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的進(jìn)步，產(chǎn)品的質(zhì)量越來越高，微污染對產(chǎn)品質(zhì)量的影響越來 越大。多晶硅生產(chǎn)過程中對環(huán)境的要求相當(dāng)苛刻，污染的控制變得尤為重要。無塵擦拭 布在多晶硅生產(chǎn)中主要用于磷檢爐、硅芯爐的擦拭，潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境、設(shè)備必備 的擦拭除塵產(chǎn)品，可快速、徹底的清潔物體表面，可避免損傷物體表面。為避免無塵擦拭布接觸設(shè)備表面造成二次污染，對無塵擦拭布的雜質(zhì)含量需要進(jìn)行 嚴(yán)格控制。產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn) FZ/T 64056-2015潔凈室用擦拭布中規(guī)定了擦拭布吸收容量、 吸收時間、發(fā)塵量等技

2、術(shù)指標(biāo)。并在附錄C中規(guī)定了離子含量的檢測方法，但其檢測設(shè) 備為離子色譜儀。為準(zhǔn)確的檢測多晶硅用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量，制定此標(biāo)準(zhǔn)。2、適用范圍2.1 規(guī)定了電感耦合等離子體發(fā)射光譜法測定無塵擦拭布中硼、鈣、銘、鐵、鉀、鎂、鈉、鍥、磷、鋅等多種雜質(zhì)含量的方法。2.2 適用于多晶硅行業(yè)用無塵擦拭布中硼、鈣、銘、鐵、鉀、鎂、鈉、鍥、磷、鋅含量 的測定。3、任務(wù)來源根據(jù)工業(yè)和信息化部辦公廳關(guān)于印發(fā) *年第*批行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制修訂計劃的通知（工信廳科函* *號）的要求，多晶硅行業(yè)用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子光譜法由亞洲硅業(yè)（青海）有限公司牽頭負(fù)責(zé)起草，計劃編號： 2018-031-T/CNIA ,

3、要求于 2018 年完成。4、承研單位簡況亞洲硅業(yè)（青海）有限公司秉承“推廣光伏產(chǎn)業(yè)、發(fā)展綠色能源”的時代責(zé)任感， 利用青海當(dāng)?shù)刎S富的水電和光照資源，扎根西部，以降低光伏發(fā)電成本，提高光伏產(chǎn)品 質(zhì)量為己任，引進(jìn)國際先進(jìn)的改良西門子法，建設(shè)年產(chǎn)23000噸高純多晶硅生產(chǎn)項目。公司所屬分析中心擁有三十萬級、十萬級、千級、局部百級的潔凈分析環(huán)境。檢測設(shè)備 齊全，在化學(xué)檢測領(lǐng)域擁有電感耦合等離子體質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體光譜儀、氣相色譜儀、氣相質(zhì)譜聯(lián)用儀、傅立葉變換紅外光譜儀、傅立葉變換低溫紅外光譜儀、紅外 碳硫分析儀、手持式X熒光光譜儀、單點少子壽命測試儀、正置金相顯微鏡、自動煙塵 （氣）測試儀等先

4、進(jìn)的進(jìn)口檢測設(shè)備為公司的原料、中控樣品及成品的檢測和質(zhì)量保證 提供了可靠性及先進(jìn)的硬件保障。同時分析中心在2013年5月被青海省政府授予“青海省多晶硅重點實驗室”并于同年8月獲得中國合格評定國家認(rèn)可委員會實驗室認(rèn)可證 書。因此亞洲硅業(yè)（青海）有限公司具備該標(biāo)準(zhǔn)制定、起草及相關(guān)實驗條件和分析能力。 4、主要工作過程自任務(wù)下達(dá)后，2018年亞洲硅業(yè)（青海）有限公司分析中心成立了多晶硅行業(yè)用 無塵擦拭布中雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子光譜法標(biāo)準(zhǔn)起草小組，項目小組根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)制定遵循的原則，立即開展了相關(guān)國內(nèi)外資料、標(biāo)準(zhǔn)的整理和研討工作。同時組織 相關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行了大量多晶硅用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量分析方法的

