德國XONOX菲索型激光干涉儀原理與使用匯總

1、德國XONO琳索型激光干涉儀原理與使用第一章：為何使用干涉儀做檢測1-1干涉度量學(xué)第一章為什么要使用干涉儀檢測首先我們要先了解，什么是干涉度量學(xué)？所謂干涉度量學(xué)是指利用光干涉的效應(yīng)來量測特定物理量的方法，也就是說藉由觀察干涉條紋的變化，來量測出待測物的特征1-2何謂干涉儀干涉儀是什么？一般來說，只要是利用光干涉的原理來量測的儀器便可以稱為干涉儀，但是干涉儀的種類眾多且多變化，因此本課程中將針對最為外界常用之種類作介紹1-3干涉儀之優(yōu)缺點(diǎn)干涉儀的優(yōu)點(diǎn)及缺點(diǎn)第一高精度以光學(xué)組件來說，因為組件的微小變化均會嚴(yán)重改變原有的光學(xué)質(zhì)量，因此必須要有非常精確的量測儀器，干涉儀具有精度非常高的優(yōu)點(diǎn)，最高可達(dá)1

2、/100的波長甚至到1/1000的波長，波長是指干涉儀中使用光源的波長值.舉例來說：一般干¥儀的波長為632.8(nm),而632.8的百分之一約為6個(nm),目前的奈米科技是在這個尺度，甚至有些更好的干涉儀可以到0.6個(nm，從此可以看出干涉儀的精度有多好了第二章：非球面玻璃模造的原理第二.非接觸式量測另一種量測用的輪廓儀是使用接觸式的量測方式，即使目前已可以微調(diào)接觸的力量，但對于表面較脆弱的被量測物是否真的完全不會造成損害則仍無法確定.而當(dāng)用干涉儀量測時，是把光照射到被量測的物體上，所以干涉儀上的探針也就是光，并不會對物體表面照成任何傷害第三使用探針來量測時無法一次量測所有的

3、面積，而可能必需分很多掃瞄線去量測，相對來說干涉儀的量測速度就非常快了，可能幾秒鐘就量完了，而不需要等待幾個小時的時間.第四則是干涉儀的缺點(diǎn)，一個操作員在會使用干涉儀卻不太清楚干涉儀的使用限制、條件及原理的時候，可能會量測到不是他所要的東西，而且，因為干涉儀是用光線量測，在調(diào)整上也會花費(fèi)多的時間，可能量測結(jié)果只要花幾秒鐘，但事前的調(diào)整卻要花費(fèi)幾十分鐘甚至數(shù)個小時軍元蓬解了修干靜的“貼1.高精度（0.0認(rèn)。.001入）2.非援禽式量測3.可擇測匾域較大4. 校程序檀輜（不易上手）正奉投衢研寵陶! 【通不簟ill究第二章：干涉儀工作原理2-1光干涉2-1.1為何光有干涉現(xiàn)象干涉儀工作原理我們是用干

4、涉儀量測，所以先要了解什么是光干涉？為什么光有干涉現(xiàn)象？光的干涉現(xiàn)象有二個原因，第一光像是波一樣，具有波的特性，我們在丟一塊小石子在池塘中，就會看到很多漣漪向外擴(kuò)散傳播，這就是波，而光就可以用波來描述.第二波的迭加原理，我們之所以能夠看到干涉條紋的明暗變化，就是因為迭加原理所造成的，這是二個造成光干涉現(xiàn)象的基本條件除此之外，偏振光的特性，是否同相位的特性也是造成光干涉現(xiàn)象的條件2-1-2由迭加原理說明干涉現(xiàn)象由迭加原理說明干涉現(xiàn)象：1 .破壞性干涉如上圖所示，假設(shè)藍(lán)色波的最高值與紅色波的最低值在同一位置時，其相加數(shù)值為0,所以當(dāng)藍(lán)色及紅色二個波一起出現(xiàn)的時候，迭加起來就會變成中間的黑線，因為光

