壓電驅動超精密定位平臺_第1頁
壓電驅動超精密定位平臺_第2頁
壓電驅動超精密定位平臺_第3頁
壓電驅動超精密定位平臺_第4頁
壓電驅動超精密定位平臺_第5頁
已閱讀5頁，還剩9頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、壓電驅動超精密定位平臺 指導教授:黃世疇 教授 學 生:陳浴祥國 立 高 雄 用 應 科 技 大 學精密定位的等級精密定位是0.11m的精度 超精密定位是0.0010.1m的精度背景早期:顯微鏡(STM, AFM, )近期:高科技產(chǎn)業(yè)(半導體、光電、 精密量測檥器) 本文是設計一個單層的撓性結構，完成能夠做XYz三自由度的精密定位平臺。利用撓性鉸鏈為基礎的撓性結構配合積層式壓電致動器，通入電壓的大小使壓電材伸縮，以達到施力的目的，驅使結構產(chǎn)生精密微小變形(也就是材料的滑移現(xiàn)象)，進而到達奈米級的5nm位移解析度。 致動器種類 振幅 精度 發(fā)生力 響應速度 壓電致動器 0.1 0.01m 3kg

2、/mm2 0.1 ms 電磁致動器 1 0.1m 30kg 1 ms 油壓缸 1000 10m 10kg/mm2 1 s 空氣壓缸 100 100m 10-2kg/mm2 10 s 壓電致動器(PZT)的優(yōu)點具有奈米級的解析度，響應頻寬可達到千赫等級，它擁有耗電量少、無雜訊、體積小、反應快、發(fā)熱少、精密度佳、轉換效率高和控制容易以及有足夠的剛性、系統(tǒng)結構簡單、無電磁干擾、等多方面的優(yōu)點 。更高精密度更高精密度單層結構實現(xiàn)更多自由度單層結構實現(xiàn)更多自由度更長行程更長行程微小化微小化(不站空間不站空間)設計方針撓性鉸鏈 dxxRtRChtRthhtRthD)4)(21)4)(21322)22(1DZZCEbM12DCEbK12撓性鉸鏈具有無餘隙、不需潤滑、沒有摩擦的優(yōu)點，唯一消耗能量的地方是最薄處變形時分子的內摩擦力所造成。 旋轉平臺 結論微定位系統(tǒng)之研究已行之有年，在微定位系統(tǒng)之研究已行之有年，在精密工程應用日益廣泛的今天，微精密工程應用日益廣泛的今天，微定位系統(tǒng)之研發(fā)越形重要，而且朝定位系統(tǒng)之研發(fā)越形重要，而且朝更高精

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論