5、實驗工作，初步確立了采用電感耦合等離子體發(fā)射光譜法分析多晶硅用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量。同時結(jié)合公司對無塵擦拭布的使用情況，在分析實驗的基礎(chǔ)上進(jìn)一步確立了方法標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)要 素、儀器參數(shù)和性能指標(biāo)等。二、標(biāo)準(zhǔn)編制原則和確定標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容的論據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T 1.1-2009標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則 第1部分：標(biāo)準(zhǔn)的結(jié)構(gòu)和編寫和 GB/T 20001.4-2001標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則 第4部分：化學(xué)分析方法的要求進(jìn)行編寫。標(biāo) 準(zhǔn)中簡述了方法提要，確定了測定范圍、所用試劑、制樣要求、分析操作步驟、數(shù)據(jù)處 理、以及分析方法評價（RSD等技術(shù)內(nèi)容。1 .第1章范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電感耦合等離子體發(fā)射光譜法測定無塵擦拭布中硼、鈣

6、、銘、鐵、鉀、 鎂、鈉、鍥、磷、鋅等多種雜質(zhì)含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于多晶硅行業(yè)用無塵擦拭布中硼、鈣、銘、鐵、鉀、鎂、鈉、鍥、磷、 鋅含量的測定，測定范圍見表1。表1測定范圍元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)，gg/g兀素質(zhì)量分?jǐn)?shù)，gg/g硼0.1-10.00鎂0.0110.00鈣0.1°-10.00鈉0.0110.00銘0.0110.00銀0.0110.00鐵0.0110.00磷0.0110.00鉀0.0110.00鋅0.1 -10.002 .第2章規(guī)范性引用文件對于本標(biāo)準(zhǔn)中直接引用到的標(biāo)準(zhǔn)，列入了第 2章 規(guī)范性引用文件中，分別為 GB/T 6682-2008分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法 和GB/T 8

7、170-2008數(shù)值修約規(guī)則與極限 數(shù)值的表示和判定 3.第3章原理稱取一定量的試樣，放入燒杯中，用 5%硝酸溶液浸泡30min,試樣溶液引入電感耦 合等離子體原子發(fā)射光譜儀，在選定的測定條件下，測定試液中各元素的含量。4 .第4章試劑4.1 單元素標(biāo)準(zhǔn)貯存溶液：采用國內(nèi)外可以量值溯源的有證標(biāo)準(zhǔn)樣品，其質(zhì)量濃度均為 1000 皿mL。4.2 標(biāo)準(zhǔn)溶液：分別移取1.00mL硼、鈣、銘、鐵、鉀、鎂、鈉、鍥、磷、鋅單元素標(biāo)準(zhǔn) 貯存溶液（4.4）置于100mL全氟烷氧基樹脂容量瓶中，力口 5%硝酸溶液（4.3）稀釋至 刻度，搖勻，此溶液中各元素含量均為10g/mLo5 .第5章儀器與設(shè)備5.1 關(guān)于“

8、電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法”使用功率750W1350W,該設(shè)備具有測定下限低、多元素測定、測定范圍廣特點，能夠滿足分析要求。6 .第6章干擾因素6.1 試樣在剪取時用潔凈的陶瓷剪刀，避免使金屬剪刀，以防止對試樣造成污染。6.2 防止環(huán)境對試樣污染，在潔凈環(huán)境下打開試樣包裝。7 .第8章分析步驟8.4.1將試料（8.1）置于干凈的聚四氟乙烯（PTFE）燒杯中，用5%硝酸溶液100mL （4.3）浸泡30min,轉(zhuǎn)移至另一燒杯中（若溶液有懸浮物或雜質(zhì)過濾），待測。（1）關(guān)于浸泡酸濃度和浸泡時間的選擇：實驗設(shè)計：A浸泡酸濃度確定：對同一個樣品分別用純水、2%硝酸溶液、5%硝酸溶液、10%硝酸溶液