5、具有波的特性，所以如果2個波長彼此正好相差一半的波長時，也就是相位差冗時，畫面就會呈現(xiàn)全亮或全暗而完全看不到條紋，以上圖來看因為藍(lán)色波的最高點(diǎn)到紅色波的最高點(diǎn)距離相差n,此時我們就稱做破壞性干涉2 .建設(shè)性干涉如下圖所示，假設(shè)藍(lán)色波與紅色波的最高值在同一位置時，其相加數(shù)值就是2,當(dāng)藍(lán)色波與紅色波完全重迭在一起時，迭加起來就會變成較高的黑線，當(dāng)我們?nèi)庋劭吹綍r，黑線的最高點(diǎn)就會變亮，最低點(diǎn)則較暗，而會有明暗的線條變化，我們就稱做建設(shè)性干涉當(dāng)藍(lán)色波與紅色波的相加數(shù)值為02以內(nèi)時，波長會較為平緩，就會產(chǎn)生灰階的漸層條紋變化了.正軍技的研電及，卜5叫A 3%H羋技彳舒研究堡，2-1-3干涉條紋之定量描述

6、對建設(shè)性干涉而言，2個波的差異需滿足公式：opticalpath(n*d)=m入opticalpath是光程差，光程差是指2個波的差異，當(dāng)2道光從A點(diǎn)跑到B點(diǎn)時，距離為d及d,因此有一道波跑了nd,另一道波品&了nd'那么2道光的差異為n(d'-d),也可以變成nd2'.如果nd2'為波長人的整數(shù)倍時，就會有明暗的條紋變化，也就是建設(shè)性干涉而相反的當(dāng)nd2剛好為二分之一波長的技術(shù)倍時便產(chǎn)生破壞性干涉條紋，公式為：opticalpath(n*d)=m入/22-1-4雙光束干涉之?dāng)?shù)學(xué)描述雙光束干涉之?dāng)?shù)學(xué)描述：假設(shè)2道光做干涉，這兩到光的光強(qiáng)度分別為I1,I2

7、,那么當(dāng)這兩道光產(chǎn)生干涉時便符合上述的公式.其中:I1+I2為干涉條紋的DC項,根號(I1I2)為干涉條紋的振幅大小，最后Cos(Delta)為相位項，其中Delta扁是前面所提到的光程差.所以當(dāng)光程差變化時，可以知道干涉條紋也會隨著變化壬蕖接湖研翅臭AKSit¥ 三N招料串施-守超國星ISBK2-2如何判斷干涉條紋2-2-1干涉條紋種類那么我們?nèi)绾闻袛喔缮鏃l紋？因為我們不是隨時隨地都可以方便的使用干涉儀并藉由計算機(jī)來分析，所以我們必須用肉眼來判斷，這也是最快最方便的方式.干涉條紋的種類有2種:第一個是等厚度干涉條紋，在等厚度干涉條紋中明暗的條紋會呈現(xiàn)等間隔的情形，而且每個相鄰的條紋

8、代表相同的厚度間隔假設(shè)橫線為標(biāo)準(zhǔn)面，斜線為一個斜率固定的待測面，當(dāng)光線打過來的時候會產(chǎn)生折射現(xiàn)象，我們在第一個射入點(diǎn)做一條與標(biāo)準(zhǔn)面平行的虛線，在待測面會有光a反射回去，在標(biāo)準(zhǔn)面時也會有光b反射回去從圖可以看出光線a及b所通過的路徑是不同的，而當(dāng)光程差恰為波長的整數(shù)倍時，就可以看到相同間隔的干涉條紋壬窣技彳前研求院1”為事工1船亶干涉修延的小如：L哥厚鼻干詡版I妙慘社因隱聲fl不第蝎船用博郡時盤方便的愜用干法*加普由*11（來守析«Q,玲q 硒ggg飛鵬由M研究科塞院等厚度干涉修校等度干涉脩較¥工小制內(nèi)旦”N N炳 / E K"3 fl l * ff fc 7/rr

9、n q 同 iirfi'irrf修毅等篇琳目以一相郵之修較代表相同之再展期降 Fringes and optical p3th dtff&fence t OPD)立 1!. iJi' 4 Hzp 島> t h f fi fa1 Frfifti prCu 3 Ethofil(miWrrI Me/Am!枷i、dF dMj1，""1b 胤.d h jtiii> jdLffiiL'j*：*3輕t Jr，竭. W ih liUliy他"i Ti "I ”伸件I % 皿Jiff，嘲e$ I1第二個是等傾度干涉條紋，是由相同