9、浸泡后比對檢測，確定最佳酸濃度范圍。B浸泡時間確定：分別比對10min、30min、60min浸泡后雜質(zhì)含量，確定最佳浸泡時間。 每組樣品分析3個平行測試，取其算術(shù)平均值，檢測數(shù)據(jù)如表 1浸泡液浸泡 時間兀素（ug/g ）BCaCrFeKMgNaNiPZn純水10min/0.1720.0750.4540.0550.228/30min/0.190.080.480.0260.279/60min0.089/0.2610.0940.5340.01/2%硝酸10min/0.0980.0210.3510.021/30min/0.683/0.6780.0940.8660.022/0.14260min/0.8

10、53/0.68/0.857/0.0940.1535%硝酸10min/0.995/0.0190.2960.53730min/1.0220.012/0.8190.1780.5440.0530.1010.05460min/1.010.02/0.680.1680.8570.0450.0940.0610%硝酸10min/0.3310.1390.536/0.05930min/1.1260.013/0.5780.1680.6240.0460.0760.04660min/1.1780.027/0.6610.1740.6790.0350.1930.068備注“/”表不未檢出由表1檢測數(shù)據(jù)可知：（a）純水和2%硝

11、酸溶液浸泡10min-60min,有較多元素未檢出；（b） 5%硝酸和10%硝酸浸泡10min,仍有較多元素未檢出，浸泡 30min,除B、Fe未 檢出，其余元素均能檢測，且兩種濃度酸溶液浸泡30min和60min各元素含量檢測值穩(wěn) 定。故：確定最佳浸泡酸為5%硝酸溶液，浸泡時間為30min。（2）加標(biāo)回收率同一試樣選擇3片，用陶瓷剪刀剪取四角和中間共 5片（剪成約2cm小片），用移 液槍在每片上滴加1mL 10mg/L的硼、鈣、銘、鐵、鉀、鎂、鈉、鍥、磷、鋅混合標(biāo)液， 晾干，用5%硝酸溶液，浸泡時間為30min,上機測定。檢測數(shù)據(jù)如表2表2檢測方 法編號元素BCaCrFeKMgNaNiPZn

12、正常檢 測樣1/0.010.0123/0.00060.00180.00330.04360.00350.0421樣2/0.03460.0135/0.0010.0050.00780.04230.00420.0487樣3/0.00830.0143/0.00130.00160.00470.03980.00130.0259平均值/0.01760.0134/0.0010.00280.00530.04190.0030.0389加標(biāo)檢 測樣10.46050.58870.47440.42820.40340.53720.4610.47770.47310.4998樣20.49310.64050.50210.4618

13、0.39440.5750.46250.50940.52550.5337樣30.56340.65420.57690.5320.49570.65550.55650.58050.5810.6038平均值0.50570.62780.51780.4740.43120.58920.49330.52250.52650.5458加標(biāo)回收率/97.1997.42/99.7899.5298.9391.9899.4392.87由表2數(shù)據(jù)可知：各元素加標(biāo)回收率均在 90%以上8.方法的精密度驗證按照實驗方法對所選擇的2個不同試樣進(jìn)行多次平行測定。實驗結(jié)果表明，2個不同試樣中雜質(zhì)含量的精密度均能滿足樣品分析的要求，結(jié)果

14、見表 3、表4。表3編號無塵擦拭布樣1 （單位：ug/g)BCaCrFeKMgNaNiPZn樣1/1.1980.013/0.020.3350.521/0.0340.214樣2/1.210.02/0.0240.3340.509/0.0380.257樣3/1.1990.015/0.0210.3420.519/0.0340.249樣4/1.2010.017/0.0270.3510.524/0.0370.247樣5/1.210.019/0.0250.320.508/0.0340.25樣6/1.2190.016/0.0230.3320.517/0.0310.242樣7/1.2080.02/0.0240.