10、角度的光線所形成的干涉條紋，P1這一點(diǎn)有一個干涉條紋，它的來源是由4條實線所造成的，而這4條實線對這個物體表面來說，則是同一個角度的光所造成的，因為物體為圓形，所以會造成對稱的效果.而4條虛線則是由另一個角度的光所造成的，并進(jìn)而產(chǎn)生P2點(diǎn)的一個干涉條紋.因此由同樣角度光線形成的干涉條紋我們就稱為等傾度干涉條紋,不過在實際的應(yīng)用上，等厚度干涉條紋與等傾度干涉條紋是可能同時出現(xiàn)的2-2-2-1干涉條紋判斷應(yīng)用實例一干涉條紋判斷應(yīng)用實例：應(yīng)用一：表面平整性-如果我們想從干涉圖了解物體表面的平整性好不好，可以在干涉圖上畫一個以中心為準(zhǔn)的十字線，數(shù)數(shù)看從中心點(diǎn)起，在X方向上的條紋數(shù)及Y方向上的條紋數(shù)量有

11、幾個，這個量在光學(xué)工廠中是最常使用的，當(dāng)我們要求師父磨一個鏡片時，就可以告知我們對表面平整性的需求，在X方向與Y方向上的誤差范圍容忍度是多少從圖上來看，X方向上有1個條紋，Y方向上則有3個條紋，也就是說，這個待測的組件，在X方向與Y方向上的變化程度不一樣，這個變化程度就定義為表面平整性Surfaceirregularity同時差異量最大的地方我們定義為：POWER,也就是Y方向的3,而irregularity是看X方向與Y方向上的差異量，也就是2,所以從上圖的干涉條紋我們可以知道待測物的Power為3、irregularity為2那到底什么是POWER,什么是irregularity?假設(shè)我們

12、看的組件是眼鏡的鏡片，從側(cè)面看，當(dāng)有光打過來時鏡片會聚焦，不同的彎曲量聚焦的程度就會不一樣，我們稱為放大率,而面的彎曲程度就定義為POWER.而在鏡片上的X方向與丫方向的彎曲程度會可能不同，也就是說POWER不一樣，我們就稱為Surfaceirregularity,現(xiàn)在我們已經(jīng)知道這個干涉圖條紋的表示為3/2,那么這個數(shù)字是代表多少？他的單位就是波長一般的雷射為632.8()波長，3/2的3是指3個波長，2是指2個波長，在光學(xué)組件的計算之中通常是以波長來表示的.2-2-2-2干涉條紋判斷應(yīng)用實例一在前面提到在干涉儀量測中多用波長作為單位所以我們還要注意到使用的干涉儀波長是多少假設(shè)同一鏡片，由A

13、廠商使用人=500的干涉儀，判讀數(shù)據(jù)為3/2,B廠商使用人=600的干涉儀，判讀數(shù)據(jù)也是3/2，那么使用500人干涉儀的A廠商所判讀的數(shù)據(jù)必定是較好的，因為波長愈短的，轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)時也會相對較小，所以除了判讀干涉圖的數(shù)據(jù)之外，還要注意干涉所使用的波長是否和要求相符才能得到最正確的結(jié)果.2-2-2-3干涉條紋判斷應(yīng)用實例一接下來的例子，我們要看的一樣是POWER和irregularity我們可以從圖A來判讀POWER和irregularity是多少？加上十字坐標(biāo)之后，X方向上有2.5個條紋，Y方向上則有1.5個條紋，所以這個鏡片的最大彎曲量是2.5,X與丫的差距量是1,但是這個干涉圖的結(jié)果卻不是2

14、.5/1當(dāng)X方向與丫方向待測面的彎曲方向相同時,irregularity為2者相減，但X方向與丫方向待測面的彎曲方向不同時,irregularity則為兩者相加.當(dāng)X方向與丫方向待測面的彎曲方向相同時，POWER取最大值，但X方向與丫方向待測面的彎曲方向不同時，POWER相減.所以從這個圖來判讀的irregularity為1.5+2.5=4,X方向與丫方向可以視為同一個面，所以POWER是2.5-1.5=1,因此，我們必須先知道所量測的是什么物體，否則所求得的數(shù)據(jù)也有可能是錯誤的.2-2-2-4干涉條紋判斷應(yīng)用實例一接下來我們來看看幾種常見的干涉條紋:我們要注意的一件事是，在這些圖中的干涉條紋

15、都是由待測物和一個標(biāo)準(zhǔn)平面比較所造成的一旦比較條紋變了，所造成的條紋也會全部改變，而且相對應(yīng)的狀況也會完全不同左側(cè)Withouttilt為：當(dāng)沒有傾斜效應(yīng)進(jìn)來的時候，不同的待測面所產(chǎn)生的條紋變化右側(cè)Withtilt則是：當(dāng)傾斜效應(yīng)進(jìn)來的時候，不同的待測面所產(chǎn)生的條紋變化當(dāng)待測面為為平面時1或是2,Withouttilt會看不到條紋當(dāng)待測面為彎曲面3時，Withouttilt會呈現(xiàn)邊緣較密，間距不等的同心圓條紋當(dāng)待測面是球面4時，Withouttilt則會呈現(xiàn)間距較為相等的同心圓條紋假設(shè)標(biāo)準(zhǔn)面為平面，3的待測物形狀可能為雙曲線或橢球，所以厚度變化較為劇烈，4的待測物則可能為球面或接近球面的形狀，

16、所以在做干涉儀量測，想判斷干涉條紋的形狀時，必須先了解待測物體的形狀，或者是由干涉條紋的形狀，來判斷待測物體2-2-2-5干涉條紋判斷應(yīng)用實例二因為干涉條紋會隨著參考面的不同而不同，所以當(dāng)我想知道待測面的形狀時，就必須先知道標(biāo)準(zhǔn)面的形狀是什么？現(xiàn)在我們以同一形狀的待測物-凸透鏡為例當(dāng)待測物為一個球面，而參考面為一標(biāo)準(zhǔn)平面時，其干涉條紋可能為一同心圓分布，但若參考面改為標(biāo)準(zhǔn)曲率之球面時，其干涉條紋則可能成為直線分布，發(fā)生同一待側(cè)面卻有不同干涉條紋分布的原因，在于干涉條紋所看到的是待側(cè)面與參考面之間的差異，因此，如果要判斷哪一個干涉條紋的待測物是球面，就必須先了解，量測時所參考的參考是什么？才能正

17、確藉由干涉條紋判斷出待測之面形第三章：干涉儀種類3-1NewtonInterferometer干涉儀的種類非常的多，在這里所介紹的是五種最常見的干涉儀.第1個是NewtonInterferometer牛頓干涉儀左邊的Quasimonochromaticpointsource是個幾近單波長的點(diǎn)光源,Quasimonochromatic為單波長的意思，pointsource是點(diǎn)光源.點(diǎn)光源經(jīng)過透鏡變成平行光后，打到下方橢圓形待測物上，這個待測物可能為透鏡之類的物體待測物下方的平面Opticalflat則是參考面，通常做為參考面的平整度，也就是Surfaceirregularity,必須要1/10人

18、以上，分母愈大就表示其平整度愈好.3-2MichelsonInterferometer第2個是麥克森干涉儀MichelsonInterferometer.當(dāng)麥克森干涉儀和牛頓干涉儀做比較時，會發(fā)現(xiàn)它并不是一個點(diǎn)光源，光源有些散開，光線在經(jīng)過第一塊鏡片之后透過中間的分光鏡O,使得一部份的光反射到反射鏡M2再反射回分光鏡O,而一部份的光則穿透補(bǔ)償片C,到達(dá)反射鏡M1之后才反射回分光鏡O合成同一道光，并且將結(jié)果打到D(Detector)上，因此我們就可以在Detector上看到一圈一圈的條紋，也就是干涉圖A了.所以麥克森干涉儀通常用來量測距離的變化當(dāng)我們要量測距離時，只要先量測出原來的干涉條紋A之后

19、，再將反射鏡M2往后移，量測出干7條紋B,然后就可以從條紋AB的變化算出距離了.3-3FizeauInterferometer（一）第3個是斐洛干涉儀FizeauInterferometer是目前一般最常見的干涉儀，也是架構(gòu)最簡單，量測最方便的一種.左上方的laserbecm雷射光源，雷射光源是非常好的單波長光源，經(jīng)過中間的幾道程序之后，在經(jīng)過Referenceflat參考面時，部份光被反射，部份光則穿透至flatunderfest待測面上后再反射回去，因此我們看到的結(jié)果是參考面與待測面的差異，當(dāng)參考面不同時，所測出的待測面條紋也會不同.這種干涉儀的缺點(diǎn)是：容易受風(fēng)向、震動、與空氣變化等的外力