15、3480.515/0.0330.249樣8/1.210.019/0.0220.3450.524/0.0380.274樣9/1.2150.018/0.020.350.517/0.0360.261樣10/1.1970.013/0.0210.3480.584/0.0320.247樣11/1.2150.017/0.020.350.579/0.0340.249平均值/1.2070.017/0.0220.3410.529/0.0350.249標(biāo)準(zhǔn)偏差/0.0080.003/0.0020.010.027/0.0020.015重復(fù)性/0.020.008/0.0060.030.08/0.0060.04RSD (

16、 %)/0.66317.647/9.0912.9335.104/5.7146.024編號無塵擦拭布樣2 （單位：ug/g)BCaCrFeKMgNaNiPZn樣1/0.8540.018/0.0680.0620.251/0.1340.124樣2/0.840.017/0.0690.0570.241/0.1370.131樣3/0.8750.018/0.070.0620.267/0.1240.13樣4/0.8810.019/0.0710.0520.247/0.1350.128樣5/0.8920.016/0.0730.0530.249/0.1310.127樣6/0.8470.015/0.0690.0590

17、.25/0.1290.126樣7/0.8890.017/0.0680.0620.218/0.1270.131樣8/0.870.015/0.0720.0580.234/0.1340.124樣9/0.8350.018/0.0710.0610.257/0.1340.129樣10/0.8160.017/0.0740.0680.264/0.1280.124樣11/0.850.016/0.0730.070.254/0.1370.126平均值/0.8590.017/0.0710.060.248/0.1320.127標(biāo)準(zhǔn)偏差/0.0240.001/0.0020.0050.014/0.0040.003重復(fù)性/0

18、.070.003/0.0060.010.04/0.010.008RSD (%)/2.7945.882/2.8178.3335.645/3.0302.3628.1 重復(fù)性在重復(fù)性條件下獲得的兩次獨立測試結(jié)果的測定值，在以下給出的平均值范圍內(nèi)，這兩個測試結(jié)果的絕對差值不超過重復(fù)性限（r）,超過重復(fù)性限（r）的情況不超過5%,重復(fù)性限（r）按表1數(shù)據(jù)采用線性內(nèi)插法獲得：表1重復(fù)性限質(zhì)量分?jǐn)?shù)/ug/g重復(fù)性限（r） /ug/g0.01 0.100.0080.10 0.500.040.50 1.000.071.00 10.000.108.2 再現(xiàn)性在再現(xiàn)性條件下獲得的兩次獨立測試結(jié)果的絕對差值不大于再現(xiàn)

19、性限（R）,超過再現(xiàn)性限（R）的情況不超過5%,再現(xiàn)性限（R）按表3數(shù)據(jù)采用線性內(nèi)插法求得。表2再現(xiàn)性限質(zhì)量分?jǐn)?shù)/聞/g再現(xiàn)性限（R） /聞/g三、標(biāo)準(zhǔn)水平分析通過文獻(xiàn)檢索，網(wǎng)上查詢，國內(nèi)還沒有統(tǒng)一的多晶硅行業(yè)用無塵擦拭布中雜質(zhì)含量的測定 電感耦合等離子光譜法標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)過檢索，國際也無相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，本標(biāo)準(zhǔn)屬于 首次制定，規(guī)定了多晶硅用無塵擦拭布檢測的方法，達(dá)到國內(nèi)先進(jìn)水平。四、與我國有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和相關(guān)強制性標(biāo)準(zhǔn)的關(guān)系本標(biāo)準(zhǔn)屬于多晶硅用無塵擦 拭布中雜質(zhì)含量的化學(xué)分析方法標(biāo)準(zhǔn)，與現(xiàn)行法律、法規(guī)和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)相協(xié)調(diào)、無沖突。本標(biāo)準(zhǔn)屬于首次制定標(biāo)準(zhǔn)。五、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)編制組根據(jù)起草前確定的編制原則進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)起草，標(biāo)準(zhǔn)起草小組前期進(jìn)行了充分 的準(zhǔn)備和調(diào)研，并做了大量調(diào)查論證、信息分析和實驗工作，在主要技術(shù)內(nèi)容上，行業(yè)