20、影響,必須放在密閉室內(nèi)的防震桌上，才能清楚看到干涉條紋，所以又稱為非共路徑干涉儀.工聚技褊研交院例3-3FizeauInterferometer（二）FizeauInterferometer這2種是由2家有名的儀器公司制造的斐洛干涉儀左圖是ZYGO公司所制造的斐洛干涉儀，而右圖則是VEECO公司的斐洛干涉儀，一般光學(xué)公司在采購較好的干涉儀設(shè)備時，通常是以這2家公司的儀器為采購標(biāo)準(zhǔn).VEJC3公國的Fyu干過蜩斐洛干涉AtFiz«au IntefferometerZYGO上國的F”.u干.忘綱人 a11slsttL f.g二. 窿陽和研期房 1究扁E-常勇的干凈«'n

21、 l_I I i " I I I I lil - m H W » M ?-3-4Mach-ZehnderInterferometer第4個是Mach-Zehnder干涉儀左下方的光源Extendedsource,為一與麥克森干涉儀相似的擴(kuò)展光源，光源經(jīng)過第一個Beam-splitter之后分為二道，各別經(jīng)過一片Mirror反射鏡，再經(jīng)過第二個Beam-splitter合成一道光之后，將結(jié)果打到Detector上.因為中間分為二道光源的關(guān)系，在空間及距離上可以做較大的調(diào)整，所以比較適合量測體積大或穿透性大的物體，例如：我們可以用來量測大面積的玻璃.將待測物放在路徑上的第一個B

22、eam-splitter與Mirror反射鏡之間，我們就可以看到路徑A、路徑B與待測物之間的差異.這也是一個非共路徑干涉儀，它的缺點(diǎn)是：容易受空氣變化等的外力影響，優(yōu)點(diǎn)是：可以量測體積或面積較大的物體3-6Twyman-GreenInterferometer第5個是Twyman-Green干涉儀Twyman-Green干涉儀和麥克森干涉儀很相似.當(dāng)一道光源進(jìn)來，經(jīng)過BEAMEXPANDER將光源變得比較大束后，經(jīng)由中間的BEAMSPLITTER分為二道光，反射回來之后再回到偵測器，上每種干涉儀都有各自不同的應(yīng)用范圍、方向和限制第四章：實際檢測方法4-1可應(yīng)用范圍干涉儀可以應(yīng)用的范圍：1.是表面

23、的形狀2.是曲率測試3.是表面平整度或表粗糙度4.可以量測玻璃二側(cè)的面是否夠平整5.角度測試，有些光學(xué)組件是有角度的，可藉此量測其準(zhǔn)度6.應(yīng)力測試，例如眼鏡或相機(jī)鏡頭,當(dāng)必須以其它對象夾住玻璃時，可以測試該玻璃的變形量others可I8用IS兇魔陶町二fdL*r reit i titi«t i*n®i 婕”|小Surface waveform testing 表面的形曲率湖就我面平整度我費(fèi)面粗福度可以旃破房二鋪1的面是否罪平行角度泅就愿力冽弒Radius lasting。RMS testing- Window tiH testingAngle lesimg=Stress m

24、easure men l4-2干涉儀應(yīng)用于液晶投影機(jī)組件檢驗?zāi)敲锤缮鎯x到底應(yīng)用在那些液晶投影機(jī)組件的檢驗：例如：X-cube是液晶投影機(jī)中把RGB三個色光合在一起的重要組件，我們有幾種檢測它的方式第1是量測表面平整性：我們使用的是WYKO6000的斐洛干涉儀，儀器的前面標(biāo)準(zhǔn)參考面，光源由參考面打到待測物的第一個面時會反射，我們看到的是它的差異度，也因此可以量測出待測面的表面平整度.并由計算機(jī)直接判讀出正確的數(shù)據(jù)結(jié)果.如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光，那么被遮住的部份就不會再有光從下方出現(xiàn)，而只顯示出一部份的反射條紋.第2是量測內(nèi)反射面的平整度壬莖技而研:rrr一出靈工室毗笈所L1我乖

25、靖展演屋口*帆死吐花"X3M焉波精授先修中要之分希光元件亮光挈同口陽亮建在槽1ft衣面平鬟(#，上可簞利用千沙騏0F星嚷目光源由參考面打到待測物的第一個面時會反射，但是也可以打進(jìn)待測物里面，經(jīng)由反射的過程再反射回參考面，也就是就，使用同一個架構(gòu)可以量測到物體的二面，那么要知道我們量測的到底是哪一個面？如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光，那么被遮住的部份就不會再有光從下方出現(xiàn)，但會顯示出沒被遮住的部份反射條紋，那么所測得的就是表面平整度.而內(nèi)反射的光源是由上方打入待測物中，再經(jīng)由反射從下方出來，所以如果我們拿一張不透光的白紙遮內(nèi)反射面平整腰虐a2內(nèi)R國ii而瑪度辭吏住上方的光，

26、那么就不會再有光從下方出現(xiàn)，這樣就能得知目前所量測的是內(nèi)反射面平整度了表帝平基度測尋思城均宅F(xiàn)S可濡整憾斜3之中占U山臼祖,整仕用歸*口£黑思H尸3硼怕脂丁口干,丸V(率修聿率遺族也視枚色方粘靜候拿Tft不遁光的白斷星住總中一的光穹卻L至u厄兩勝居益及務(wù)刑工冷槽聒內(nèi)反射近中整度內(nèi).反射面向堤揮壓胰由反髭的程周良國DJ餐卷_F價磴agoP片眥血司曲整精打中之4'單住弗伊用M只育擲*bZffiUM懷靈干涉聯(lián)而Wfftm考、"門日航是仃引號無理塔安門射他區(qū)之青不靈了和.¥亡，號口第3是量測內(nèi)反射面的角度誤差這是X-cube的側(cè)面圖，理論上都會盡量要求達(dá)到接近90

27、度，所以我們也可以用干涉儀來量測內(nèi)反射面的角度誤差第4量測穿透波面的平整度：光在投影機(jī)中必須是穿透的，如果X-cube有一些瑕疵的話，顯示出來的影像就會不漂亮，所以就必須量測其穿透波的平整度.當(dāng)光源從上方打出來，透過待測物打到標(biāo)準(zhǔn)反射鏡片時，再反射回去，如果待測物的放置位置是平整的，那么每一道光都會循原來的途徑反射回去，可能會分不清楚到底是哪一個面所產(chǎn)生的干涉條紋.這時可以調(diào)整待測物平臺的傾斜度，使部份光不會進(jìn)到干涉儀中，那么就可以很清楚的看到干涉條紋了.f，舞1#用朕湎斯慢船聯(lián)斤好榜Q表面平整展利-內(nèi)反射施用整喔，內(nèi)反射通角垠飄理-9源增為度2版子林和可口畀蟹值即將平占的炸科日把F一部百的托

28、工邃入北方g中G T工工工廠 T份4東叁生用厚丁孝及就莊曉技徒研究野r比懶寶研飛工匕-刊Hlft用的修元件棚I表面平整E涮I.丙反螞面平投度丙應(yīng)嗣面角值差il*f班產(chǎn)就可cl.到國型。曲日之中任何有髭所感成能不沛械0記T z三£叫Aperture:Intelevisionoptics,itistheeffectivediameterofthelensthatcontrolstheamountoflightreachingthephotoconductiveorphotoemittingimagepickupsensorANSILumens:ANSIstandsforAmericanN

29、ationalStandardsInstitute.Itisastandardformeasuringlightoutput.Differentlampsplayaroleonlightoutput.Halogenlampsappeardimmerthananothermetal-halide,evenifthetwounitshavethesameANSIlumenrating.TypeofLCDtechnology(activematrixTFT,Poly-Si,passive),typeofoveralltechnology(LCDvs.DLPvs.CRT),contrastratios

30、,amongotherfactorscanalsoaffecttheendresult.ASAP原名為AdvancedSystemAnalysisProgram，為美國BRO(BreaultResearchOrganization)公司研發(fā)的一套專業(yè)光學(xué)仿真軟件，它可以幫助使用者仿真真實之光學(xué)系統(tǒng)，以達(dá)到最實際之光學(xué)分析結(jié)果Dichroic:Amirrororlensthatreflectsorrefractsselectivewavelengthsoflight.Typicallyusedinprojectorlightenginestoseparatethelamps"white

31、"lightintored,green,andbluelightDigitalLightProcessing(DLP):ThecommercialnameforthistechnologyfromTexasInstruments(TI):F-number(f/#)f/#istheratiooftheeffictivefocallengthofanopticalsystemtoitsclearaperture.Forexample,a50mmeffictivefocallengthlenssystemwithaclearapertureof25mmisf/2.FocalLength(FL)Regardingopticalelementsandsystems:ef